JPH07105140B2 - 半導体メモリ - Google Patents
半導体メモリInfo
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- JPH07105140B2 JPH07105140B2 JP63317827A JP31782788A JPH07105140B2 JP H07105140 B2 JPH07105140 B2 JP H07105140B2 JP 63317827 A JP63317827 A JP 63317827A JP 31782788 A JP31782788 A JP 31782788A JP H07105140 B2 JPH07105140 B2 JP H07105140B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bit line
- potential
- transfer gate
- signal
- memory cell
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- Expired - Lifetime
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/21—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
- G11C11/34—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
- G11C11/40—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
- G11C11/401—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming cells needing refreshing or charge regeneration, i.e. dynamic cells
- G11C11/4063—Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing
- G11C11/407—Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing for memory cells of the field-effect type
- G11C11/409—Read-write [R-W] circuits
- G11C11/4094—Bit-line management or control circuits
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
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- G11C11/4063—Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing
- G11C11/407—Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing for memory cells of the field-effect type
- G11C11/408—Address circuits
- G11C11/4085—Word line control circuits, e.g. word line drivers, - boosters, - pull-up, - pull-down, - precharge
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
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- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/21—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
- G11C11/34—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
- G11C11/40—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
- G11C11/401—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming cells needing refreshing or charge regeneration, i.e. dynamic cells
- G11C11/4063—Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing
- G11C11/407—Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing for memory cells of the field-effect type
- G11C11/409—Read-write [R-W] circuits
- G11C11/4097—Bit-line organisation, e.g. bit-line layout, folded bit lines
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体メモリ、特に1トランジスタ1キャパ
