JPH05166320A

JPH05166320A - 浮動型磁気ヘッドのスライダ用材料及びそれを用いた浮動型磁気ヘッド

Info

Publication number: JPH05166320A
Application number: JP33469591A
Authority: JP
Inventors: Kenichiro Kaneko; 健一郎金子; Masatake Miyazaki; 正剛宮崎; Shigeo Maeda; 成夫前田; Junichi Kimura; 淳一木村
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1991-12-18
Filing date: 1991-12-18
Publication date: 1993-07-02

Abstract

(57)【要約】【目的】本発明は浮動型磁気ヘッドのスライダ表面を
容易に凹凸状に加工できる、加工性、生産性に優れた浮
動型磁気ヘッドのスライダ用材料の提供を目的とする。【構成】本発明の浮動型磁気ヘッドのスライダ用材料
は、表面から１６０ｎｍの深さにおける表面硬度が３５
０〜８００(kgf/mm²) である無機化合物の相と、前記表
面硬度が６００〜１０００(kgf/mm²) である無機化合物
の相と、を有する構成からなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ハードディスク装置等
に用いられる浮動型磁気ヘッドのスライダ用材料及びそ
れを用いた浮動型磁気ヘッドに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、小型ハードディスク装置において
は、浮動型磁気ヘッドを磁気記録媒体の停止時にはその
上で停止させ、磁気記録媒体の回転とともに磁気記録媒
体から一定の間隔（以下、浮上量とする）で浮上させる
コンタクト・スタート・ストップ（以下、ＣＳＳと略
す）方式が採用されている。またその高記録密度化は主
に浮上量を小さくすることによりなされており、そのた
めに様々な努力が行われている。磁気記録媒体において
は、前記低浮上量化に対応するため薄膜媒体表面の平坦
化が進められている。

【０００３】浮動型磁気ヘッドのスライダ用材料として
は、表面から１６０ｎｍにおける表面硬度（深さを１６
０ｎｍにするのはデータの精度を高めるためである）が
６００〜１４００(kgf/mm²) であるＣａＴｉＯ₃，Ｓｒ
ＴｉＯ₃を主成分とする相の混合体よりなる非磁性セラ
ミックスや、前記表面硬度が５００〜９００(kgf/mm²)
であるＭｎ−Ｚｎフェライト酸化物セラミックスが開発
されている。

【０００４】また浮動型磁気ヘッドのスライダの磁気記
録媒体との対向面の加工は、コンポジットヘッドの場合
はダイヤモンド粒子を用いた湿式軟質金属ラップにより
行われ、また、モノリシックヘッドの場合は同様な湿式
軟質金属ラップや例えば特開平１−２５１３０８にみら
れるような逆スパッタ法によって行われていた。

【０００５】しかし、従来からコンポジットヘッドは、
ＣＳＳ特性と呼ばれるヘッド・ディスク間の摩擦摩耗特
性が悪いとされ、特に前述したような低浮上量が求めら
れるとともに、薄膜媒体の平坦化が求められる現在及び
将来の環境においては、ＣＳＳ特性の改善が急務となっ
ている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の構成では、湿式軟質金属ラップで粗い粒子を用いて加
工する方法は、スクラッチを発生させるという問題点が
あった。一方、逆スパッタ法を用いる方法は、その応用
性及び作業性の点より量産性に欠けるという問題点を有
していた。特にコンポジットヘッドにおいては、それぞ
れ物性の異なる３種の材料、すなわち非磁性セラミック
スとＭｎ−Ｚｎフェライト及びガラスからなるが、ガラ
スとＭｎ−Ｚｎフェライトの物理的エッチング速度が非
磁性セラミックスの物理的エッチング速度より大きいた
めに、これらがスライダ表面より大きく削られてしまう
という問題点があり、特にガラスの窪みは５０００Åに
も及び、コア強度の面から大きな問題点となる。これを
防止するにはガラス部とＭｎ−Ｚｎフェライト部を完全
にマスクせねばならず、その分作業工数が増加し、生産
性が大きく低下するという問題点があった。また、微小
な無機物系の塵や有機物が存在すると、同様なエッチン
グ速度の不均一化が生じ、凹凸量のコントロールが困難
で、ＣＳＳ時にヘッドクラッシュを引き起こす突起が発
生し易く、品質上で問題を有し、更に製品歩留りが低
く、これを防ぐためには完全な洗浄や高価な防塵設備が
必要となってくるという問題点があった。さらに前記非
磁性セラミックスにおいては、逆に物理的エッチング速
度が極めて遅く、逆スパッタ法によっても凹凸の付与自
体が困難であるという問題点があった。

