JP3237154B2 - 浮動型磁気ヘッド - Google Patents
浮動型磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JP3237154B2 JP3237154B2 JP33469491A JP33469491A JP3237154B2 JP 3237154 B2 JP3237154 B2 JP 3237154B2 JP 33469491 A JP33469491 A JP 33469491A JP 33469491 A JP33469491 A JP 33469491A JP 3237154 B2 JP3237154 B2 JP 3237154B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic head
- slider
- depth
- phase
- floating magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、薄膜媒体を使用した小
型ハードディスク装置等に好適に用いられる浮動型磁気
ヘッドに関するものである。
型ハードディスク装置等に好適に用いられる浮動型磁気
ヘッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、小型ハードディスク装置において
は、浮動型磁気ヘッドを磁気記録媒体の停止時にはその
上で停止させ、磁気記録媒体の回転とともに磁気記録媒
体から一定の間隔（以下、浮上量とする）で浮上させる
というコンタクト・スタート・ストップ（以下、ＣＳＳ
と略す）方式が採用されている。またその高記録密度化
は主に浮上量を小さくすることでなされており、そのた
めに様々な努力が行われている。
は、浮動型磁気ヘッドを磁気記録媒体の停止時にはその
上で停止させ、磁気記録媒体の回転とともに磁気記録媒
体から一定の間隔（以下、浮上量とする）で浮上させる
というコンタクト・スタート・ストップ（以下、ＣＳＳ
と略す）方式が採用されている。またその高記録密度化
は主に浮上量を小さくすることでなされており、そのた
めに様々な努力が行われている。
【０００３】以下に従来の浮動型磁気ヘッドについて説
明する。浮動型磁気ヘッドは、表面から１６０ｎｍにお
ける表面硬度（深さを１６０ｎｍにするのはデータの精
度を高めるためである）が６００〜１４００(kgf/mm2)
であるＣａＴｉＯ3，ＳｒＴｉＯ3を主成分とする相の混
合体で形成されたスライダとＭｎ−Ｚｎフェライトコア
及びガラスから構成される通称コンポジットヘッドと呼
ばれる磁気ヘッドが用いられている。この浮動型磁気ヘ
ッドの磁気記録媒体対向面の加工は、微小なダイヤモン
ド粒子と錫製のラッピング定盤を用いた湿式軟質金属ラ
ップにより行われている。
明する。浮動型磁気ヘッドは、表面から１６０ｎｍにお
ける表面硬度（深さを１６０ｎｍにするのはデータの精
度を高めるためである）が６００〜１４００(kgf/mm2)
であるＣａＴｉＯ3，ＳｒＴｉＯ3を主成分とする相の混
合体で形成されたスライダとＭｎ−Ｚｎフェライトコア
及びガラスから構成される通称コンポジットヘッドと呼
ばれる磁気ヘッドが用いられている。この浮動型磁気ヘ
ッドの磁気記録媒体対向面の加工は、微小なダイヤモン
ド粒子と錫製のラッピング定盤を用いた湿式軟質金属ラ
ップにより行われている。
【０００４】しかし、湿式軟質金属ラップ加工によるコ
ンポジットヘッドは、ＣＳＳ特性と呼ばれるヘッド・デ
ィスク間の摩擦摩耗特性が悪く、特に前述したように低
浮上量化が求められている今日、ＣＳＳ特性の改善は極
めて重要な課題となっている。
ンポジットヘッドは、ＣＳＳ特性と呼ばれるヘッド・デ
ィスク間の摩擦摩耗特性が悪く、特に前述したように低
浮上量化が求められている今日、ＣＳＳ特性の改善は極
めて重要な課題となっている。
【０００５】そこで、コンポジットヘッドのＣＳＳ特性
を改善する方法として、磁気記録媒体との接触面積を減
らす観点から、コンポジットヘッドの磁気記録媒体対向
面をある程度粗すことが有効とされ、粗い粒子を用いて
ラッピング加工する方法や、特開平１−２５１３０８号
公報に開示されたような逆スパッタ法を用いる方法等に
よってＣＳＳ特性の改善が図られている。
を改善する方法として、磁気記録媒体との接触面積を減
らす観点から、コンポジットヘッドの磁気記録媒体対向