シタよりなるダイナミック型RAMに関するものである。
シタよりなるダイナミック型RAMに関するものである。
従来、この種の半導体メモリの主要部は第3図に示すよ
うな構成をとるものが一般的であった。MC11〜MCnNは1
個のMIS型トランジスタと1個のキャパシタからなる1
トランジスタ型メモリセルを示し、マトリクス状に配列
されている。WL1〜WLnは、ワード線、WD1〜WDnはワード
線WL1〜WLnを駆動する回路、SA1〜SAnはビット線D1,▲
▼〜DN,▲▼に読み出された微小信号を増幅す
るCMOS型のセンスアンプ,SEP,SENはそれぞれセンスアン
プの活性化信号,YSW1〜YSWNは与えられたアドレス信号
に従いビット線対を選択し、共通データ線対,I/O,▲
▼に接続する制御信号,11は出力回路,Doutは、出力
端子,12は▲▼系回路,QR1〜QRnは、ワード線WL1
〜WLnのリセット用トランジスタ,GNDは接地端子を示
す。第3図の構成の半導体メモリの代表的な動作波形図
を第5図に示す。動作開始前にビット線D1,▲▼〜
DN,▲▼は、たとえば電源電位Vccと接地電位Vssと
の中間電位(1/2Vcc)に保たれている。行アドレススト
ローブ信号▲▼が降下すると外部から与えられた
アドレス信号(表記せず)によりワード線駆動回路WD1
〜WDnの中から1台のたとえばWDiが選択され、▲
▼から生成された内部信号であるワード駆動信号RAが上
昇するとワード線WLiが上昇し、メモリセルMCi1〜MCiN
のN型MOSトランジスタがONし、それぞれのメモリセル
キャパシタ内にたくわえられた電荷に従ってビット線D1
〜DNの電位は100mV〜200mV程度変化する。一方ビット線
▲▼〜▲▼の電位は初期の値すなわち、1/2Vcc
の電位のままであり、この差信号がセンスアンプSA1〜S
ANの入力信号となる。次にセンスアンプ活性化信号SEN
が上昇し、SEPが下降するとセンスアンプSA1〜SANが活
性化され、センスアンプに入力された微小差信号は、増
幅され、たとえばビット線D1は接地電位へ下降し、ビッ
ト線▲▼は電源電位Vccへ上昇する。(メモリセルM
Ci1にはLの情報が記憶されていた場合。)実際は、ワ
ード線WLiが上昇し、ビット線D1に情報を読み出した際
にメモリセルMCi1のキャパシタ内の情報は、ビット線D1
との電荷のやりとりで破壊されているため、上述のセン
スアンプの動作は、ビット線D1,▲▼上の微小信号
の増幅のみならず、ビット線に読み出すことにより破壊
されたメモリセルの情報をメモリセルに対して再書き込
み(リフレッシュと言う)をするという機能をも有して
いる。その後列アドレスストローブ▲▼の下降に
より外部アドレス端子に与えられた列アドレス信号(表
記せず)に従い列アドレスストローブ▲▼より生
成された内部信号列スイッチ活性化信号YSWが上昇する
のに伴い、たとえばYSW1が選択され上昇することにより
ビット線対D1,▲▼のデータが共通データ線対I/O,
▲▼へ転送される。転送されたデータは、出力回
路11にて増幅され出力端子Dounから外部へ出力される。
うな構成をとるものが一般的であった。MC11〜MCnNは1
個のMIS型トランジスタと1個のキャパシタからなる1
トランジスタ型メモリセルを示し、マトリクス状に配列
されている。WL1〜WLnは、ワード線、WD1〜WDnはワード
線WL1〜WLnを駆動する回路、SA1〜SAnはビット線D1,▲
▼〜DN,▲▼に読み出された微小信号を増幅す
るCMOS型のセンスアンプ,SEP,SENはそれぞれセンスアン
プの活性化信号,YSW1〜YSWNは与えられたアドレス信号
に従いビット線対を選択し、共通データ線対,I/O,▲
▼に接続する制御信号,11は出力回路,Doutは、出力
端子,12は▲▼系回路,QR1〜QRnは、ワード線WL1
〜WLnのリセット用トランジスタ,GNDは接地端子を示
す。第3図の構成の半導体メモリの代表的な動作波形図
を第5図に示す。動作開始前にビット線D1,▲▼〜
DN,▲▼は、たとえば電源電位Vccと接地電位Vssと
の中間電位(1/2Vcc)に保たれている。行アドレススト
ローブ信号▲▼が降下すると外部から与えられた
アドレス信号(表記せず)によりワード線駆動回路WD1
〜WDnの中から1台のたとえばWDiが選択され、▲
▼から生成された内部信号であるワード駆動信号RAが上
昇するとワード線WLiが上昇し、メモリセルMCi1〜MCiN
のN型MOSトランジスタがONし、それぞれのメモリセル
キャパシタ内にたくわえられた電荷に従ってビット線D1
〜DNの電位は100mV〜200mV程度変化する。一方ビット線
▲▼〜▲▼の電位は初期の値すなわち、1/2Vcc
の電位のままであり、この差信号がセンスアンプSA1〜S
ANの入力信号となる。次にセンスアンプ活性化信号SEN
が上昇し、SEPが下降するとセンスアンプSA1〜SANが活
性化され、センスアンプに入力された微小差信号は、増
幅され、たとえばビット線D1は接地電位へ下降し、ビッ
ト線▲▼は電源電位Vccへ上昇する。(メモリセルM
Ci1にはLの情報が記憶されていた場合。)実際は、ワ
ード線WLiが上昇し、ビット線D1に情報を読み出した際
にメモリセルMCi1のキャパシタ内の情報は、ビット線D1
との電荷のやりとりで破壊されているため、上述のセン
スアンプの動作は、ビット線D1,▲▼上の微小信号
の増幅のみならず、ビット線に読み出すことにより破壊
されたメモリセルの情報をメモリセルに対して再書き込
み(リフレッシュと言う)をするという機能をも有して
いる。その後列アドレスストローブ▲▼の下降に