【０００７】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、浮動型磁気ヘッドのスライダ表面を容易に凹凸状に
加工できる、加工性、生産性に優れた浮動型磁気ヘッド
のスライダ用材料、及びそれを用いたＣＳＳ特性の高
い、信頼性、生産性に優れ低原価で量産性に適した浮動
型磁気ヘッドを提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の請求項１の浮動型磁気ヘッドのスライダ用材
料は、表面から１６０ｎｍの深さにおける表面硬度が３
５０〜８００(kgf/mm²) である無機化合物の相と、前記
表面硬度が６００〜１０００(kgf/mm²) である無機化合
物の相と、の少なくとも２相を備えた構成を有してい
る。

【０００９】請求項２の浮動型磁気ヘッドのスライダ用
材料は、請求項１において、表面硬度が３５０〜８００
(kgf/mm2) である無機化合物の相の表面積の占有率が２
％以上好ましくは４．５％以上であるという構成を有し
ている。請求項３の浮動型磁気ヘッドは請求項１又は請
求項２のいずれか１の浮動型磁気ヘッドのスライダ用材
料で形成されたスライダの磁気記録媒体との対向面が微
小なダイヤモンド粒子等を用いて処理されたラッピング
加工面からなる構成を有している。

【００１０】

【作用】この構成によって、本発明の磁気ヘッドのスラ
イダ用材料が、全体の平均表面硬度が小さく、硬度の大
きな相と、硬度の小さな相との少なくとも２相を有して
おり、その硬度差が大きいため、その表面を硬度の小さ
い相が窪んだ凹凸状に容易に加工することができ、また
これを用いて浮動型磁気ヘッドを作製することにより、
浮動型磁気ヘッドのスライダの磁気記録媒体との対向面
を容易に凹凸状に加工することができ、磁気記録媒体と
の接触面積を減少させることができるとともに、全体の
平均表面硬度が小さいので、浮動型磁気ヘッドのＣＳＳ
特性を著しく向上させることができる。

【００１１】

【実施例】

（実施例１，２）以下本発明の一実施例における浮動型
磁気ヘッドのスライダ用材料について、図面を参照しな
がら説明する。

【００１２】〈非磁性材料の調整〉スライダ用材料とし
ては、実施例１，２は、ＣａＴｉＯ₃，ＳｒＴｉＯ₃，Ｔ
ｉＯ₂，Ｐ₂Ｏ₅，ＳｉＯ₂，ＺｒＯ₂，Ａｌ₂Ｏ₃の固溶体
又は混合物あるいはその構成元素よりなる化合物で略構
成される焼結体であって、その主な組成は、ＣａＴｉＯ
₃，ＳｒＴｉＯ₃，ＴｉＯ₂，Ｐ₂Ｏ₅，ＳｉＯ₂，Ｚｒ
Ｏ₂，Ａｌ₂Ｏ₃換算で、実施例１では４２，３７，１
４，２，１．５，３，０．５mol%（非磁性材料１）であ
り、実施例２では４３，３８，１４，１，１，２．７，
０．３mol%（非磁性材料２）である。

【００１３】〈表面硬度及び面積占有率の測定〉上記組
成を有する非磁性材料１，２を用いてスライダを形成し
た。その鏡面の模式図を図１に示す。その模式図におけ
る各部の表面から１６０ｎｍにおける表面硬度及び面積
占有率を測定した。その結果を（表１）に示す。

【００１４】

【表１】

【００１５】ここで表面硬度は、島津製作所製ダイナミ
ック硬度計を用い、最大荷重１ｇｆにおける負荷と圧子
の挿入深さから求めた。深さを１６０ｎｍとしたのは、
データの精度を高めるためである。表面積占有率は、鏡
面のＳＥＭ写真（２０００倍）より求めた。

