JPH0694081B2 - たわみ振動子 - Google Patents
たわみ振動子Info
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- JPH0694081B2 JPH0694081B2 JP63322803A JP32280388A JPH0694081B2 JP H0694081 B2 JPH0694081 B2 JP H0694081B2 JP 63322803 A JP63322803 A JP 63322803A JP 32280388 A JP32280388 A JP 32280388A JP H0694081 B2 JPH0694081 B2 JP H0694081B2
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- Japan
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- flexural
- vibration
- axis
- resonance
- bite
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/02—Driving main working members
- B23Q5/027—Driving main working members reciprocating members
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Turning (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、超音波振動により刃物を切削方向に振動させ
て切削する旋盤、形削り盤などの超音波振動切削装置に
用いるのに適した超音波振動の発生源であるたわみ振動
子に関するものである。
て切削する旋盤、形削り盤などの超音波振動切削装置に
用いるのに適した超音波振動の発生源であるたわみ振動
子に関するものである。
従来の技術 超音波振動切削装置に用いられる振動子としては、振動
子自身でたわみ振動を発生するたわみ振動子が用いられ
ている。また、そのようなたわみ振動子は、その出力端
部での振動方向がその軸と直角方向に振動するため、超
音波ウエルダや超音波カツター等のように加工時に印加
する圧力と直角に振動させたい場合などにも、その機構
的な有利さからしばしば利用されている。
子自身でたわみ振動を発生するたわみ振動子が用いられ
ている。また、そのようなたわみ振動子は、その出力端
部での振動方向がその軸と直角方向に振動するため、超
音波ウエルダや超音波カツター等のように加工時に印加
する圧力と直角に振動させたい場合などにも、その機構
的な有利さからしばしば利用されている。
このようなたわみ振動子は、特開昭62−114478号公報に
より、また、それをを適用した超音波振動切削装置は特
開昭63−191501号公報により明らかなように、既に本出
願人によつて提案されている。
より、また、それをを適用した超音波振動切削装置は特
開昭63−191501号公報により明らかなように、既に本出
願人によつて提案されている。
超音波振動切削装置に、そのようなたわみ振動子による
振動系を用いた一例を第6図ないし第10図に基づいて説
明する。まず、たわみ振動子1は金属材2,3とこれらの
金属材2,3により両側を挾まれた二枚の円環状の電歪素
子4,5とにより大径部が形成されている。これらの電歪
素子4,5は、厚み方向に分極されており、かつ、直径方
向に分断された電極6及び7を有している。このような
2枚の電歪素子4,5は、その電極6,7をそれぞれ対向さ
せ、電極板8,9を介して積層して設けられている。そし
て、前記電歪素子4,5の内周には、絶縁管10が挿入され
ており、前記電歪素子5と前記金属材3の間には、共通
電極板11が設けられている。さらに、前記金属材2の一
端にはボルト12が螺合されるねじ穴13が形成されてお
り、それらはボルト12により一体に締着されている。
振動系を用いた一例を第6図ないし第10図に基づいて説
明する。まず、たわみ振動子1は金属材2,3とこれらの
金属材2,3により両側を挾まれた二枚の円環状の電歪素
子4,5とにより大径部が形成されている。これらの電歪
素子4,5は、厚み方向に分極されており、かつ、直径方
向に分断された電極6及び7を有している。このような