より外部アドレス端子に与えられた列アドレス信号(表
記せず)に従い列アドレスストローブ▲▼より生
成された内部信号列スイッチ活性化信号YSWが上昇する
のに伴い、たとえばYSW1が選択され上昇することにより
ビット線対D1,▲▼のデータが共通データ線対I/O,
▲▼へ転送される。転送されたデータは、出力回
路11にて増幅され出力端子Dounから外部へ出力される。
上述の従来技術においては、記憶容量が増大してくるに
従い1本のビット線に接続されたメモリセルの個数が増
加するためビット線の浮遊容量C31が増大し、さまざま
な問題を生じていた。第1には、上述のようにセンスア
ンプを活性化した際には、ビット線D1〜DN▲▼〜▲
▼をそれぞれ電源電圧Vccあるいは設置電位Vssまで
充放電する必要があるが、ビット線の浮遊容量C31の増
大は、充放電に要する時間が増大するという問題であ
る。ビット線対D1,▲▼〜DN,▲▼の増幅が充
分なされていないとすなわち充放電が充分行なわれてい
ないとYSWを活性化させ共通データ線I/O,▲▼に
ビット線を接続することができない。なぜならばビット
線に共通データ線を接続した際には、共通データ線の電
荷がビット線に流入し、情報を破壊する可能性があるた
めである。この結果出力端子Doutからデータ出力の時刻
が遅くなるため性能が悪くなる。第2にビット線浮遊容
量C31の増大は、充放電電流の増大を招き、たとえば接
地電位の浮きや電源電位の下降、ビット線間ノイズの発
生などの問題を生ずる。これに対し、第1図に示すよう
な構成が考えられた。第3図との相違点は、ビット線
D1,▲▼〜DN,▲▼とセンスアンプSA1〜SANと
の間にスイッチ手段としてN型MOSトランジスタによる
トランスファゲートQT1,▲Q▼〜QTN,▲Q▼
が設けられている点である。このトランスファゲートQ
T1〜▲Q▼の目的は、ビット線の浮遊容量C11とセ
ンス節点D1′〜▲▼の浮遊容量C11′とをセンス
アンプ活性化の際に分離し、センスアンプの動作スピー
ドをはやくすることにある。第1図の構成に対する従来
の動作波形図を第6図に示す。トランスファーゲートQ
T1〜▲Q▼の制御信号TGは、リセット期間は高電位
であり、トランスファーゲートQT1〜▲Q▼はONの
状態となっている。第3図の動作説明と全く同一な動作
でワード線WLiが選択され電位が上昇し、メモリセルMCi
1の情報がビット線D1に読み出され、この時TGは高電位
であるためトランスファーゲートQT1はON状態であるた
めこの読み出し情報はそのままセンス節点D1′へ伝送さ
れる。その後トランスファーゲート制御信号TGは下降
し、トランスファーゲートQT1はOFF状態となり、ビット
線D1とセンス節点D1′とは分離される。この状態でセン
スアンプ活性化信号SEN,SEPをそれぞれ上昇,下降させ
ることによって第3図の従来例同様センス節点D1′,▲
▼の微小信号は、増幅されそれぞれ一方は電源電
位Vccへ、他方は接地電位へと充放電が行なわれる。こ
の時センス節点D1′,▲▼の浮遊容量C11′は、
ビット線D1′,▲▼の浮遊容量C11の30%以下と
小さいため増幅スピードがはやい。センス節点D1′,▲
▼の増幅が完了した後、トランスファゲート制御
信号TGの電位を上昇させ、トランスファゲートQT1〜▲
Q▼をON状態にさせビット線D1〜▲▼の充放電
を開始する。この段階で前述のメモリセルへの再書き込
み動作が行なわれる。ビット線D1〜▲▼の充放電が
完了した後は、第3図従来例と全く同様に、たとえばセ
ンス接点D1′▲▼が選択されると列スイッチを形
成しているMOSトランジスタQY1,▲Q▼が制御信号
YSW1によってON状態となりデータは共通データ線対I/O,
▲▼へ転送され、出力回路11を経て出力端子Dout
からデータが出力される。
従い1本のビット線に接続されたメモリセルの個数が増
加するためビット線の浮遊容量C31が増大し、さまざま
な問題を生じていた。第1には、上述のようにセンスア
ンプを活性化した際には、ビット線D1〜DN▲▼〜▲
▼をそれぞれ電源電圧Vccあるいは設置電位Vssまで
充放電する必要があるが、ビット線の浮遊容量C31の増
大は、充放電に要する時間が増大するという問題であ
る。ビット線対D1,▲▼〜DN,▲▼の増幅が充
分なされていないとすなわち充放電が充分行なわれてい
ないとYSWを活性化させ共通データ線I/O,▲▼に
ビット線を接続することができない。なぜならばビット
線に共通データ線を接続した際には、共通データ線の電
荷がビット線に流入し、情報を破壊する可能性があるた
めである。この結果出力端子Doutからデータ出力の時刻
が遅くなるため性能が悪くなる。第2にビット線浮遊容
量C31の増大は、充放電電流の増大を招き、たとえば接
地電位の浮きや電源電位の下降、ビット線間ノイズの発
生などの問題を生ずる。これに対し、第1図に示すよう
な構成が考えられた。第3図との相違点は、ビット線
D1,▲▼〜DN,▲▼とセンスアンプSA1〜SANと
の間にスイッチ手段としてN型MOSトランジスタによる
トランスファゲートQT1,▲Q▼〜QTN,▲Q▼
が設けられている点である。このトランスファゲートQ
T1〜▲Q▼の目的は、ビット線の浮遊容量C11とセ
ンス節点D1′〜▲▼の浮遊容量C11′とをセンス
アンプ活性化の際に分離し、センスアンプの動作スピー
ドをはやくすることにある。第1図の構成に対する従来
の動作波形図を第6図に示す。トランスファーゲートQ
T1〜▲Q▼の制御信号TGは、リセット期間は高電位
であり、トランスファーゲートQT1〜▲Q▼はONの
状態となっている。第3図の動作説明と全く同一な動作