【００１６】この（表１）から明らかなように、非磁性
材料１及び２は、前記表面硬度が３５０〜８００(kgf/m
m²) である酸化物の相と、前記表面硬度が６００〜１０
００(kgf/mm²) である酸化物の相から構成されているこ
とがわかる。

【００１７】（比較例１〜４）比較例１〜３は従来のコ
ンポジットヘッドのスライダ用セラミックス材料（従来
材料１〜３）であり、比較例４は従来のモノリシックヘ
ッドのスライダ用Ｍｎ−Ｚｎフェライト酸化物セラミッ
クス材料（従来材料４）である。

【００１８】従来材料１は、ＣａＴｉＯ₃，ＳｒＴｉ
Ｏ₃，ＳｉＯ₂，Ａｌ₂Ｏ₃等よりなる焼結体であって、そ
の主な組成はＣａＴｉＯ₃，ＳｒＴｉＯ₃，ＳｉＯ₂，Ａ
ｌ₂Ｏ₃換算で９４，４，０．５，１．５mol%であり、従
来材料２は、ＣａＴｉＯ₃，ＴｉＯ₂等よりなる焼結体で
あって、その主な組成はＣａＴｉＯ₃，ＴｉＯ₂換算で８
２，１８mol%であり、従来材料３は、ＣａＴｉＯ₃，Ｔ
ｉＯ₂，ＳｉＯ₂，Ａｌ₂Ｏ₃等よりなる焼結体であって、
その主な組成はＣａＴｉＯ₃，ＴｉＯ₂，ＳｉＯ₂，Ａｌ₂
Ｏ₃換算で９０．５，５，０．５，４mol%であり、従来
材料４は、Ｆｅ₂Ｏ₃，ＭｎＯ，ＺｎＯよりなる焼結体で
あって、その組成はＦｅ₂Ｏ₃，ＭｎＯ，ＺｎＯがそれぞ
れ５４，３０，１６mol%である。

【００１９】以上のような組成を有する従来の前記スラ
イダ用材料を用いてスライダを形成した。その鏡面の模
式図を図２に示す。

【００２０】図２（ａ）は比較材料１の鏡面の模式図で
あり、図２（ｂ）は比較材料２の鏡面の模式図であり、
図２（ｃ）は比較材料３の鏡面の模式図である。

【００２１】尚、比較材料４は同一の相より構成され、
このような相分布を有さないため図示していない。その
模式図における各部の表面から１６０ｎｍにおける表面
硬度及び面積占有率を実施例１と同様にして測定した。
その測定結果を（表２）に示す。

【００２２】

【表２】

【００２３】この（表２）から明らかなように、従来の
セラミックス材料である比較材料１〜３は、前記表面硬
度が７００〜１３００(kgf/mm²) である酸化物の相と、
前記表面硬度が１１００〜１４００(kgf/mm²) である酸
化物の相から構成されていることがわかり、従来のＭｎ
−Ｚｎフェライト酸化物セラミックス材料である比較材
料４は、前記表面硬度が５００〜９００(kgf/mm²) であ
ることがわかった。

【００２４】（実施例３〜６）次に、本実施例の非磁性
材料を用いて浮動型磁気ヘッドを作製し、その表面特性
とＣＳＳ特性について検討した。

【００２５】図３は浮動型磁気ヘッドの外観斜視図であ
る。１はスライダ、２はＭｎ−Ｚｎフェライトを加工し
て作製されるＭｎ−Ｚｎフェライトコア、３はＭｎ−Ｚ
ｎフェライトコア２をスライダ１に接着するためのガラ
ス、ａは微小なダイヤモンド粒子等を用いてラップされ
たスライダ１の磁気記録媒体との対向面である。

【００２６】スライダ用材料としては、実施例１，２の
非磁性材料１，２を用いた。スライダの鏡面加工法は、
平均粒径０．１２μｍのダイヤモンド粒子とアクリル樹
脂製のラッピング定盤を用いた湿式軟質ラップ法Ａ、又
は前記ダンヤモンド粒子と錫製のラッピング定盤を用い
た湿式軟質金属ラップ法Ｂを用いた。各実施例の材料及
び鏡面加工法を（表３）に示す。