面をある程度粗すことが有効とされ、粗い粒子を用いて
ラッピング加工する方法や、特開平１−２５１３０８号
公報に開示されたような逆スパッタ法を用いる方法等に
よってＣＳＳ特性の改善が図られている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の粗い粒子を用いて加工する方法では、スクラッチを発
生させるという問題点があり、一方、逆スパッタ法等を
用いる方法では、その応用性及び作業性の点より量産性
に欠けるという問題点を有していた。特にコンポジット
ヘッドにおいては、それぞれ物性の異なる３種の材料、
すなわち非磁性セラミックスとＭｎ−Ｚｎフェライト及
びガラスからなるが、ガラスとＭｎ−Ｚｎフェライトの
物理的エッチング速度が非磁性セラミックスの物理的エ
ッチング速度より大きいために、これらがスライダ表面
より大きく削られてしまうという問題点があり、特にガ
ラス部の凹部は５０００Åにも及び、コア強度の面から
大きな問題点となっている。これを防止するにはガラス
部とＭｎ−Ｚｎフェライト部を完全にマスクして加工せ
ねばならず、作業工数が増え、生産性を大きく低下させ
るという問題点があった。また、微小な無機物系の塵や
有機物が存在すると、同様なエッチング速度の不均一化
が生じ、凹凸量のコントロール化が困難で、更にＣＳＳ
時にヘッドクラッシュを引き起こす突起が発生し易く品
質上信頼性に欠け、また製品歩留りが低いという問題点
があった。更に、非磁性セラミックス部においては、逆
に物理的エッチング速度が極めて遅く、逆スパッタ法に
よっても凹凸を発生させること自体が困難であるという
問題点があった。
の粗い粒子を用いて加工する方法では、スクラッチを発
生させるという問題点があり、一方、逆スパッタ法等を
用いる方法では、その応用性及び作業性の点より量産性
に欠けるという問題点を有していた。特にコンポジット
ヘッドにおいては、それぞれ物性の異なる３種の材料、
すなわち非磁性セラミックスとＭｎ−Ｚｎフェライト及
びガラスからなるが、ガラスとＭｎ−Ｚｎフェライトの
物理的エッチング速度が非磁性セラミックスの物理的エ
ッチング速度より大きいために、これらがスライダ表面
より大きく削られてしまうという問題点があり、特にガ
ラス部の凹部は５０００Åにも及び、コア強度の面から
大きな問題点となっている。これを防止するにはガラス
部とＭｎ−Ｚｎフェライト部を完全にマスクして加工せ
ねばならず、作業工数が増え、生産性を大きく低下させ
るという問題点があった。また、微小な無機物系の塵や
有機物が存在すると、同様なエッチング速度の不均一化
が生じ、凹凸量のコントロール化が困難で、更にＣＳＳ
時にヘッドクラッシュを引き起こす突起が発生し易く品
質上信頼性に欠け、また製品歩留りが低いという問題点
があった。更に、非磁性セラミックス部においては、逆
に物理的エッチング速度が極めて遅く、逆スパッタ法に
よっても凹凸を発生させること自体が困難であるという
問題点があった。
【０００７】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、簡単な工程で生産でき、ＣＳＳ特性を向上させ、信
頼性、生産性に優れ低原価で量産性に適した浮動型磁気
ヘッドを提供することを目的とする。
で、簡単な工程で生産でき、ＣＳＳ特性を向上させ、信
頼性、生産性に優れ低原価で量産性に適した浮動型磁気
ヘッドを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の浮動型磁気ヘッドは、表面から１６０ｎｍの
深さにおける表面硬度が３５０〜８００（ｋｇｆ／ｍｍ
2）である無機酸化物の母相と、表面から１６０ｎｍの
深さにおける表面硬度が６００〜１０００（ｋｇｆ／ｍ
ｍ2）である、前記母相内に粒子または粒子群として存
在する無機酸化物の相とを有するスライダを備えた浮動
型磁気ヘッドであって、前記スライダの磁気記録媒体と
の対向面に、前記母相内に粒子または粒子群として存在
する無機酸化物の相が１５０Å〜１０００Åの深さの凹
部を有し、及び／又は距離５５μｍにおける接触式表面
粗さ計での表面粗さ曲線上に５０Å以上の深さの凹部が
平均１．５個以上好ましくは２個以上存在する形状に加
工された構成を有している。
に本発明の浮動型磁気ヘッドは、表面から１６０ｎｍの