でワード線WLiが選択され電位が上昇し、メモリセルMCi
1の情報がビット線D1に読み出され、この時TGは高電位
であるためトランスファーゲートQT1はON状態であるた
めこの読み出し情報はそのままセンス節点D1′へ伝送さ
れる。その後トランスファーゲート制御信号TGは下降
し、トランスファーゲートQT1はOFF状態となり、ビット
線D1とセンス節点D1′とは分離される。この状態でセン
スアンプ活性化信号SEN,SEPをそれぞれ上昇,下降させ
ることによって第3図の従来例同様センス節点D1′,▲
▼の微小信号は、増幅されそれぞれ一方は電源電
位Vccへ、他方は接地電位へと充放電が行なわれる。こ
の時センス節点D1′,▲▼の浮遊容量C11′は、
ビット線D1′,▲▼の浮遊容量C11の30%以下と
小さいため増幅スピードがはやい。センス節点D1′,▲
▼の増幅が完了した後、トランスファゲート制御
信号TGの電位を上昇させ、トランスファゲートQT1〜▲
Q▼をON状態にさせビット線D1〜▲▼の充放電
を開始する。この段階で前述のメモリセルへの再書き込
み動作が行なわれる。ビット線D1〜▲▼の充放電が
完了した後は、第3図従来例と全く同様に、たとえばセ
ンス接点D1′▲▼が選択されると列スイッチを形
成しているMOSトランジスタQY1,▲Q▼が制御信号
YSW1によってON状態となりデータは共通データ線対I/O,
▲▼へ転送され、出力回路11を経て出力端子Dout
からデータが出力される。
上述した従来の半導体メモリは、第5図,第6図の動作
波形図に示されるように、どちらの例においても行アド
レスストローブ信号▲▼が低電位であり半導体メ
モリが活性化されている期間中にビット線D1,あるいは
▲▼の一方が接地電位まで放電されているので、こ
の状態の期間内に列アドレスストローブ信号▲▼
や外部アドレス信号の変化により内部接地配線にノズル
が生ずると非選択のワード線たとえばWLi+1の電位が
接地電位からメモリセルのMOSトランジスタのしきい値
電圧付近まで浮き上がり、一方ビット線D1がチップ内接
地線のレイアウトから接地電位のままである場合が生
じ、メモリセルMCi+11にHの情報がたくわえられてい
る場合に、メモリセルMCi+11のMOSトランジスタのサブ
スレッシュホルド電流によりメモリセルMCi+11のキャ
パシタから電荷がビット線D1へ流出し、記憶情報の破壊
が生じるという問題点がある。この現象は、メモリセル
のMOSトランジスタのサブスレッシュホルド電流により
生じているので目合せずれ,ゲート電極のゲート長のば
らつきなどによる製造ばらつきによって不良が多発する
ことがあり、また、最悪のケースは、行アドレスストロ
ーブ信号▲▼が低電位の状態を長く維持し、か
つ、この期間中に列アドレスストローブ信号▲▼
および外部アドレス信号の変化の頻度を高くした場合で
あり、検査に多大の時間を要するという大きな問題点を
有している。
波形図に示されるように、どちらの例においても行アド
レスストローブ信号▲▼が低電位であり半導体メ
モリが活性化されている期間中にビット線D1,あるいは
▲▼の一方が接地電位まで放電されているので、こ
の状態の期間内に列アドレスストローブ信号▲▼
や外部アドレス信号の変化により内部接地配線にノズル
が生ずると非選択のワード線たとえばWLi+1の電位が
接地電位からメモリセルのMOSトランジスタのしきい値
電圧付近まで浮き上がり、一方ビット線D1がチップ内接
地線のレイアウトから接地電位のままである場合が生
じ、メモリセルMCi+11にHの情報がたくわえられてい
る場合に、メモリセルMCi+11のMOSトランジスタのサブ
スレッシュホルド電流によりメモリセルMCi+11のキャ
パシタから電荷がビット線D1へ流出し、記憶情報の破壊
が生じるという問題点がある。この現象は、メモリセル
のMOSトランジスタのサブスレッシュホルド電流により
生じているので目合せずれ,ゲート電極のゲート長のば
らつきなどによる製造ばらつきによって不良が多発する
ことがあり、また、最悪のケースは、行アドレスストロ
ーブ信号▲▼が低電位の状態を長く維持し、か
つ、この期間中に列アドレスストローブ信号▲▼
および外部アドレス信号の変化の頻度を高くした場合で
あり、検査に多大の時間を要するという大きな問題点を
有している。
本発明の半導体メモリは、複数のメモリセルが接続され
た複数のビット線対と、複数のセンスアンプよりなる半
導体メモリにおいて、該半導体メモリが外部信号により
制御されたアクティブサイクル期間中は、前記複数のビ
ット線対の中で少なくとも前記アクティブサイクルにて
選択されたメモリセルが接続されたビット線対の電位を
電源電位,接地電位とは異なるおおむね中間の電位に維
持されたことを特徴として有している。
た複数のビット線対と、複数のセンスアンプよりなる半
導体メモリにおいて、該半導体メモリが外部信号により
制御されたアクティブサイクル期間中は、前記複数のビ
ット線対の中で少なくとも前記アクティブサイクルにて
選択されたメモリセルが接続されたビット線対の電位を
電源電位,接地電位とは異なるおおむね中間の電位に維
持されたことを特徴として有している。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
回路構成は、第1図と同一であるが、動作波形図は第4
図に示してある。まず行アドレスストローブ信号▲
▼が下降するとその際に外部アドレスピンに入力され
たアドレス信号を取り込み次にこのアドレス信号に基づ
きワード線駆動回路WD1〜WDnの中から1個のワード線駆
動回路たとえばWDiを選択する。その後▲▼によ