2枚の電歪素子4,5は、その電極6,7をそれぞれ対向さ
せ、電極板8,9を介して積層して設けられている。そし
て、前記電歪素子4,5の内周には、絶縁管10が挿入され
ており、前記電歪素子5と前記金属材3の間には、共通
電極板11が設けられている。さらに、前記金属材2の一
端にはボルト12が螺合されるねじ穴13が形成されてお
り、それらはボルト12により一体に締着されている。
なお、前記電歪素子6,7としては、第7図に示すような
円環状のものとして説明したが、実施に当つては、第9
図に示すような一対の半円環状のものを用いても良い。
円環状のものとして説明したが、実施に当つては、第9
図に示すような一対の半円環状のものを用いても良い。
ついで、前記金属材2の出力端部には、バイト14が固着
されたバイトホルダ15がが取付けられている。このバイ
トホルダ15を用いる理由は、前記バイト14がたわみ振動
子1の出力端部に直接固着されていると、バイト14の交
換や刃先の研ぎ直しなどの時に、たわみ振動子1ごと取
り外して行なわれなければならず作業が煩雑となること
を防止するためである。
されたバイトホルダ15がが取付けられている。このバイ
トホルダ15を用いる理由は、前記バイト14がたわみ振動
子1の出力端部に直接固着されていると、バイト14の交
換や刃先の研ぎ直しなどの時に、たわみ振動子1ごと取
り外して行なわれなければならず作業が煩雑となること
を防止するためである。
しかして、バイトホルダ15の取付構造について説明す
る。まず、バイト14を固着したバイトホルダ15と金属材
2との結合部は、第6図(b)に示す振動分布のループ
部分L1に位置している。そして、バイトホルダ15の端部
に左ねじ16が形成され、前記金属材の端部に右ねじ17が
形成され、これらの左ねじ16と右ねじ17とに螺合する締
着具18により前記バイトホルダ15は前記金属材2に締着
されている。
る。まず、バイト14を固着したバイトホルダ15と金属材
2との結合部は、第6図(b)に示す振動分布のループ
部分L1に位置している。そして、バイトホルダ15の端部
に左ねじ16が形成され、前記金属材の端部に右ねじ17が
形成され、これらの左ねじ16と右ねじ17とに螺合する締
着具18により前記バイトホルダ15は前記金属材2に締着
されている。
このようなたわみ振動子1の共振振動時の中心軸上の振
動振幅は、第6図(b)に示すようにノードN1,N2に形
成した段部により大きく拡大されている。そして、ノー
ドN2,N3部分に位置させて円錐状凹み19,20が側面部に形
成され、これらの円錐状凹み19,20に両側の4箇所から
尖り先ボルトなどを強く当接することによつて図示しな
い指示体に固定されている。
動振幅は、第6図(b)に示すようにノードN1,N2に形
成した段部により大きく拡大されている。そして、ノー
ドN2,N3部分に位置させて円錐状凹み19,20が側面部に形
成され、これらの円錐状凹み19,20に両側の4箇所から
尖り先ボルトなどを強く当接することによつて図示しな
い指示体に固定されている。
このように構成されたたわみ振動子1の共通電極板11を
基準電位として電極板8,9に互いに逆相の駆動電圧を印
加するか、または、電歪素子4,5の分極方向を互いに逆
に配置して同相の駆動電圧を印加しその周波数をたわみ
共振周波数に調節すると、前述の如き振動振幅分布を生
じて共振振動し、バイト14の刃先は矢印21のように軸線
と直角方向に強く振動する。このようなバイト14の刃先
を、例えば、旋盤のバイトとして切削加工物の接線方向
に超音波振動させながら被加工物を加工することによ
り、切削抵抗が著しく減少して加工精度が向上するなど
の大きな振動切削効果を発揮する。
基準電位として電極板8,9に互いに逆相の駆動電圧を印
加するか、または、電歪素子4,5の分極方向を互いに逆
に配置して同相の駆動電圧を印加しその周波数をたわみ
共振周波数に調節すると、前述の如き振動振幅分布を生
じて共振振動し、バイト14の刃先は矢印21のように軸線
と直角方向に強く振動する。このようなバイト14の刃先
を、例えば、旋盤のバイトとして切削加工物の接線方向
に超音波振動させながら被加工物を加工することによ
り、切削抵抗が著しく減少して加工精度が向上するなど
の大きな振動切削効果を発揮する。
発明が解決しようとする課題 このようなたわみ振動子1の出力端部には、その目的に
応じて種々の工具が互換可能に取り付けられる。振動切
削に用いられるバイトホルダの例を第11図ないし第17図