深さにおける表面硬度が３５０〜８００（ｋｇｆ／ｍｍ
2）である無機酸化物の母相と、表面から１６０ｎｍの
深さにおける表面硬度が６００〜１０００（ｋｇｆ／ｍ
ｍ2）である、前記母相内に粒子または粒子群として存
在する無機酸化物の相とを有するスライダを備えた浮動
型磁気ヘッドであって、前記スライダの磁気記録媒体と
の対向面に、前記母相内に粒子または粒子群として存在
する無機酸化物の相が１５０Å〜１０００Åの深さの凹
部を有し、及び／又は距離５５μｍにおける接触式表面
粗さ計での表面粗さ曲線上に５０Å以上の深さの凹部が
平均１．５個以上好ましくは２個以上存在する形状に加
工された構成を有している。
【０００９】
【作用】この構成によって、浮動型磁気ヘッドの磁気記
録媒体との対向面における磁気記録媒体との接触面積を
減少させることができ、ＣＳＳ特性を向上させることが
できる。
録媒体との対向面における磁気記録媒体との接触面積を
減少させることができ、ＣＳＳ特性を向上させることが
できる。
【００１０】
【実施例】以下本発明の一実施例について、図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【００１１】図１は本発明の一実施例における浮動型磁
気ヘッドの外観斜視図である。１は非磁性材料からなる
スライダ、２はＭｎ−ＺｎフェライトからなるＭｎ−Ｚ
ｎフェライトコア、３はＭｎ−Ｚｎフェライトコア２を
スライダ１に接着するためのガラス、ａは適度な凹凸状
に加工されたスライダ１の磁気記録媒体との対向面であ
る。
気ヘッドの外観斜視図である。１は非磁性材料からなる
スライダ、２はＭｎ−ＺｎフェライトからなるＭｎ−Ｚ
ｎフェライトコア、３はＭｎ−Ｚｎフェライトコア２を
スライダ１に接着するためのガラス、ａは適度な凹凸状
に加工されたスライダ１の磁気記録媒体との対向面であ
る。
【００１２】ここで、スライダの非磁性材料としては次
のものを調整した。非磁性材料Ａ，Ｂは、ＣａＴｉ
Ｏ3，ＳｒＴｉＯ3，ＴｉＯ2，Ｐ2Ｏ5，ＳｉＯ2，ＺｒＯ
2，Ａｌ2Ｏ3の固溶体又は混合物あるいはその構成元素
からなる化合物で略構成される焼結体であって、その主
な組成は、ＣａＴｉＯ3，ＳｒＴｉＯ3，ＴｉＯ2，Ｐ2Ｏ
5，ＳｉＯ2，ＺｒＯ2，Ａｌ2Ｏ3換算で、非磁性材料Ａ
では、４２，３７，１４，２，１．５，３，０．５mol%
であり、非磁性材料Ｂでは、４３，３８，１４，１，
１，２．７，０．３mol%である。
のものを調整した。非磁性材料Ａ，Ｂは、ＣａＴｉ
Ｏ3，ＳｒＴｉＯ3，ＴｉＯ2，Ｐ2Ｏ5，ＳｉＯ2，ＺｒＯ
2，Ａｌ2Ｏ3の固溶体又は混合物あるいはその構成元素
からなる化合物で略構成される焼結体であって、その主
な組成は、ＣａＴｉＯ3，ＳｒＴｉＯ3，ＴｉＯ2，Ｐ2Ｏ
5，ＳｉＯ2，ＺｒＯ2，Ａｌ2Ｏ3換算で、非磁性材料Ａ
では、４２，３７，１４，２，１．５，３，０．５mol%
であり、非磁性材料Ｂでは、４３，３８，１４，１，
１，２．７，０．３mol%である。
【００１３】次いで、各々の非磁性材料Ａ，Ｂを焼成し
てスライダを作製した。以上のように構成された本実施
例における浮動型磁気ヘッドについて、以下その製造方
法を説明する。
てスライダを作製した。以上のように構成された本実施
例における浮動型磁気ヘッドについて、以下その製造方
法を説明する。
【００１４】Ｍｎ−Ｚｎフェライトコア２を溶融したガ
ラス３を用いてスライダ１に接着して作製された浮動型
磁気ヘッドを加工用治具（図示せず）上に固定する。次
いで、微細なダイヤモンド粒子等をラッピング砥粒と
し、アクリル樹脂等の高弾性体をラッピング定盤とする
加工機を用いて、スライダ１の磁気記録媒体対向面を軟
質ラップし、浮動型磁気ヘッドを作製した。
ラス３を用いてスライダ１に接着して作製された浮動型
磁気ヘッドを加工用治具（図示せず）上に固定する。次
いで、微細なダイヤモンド粒子等をラッピング砥粒と
し、アクリル樹脂等の高弾性体をラッピング定盤とする
加工機を用いて、スライダ１の磁気記録媒体対向面を軟
質ラップし、浮動型磁気ヘッドを作製した。
【００１５】（実験例１，２）以上のようにして製造し
た浮動型磁気ヘッドについて、そのスライダの鏡面加工
部の表面硬度及び表面積占有率を検討した。
た浮動型磁気ヘッドについて、そのスライダの鏡面加工
部の表面硬度及び表面積占有率を検討した。
【００１６】スライダの鏡面加工部の模式図を図２に示
