JPH0696435A - 磁気ディスク - Google Patents
磁気ディスクInfo
- Publication number
- JPH0696435A JPH0696435A JP24241392A JP24241392A JPH0696435A JP H0696435 A JPH0696435 A JP H0696435A JP 24241392 A JP24241392 A JP 24241392A JP 24241392 A JP24241392 A JP 24241392A JP H0696435 A JPH0696435 A JP H0696435A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- span
- magnetic disk
- waviness
- grain size
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 Ti板を主とする磁気ディスクの基板表面の微
少うねり量を向上させることにより、ヘッドの浮上特性
を改善し、良好なミッシングエラー特性を持ち、信頼性
の高い磁気ディスクを提供する。 【構成】 基板表面の微少うねりのスパンが50μm以下
である磁気ディスク。
少うねり量を向上させることにより、ヘッドの浮上特性
を改善し、良好なミッシングエラー特性を持ち、信頼性
の高い磁気ディスクを提供する。 【構成】 基板表面の微少うねりのスパンが50μm以下
である磁気ディスク。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、小型、薄板化に適し、
良好な表面粗度を有する記録ディスク、特に磁気ディス
クに関するものである。
良好な表面粗度を有する記録ディスク、特に磁気ディス
クに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】磁気ディスク装置は年々小型・薄板化及
び高記録密度化が進められてる。これに伴い、磁気ディ
スクの寸法も130φ×1.905tmmから95φ×1.27t、及び48
φ×0.635tmmへと小型・薄板化が進められており、更な
る小型・薄板化が大きな課題となっている。従来はこの
磁気ディスク用基板としてAl基板の表面にNi-P合金を無
電解メッキしたもの（以降Ni-P/Al基板と記す）を用い
ているが、磁気ディスクの小型・薄板化及び高記録密度
化に伴い、基板表面の平坦度及びグライド特性が問題と
なってきた。また、Ni-P合金は約280℃で磁化するた
め、Ni-P/Al基板はその表面に磁性膜や下地層をスパッ
タする際に基板温度を約280℃以上に保つことができる
し、磁性膜の高保磁力化、更には高記録密度化の障害と
なっている。Ni-P/Al基板に変わるものとしては、ガラ
ス基板が検討されているが、その欠点は壊れ易く信頼性
に欠けることである。Ti基板はこれらNi-P/Al基板やガ
ラス基板の欠点を改良するものであり、融点が1675℃と
高く、機械強度も高いため小型・薄板化及び高温での成
膜にも耐える長所がある。Ti基板を磁気ディスク用基板
として提案するものとしては、例えば特開平2-223017が
あり介在物やピットの少ない組成及び結晶粒径が30μm
以下のものが提案されている。しかし、実際に磁気ディ
スクを作製した時、後に述べるように、本発明で明かに
なった、基板表面のうねり量と磁気ディスクの電磁変換
特性、特に、ミッシングエラー特性との相関については
明確ではなかった。
び高記録密度化が進められてる。これに伴い、磁気ディ
スクの寸法も130φ×1.905tmmから95φ×1.27t、及び48
φ×0.635tmmへと小型・薄板化が進められており、更な
る小型・薄板化が大きな課題となっている。従来はこの
磁気ディスク用基板としてAl基板の表面にNi-P合金を無
電解メッキしたもの（以降Ni-P/Al基板と記す）を用い
ているが、磁気ディスクの小型・薄板化及び高記録密度
化に伴い、基板表面の平坦度及びグライド特性が問題と
なってきた。また、Ni-P合金は約280℃で磁化するた
め、Ni-P/Al基板はその表面に磁性膜や下地層をスパッ
タする際に基板温度を約280℃以上に保つことができる
し、磁性膜の高保磁力化、更には高記録密度化の障害と
なっている。Ni-P/Al基板に変わるものとしては、ガラ
ス基板が検討されているが、その欠点は壊れ易く信頼性
に欠けることである。Ti基板はこれらNi-P/Al基板やガ
ラス基板の欠点を改良するものであり、融点が1675℃と
高く、機械強度も高いため小型・薄板化及び高温での成
膜にも耐える長所がある。Ti基板を磁気ディスク用基板
として提案するものとしては、例えば特開平2-223017が
あり介在物やピットの少ない組成及び結晶粒径が30μm
以下のものが提案されている。しかし、実際に磁気ディ