に示す。
応じて種々の工具が互換可能に取り付けられる。振動切
削に用いられるバイトホルダの例を第11図ないし第17図
に示す。
第11図乃至第13図に示すものは、は普通振幅の真剣バイ
ト22を銀ロウ接合したバイトホルダ23である。
ト22を銀ロウ接合したバイトホルダ23である。
第14図及び第15図に示すものは、同じたわみ振動子1か
らの駆動によつて大きな振幅で振動するスロウアウエイ
チツプ24を取り付けた高振幅用バイトホルダ25である。
らの駆動によつて大きな振幅で振動するスロウアウエイ
チツプ24を取り付けた高振幅用バイトホルダ25である。
第16図及び第17図に示すものは、ねじ切りバイト26を銀
ロウ接合した高振幅ねじ切りバイトホルダ27である。
ロウ接合した高振幅ねじ切りバイトホルダ27である。
これらのバイトホルダ23,25,27を用いてたわみ振動子1
を駆動したとき、バイト刃先は図中ほとんど上下方向に
直線状に共振振動する。
を駆動したとき、バイト刃先は図中ほとんど上下方向に
直線状に共振振動する。
しかるに、さらにその厚みを薄くして大きい振幅で振動
させたり、特殊な形状としたバイトホルダでは、刃先の
振動が他の方向の共振と干渉し合つて、その振動姿態は
軸に直角な直線状ではなく、傾斜角が変化したり、円弧
状や楕円状を呈するようになる。
させたり、特殊な形状としたバイトホルダでは、刃先の
振動が他の方向の共振と干渉し合つて、その振動姿態は
軸に直角な直線状ではなく、傾斜角が変化したり、円弧
状や楕円状を呈するようになる。
このような円弧状あるいは楕円状振動は、振動切削加工
によつては著しく有害であつて、ワークピースの加工表
面を荒すだけでなく刃先の摩耗やチツピングを増大させ
る原因となる。
によつては著しく有害であつて、ワークピースの加工表
面を荒すだけでなく刃先の摩耗やチツピングを増大させ
る原因となる。
つぎに、そのような有害振動姿態の発生原因について説
明する。
明する。
第13図に示すように、刃先正面より見て上下方向をY
軸、左右方向をX軸、前後方向すなわち振動子の縦方向
をZ軸とすると、正常な振動状態ではY軸方向の振動の
みが直線状に振動しており、たわみ振動子1の駆動原理
に基いた振動分布を示す。
軸、左右方向をX軸、前後方向すなわち振動子の縦方向
をZ軸とすると、正常な振動状態ではY軸方向の振動の
みが直線状に振動しており、たわみ振動子1の駆動原理
に基いた振動分布を示す。
しかるに、それぞれの電歪素子4,5の特性やその寸法及
び金属材2,3の寸法的な精度などを考慮したたわみ振動
子1の構成から見ると、Y軸方向に機構的な完全平衡が
得られないために、Y軸方向のたわみ駆動によるX軸方
向の共振レスポンスをも併せ持ち、また、そのX軸共振
周波数はY軸のそれに近いところに存する。すなわち、
振動子1は断面円形のため、振動子1自身のX,Y軸共振
周波数はほとんど同一であり、バイトホルダを取り付け
たときにそのバイトホルダのX,Y軸の形状における差異
によつてのみそれぞれの共振周波数の違いが出てくる。
び金属材2,3の寸法的な精度などを考慮したたわみ振動
子1の構成から見ると、Y軸方向に機構的な完全平衡が
得られないために、Y軸方向のたわみ駆動によるX軸方
向の共振レスポンスをも併せ持ち、また、そのX軸共振
周波数はY軸のそれに近いところに存する。すなわち、
振動子1は断面円形のため、振動子1自身のX,Y軸共振
周波数はほとんど同一であり、バイトホルダを取り付け
たときにそのバイトホルダのX,Y軸の形状における差異
によつてのみそれぞれの共振周波数の違いが出てくる。
さらに、Y軸方向たわみ駆動によるZ軸方向すなわち縦
振動方向の共振レスポンスも発生する。これらの複合レ
スポンスにより刃先の振動は、それぞれのバイトホルダ
の駆動周波数において多様な振動姿態を描き出すのであ
る。
振動方向の共振レスポンスも発生する。これらの複合レ
スポンスにより刃先の振動は、それぞれのバイトホルダ
の駆動周波数において多様な振動姿態を描き出すのであ
る。
一般的に、Z軸共振周波数とX,Y軸共振周波数とはたわ
み振動分布の次数を考慮すれば容易に離すことができる
ため、適確な設計によれば大きな問題となることは少な
い。しかし、X,Y軸共振レスポンスは、前述の様にバイ
トホルダの形状によつて直接左右されるものであり、バ
イトの必要な振動振幅によりY軸方向の厚みが決まる
と、X,Y軸共振周波数は必然的に決まつてくる。
み振動分布の次数を考慮すれば容易に離すことができる