【００２７】

【表３】

【００２８】浮動型磁気ヘッドは、各実施例について３
０個ずつ作製して評価しその平均値を求めた。

【００２９】表面形状の評価は、触針式表面粗さ計にて
５５μｍの距離にわたり計１０箇所測定した。触針式表
面粗さ計はダイヤモンド製の先端半径０．１μｍの触針
を用い倍率１００万倍の条件にて測定し、表面形状は、
測定値をパソコンに取り込み解析して求めた。その結果
を図４及び図５に示す。

【００３０】図４（ａ）は実施例３の浮動型磁気ヘッド
の表面形状を示す粗さ曲線のグラフであり、図４（ｂ）
は実施例４の粗さ曲線のグラフであり、図５（ａ）は実
施例５の粗さ曲線のグラフであり、図５（ｂ）は実施例
６の粗さ曲線のグラフである。

【００３１】図４及び図５に示した浮動型磁気ヘッドの
表面形状をパソコンを用いて解析し、各浮動型磁気ヘッ
ドの表面形状パラメータΔＨを算出した。その結果を
（表３）に示す。

【００３２】表面形状パラメータΔＨは、粗さ曲線にお
ける中心線平均粗さＲａより大きい部分の粗さの標準偏
差と前記Ｒａより小さい部分の粗さの標準偏差との和で
あり、表面形状の変化の程度を示し、この値が大きい程
表面の凹凸が激しいことを意味する。

【００３３】上記の表面形状を有する各実施例の浮動型
磁気ヘッドをアセンブリし、３．５インチハードディス
クを用いてＣＳＳ特性の測定を行い、各浮動型磁気ヘッ
ドのＣＳＳ特性を評価した。

【００３４】このＣＳＳ特性の測定に用いたハードディ
スクは次のとおりである。基板；アルミニュウム下地；Ｃｒ磁性層；Ｃｏ−Ｎｉスパッタ膜表面層；カーボンスパッタ層及びカーボン層表面に塗布
されたフッソ系個体潤滑剤層Ｄｉｓｋの表面粗さ；Ｒａ≒５５Å ＣＳＳテスト時のディスク駆動条件は以下の通りであ
る。

【００３５】ヘッド圧力；９３ｍＮ（９．５ｇｆ）測定位置；２５mm 定常回転数迄の所要時間；４秒定常回転数と時間；２３００ｒｐｍで１秒定常回転数から停止する迄の所要時間；４秒回転と回転間の停止時間；１秒上記の測定によって得られた測定結果を（表４）に示
す。

【００３６】

【表４】

【００３７】μはＣＳＳ２万回後における回転数１ｒｐ
ｍのディスクとヘッド間の動摩擦係数μｋの平均値、Δ
μはＣＳＳ１回後とＣＳＳ２万回後における前記動摩擦
係数の平均値の増加量である。

【００３８】以上の測定結果を元にして、各実施例の前
記動摩擦係数μ又は前記増加量Δμと、表面形状パラメ
ータΔＨ及び平均表面硬度ＨＤとの関係を説明する。

【００３９】ＣＳＳ特性を表すμ及びΔμは、ディスク
の回転数等、様々な変数により決定されるが、変数を浮
動型磁気ヘッドにおいて最も重要な表面形状パラメータ
ΔＨと、平均表面硬度ＨＤの２つに限定し、他の要素を
全て定数と見なすことによって、μ又はΔμをΔＨとＨ
Ｄの関数と見なすことができる。しかし、そのままでは
図示できないため、複合パラメータφ1，φ2を用い、図
１０、図１１に分けて各実施例のμ又はΔμとΔＨ及び
ＨＤの関係を示す。