って生成された内部信号RAが上昇することにより選択さ
れたワード線WLiの電位が上昇し、ワード線WLiに接続さ
れたメモリセルMCi1〜MCiN内の記憶情報は、それぞれビ
ット線対D1,▲▼〜DN,▲▼に微小信号として
現われる。この時トランスファゲート制御信号TGは高電
位状態であるためこのビット線対D1,▲▼〜DN,▲
▼上の信号は、センス節点D1′,▲▼〜
DN′,▲▼にも転送される。次に制御信号TGを下
降させトランスファゲートQT1〜▲Q▼をOFF状態に
し、ビット線D1〜▲▼とセンス節点D1′〜▲
▼とを分離した後、センスアンプ活性化信号SEN,SEPを
それぞれ上昇,下降させ、センスアンプSA1〜SANを活性
化させる。センス節点D1′〜▲▼は、前述のよう
に浮遊容量C11′が比較的小さいため高速で増幅され、
たとえば一方のセンス節点D1′は電源電位Vccへ他方の
センス節点▲▼は接地電位へ達する。その後列ア
ドレスストローブ信号▲▼の下降の際に外部から
与えられたアドレス情報に基づいて選択された列スイッ
チトランジスタたとえばQY1,▲Q▼が▲▼
より生成された内部信号YSWの上昇により駆動され、ON
状態となり、センス節点D1′,▲▼のデータが共
通データ線対I/O,▲▼に転送され、出力回路11を
介して出力端子Doutからデータが出力される。この時点
でトランスファゲート制御信号TGは低電位のままであ
り、ビット線D1〜▲▼は充放電されず、中間電位付
近のまま維持されている。その後、たとえば▲
▼,▲▼が上昇し、半導体メモリがリセットされ
るとまず内部信号YSWを下降させ、列スイッチトランジ
スタQY1,▲Q▼をOFF状態にさせることによりセン
ス節点D1′,▲▼と共通データ線対I/O,▲
▼とを切りはなした後、トランスファゲート制御信号TG
を上昇させ、既に活性化されたままのセンスアンプSA1
〜SANによってビット線D1〜▲▼の充放電を開始す
る。これによりビット線対D1,▲▼〜DN,▲▼
の一方は電源電位Vccへ、他方は接地電位へ達する。そ
の後に、ワード線駆動信号RAを下降させワード線WLiを
下降させる。この時点でメモリセルMCi1〜MCiNのリフレ
ッシュが完了する。その後センスアンプ活性化信号SEN,
SEPをリセットすると共に、ビット線センス節点をリセ
ットすることによって動作を完了する。
図に示してある。まず行アドレスストローブ信号▲
▼が下降するとその際に外部アドレスピンに入力され
たアドレス信号を取り込み次にこのアドレス信号に基づ
きワード線駆動回路WD1〜WDnの中から1個のワード線駆
動回路たとえばWDiを選択する。その後▲▼によ
って生成された内部信号RAが上昇することにより選択さ
れたワード線WLiの電位が上昇し、ワード線WLiに接続さ
れたメモリセルMCi1〜MCiN内の記憶情報は、それぞれビ
ット線対D1,▲▼〜DN,▲▼に微小信号として
現われる。この時トランスファゲート制御信号TGは高電
位状態であるためこのビット線対D1,▲▼〜DN,▲
▼上の信号は、センス節点D1′,▲▼〜
DN′,▲▼にも転送される。次に制御信号TGを下
降させトランスファゲートQT1〜▲Q▼をOFF状態に
し、ビット線D1〜▲▼とセンス節点D1′〜▲
▼とを分離した後、センスアンプ活性化信号SEN,SEPを
それぞれ上昇,下降させ、センスアンプSA1〜SANを活性
化させる。センス節点D1′〜▲▼は、前述のよう
に浮遊容量C11′が比較的小さいため高速で増幅され、
たとえば一方のセンス節点D1′は電源電位Vccへ他方の
センス節点▲▼は接地電位へ達する。その後列ア
ドレスストローブ信号▲▼の下降の際に外部から
与えられたアドレス情報に基づいて選択された列スイッ
チトランジスタたとえばQY1,▲Q▼が▲▼
より生成された内部信号YSWの上昇により駆動され、ON
状態となり、センス節点D1′,▲▼のデータが共
通データ線対I/O,▲▼に転送され、出力回路11を
介して出力端子Doutからデータが出力される。この時点
でトランスファゲート制御信号TGは低電位のままであ
り、ビット線D1〜▲▼は充放電されず、中間電位付
近のまま維持されている。その後、たとえば▲
▼,▲▼が上昇し、半導体メモリがリセットされ
るとまず内部信号YSWを下降させ、列スイッチトランジ
スタQY1,▲Q▼をOFF状態にさせることによりセン
ス節点D1′,▲▼と共通データ線対I/O,▲
▼とを切りはなした後、トランスファゲート制御信号TG
を上昇させ、既に活性化されたままのセンスアンプSA1
〜SANによってビット線D1〜▲▼の充放電を開始す
る。これによりビット線対D1,▲▼〜DN,▲▼
の一方は電源電位Vccへ、他方は接地電位へ達する。そ
の後に、ワード線駆動信号RAを下降させワード線WLiを
下降させる。この時点でメモリセルMCi1〜MCiNのリフレ
ッシュが完了する。その後センスアンプ活性化信号SEN,
SEPをリセットすると共に、ビット線センス節点をリセ
ットすることによって動作を完了する。
以上はN型MOSトランジスタをスイッチング素子として
用い、センスアンプとしてCMOS型を用いた場合について
述べた。しかし、これらの部品の選択,ビット線の初期
電位や最終到達電位など設計の都合上の変更は問題では
なく、本願の主旨とするところは、アクティブ期間中メ
モリセルの情報をセンス節点へ伝達した後センス節点と
ビット線とは分離したままにしておくことによりビット
線の充放電を行なわない点にある。
用い、センスアンプとしてCMOS型を用いた場合について
述べた。しかし、これらの部品の選択,ビット線の初期
電位や最終到達電位など設計の都合上の変更は問題では