ため、適確な設計によれば大きな問題となることは少な
い。しかし、X,Y軸共振レスポンスは、前述の様にバイ
トホルダの形状によつて直接左右されるものであり、バ
イトの必要な振動振幅によりY軸方向の厚みが決まる
と、X,Y軸共振周波数は必然的に決まつてくる。
一方、バイトホルダとしてはその振幅もさることなが
ら、真剣バイト、片刃バイト、ねじ切りバイト、平刃バ
イトさらに突つ切りバイトと多様な形状に対応しなけれ
ばならず、さらにスロウアウエイチツプの大きさも各種
あるため、すべての品種に対してX,Y軸の共振周波数を
離すことは非常に困難となる。
ら、真剣バイト、片刃バイト、ねじ切りバイト、平刃バ
イトさらに突つ切りバイトと多様な形状に対応しなけれ
ばならず、さらにスロウアウエイチツプの大きさも各種
あるため、すべての品種に対してX,Y軸の共振周波数を
離すことは非常に困難となる。
次に、X,Y軸共振レスポンスの相対的関係が、刃先の振
動方向にどのような影響を与えるかを考察してみる。
動方向にどのような影響を与えるかを考察してみる。
まず、それらがほとんど同一の周数となつたときのレス
ポンスを第18図に示す。Y軸の共振レスポンスは、同図
(a)に示すように並列共振周波数faでは正常なY軸方
向のたわみ振動を発生するが、直列共振周波数frにおい
ては同図(b)に示すX軸共振レスポンスの影響を受け
てそのレスポンスが割れ、振動姿態は著しく傾斜したり
楕円振動を発生する。次に、第19図に示すように、X軸
共振周波数がY軸のそれより低い場合は、fr,faともに
正常なたわみ振動を行なうので問題とはならない。
ポンスを第18図に示す。Y軸の共振レスポンスは、同図
(a)に示すように並列共振周波数faでは正常なY軸方
向のたわみ振動を発生するが、直列共振周波数frにおい
ては同図(b)に示すX軸共振レスポンスの影響を受け
てそのレスポンスが割れ、振動姿態は著しく傾斜したり
楕円振動を発生する。次に、第19図に示すように、X軸
共振周波数がY軸のそれより低い場合は、fr,faともに
正常なたわみ振動を行なうので問題とはならない。
さらに、第20図に示すようにX軸共振周波数がY軸のそ
れより高い場合には、frでは正常な振動をするが、faに
おける共振特性が大きく乱れて第18図(a)におけるfr
と同様にその共振姿態は著しく乱れてしまう。
れより高い場合には、frでは正常な振動をするが、faに
おける共振特性が大きく乱れて第18図(a)におけるfr
と同様にその共振姿態は著しく乱れてしまう。
このように本来来のたわみ振動である目的のY軸駆動周
波数の近くに、X軸の直列共振レスポンスが存在する
と、その振動姿態はX軸の干渉を受けて異常な振動状態
となる。
波数の近くに、X軸の直列共振レスポンスが存在する
と、その振動姿態はX軸の干渉を受けて異常な振動状態
となる。
課題を解決するための手段 電歪素子を含む振動系のたわみ振動方向のたわみ共振振
動の慣性質量と、前記たわみ振動方向と直交する方向の
たわみ共振振動の慣性質量とに、それぞれの軸方向の共
振レスポンスの干渉がなくなるように互いに差をつけ
た。そして、その手段としては、電歪素子の分割間隙を
広くしたり、電歪素子に連設された金属材に空洞あるい
は切り欠きを設けるようにした。
動の慣性質量と、前記たわみ振動方向と直交する方向の
たわみ共振振動の慣性質量とに、それぞれの軸方向の共
振レスポンスの干渉がなくなるように互いに差をつけ
た。そして、その手段としては、電歪素子の分割間隙を
広くしたり、電歪素子に連設された金属材に空洞あるい
は切り欠きを設けるようにした。
作用 空洞あるいは切り欠きを設けたり、電歪素子の分割間隙
を広くすることにより、一方向のたわみ共振周波数は、
それと直角方向のたわみ共振周波数に比べて低下してX,
Y軸共振周波数の差が拡大し、Y軸共振レスポンスに対
するX軸共振レスポンスの干渉がなくなり正しいY軸方
向の振動姿態となる。
を広くすることにより、一方向のたわみ共振周波数は、
それと直角方向のたわみ共振周波数に比べて低下してX,
Y軸共振周波数の差が拡大し、Y軸共振レスポンスに対
するX軸共振レスポンスの干渉がなくなり正しいY軸方
向の振動姿態となる。
実施例 本発明の第一の実施例を第1図および第2図を参照して
説明する。前述の従来例に示した部分と同一部分は同一
符号を用い説明も省略する。本実施例は従来の例である
第6図のたわみ振動子1における金属材3を短くして金