す。この模式図２における各部の表面から１６０ｎｍに
おける表面硬度及び表面積占有率を測定した。この結果
を（表１）に示す。
す。この模式図２における各部の表面から１６０ｎｍに
おける表面硬度及び表面積占有率を測定した。この結果
を（表１）に示す。
【００１７】実験例１は非磁性材料Ａを、実験例２は非
磁性材料Ｂを用いて作製したスライダを用いて行った。
磁性材料Ｂを用いて作製したスライダを用いて行った。
【００１８】
【表１】
【００１９】ここで、表面硬度は島津製作所製ダイナミ
ック硬度計を用い、最大荷重１ｇｆにおける負荷と圧子
の挿入深さから求めた。表面積占有率は、鏡面のＳＥＭ
写真（２０００倍）より求めた。
ック硬度計を用い、最大荷重１ｇｆにおける負荷と圧子
の挿入深さから求めた。表面積占有率は、鏡面のＳＥＭ
写真（２０００倍）より求めた。
【００２０】この（表１）から明らかなように、非磁性
材料Ａ及びＢを用いたスライダの鏡面は表面積において
４．５％，２％を占める表面から１６０ｎｍにおける表
面硬度３５０〜８００(kgf/mm2) の酸化物の相と、前記
表面硬度６００〜１０００(kgf/mm2) の酸化物の相の混
合体から構成されていることがわかった。
材料Ａ及びＢを用いたスライダの鏡面は表面積において
４．５％，２％を占める表面から１６０ｎｍにおける表
面硬度３５０〜８００(kgf/mm2) の酸化物の相と、前記
表面硬度６００〜１０００(kgf/mm2) の酸化物の相の混
合体から構成されていることがわかった。
【００２１】（実験例３〜６）次に、図１に示す浮動型
磁気ヘッドを前記材料Ａ又はＢのいずれか１を用いて作
製し、次の条件でラッピングを行い、その表面形状を検
討した。
磁気ヘッドを前記材料Ａ又はＢのいずれか１を用いて作
製し、次の条件でラッピングを行い、その表面形状を検
討した。
【００２２】尚、ラッピング定盤としてアクリル樹脂製
のものを用い、ラッピング砥粒として平均粒径０．１２
μｍのダイヤモンド粒子を用いた。ラッピング定盤の回
転数は４０rpm と６０rpm の２種類で行った。各実験例
について、浮動型磁気ヘッド３０個を各々作製した。
のものを用い、ラッピング砥粒として平均粒径０．１２
μｍのダイヤモンド粒子を用いた。ラッピング定盤の回
転数は４０rpm と６０rpm の２種類で行った。各実験例
について、浮動型磁気ヘッド３０個を各々作製した。
【００２３】次に、この加工面の表面形状を、各々の実
験例の浮動型磁気ヘッドについて、触針式表面粗さ計に
て５５μｍの距離にわたり計１０箇所測定した。
験例の浮動型磁気ヘッドについて、触針式表面粗さ計に
て５５μｍの距離にわたり計１０箇所測定した。
【００２４】なお加工面の表面形状は、測定値をパソコ
ンに取り込み解析して求めた。触針式表面粗さ計は、ダ
イヤモンド製の先端半径０．１μｍの触針を用いて、倍
率１００万の条件にて測定した。その測定結果を（表
２）に示す。
ンに取り込み解析して求めた。触針式表面粗さ計は、ダ
イヤモンド製の先端半径０．１μｍの触針を用いて、倍
率１００万の条件にて測定した。その測定結果を（表
２）に示す。
【００２５】
【表２】
【００２６】次に、実験例３と実験例５の浮動型磁気ヘ
ッドについて、接触式表面粗さ計を用い表面形状を測定
した。その結果を図３に示す。
ッドについて、接触式表面粗さ計を用い表面形状を測定
した。その結果を図３に示す。
【００２７】図３（ａ）は実験例３の表面形状を示す粗
さ曲線のグラフであり、図３（ｂ）は実験例５の表面形
状を示す粗さ曲線のグラフである。
さ曲線のグラフであり、図３（ｂ）は実験例５の表面形
状を示す粗さ曲線のグラフである。
【００２８】上記の表面形状を有する各実験例の浮動型
磁気ヘッドをアセンブリし、３．５インチハードディス
クを用いてＣＳＳ特性の測定を行い、各浮動型磁気ヘッ
ドのＣＳＳ特性を評価した。
磁気ヘッドをアセンブリし、３．５インチハードディス
クを用いてＣＳＳ特性の測定を行い、各浮動型磁気ヘッ
ドのＣＳＳ特性を評価した。
【００２９】このＣＳＳ特性の測定に用いたハードディ
スクは次の通りである。 基板；アルミニュウム 下地；Ｃｒ 磁性層；Ｃｏ−Ｎｉスパッタ膜 表面層；カーボンスパッタ層及びカーボン層表面に塗布
されたフッソ系個体潤滑剤層 Ｄｉｓｋの表面粗さ；Ｒａ≒５５Å ＣＳＳテスト時のディスク駆動条件は以下の通りであ
る。