【００４０】図１０は前記動摩擦係数μと複合パラメー
タφ1の相関図であり、図１１は前記増加量Δμと複合
パラメータφ2との相関図である。

【００４１】この場合の寄与率はμ，Δμそれぞれにつ
いて０．７と０．６８と大きく、非常に良い相関性を示
している。

【００４２】複合パラメータφ1，φ2は次式によって定
義される。μに対して、 φ1＝１．８１３−０．６８５×Ｌｎ（ΔＨ）＋３．０３×１０^-5ΔＨ×ＨＤ Δμに対して、 φ2＝１．６１９−０．６９１×Ｌｎ（ΔＨ）＋３．０５×１０^-5ΔＨ×ＨＤここで、ＨＤは平均表面硬度であり実施例３乃至６にお
いては各母相の表面硬度の平均値を用いた。

【００４３】（比較例５〜１２）スライダ用材料とし
て、前記従来材料１〜４を用いた他は実施例３と同一の
条件で浮動型磁気ヘッドを作製し、その表面特性及びＣ
ＳＳ特性を実施例３と同様の方法で求めた。

【００４４】その表面特性の測定結果を図６乃至図９に
示す。図６（ａ）は比較例５の浮動型磁気ヘッドの表面
形状を示す粗さ曲線のグラフであり、図６（ｂ）は比較
例６の粗さ曲線のグラフであり、図７（ａ）は比較例７
の粗さ曲線のグラフであり、図７（ｂ）は比較例８の粗
さ曲線のグラフであり、図８（ａ）は比較例９の粗さ曲
線のグラフであり、図８（ｂ）は比較例１０の粗さ曲線
のグラフであり、図９（ａ）は比較例１１の粗さ曲線の
グラフであり、図９（ｂ）は比較例１２の粗さ曲線のグ
ラフである。

【００４５】図６乃至図９に示した浮動型磁気ヘッドの
表面形状より、実施例と同様にして表面形状パラメータ
ΔＨを算出した。その結果を（表３）に示す。

【００４６】次に、上記表面形状を有する各々の浮動型
磁気ヘッドをアセンブリし、ＣＳＳ特性を測定した。そ
の結果を（表４）に示す。

【００４７】以上の結果を用いて、前記動摩擦係数μ又
は前記増加量Δμと、複合パラメータφ1又はφ2との関
係を実施例と同様にして図１０及び図１１に示した。

【００４８】但し各比較例の平均表面硬度ＨＤは、非磁
性材料１及び２と、各従来材料間で相構成、各相の硬
度、各相の面積占有率等が異なるため、実施例と同一の
方法で算出することができない。そこで、比較例５〜８
及び比較例１０〜１２においては、全体の表面硬度の平
均値を用い、比較例９においては最も硬い相の表面硬度
の平均値を用いた。

【００４９】図４及び図５より明らかなように、本実施
例の非磁性材料１又は２を用いた、実施例３乃至６は、
粗さ曲線において、長さ約数μｍの凹部を有し、その深
さは、加工Ａを行った実施例３及び５において数十〜１
０００Å、加工Ｂを行った実施例４及び６において数十
〜１５０Åであった。

【００５０】尚、この凹部はＣａＴｉＯ₃，ＳｒＴｉＯ₃
及びその固溶体又はＴｉＯ₂又は微量のＰ，Ｓｉ，Ｚ
ｒ，Ａｌが拡散した母相とは組成が異なり、Ｐ，Ｓｉ，
Ｚｒ，Ａｌに富んだＴｉ，Ｃａ，Ｓｒの酸化物の相であ
った。

【００５１】一方、図６乃至図８より明らかなように比
較例５乃至１０では、粗さ曲線における凹部は一部認め
られたが、その頻度は実施例の数分の一と少なかった。
この中において、特に比較例９では高さ５０Å程の凸部
が頻繁に認められた。

【００５２】又、図９より明らかなように、従来のＭｎ
−Ｚｎフェライト酸化物材料である従来材料４を用いた
比較例１１及び１２では、特に比較例１１で粗さ曲線に
おいて段差２０〜５０Åの凹凸が得られた。