なく、本願の主旨とするところは、アクティブ期間中メ
モリセルの情報をセンス節点へ伝達した後センス節点と
ビット線とは分離したままにしておくことによりビット
線の充放電を行なわない点にある。
第2図は、本発明の第2の実施例の構成図である。第1
図と異なる点は、ビット線がD1〜▲▼と の2つに分割され第2のトランスファゲートQT1′〜▲
Q▼によって分離されている点である。
図と異なる点は、ビット線がD1〜▲▼と の2つに分割され第2のトランスファゲートQT1′〜▲
Q▼によって分離されている点である。
動作に関しては、前述の第1の実施例とほぼ同一である
が、アクティブ時には、第1の実施例においてトランス
ファゲート制御信号TGを下降させる時刻に第2の実施例
では第1,第2のトランスファゲート制御信号TG,TG2同
時、あるいはTG,TG2の順に下降させ、その後アクティブ
期間中は共に低電位を維持し、ビット線D1〜▲▼,
および を中間電位付近の電位に保ち、リセット時には、第1の
実施例において制御信号TGを上昇させる時刻に第2の実
施例においても制御信号TGを上昇させ、少々時刻を遅ら
せて制御信号TG2を上昇させるものである。すなわち、
ビット線を分割してリフレッシュ時に時分割的に充放電
させる点に特徴を有し、ノイズ発生を低減できる。
が、アクティブ時には、第1の実施例においてトランス
ファゲート制御信号TGを下降させる時刻に第2の実施例
では第1,第2のトランスファゲート制御信号TG,TG2同
時、あるいはTG,TG2の順に下降させ、その後アクティブ
期間中は共に低電位を維持し、ビット線D1〜▲▼,
および を中間電位付近の電位に保ち、リセット時には、第1の
実施例において制御信号TGを上昇させる時刻に第2の実
施例においても制御信号TGを上昇させ、少々時刻を遅ら
せて制御信号TG2を上昇させるものである。すなわち、
ビット線を分割してリフレッシュ時に時分割的に充放電
させる点に特徴を有し、ノイズ発生を低減できる。
以上説明したように本発明は、アクティブ期間に、メモ
リセルの情報をセンス節点に伝達した後センス節点とビ
ット線とを分離し、ビット線の電位を電源電圧と接地電
位との中間電位付近に維持することにより、アクティブ
期間に同一チップ上の他の回路ブロック、たとえば▲
▼系回路ブロックおよび列アドレスバッファ,列ア
ドレスデコーダ回路などの動作に伴うチップ内の接地電
位線ノイズによる非選択ワード線の浮きあるいはしずみ
による非選択メモリセルの記憶情報の破壊を防止するこ
とができるという効果を有する。
リセルの情報をセンス節点に伝達した後センス節点とビ
ット線とを分離し、ビット線の電位を電源電圧と接地電
位との中間電位付近に維持することにより、アクティブ
期間に同一チップ上の他の回路ブロック、たとえば▲
▼系回路ブロックおよび列アドレスバッファ,列ア
ドレスデコーダ回路などの動作に伴うチップ内の接地電
位線ノイズによる非選択ワード線の浮きあるいはしずみ
による非選択メモリセルの記憶情報の破壊を防止するこ
とができるという効果を有する。
さらに、メモリセルのMOSトランジスタのサブスレッシ
ュホルド電流に対する余裕度が大きくなるため、製造バ
ラツキに対して余裕を有するため歩留りの向上が期待で
きると共にメモリセルのMOSトランジスタのショートチ
ャネル化やしきい値電圧を下げることが可能となり、メ
モリセルの小型化、すなわちチップの小型化や高速動作
による高性能化が可能となる効果を有する。
ュホルド電流に対する余裕度が大きくなるため、製造バ
ラツキに対して余裕を有するため歩留りの向上が期待で
きると共にメモリセルのMOSトランジスタのショートチ
ャネル化やしきい値電圧を下げることが可能となり、メ
モリセルの小型化、すなわちチップの小型化や高速動作
による高性能化が可能となる効果を有する。
第1図は、本発明の一実施例の動作を説明するための回
路構成図、第2図は、本発明の第2の実施例を説明する
ための回路構成図、第3図は、現在一般に用いられてい
る回路構成図を示す従来例、第4図は、本発明の一実施
例の動作を説明する動作波形図、第5図は第3図の動作
波形図、第6図は、第1図の回路構成を用いた際の従来
の動作波形図を示す。 WD1〜WDnはワード線駆動回路、WL1〜WLnはワード線、D1
〜▲▼はビット線、 は分割されたビット線、D1′〜▲▼はセンス節
点、MC11〜MCnNは1トランジスタ型メモリセルQT1〜▲
Q▼は第1のトランスファゲートQT1′〜▲Q
▼は第2のトランスファゲート、QY1〜▲Q▼は
列スイッチトランジスタ、QR1〜QRnはワード線リセット
トランジスタ、SA1〜SANはセンスアンプ、SEN,SEPはセ
ンスアンプ活性化信号、I/O,▲▼は、共通データ
線対、11は出力回路、12は▲▼系回路、Doutは出
力端子、GNDは接地電位端子をそれぞれ示す。 ▲▼は行アドレスストローブ、▲▼は列ア
ドレスストローブ、RAはワード線駆動信号、YSWは列ス
イッチ駆動信号を示す。
路構成図、第2図は、本発明の第2の実施例を説明する
ための回路構成図、第3図は、現在一般に用いられてい
る回路構成図を示す従来例、第4図は、本発明の一実施
例の動作を説明する動作波形図、第5図は第3図の動作
波形図、第6図は、第1図の回路構成を用いた際の従来
の動作波形図を示す。 WD1〜WDnはワード線駆動回路、WL1〜WLnはワード線、D1
〜▲▼はビット線、 は分割されたビット線、D1′〜▲▼はセンス節
点、MC11〜MCnNは1トランジスタ型メモリセルQT1〜▲
Q▼は第1のトランスファゲートQT1′〜▲Q
▼は第2のトランスファゲート、QY1〜▲Q▼は