属材30とするとともに金属材2の大径部を長くして金属
材31とし、金属材31の上下に丸穴32,33を設けてたわみ
振動子29としたものである。
説明する。前述の従来例に示した部分と同一部分は同一
符号を用い説明も省略する。本実施例は従来の例である
第6図のたわみ振動子1における金属材3を短くして金
属材30とするとともに金属材2の大径部を長くして金属
材31とし、金属材31の上下に丸穴32,33を設けてたわみ
振動子29としたものである。
丸穴32,33をY軸方向に設けたため、Y軸のたわみ共振
周波数は第6図のたわみ振動子1に比べて大きく低下す
る一方、X軸のたわみ共振周波数は僅かに低下するのみ
となつて、X,Y軸の共振周波数の差は第2図に示すそれ
ぞれのレスポンスのように大きく拡大する。
周波数は第6図のたわみ振動子1に比べて大きく低下す
る一方、X軸のたわみ共振周波数は僅かに低下するのみ
となつて、X,Y軸の共振周波数の差は第2図に示すそれ
ぞれのレスポンスのように大きく拡大する。
このようなたわみ振動子29によれば、X軸方向に薄くY
軸方向に厚いバイトホルダを用いたときに、X,Y軸方向
の共振周波数の差は縮まつてY軸共振レスポンスはX軸
の干渉を受けるようになり、例えば、突つ切りバイトに
おいてはその形状に制限を受ける。
軸方向に厚いバイトホルダを用いたときに、X,Y軸方向
の共振周波数の差は縮まつてY軸共振レスポンスはX軸
の干渉を受けるようになり、例えば、突つ切りバイトに
おいてはその形状に制限を受ける。
しかし、多用されるバイトホルダではX軸方向はそのま
まの幅とし、必要な大きさの振幅を得るためにY軸方向
に薄くするのが普通であり、したがつて、Y軸の共振周
波数が下がつてX軸のそれとは差が大きくなる方向とな
るため、このタイプは最も好ましい構成である。
まの幅とし、必要な大きさの振幅を得るためにY軸方向
に薄くするのが普通であり、したがつて、Y軸の共振周
波数が下がつてX軸のそれとは差が大きくなる方向とな
るため、このタイプは最も好ましい構成である。
次に本発明の第二の実施例を第3図及び第4図を参照し
て説明する。第3図に示すたわみ振動子34は、第6図の
従来例におけるたわみ振動子1の金属材2および金属材
3の両側面を電歪素子4,5に接する部分を残して切り取
つて金属材35および金属材36としたものである。そのた
め、X軸方向の質量を切り取つたために、X軸の共共振
周波数は第6図のたわみ振動子1に比べて大きく低下す
ると共にY軸の共振周波数はほとんど変化しないため、
第4図に示すそれぞれのレスポンスのごとくX軸共振周
波数が低い方向にその差が開くものである。
て説明する。第3図に示すたわみ振動子34は、第6図の
従来例におけるたわみ振動子1の金属材2および金属材
3の両側面を電歪素子4,5に接する部分を残して切り取
つて金属材35および金属材36としたものである。そのた
め、X軸方向の質量を切り取つたために、X軸の共共振
周波数は第6図のたわみ振動子1に比べて大きく低下す
ると共にY軸の共振周波数はほとんど変化しないため、
第4図に示すそれぞれのレスポンスのごとくX軸共振周
波数が低い方向にその差が開くものである。
このようなたわみ振動子によれば、X軸方向に厚く、Y
軸方向に薄いバイトホルダを用いたときにその差が少な
くなつて干渉を受けるようになり、そのようなバイトホ
ルダである高振幅用バイトにおいてその形状に制限を受
ける。したがつて、かかる構造のたわみ振動子34は、比
較的低い振幅のバイトホルダに適用される。
軸方向に薄いバイトホルダを用いたときにその差が少な
くなつて干渉を受けるようになり、そのようなバイトホ
ルダである高振幅用バイトにおいてその形状に制限を受
ける。したがつて、かかる構造のたわみ振動子34は、比
較的低い振幅のバイトホルダに適用される。
次に、本発明の第三の実施例を第5図を参照して説明す
る。第5図に示すものは従来例の第9図と同様に電歪素
子4,5を分割したものであるが、その間隙を大きく構成
したものである。第6図において用いた第7図あるいは
第9図の電歪素子4,5に換えて本実施例のような第5図
の電歪素子37,38を用いると、それらの電歪素子37,38の
間隙が広くなつたためにX軸の共振周波数に比べてX軸
の共振周波数が低下してそれらの差は拡大する。これは
X軸方向の慣性質量が低くなつたためで、第二の実施例
と同様な効果が得られるものである。
る。第5図に示すものは従来例の第9図と同様に電歪素
子4,5を分割したものであるが、その間隙を大きく構成