【００５３】この結果より、本実施例の非磁性材料１又
は２を用いた実施例３乃至６においては、粒子の硬度の
違いにより硬度３５０〜８００(kgf/mm²) を有する柔ら
かい相が凹部となった凹凸形状が容易に生成されるのに
対し、硬度差が小さく均一な硬度を有する従来材料１又
は２を用いた比較例５乃至８では顕著な凹凸形状が生成
され難く、１１００〜１４００(kgf/mm²) もの大きな硬
度を有する相を含む従来材料３を用いた比較例９及び１
０では、この硬い相から構成される部分が凸となる凹凸
形状が生成され、同一の相からなる従来材料４を用いた
比較例１１及び１２においては加工時の摩耗の大小に反
映される程、フェライト結晶間ではその機械的特性が異
なるために凹凸形状が生成されることがわかった。

【００５４】次に、（表３）より明らかなように、実施
例３乃至６は、比較例５乃至１２に対し、表面形状パラ
メータΔＨが大きいことがわかる。

【００５５】特に加工Ａを行った実施例１及び３におい
てこれは顕著であった。表面形状パラメータが大きいと
いうことは、表面形状が顕著に凹凸状になっており、浮
動型磁気ヘッドの磁気記録媒体との接触面積が小さくな
ることを示している。

【００５６】また、（表４）より明らかなように、実施
例３乃至６は、従来材料１乃至３を用いた比較例５乃至
１０と比べて、μ，Δμともかなり小さく、ＣＳＳ特性
が顕著に良化しているといえる。特に実施例３は、従来
のＭｎ−Ｚｎフェライト酸化物セラミックス材料である
従来材料４を用いた比較例１１及び１２を含めた全ての
比較例を凌駕している。また、実施例５は、比較例中で
最も優れている比較例１１とほぼ同等のＣＳＳ特性を有
している。

【００５７】図１０及び図１１から明らかなように、平
均表面硬度ＨＤが減少すれば、複合パラメータφ1，φ2
が減少し、それにつれてμ，Δμも減少するため、ＣＳ
Ｓ特性が向上する。一方、表面形状パラメータΔＨが増
加すれば、それによっても複合パラメータφ1，φ2が減
少し、それにつれてμ，Δμも減少するため、ＣＳＳ特
性が向上する。

【００５８】ここで、表面形状パラメータΔＨを増加さ
せるには、浮動型磁気ヘッドの磁気記録媒体との対向面
の凹凸形状をより顕著にすればよい。この凹凸形状は、
硬度の低い相が硬度の高い相よりも速く研磨されること
により生成されるため、この硬度差を大きくすることに
より、換言すれば、スライダ材料の硬度分布を大きくす
ることにより、凹凸形状を顕著にし、表面形状パラメー
タΔＨを増加させることができることがわかる。

【００５９】ところが、前記表面硬度７００〜１１００
(kgf/mm²) を有する従来材料１又は２は、全体の平均表
面硬度ＨＤは小さいが、硬度分布が小さいために、表面
形状パラメータΔＨが小さくなり、ＣＳＳ特性の向上は
望めない。又、表面硬度８００〜１４００(kgf/mm2) を
有する従来材料３は、硬度分布が大きく、表面形状パラ
メータΔＨが大きくなるが、全体としての硬度が高く、
平均表面硬度ＨＤが増加するため、結果的にＣＳＳ特性
の向上は望めないといえる。

【００６０】これに対し、本実施例の非磁性材料１又は
２は、前記表面硬度３５０〜１０００(kgf/mm²) を有
し、硬度分布が大きいため、凹凸形状の生成が容易で、
表面形状パラメータΔＨが大きくなる。同時に全体とし
ての硬度が小さいため、平均表面硬度ＨＤも小さくな
り、この二つの変数ΔＨ，ＨＤが共に複合パラメータφ
1，φ2を減少させる作用をするために、全体として、μ
及びΔμが大きく低下し、ＣＳＳ特性を飛躍的に向上さ
せることができることがわかった。

【００６１】尚、本実施例における浮動型磁気ヘッドの
スライダ用材料は非磁性セラミックスよりなる酸化物で
あったが、前記の硬度分布等を有するものであれば、酸
化物以外の無機化合物であってもよいし、同様に磁性セ
ラミックスであってもよい。更に、前記の硬度分布を有
し、それ以外の硬度の相を一乃至複数含む無機化合物で
あってもよい。