スクは次の通りである。 基板；アルミニュウム 下地；Ｃｒ 磁性層；Ｃｏ−Ｎｉスパッタ膜 表面層；カーボンスパッタ層及びカーボン層表面に塗布
されたフッソ系個体潤滑剤層 Ｄｉｓｋの表面粗さ；Ｒａ≒５５Å ＣＳＳテスト時のディスク駆動条件は以下の通りであ
る。
【００３０】ヘッド圧力；９３ｍＮ（９．５ｇｆ） 測定位置；２５ｍｍ 定常回転数迄の所要時間；４秒 定常回転数と時間；２３００ｒｐｍで１秒 定常回転数から停止する迄の所要時間；４秒 回転と回転間の停止時間；１秒 上記の測定によって得られた測定結果を（表３）に示
す。
す。
【００３１】
【表３】
【００３２】μはＣＳＳ２万回後における回転数１ｒｐ
ｍのディスクとヘッド間の動摩擦係数μｋの平均値、Δ
μはＣＳＳ１回後とＣＳＳ２万回後における前記動摩擦
係数の平均値の増加量である。
ｍのディスクとヘッド間の動摩擦係数μｋの平均値、Δ
μはＣＳＳ１回後とＣＳＳ２万回後における前記動摩擦
係数の平均値の増加量である。
【００３３】（比較例１〜４）実験例と同一の材料を用
いて浮動型磁気ヘッドを作製し、スライダ１の磁気記録
媒体対向面ａを軟質金属ラップにより加工した。
いて浮動型磁気ヘッドを作製し、スライダ１の磁気記録
媒体対向面ａを軟質金属ラップにより加工した。
【００３４】加工方法は、ラッピング定盤として、錫製
のものを用いた点を除いては、実験例と同様にして行
い、各比較例について、浮動型磁気ヘッド３０個を各々
作製した。
のものを用いた点を除いては、実験例と同様にして行
い、各比較例について、浮動型磁気ヘッド３０個を各々
作製した。
【００３５】次にこの加工面の表面形状を実験例と同様
にして測定した。その測定結果を（表２）に示す。
にして測定した。その測定結果を（表２）に示す。
【００３６】次に、比較例１及び比較例３の浮動型磁気
ヘッドについて、接触式表面粗さ計を用い実験例と同様
にして表面形状を測定した。その結果を図４に示す。
ヘッドについて、接触式表面粗さ計を用い実験例と同様
にして表面形状を測定した。その結果を図４に示す。
【００３７】図４（ａ）は比較例１の表面形状を示す粗
さ曲線のグラフであり、図４（ｂ）は比較例３の表面形
状を示す粗さ曲線のグラフである。
さ曲線のグラフであり、図４（ｂ）は比較例３の表面形
状を示す粗さ曲線のグラフである。
【００３８】上記の表面形状を有する各々の比較例の浮
動型磁気ヘッドをアセンブリし、３．５インチハードデ
ィスクを用い、実験例と同一の条件でＣＳＳ特性を測定
した。その結果を（表３）に示す。
動型磁気ヘッドをアセンブリし、３．５インチハードデ
ィスクを用い、実験例と同一の条件でＣＳＳ特性を測定
した。その結果を（表３）に示す。
【００３９】図３及び（表２）より明らかなように、実
験例３乃至６の浮動型磁気ヘッドの加工面においては、
材料及び定盤回転数を問わず、深さ数十〜１０００Åの
凹部と、この凹部に起因する明確な凹凸形状が得られ
た。一方、図４及び（表２）より明らかなように、比較
例１乃至４の磁気ヘッドの加工面においては、深さ数十
〜１５０Å程の凹部は存在したものの、明確な凹凸形状
は得られなかった。また実験例と比較例の浮動型磁気ヘ
ッド間においては、深さ５０Å以上の前記凹部の発生頻
度が異なり、実験例においては平均で１．５個以上の凹
部が粗さ曲線上で存在したのに対し、一方比較例におい
てはこの個数は、０．３〜０．８個であった。
験例３乃至６の浮動型磁気ヘッドの加工面においては、
材料及び定盤回転数を問わず、深さ数十〜１０００Åの
凹部と、この凹部に起因する明確な凹凸形状が得られ
た。一方、図４及び（表２）より明らかなように、比較
例１乃至４の磁気ヘッドの加工面においては、深さ数十
〜１５０Å程の凹部は存在したものの、明確な凹凸形状
は得られなかった。また実験例と比較例の浮動型磁気ヘ
ッド間においては、深さ５０Å以上の前記凹部の発生頻
度が異なり、実験例においては平均で１．５個以上の凹
部が粗さ曲線上で存在したのに対し、一方比較例におい
てはこの個数は、０．３〜０．８個であった。
【００４０】なおこの凹部は、ＣａＴｉＯ3，ＳｒＴｉ
Ｏ3及びその固溶体又はＴｉＯ2又は微量のＰ，Ｓｉ，Ｚ
ｒ，Ａｌが拡散した母相とは組成が異なり、Ｐ，Ｓｉ，
Ｚｒ，Ａｌに富んだＴｉ，Ｃａ，Ｓｒの酸化物の相であ
った。
Ｏ3及びその固溶体又はＴｉＯ2又は微量のＰ，Ｓｉ，Ｚ
ｒ，Ａｌが拡散した母相とは組成が異なり、Ｐ，Ｓｉ，