したものである。第6図において用いた第7図あるいは
第9図の電歪素子4,5に換えて本実施例のような第5図
の電歪素子37,38を用いると、それらの電歪素子37,38の
間隙が広くなつたためにX軸の共振周波数に比べてX軸
の共振周波数が低下してそれらの差は拡大する。これは
X軸方向の慣性質量が低くなつたためで、第二の実施例
と同様な効果が得られるものである。
以上の各実施例の説明から理解されるように、例えば、
X軸方向に丸孔を設けた金属材により分割間隙を広くし
た電歪素子を締着すると、一層X,Y軸共振周波数の差が
広がるというように、前述のそれぞれの実施例の組み合
わせによつてより大きな効果が発揮される。
X軸方向に丸孔を設けた金属材により分割間隙を広くし
た電歪素子を締着すると、一層X,Y軸共振周波数の差が
広がるというように、前述のそれぞれの実施例の組み合
わせによつてより大きな効果が発揮される。
また、振動切削装置におけるたわみ振動子の実施例を以
て説明したが、超音波振動をするウエルダやカツター等
のツールにおいても同様に実施される。すなわち、本発
明はX軸方向及びY軸方向のたわみ共振周波数を離すた
めに、どちらかの方向の金属材を切り取つたり、電歪素
子の分割間隙を広げてそれぞれの方向の慣性質量に差を
つけたことに特徴がある。その結果、X軸方向共振レス
ポンスの干渉による振動姿態の乱れに煩わされずに、多
様なツール(バイトホルダ)を使用することができる。
て説明したが、超音波振動をするウエルダやカツター等
のツールにおいても同様に実施される。すなわち、本発
明はX軸方向及びY軸方向のたわみ共振周波数を離すた
めに、どちらかの方向の金属材を切り取つたり、電歪素
子の分割間隙を広げてそれぞれの方向の慣性質量に差を
つけたことに特徴がある。その結果、X軸方向共振レス
ポンスの干渉による振動姿態の乱れに煩わされずに、多
様なツール(バイトホルダ)を使用することができる。
発明の効果 本発明は上述のように、電歪素子を含む振動系のたわみ
振動方向のたわみ共振振動の慣性質量と、前記たわみ振
動方向と直交する方向のたわみ共振振動の慣性質量と
に、それぞれの軸方向の共振レスポンスの干渉がなくな
るように互いに差をつけ、その手段としては、電歪素子
の分割間隙を広くしたり、電歪素子に連設された金属材
に空洞あるいは切り欠きを設けるようにしたので、一方
向のたわみ共振周波数は、それと直角方向のたわみ共振
周波数に比べて低下してX,Y軸共振周波数の差が拡大
し、Y軸共振レスポンスに対するX軸共振レスポンスの
干渉がなくなり正しいY軸方向の振動姿態とすることが
できると云う効果を有する。
振動方向のたわみ共振振動の慣性質量と、前記たわみ振
動方向と直交する方向のたわみ共振振動の慣性質量と
に、それぞれの軸方向の共振レスポンスの干渉がなくな
るように互いに差をつけ、その手段としては、電歪素子
の分割間隙を広くしたり、電歪素子に連設された金属材
に空洞あるいは切り欠きを設けるようにしたので、一方
向のたわみ共振周波数は、それと直角方向のたわみ共振
周波数に比べて低下してX,Y軸共振周波数の差が拡大
し、Y軸共振レスポンスに対するX軸共振レスポンスの
干渉がなくなり正しいY軸方向の振動姿態とすることが
できると云う効果を有する。
第1図は本発明の第一の実施例を示す縦断側面図、第2
図(a)(b)はX軸方向とY軸方向との振動姿態を示
すグラフ、第3図は本発明の第二の実施例を示す斜視
図、第4図(a)(b)はX軸方向とY軸方向との振動
姿態を示すグラフ、第5図は本発明の第三の実施例を示
す電歪素子の斜視図、第6図(a)(b)は振動分布と
ともにたわみ振動子の従来の構造の一例を示す縦断側面
図、第7図は電歪素子の斜視図、第8図は電極板の斜視
図、第9図は電歪素子の他の形状を示す斜視図、第10図
は第9図に示した電歪素子を用いた斜視図、第11図はバ
イトホルダの側面図、第12図はその平面図、第13図はそ
の正面図、第14図はバイトホルダの他の例を示す側面
図、第15図はその平面図、第16図はバイトホルダのさら
に他の例を示す側面図、第17図はその平面図、第18図
(a)(b)乃至第20図(a)(b)に示すものはX軸
とY軸との共振レスポンスの状態を示すグラフである。 4,5,37,38……電歪素子、30,31,35,36……金属材
図(a)(b)はX軸方向とY軸方向との振動姿態を示
すグラフ、第3図は本発明の第二の実施例を示す斜視
図、第4図(a)(b)はX軸方向とY軸方向との振動