列スイッチトランジスタ、QR1〜QRnはワード線リセット
トランジスタ、SA1〜SANはセンスアンプ、SEN,SEPはセ
ンスアンプ活性化信号、I/O,▲▼は、共通データ
線対、11は出力回路、12は▲▼系回路、Doutは出
力端子、GNDは接地電位端子をそれぞれ示す。 ▲▼は行アドレスストローブ、▲▼は列ア
ドレスストローブ、RAはワード線駆動信号、YSWは列ス
イッチ駆動信号を示す。
Claims (1)
- 【請求項1】複数のビット線対と、第1及び第2のワー
ド線を含む複数のワード線と、それぞれが前記複数のビ
ット線対のひとつ及び前記複数のワード線のひとつに接
続された複数のメモリセルと、それぞれが前記複数のビ
ット線対のひとつに接続された複数のセンスアンプと、
前記複数のビット線対のそれぞれに接続され、それぞれ
前記複数のメモリセルと前記複数のセンスアンプとの間
に設けられた第1のトランスファーゲートと、前記複数
のビット線対のそれぞれに接続され、それぞれ第1のワ
ード線に対応するメモリセルと第2のワード線に対応す
るメモリセルとの間に設けられた第2のトランスファー
ゲートとを有し、ストローブ信号の活性化に応答して前
記複数のワード線のひとつが選択される半導体メモリに
おいて、前記第1のトランスファーゲートは、前記複数
のセンスアンプが活性化される前に非導通状態となる一
方、前記ストローブ信号の非活性化に応答して導通状態
となり、前記第2のトランスファーゲートは前記複数の
センスアンプが活性化される前に非導通状態となる一
方、前記第1のトランスファーゲートが導通状態となっ
てから所定時間経過後に導通状態となることを特徴とす
る半導体メモリ。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63317827A JPH07105140B2 (ja) | 1988-12-16 | 1988-12-16 | 半導体メモリ |
DE68921440T DE68921440T2 (de) | 1988-12-16 | 1989-12-15 | Halbleiterspeicherschaltung mit einer verbesserten Wiederherstellungssteuerschaltung. |
EP89123262A EP0373672B1 (en) | 1988-12-16 | 1989-12-15 | Semiconductor memory circuit having an improved restoring control circuit |
US07/644,865 US5148400A (en) | 1988-12-16 | 1991-01-23 | Semiconductor memory circuit having an improved restoring control circuit |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63317827A JPH07105140B2 (ja) | 1988-12-16 | 1988-12-16 | 半導体メモリ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02162594A JPH02162594A (ja) | 1990-06-22 |
JPH07105140B2 true JPH07105140B2 (ja) | 1995-11-13 |
Family
ID=18092496
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63317827A Expired - Lifetime JPH07105140B2 (ja) | 1988-12-16 | 1988-12-16 | 半導体メモリ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5148400A (ja) |
EP (1) | EP0373672B1 (ja) |
JP (1) | JPH07105140B2 (ja) |
DE (1) | DE68921440T2 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04114395A (ja) * | 1990-09-05 | 1992-04-15 | Nec Corp | 半導体記憶回路 |
JP2704041B2 (ja) * | 1990-11-09 | 1998-01-26 | 日本電気アイシーマイコンシステム株式会社 | 半導体メモリ装置 |
JP2630059B2 (ja) * | 1990-11-09 | 1997-07-16 | 日本電気株式会社 | 半導体メモリ装置 |
US5241503A (en) * | 1991-02-25 | 1993-08-31 | Motorola, Inc. | Dynamic random access memory with improved page-mode performance and method therefor having isolator between memory cells and sense amplifiers |
US5311477A (en) * | 1991-07-17 | 1994-05-10 | Sgs-Thomson Microelectronics, Inc. | Integrated circuit memory device having flash clear |