Ｚｒ，Ａｌに富んだＴｉ，Ｃａ，Ｓｒの酸化物の相であ
った。
【００４１】また、（表３）より明らかなように、実験
例の浮動型磁気ヘッドにおいては、μの値が０．２〜
０．２４と小さく安定していた。又Δμの値はどの実験
例においても略０であり、ＣＳＳ特性が優れていること
を示していた。特に材料Ａを用いた実験例３及び４のΔ
μの値が負となり、極めて高いＣＳＳ特性を持つことが
わかった。
例の浮動型磁気ヘッドにおいては、μの値が０．２〜
０．２４と小さく安定していた。又Δμの値はどの実験
例においても略０であり、ＣＳＳ特性が優れていること
を示していた。特に材料Ａを用いた実験例３及び４のΔ
μの値が負となり、極めて高いＣＳＳ特性を持つことが
わかった。
【００４２】一方、比較例の浮動型磁気ヘッドにおいて
は、μの値が０．２８〜０．３６と大きく、Δμの値も
０．０６〜０．１７とバラツキが大きなことから、ＣＳ
Ｓ特性が劣っていることがわかった。
は、μの値が０．２８〜０．３６と大きく、Δμの値も
０．０６〜０．１７とバラツキが大きなことから、ＣＳ
Ｓ特性が劣っていることがわかった。
【００４３】次に、本発明で用いたスライダの相構成
と、粗さ曲線との関係について説明する。
と、粗さ曲線との関係について説明する。
【００４４】図５（ａ）は加工面の結晶相と粒子状態を
示す模式図であり、図５（ｂ）は図５（ａ）におけるＡ
−Ｂ断面を示す模式図である。
示す模式図であり、図５（ｂ）は図５（ａ）におけるＡ
−Ｂ断面を示す模式図である。
【００４５】Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３は凹部の深さ、Ｃは凹部
の最低部となる粒子、Ｄは凹部の最低部となる相１間の
粒界である。
の最低部となる粒子、Ｄは凹部の最低部となる相１間の
粒界である。
【００４６】図５（ａ）の断面における凹部は、図５
（ｂ）に示すように、化学的に異なる組成の、柔らかい
硬度を有する相１の粒子及び粒子群であると推察され
る。即ち、この凹部は加工時に相１の粒子が母相または
相２の粒子より激しく摩耗することで発生するものであ
る。凹部の位置としては、粒内に最低部を有する粒子Ｃ
を含む粒子や粒子群の場合も存在するし、相１間の粒界
Ｄの場合も存在する。従って、この結果得られる凹凸形
状は、前記特開平１−２５１３０８にあるような各粒子
の粒界を境界とする凹凸ではなく、相１と母相、又は相
２間の相間に発生する凹凸形状なのである。ここで、凹
部の深さは図５で示すように深い方をとった。
（ｂ）に示すように、化学的に異なる組成の、柔らかい
硬度を有する相１の粒子及び粒子群であると推察され
る。即ち、この凹部は加工時に相１の粒子が母相または
相２の粒子より激しく摩耗することで発生するものであ
る。凹部の位置としては、粒内に最低部を有する粒子Ｃ
を含む粒子や粒子群の場合も存在するし、相１間の粒界
Ｄの場合も存在する。従って、この結果得られる凹凸形
状は、前記特開平１−２５１３０８にあるような各粒子
の粒界を境界とする凹凸ではなく、相１と母相、又は相
２間の相間に発生する凹凸形状なのである。ここで、凹
部の深さは図５で示すように深い方をとった。
【００４７】尚、本実施例における浮動型磁気ヘッドの
スライダは非磁性セラミックス材料よりなる酸化物であ
ったが、前記の硬度分布等を有するものであれば、酸化
物以外の無機化合物であってもよいし、同様に磁性セラ
ミックスであってもよい。更に、前記の硬度分布を有
し、それ以外の硬度の相を一乃至複数個含む無機化合物
であってもよい。
スライダは非磁性セラミックス材料よりなる酸化物であ
ったが、前記の硬度分布等を有するものであれば、酸化
物以外の無機化合物であってもよいし、同様に磁性セラ
ミックスであってもよい。更に、前記の硬度分布を有
し、それ以外の硬度の相を一乃至複数個含む無機化合物
であってもよい。
【００４８】以上のように本実施例によれば、硬度の高
い相と硬度の低い相の２相を有するスライダを用いて、
浮動型磁気ヘッドを作製し、その磁気記録媒体との対向
面を、軟質ラップ等によって加工し、適度な凹凸状にす
ることにより、磁気記録媒体との加工面における接触面
積が減少し、ＣＳＳ特性を飛躍的に向上させることがで
きる。
い相と硬度の低い相の２相を有するスライダを用いて、
浮動型磁気ヘッドを作製し、その磁気記録媒体との対向
面を、軟質ラップ等によって加工し、適度な凹凸状にす