スクを作製した時、後に述べるように、本発明で明かに
なった、基板表面のうねり量と磁気ディスクの電磁変換
特性、特に、ミッシングエラー特性との相関については
明確ではなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術に記載し
たTi基板を使用した磁気ディスク基板では、通常Tiを構
成する各粒の研磨速度が異なるため、その表面を精密研
磨又は精密研削を行った場合に結晶粒による凹凸が生
じ、平滑な表面に形成することが困難である。このた
め、基板表面に均一なテクスチャー加工を行うことが出
来なくなる欠点がある。また、Ti基板を使用した磁気デ
ィスクではTi基板表面の凹凸に起因して電磁変換特性、
特に、ミッシングエラー特性が劣る問題点があることが
わかった。そこで、本発明はTi板を主とする磁気ディス
クの基板表面の微少うねり量を向上させることにより、
ヘッドの浮上特性を改善し、良好なミッシングエラー特
性を持ち、信頼性の高い磁気ディスクを提供することで
ある。
たTi基板を使用した磁気ディスク基板では、通常Tiを構
成する各粒の研磨速度が異なるため、その表面を精密研
磨又は精密研削を行った場合に結晶粒による凹凸が生
じ、平滑な表面に形成することが困難である。このた
め、基板表面に均一なテクスチャー加工を行うことが出
来なくなる欠点がある。また、Ti基板を使用した磁気デ
ィスクではTi基板表面の凹凸に起因して電磁変換特性、
特に、ミッシングエラー特性が劣る問題点があることが
わかった。そこで、本発明はTi板を主とする磁気ディス
クの基板表面の微少うねり量を向上させることにより、
ヘッドの浮上特性を改善し、良好なミッシングエラー特
性を持ち、信頼性の高い磁気ディスクを提供することで
ある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、Ti基板を使用
した磁気ディスクであって、上記目的を達成するためデ
ィスク表面の微少うねりのスパンが50μm以下、望まし
くは30μm以下であることを特徴とする磁気ディスクで
ある。
した磁気ディスクであって、上記目的を達成するためデ
ィスク表面の微少うねりのスパンが50μm以下、望まし
くは30μm以下であることを特徴とする磁気ディスクで
ある。
【０００５】
【作用】上記の磁気ディスクは基板表面の微少うねりの
スパンが50μm以下であり、磁気ヘッドのスライダー部
の寸法幅2.0mm、長さ2.8mmに対して充分に小さい。この
ため、基板表面の微少凹凸によるヘッド浮上特性への影
響が減少し、ヘッドの浮上特性が安定化するとともに、
ミッシングエラー等の電磁変換特性が改善される。Ti基
板の表面はAl2O3砥粒を用い、メカノケミカル法を用い
て研磨するが、研磨後の基板表面の面粗さRa,Rmaxは研
磨条件とともにTi基板の結晶粒の大きさにも依存する。
これは各結晶粒の持つ結晶方位により各結晶粒の研磨速
度が異なるためと考えられる。微少うねりのスパンも同
様の理由で結晶粒の大きさに依存する。Tiの結晶粒の大
きさは50μm以下にするのが望ましい。
スパンが50μm以下であり、磁気ヘッドのスライダー部
の寸法幅2.0mm、長さ2.8mmに対して充分に小さい。この
ため、基板表面の微少凹凸によるヘッド浮上特性への影
響が減少し、ヘッドの浮上特性が安定化するとともに、
ミッシングエラー等の電磁変換特性が改善される。Ti基
板の表面はAl2O3砥粒を用い、メカノケミカル法を用い
て研磨するが、研磨後の基板表面の面粗さRa,Rmaxは研
磨条件とともにTi基板の結晶粒の大きさにも依存する。
これは各結晶粒の持つ結晶方位により各結晶粒の研磨速
度が異なるためと考えられる。微少うねりのスパンも同
様の理由で結晶粒の大きさに依存する。Tiの結晶粒の大
きさは50μm以下にするのが望ましい。
【０００６】
（実施例１）粒径が50μmのTi基板を用い、メカノケミ
カルポリッシュを行った後、基板上に所定のテクスチャ
ー加工を施し、Cr膜、Co磁性膜、C保護膜及び潤滑膜を
形成することにより表面の微少うねりのスパンが50μm
である磁気ディスクを作製した。作製した磁気ディスク
の表面を光学顕微鏡で観察した結果、テクスチャーは平
均粗さRaが50A、最大値Rmaxが600Aで基板全域に施され
ていた。作製した磁気ディスク10枚のミッシングエラー
特性を測定周波数3.3MHzに於て、トラック幅18μmのヘ
ッドを用いて測定した結果を図１に示す。ミッシング・
パルス・シュレッショルドが50,55,60,62,64,66%と増加
させた場合、カウントされるエラー数の平均値が60,63,
97,185,276,945ケと比較的良好であり、かつ、そのσn-
1は30,42,60,73,79,102ケと特性のバラツキが小さく、
品質管理が比較的容易であることを示している。 （比較例１）粒径が70μmのTi基板を用い、実施例１と
同じプロセスを用いて、表面の微少うねりのスパンが70
μmである10枚の磁気ディスクを作製した。実施例１と
同一条件で測定したミッシング・エラー特性を図２に示
す。ミッシング・パルス・シュレッショルドが50,55,6
0,62%の時、カウントされるエラー数は137,159,414,765
ケと多く、そのσn-1が141,152,271,436ケとバラツキが
異常に大きく、品質管理が難しいことを示している。
カルポリッシュを行った後、基板上に所定のテクスチャ
ー加工を施し、Cr膜、Co磁性膜、C保護膜及び潤滑膜を
形成することにより表面の微少うねりのスパンが50μm
である磁気ディスクを作製した。作製した磁気ディスク
の表面を光学顕微鏡で観察した結果、テクスチャーは平
均粗さRaが50A、最大値Rmaxが600Aで基板全域に施され
ていた。作製した磁気ディスク10枚のミッシングエラー
特性を測定周波数3.3MHzに於て、トラック幅18μmのヘ
ッドを用いて測定した結果を図１に示す。ミッシング・
パルス・シュレッショルドが50,55,60,62,64,66%と増加
させた場合、カウントされるエラー数の平均値が60,63,
97,185,276,945ケと比較的良好であり、かつ、そのσn-
1は30,42,60,73,79,102ケと特性のバラツキが小さく、
品質管理が比較的容易であることを示している。 （比較例１）粒径が70μmのTi基板を用い、実施例１と
同じプロセスを用いて、表面の微少うねりのスパンが70
μmである10枚の磁気ディスクを作製した。実施例１と
同一条件で測定したミッシング・エラー特性を図２に示
す。ミッシング・パルス・シュレッショルドが50,55,6
0,62%の時、カウントされるエラー数は137,159,414,765
ケと多く、そのσn-1が141,152,271,436ケとバラツキが
異常に大きく、品質管理が難しいことを示している。
【０００７】
【発明の効果】本発明によれば、280℃以上の高温で磁
性膜を形成でき、ディスクの表面の微少うねりのスパン
が小さいため、ミッシング・エラー特性の向上が達成で
きる。
性膜を形成でき、ディスクの表面の微少うねりのスパン
が小さいため、ミッシング・エラー特性の向上が達成で
きる。
【図１】本発明に係る磁気ディスクの一実施例を示すミ
ッシングエラー特性図
ッシングエラー特性図
【図２】比較例の磁気ディスクのミッシングエラー特性
図である。
図である。
Claims (1)
- 【請求項１】 基板表面の微少うねりのスパンが50μm
以下であることを特徴とする磁気ディスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24241392A JPH0696435A (ja) | 1992-09-11 | 1992-09-11 | 磁気ディスク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24241392A JPH0696435A (ja) | 1992-09-11 | 1992-09-11 | 磁気ディスク |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0696435A true JPH0696435A (ja) | 1994-04-08 |
Family
ID=17088760
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24241392A Pending JPH0696435A (ja) | 1992-09-11 | 1992-09-11 | 磁気ディスク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0696435A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4889247A (en) * | 1988-09-16 | 1989-12-26 | Continental Pet Technologies, Inc. | Plastic container, preform for and method of making same |
-
1992
- 1992-09-11 JP JP24241392A patent/JPH0696435A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4889247A (en) * | 1988-09-16 | 1989-12-26 | Continental Pet Technologies, Inc. | Plastic container, preform for and method of making same |
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