姿態を示すグラフ、第5図は本発明の第三の実施例を示
す電歪素子の斜視図、第6図(a)(b)は振動分布と
ともにたわみ振動子の従来の構造の一例を示す縦断側面
図、第7図は電歪素子の斜視図、第8図は電極板の斜視
図、第9図は電歪素子の他の形状を示す斜視図、第10図
は第9図に示した電歪素子を用いた斜視図、第11図はバ
イトホルダの側面図、第12図はその平面図、第13図はそ
の正面図、第14図はバイトホルダの他の例を示す側面
図、第15図はその平面図、第16図はバイトホルダのさら
に他の例を示す側面図、第17図はその平面図、第18図
(a)(b)乃至第20図(a)(b)に示すものはX軸
とY軸との共振レスポンスの状態を示すグラフである。 4,5,37,38……電歪素子、30,31,35,36……金属材
Claims (3)
- 【請求項1】電歪素子を含む振動系のたわみ振動方向の
たわみ共振振動の慣性質量と、前記たわみ振動方向と直
交する方向のたわみ共振振動の慣性質量とに、それぞれ
の軸方向の共振レスポンスの干渉がなくなるように互い
に差をつけたことを特徴とするたわみ振動子。 - 【請求項2】電歪素子の分割間隔を広くしたことを特徴
とする請求項1記載のたわみ振動子。 - 【請求項3】電歪素子に連設された金属材に空洞あるい
は切り欠きを設けて振動系のたわみ振動方向のたわみ共
振振動の慣性質量と、前記たわみ振動方向と直交する方
向のたわみ共振振動の慣性質量とに、それぞれの軸方向
の共振レスポンスの干渉がなくなるように互いに差をつ
けたことを特徴とするたわみ振動子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63322803A JPH0694081B2 (ja) | 1988-12-21 | 1988-12-21 | たわみ振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63322803A JPH0694081B2 (ja) | 1988-12-21 | 1988-12-21 | たわみ振動子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02167601A JPH02167601A (ja) | 1990-06-28 |
JPH0694081B2 true JPH0694081B2 (ja) | 1994-11-24 |
Family
ID=18147802
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63322803A Expired - Lifetime JPH0694081B2 (ja) | 1988-12-21 | 1988-12-21 | たわみ振動子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0694081B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4996826B2 (ja) * | 2005-01-27 | 2012-08-08 | Towa株式会社 | 楕円振動切削装置 |
WO2007091425A1 (ja) * | 2006-02-08 | 2007-08-16 | Konica Minolta Opto, Inc. | 切削用振動体、加工装置、成形金型、及び光学素子 |
JP4718575B2 (ja) * | 2008-04-09 | 2011-07-06 | 伊藤 仁彦 | 超音波振動接合装置 |
CN114700544B (zh) * | 2022-02-23 | 2023-12-12 | 重庆大学 | 一种纵扭弯耦合三维超声刀柄装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0649242B2 (ja) * | 1987-02-04 | 1994-06-29 | 多賀電気株式会社 | 超音波振動切削装置 |
-
1988
- 1988-12-21 JP JP63322803A patent/JPH0694081B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH02167601A (ja) | 1990-06-28 |
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