ることにより、磁気記録媒体との加工面における接触面
積が減少し、ＣＳＳ特性を飛躍的に向上させることがで
きる。
【００４９】
【発明の効果】以上のように本発明は、表面硬度３５０
〜８００(kgf/mm2) の無機化合物の相と前記表面硬度が
６００〜１０００(kgf/mm2) の無機化合物の相の２相を
有するスライダを備えた浮動型磁気ヘッドであって、ス
ライダの磁気記録媒体との対向面を軟質ラップ等によっ
て前記表面硬度３５０〜８００(kgf/mm2) の相が前記表
面硬度６００〜１０００(kgf/mm2) の相に比べ数十〜１
０００Å窪み、距離５５μｍにおける接触式表面粗さ計
での表面粗さ曲線上に、５０Å以上の深さの凹部が平均
１．５個以上存在するような形状に加工することによっ
て、加工面における磁気記録媒体との接触面積を減少さ
せ、ＣＳＳ特性を飛躍的に向上させることのできる、工
程が簡単で、生産性、信頼性、耐久性に優れ低原価で量
産性に適した浮動型磁気ヘッドを実現できるものであ
る。
〜８００(kgf/mm2) の無機化合物の相と前記表面硬度が
６００〜１０００(kgf/mm2) の無機化合物の相の２相を
有するスライダを備えた浮動型磁気ヘッドであって、ス
ライダの磁気記録媒体との対向面を軟質ラップ等によっ
て前記表面硬度３５０〜８００(kgf/mm2) の相が前記表
面硬度６００〜１０００(kgf/mm2) の相に比べ数十〜１
０００Å窪み、距離５５μｍにおける接触式表面粗さ計
での表面粗さ曲線上に、５０Å以上の深さの凹部が平均
１．５個以上存在するような形状に加工することによっ
て、加工面における磁気記録媒体との接触面積を減少さ
せ、ＣＳＳ特性を飛躍的に向上させることのできる、工
程が簡単で、生産性、信頼性、耐久性に優れ低原価で量
産性に適した浮動型磁気ヘッドを実現できるものであ
る。
【図１】本発明の一実施例における浮動型磁気ヘッドの
斜視図
斜視図
【図２】材料Ａ及び材料Ｂの鏡面の模式図
【図３】（ａ）実験例３における加工面の表面形状を示
す粗さ曲線のグラフ （ｂ）実験例５における加工面の表面形状を示す粗さ曲
線のグラフ
す粗さ曲線のグラフ （ｂ）実験例５における加工面の表面形状を示す粗さ曲
線のグラフ
【図４】（ａ）比較例１における加工面の表面形状を示
す粗さ曲線のグラフ （ｂ）比較例３における加工面の表面形状を示す粗さ曲
線のグラフ
す粗さ曲線のグラフ （ｂ）比較例３における加工面の表面形状を示す粗さ曲
線のグラフ
【図５】（ａ）加工面の結晶相と粒子状態を示す模式図 （ｂ）図５（ａ）におけるＡ−Ｂ断面を示す模式図
１ スライダ ２ Ｍｎ−Ｚｎフェライトコア ３ ガラス ａ スライダの磁気記録媒体との対向面 Ｃ 凹部の最低部となる粒子 Ｄ 凹部の最低部となる相１間の粒界 Ｈ１ 凹部の深さ Ｈ２ 凹部の深さ Ｈ３ 凹部の深さ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 木村 淳一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G11B 21/21 101
Claims (1)
- 【請求項１】 表面から１６０ｎｍの深さにおける表面
硬度が３５０〜８００（ｋｇｆ／ｍｍ2）である無機酸
化物の母相と、 表面から１６０ｎｍの深さにおける 表面硬度が６００〜
１０００（ｋｇｆ／ｍｍ2）である、前記母相内に粒子
または粒子群として存在する無機酸化物の相とを有する
スライダを備えた浮動型磁気ヘッドであって、 前記スライダの磁気記録媒体との対向面に、前記母相内
に粒子または粒子群として存在する無機酸化物の相が１
５０Å〜１０００Åの深さの凹部を有し、及び／又は距
離５５μｍにおける接触式表面粗さ計での表面粗さ曲線
上に５０Å以上の深さの凹部が平均１．５個以上好まし
くは２個以上存在することを特徴とする浮動型磁気ヘッ
ド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33469491A JP3237154B2 (ja) | 1991-12-18 | 1991-12-18 | 浮動型磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33469491A JP3237154B2 (ja) | 1991-12-18 | 1991-12-18 | 浮動型磁気ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05166319A JPH05166319A (ja) | 1993-07-02 |