【００６２】以上のように本実施例によれば、各相の硬
度差が大きいために、表面硬度の低い相を凹部とする適
度な凹凸状に容易に加工することができ、かつ加工面全
体の平均表面硬度が低いために、浮動型磁気ヘッドのＣ
ＳＳ特性を飛躍的に向上させることができる。

【００６３】

【発明の効果】以上のように本発明は、少なくとも表面
から１６０ｎｍの深さにおける表面硬度が３５０〜８０
０(kgf/mm²) である無機化合物の相と、前記表面硬度が
６００〜１０００(kgf/mm²) である無機化合物の相と、
の２相を有することにより、全体の平均表面硬度が低
く、かつ前記２つの相間の硬度差が大きいために、その
表面を硬度の低い相を凹部とする適度な凹凸状に容易に
加工できる、加工性、生産性に優れた浮動型磁気ヘッド
のスライダ用材料と、それを用いた、ＣＳＳ特性が高
く、信頼性、生産性に優れた浮動型磁気ヘッドを実現で
きるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例における実施例１及び２の鏡
面模式図

【図２】（ａ）従来の比較例１の鏡面模式図（ｂ）従来の比較例２の鏡面模式図（ｃ）従来の比較例３の鏡面模式図

【図３】本発明の一実施例における浮動型磁気ヘッドの
外観斜視図

【図４】（ａ）実施例３の浮動型磁気ヘッドの表面形状
を示す粗さ曲線のグラフ（ｂ）実施例４の浮動型磁気ヘッドの表面形状を示す粗
さ曲線のグラフ

【図５】（ａ）実施例５の浮動型磁気ヘッドの表面形状
を示す粗さ曲線のグラフ（ｂ）実施例６の浮動型磁気ヘッドの表面形状を示す粗
さ曲線のグラフ

【図６】（ａ）比較例５の浮動型磁気ヘッドの表面形状
を示す粗さ曲線のグラフ（ｂ）比較例６の浮動型磁気ヘッドの表面形状を示す粗
さ曲線のグラフ

【図７】（ａ）比較例７の浮動型磁気ヘッドの表面形状
を示す粗さ曲線のグラフ（ｂ）比較例８の浮動型磁気ヘッドの表面形状を示す粗
さ曲線のグラフ

【図８】（ａ）比較例９の浮動型磁気ヘッドの表面形状
を示す粗さ曲線のグラフ（ｂ）比較例１０の浮動型磁気ヘッドの表面形状を示す
粗さ曲線のグラフ

【図９】（ａ）比較例１１の浮動型磁気ヘッドの表面形
状を示す粗さ曲線のグラフ（ｂ）比較例１２の浮動型磁気ヘッドの表面形状を示す
粗さ曲線のグラフ

【図１０】μとφ1の相関図

【図１１】Δμとφ2の相関図

【符号の説明】

１スライダ２Ｍｎ−Ｚｎフェライトコア３ガラスａスライダの磁気記録媒体との対向面 φ1 複合パラメータ φ2 複合パラメータ μ ２万回ＣＳＳ時のディスクとヘッドの間の動摩擦係
数の平均値 Δμ ２万回ＣＳＳ時のディスクとヘッドの間の動摩擦
係数の平均値から１回ＣＳＳ時のディスクとヘッドの間
の動摩擦係数の平均値を引いた増加量

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者木村淳一大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】少なくとも表面から１６０ｎｍの深さにお
ける表面硬度が３５０〜８００(kgf/mm²) である無機化
合物の相と、前記表面硬度が６００〜１０００(kgf/m
m²) である無機化合物の相と、を有することを特徴とす
る浮動型磁気ヘッドのスライダ用材料。
【請求項２】前記表面硬度が３５０〜８００(kgf/mm²)
である無機化合物の相の表面積の占有率が２％以上好ま
しくは４．５％以上であることを特徴とする請求項１に
記載の浮動型磁気ヘッドのスライダ用材料。
【請求項３】請求項１又は請求項２のいずれか１に記載
の浮動型磁気ヘッドのスライダ用材料で形成されたスラ
イダの磁気記録媒体との対向面が微小なダイヤモンド粒
子等で処理されたラッピング加工面であることを特徴と
する浮動型磁気ヘッド。