JP2973668B2 (ja) * | 1991-12-27 | 1999-11-08 | 日本電気株式会社 | 高速ダイナミックランダムアクセスメモリ装置 |
KR960000619B1 (ko) * | 1991-12-27 | 1996-01-10 | 후지쓰 가부시끼가이샤 | 일괄소거형의 불휘발성 반도체 기억장치 및 그의 구동제어회로 |
US6414878B2 (en) | 1992-03-17 | 2002-07-02 | Hitachi, Ltd. | Data line disturbance free memory block divided flash memory and microcomputer having flash memory therein |
US7057937B1 (en) | 1992-03-17 | 2006-06-06 | Renesas Technology Corp. | Data processing apparatus having a flash memory built-in which is rewritable by use of external device |
US5687345A (en) * | 1992-03-17 | 1997-11-11 | Hitachi, Ltd. | Microcomputer having CPU and built-in flash memory that is rewritable under control of the CPU analyzing a command supplied from an external device |
TW231343B (ja) * | 1992-03-17 | 1994-10-01 | Hitachi Seisakusyo Kk | |
CA2117967A1 (en) * | 1993-10-27 | 1995-04-28 | Thomas W. Sander | Tissue repair device and apparatus and method for fabricating same |
DE102004052218B3 (de) | 2004-10-27 | 2006-04-27 | Infineon Technologies Ag | Speicheranordnung mit geringem Stromverbrauch |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3737879A (en) * | 1972-01-05 | 1973-06-05 | Mos Technology Inc | Self-refreshing memory |
US3810124A (en) * | 1972-06-30 | 1974-05-07 | Ibm | Memory accessing system |
JPS6012718B2 (ja) * | 1980-03-28 | 1985-04-03 | 富士通株式会社 | 半導体ダイナミックメモリ |
US4730280A (en) * | 1984-11-20 | 1988-03-08 | Fujitsu Limited | Semiconductor memory device having sense amplifiers with different driving abilities |
US4679172A (en) * | 1985-05-28 | 1987-07-07 | American Telephone And Telegraph Company, At&T Bell Laboratories | Dynamic memory with increased data retention time |
JPS62202397A (ja) * | 1986-02-28 | 1987-09-07 | Fujitsu Ltd | 半導体記憶装置 |
JPH07105137B2 (ja) * | 1987-11-17 | 1995-11-13 | 日本電気株式会社 | 半導体メモリ |
-
1988
- 1988-12-16 JP JP63317827A patent/JPH07105140B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-12-15 EP EP89123262A patent/EP0373672B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-12-15 DE DE68921440T patent/DE68921440T2/de not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-01-23 US US07/644,865 patent/US5148400A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE68921440D1 (de) | 1995-04-06 |
JPH02162594A (ja) | 1990-06-22 |
DE68921440T2 (de) | 1995-11-09 |
EP0373672A3 (en) | 1991-04-17 |
US5148400A (en) | 1992-09-15 |
EP0373672B1 (en) | 1995-03-01 |
EP0373672A2 (en) | 1990-06-20 |
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