| JP3237154B2 true JP3237154B2 (ja) | 2001-12-10 |
Family
ID=18280178
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33469491A Expired - Fee Related JP3237154B2 (ja) | 1991-12-18 | 1991-12-18 | 浮動型磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3237154B2 (ja) |
-
1991
- 1991-12-18 JP JP33469491A patent/JP3237154B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05166319A (ja) | 1993-07-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0821349B1 (en) | Laminate and wear-resistant thin-film magnetic head assembly formed thereon | |
| US5052099A (en) | Method of fabricating a magnetic head by sputter etching | |
| JP2543265B2 (ja) | 磁気ディスク | |
| JP2002342908A (ja) | 磁気記録媒体とその製造方法 | |
| EP0583989A2 (en) | Slider for a magnetic head | |
| JP3237154B2 (ja) | 浮動型磁気ヘッド | |
| JPS61199224A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP3564707B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP3012668B2 (ja) | 浮上式磁気ヘッド | |
| JP3215000B2 (ja) | 記録再生ヘッドスライダー用非磁性セラミックスおよびその製造方法 | |
| JPH05166321A (ja) | 浮動型磁気ヘッドの製造方法 | |
| JP2859468B2 (ja) | 磁気ヘッドおよび磁気ヘッドの製造方法 | |
| JP2982357B2 (ja) | 浮動型磁気ヘッドスライダ用セラミック組成物及びそれを用いた浮動型磁気ヘッド | |
| JPH05166320A (ja) | 浮動型磁気ヘッドのスライダ用材料及びそれを用いた浮動型磁気ヘッド | |
| JPH02281485A (ja) | 浮動型磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH0823935B2 (ja) | 薄膜磁気記録媒体 | |
| JPH0568771B2 (ja) | ||
| JP3287063B2 (ja) | 浮動型磁気ヘッド用セラミックス材及びそれを用いた浮動型磁気ヘッド | |
| JP3404772B2 (ja) | 浮動型磁気ヘッドの製造方法 | |
| JP2534014B2 (ja) | 浮動型磁気ヘッド | |
| JPH0644547A (ja) | 浮動型磁気ヘッド | |
| JP3121979B2 (ja) | 記録再生ヘッド用非磁性セラミックスおよびその製造方法 | |
| Matsuura et al. | Wear behavior of thin film heads for VCR in sliding with metal evaporated tapes | |
| JPH05135334A (ja) | 磁気ヘツドクリーニングテープ | |
| JPH08138228A (ja) | 磁気記録媒体、磁気記録媒体の製造方法および磁気記録装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |