JPH0691345B2 - 基板搬送装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は電子回路基板等の基板を加工する工程で用いる
基板搬送装置に関する。

（ロ）従来の技術 基板加工工程、例えば電子回路基板に電子部品を装着す
るといった工程においては、XYテーブルのような基板位
置決め装置に基板を固定して、基板の任意の位置を加工
用工具（例えば電子部品装着用真空チャック）に相対さ
せる、という構成をとることが多い。基板位置決め装置
に基板を取り付けたり、あるいはそこから基板を取り外
したりする作業も最近では殆ど自動化されている。この
作業に関連してローディングブリッジとアンローディン
グブリッジが用いられる。基板位置決め装置、ローディ
ングブリッジ、アンローディングブリッジは一直線に並
んで基板の受け渡しを行なう。かかる装置の例は、例え
ば特公昭59-12565号公報、特公昭62-13837号公報に見る
ことができる。

上記の如き基板搬送装置において、基板位置決め装置に
乗り移った基板は、基板位置決め装置に対し一定の位置
を保つよう固定される。かかる位置決めと固定には、特
開昭55-56685号公報の例のように、基板の位置決め穴に
ピンを挿入するという手法によることもあり、また特公
昭62-13837号公報の装置のように、前後左右から基板を
挾みつけるという手法によることもある。後者の手法
は、位置決め用穴を設けるスペースのない小型基板に多
く適用される。

（ハ）発明が解決しようとする課題 基板位置決め装置に送り込まれた基板を挾みつけて固定
するに際しては、基板の両側縁を案内するレール板それ
自体を挾みつけ手段として利用することが多い。この場
合、可動側となったレール板を開閉動させるのはエアシ
リンダであった。しかしながら、基板位置決め装置は限
られた領域内ではあるが自在な、且つ敏速な動きを要求
されるものであり、配管・配線を要するアクチュエータ
の類は搭載しないにこしたことはない。そこで本発明
は、内蔵アクチュエータによらずして基板位置決め装置
の可動レール板を動作させることのできる装置を提供し
ようとするものである。

（ニ）課題を解決するための手段 本発明においては、ローディングブリッジとアンローデ
ィングブリッジを、基板位置決め装置のはまり込む間隔
を置いて相互距離不変に設置する。基板位置決め装置の
レール板は、基板受け渡し時のみローディングブリッジ
・アンローディングブリッジと一直線に並び、それ以外
の時点では両ブリッジの間から抜け出して、両ブリッジ
に干渉することなく水平方向に移動させられるようにす
る。レール板の内可動側となったものをばねにより基板
挾みつけ方向に附勢すると共に、このレール板とローデ
ィングブリッジ及びアンローディングブリッジの一方又
は双方との間には、ばねによる附勢と反対方向の動きを
レール板に生ぜしめるカム装置を設ける。

（ホ）作用 レール板がローディングブリッジとアンローディングブ
リッジの間にはまり込む過程において、カム装置のカム
が接触を生じ、可動側のレール板をばねによる附勢力に
抗して移動させる。このため、今までレール板間に挾み
つけられていた基板は釈放され、アンローディングブリ
ッジへの乗り移りが可能になる。基板の受け渡しを終わ
り、レール板が両ブリッジの間から抜け出すとカムの接
触が解消し、可動側のレール板は新しく受け取った基板
を挾みつける （ヘ）実施例 まず第１図に基き装置のアウトラインを説明する。同図
において、（１）は加工すべき基板、（３）は基板
（１）を加工位置に移動させる基板位置決め装置、
（５）は基板位置決め装置（３）に未加工の基板（１）
を送り込むローディングブリッジ、（７）は基板位置決
め装置（３）から加工済基板を受け取るアンローディン
グブリッジである。ローディングブリッジ（５）とアン
ローディングブリッジ（７）は、基板位置決め装置
（３）のはまり込む間隔を置いて、相互距離不変に設置
されている。基板加工作業は、基板位置決め装置（３）
の上部をローディングブリッジ（５）とアンローディン
グブリッジ（７）より下に沈み込ませておいて行なう。
作業終了後、基板位置決め装置（３）の上部は上昇して
ローディングブリッジ（５）とアンローディングブリッ
ジ（７）の間を連結する。この機構については後述す
る。

次にローディングブリッジ（５）の構造を説明する。ロ
ーディングブリッジ（５）は、１対の平行する桁構造
（10）（11）により構成される。一方の桁構造（11）
は、桁構造（10）に対し開閉動可能、つまり自ら動いて
桁構造（10）との間の間隔を変えられるようになってい
る。第６図に模型的に示す電動機（12）が、間隔変更動
力源を構成する。電動機（12）はねじ軸（13）を回転さ
せて桁構造（11）を動かす。以下の説明では、桁構造
（11）のことを特に可動桁構造と呼ぶことにする。

桁構造（10）と可動桁構造（11）の互に向かい合う縁部
には、基板（１）の側縁を落とし込んで支える段部（1
4）が形設されている（第５図、第12図）。段部（14）
の底の部分は、ローディングブリッジ（５）の出口に近
い僅かな個所を除いて、その殆どを基板搬送ベルト（1
5）によって構成されている。桁構造（10）と可動桁構
造（11）の間には、基板搬送ベルト（15）によって運ん
で来た基板（１）のオーバーランを防ぐためのストッパ
（16）を配置する。ストッパ（16）は第16図に示す形状
をしたレバー様の部材であって、桁構造（10）の外面に
水平に支持された回動軸（17）に取り付けられ、先端の
爪部（18）を、回動軸（17）の一方向への回動と共に基
板係止位置へ進出させ、回動軸（17）の逆方向への回動
と共に基板係止位置から待避させる。（19）はストッパ
（16）の進退アクチュエータである。進退アクチュエー
タ（19）はエアシリンダにより構成され、桁構造（10）
から突出したブラケット（20）に基端を枢支され、ロッ
ド（21）の先端を、回動軸（17）に固定したクランク
（22）に連結している。進退アクチュエータ（19）がロ
ッド（21）を出し入れすることにより、回動軸（17）に
回動が生じる。回動軸（17）の、アンローディングブリ
ッジ（７）側の端には出力部材（23）を固定する。出力
部材（23）は先端にローラ（24）を有するレバー様部材
である。

（26）は基板（１）を送るためのウォーキングビーム
で、３本の爪（27）（28）（29）を下向きに突出させて
いる。爪（27）は基板位置決め装置（３）から加工済基
板（１）を押し出すためのもの、爪（28）（29）は、ロ
ーディングブリッジ（５）から基板位置決め装置（３）
へ、未加工の基板（１）を前後から挾んで送り込むため
のものである。

アンローディングブリッジ（７）も、平行する１対の桁
構造（40）（41）からなる。可動桁構造（11）と同じ側
に位置する桁構造（41）は、やはり桁構造（40）に対し
間隔変更運動可能となっている。そこで、桁構造（41）
も可動桁構造と呼ぶ。可動桁構造（41）の間隔変更動力
源は、第６図に模型的に示す電動機（42）と、これによ
って回転せしめられるねじ軸（43）である。電動機（1
2）（42）は、可動桁構造（11）（14）が、同時に、同
方向へ、同速度で、同距離だけ移動するよう、制御装置
（44）により制御される。桁構造（40）と可動桁構造
（41）の互に向かい合う縁部には、基板（１）の側縁を
落とし込んで支える段部（45）が形設され、段部（45）
の底の部分は、アンローディングブリッジ（７）の入口
に近い僅かな個所を除いて、その殆どを基板搬送ベルト
（46）によって構成されている。

基板位置決め装置（３）の構造は次の通りである。ベー
ス（50）はいわゆるXYテーブルであって、水平面内で２
次元的に移動する。この上にフレーム（51）が設置さ
れ、フレーム（51）の上部には、ローディングブリッジ
（５）及びアンローディングブリッジ（７）の桁構造と
並ぶように、１対のガイドレール構造（52）（53）を設
置する。ガイドレール構造（53）はガイドレール構造
（52）に対し間隔変更運動可能であり、可動ガイドレー
ル構造と呼ぶことにする。ガイドレール構造（52）と可
動ガイドレール構造（53）はレール板（54）（55）を有
する。またレール板（54）（55）から一段と低くなっ
て、向かい合う段部（56）が形設され、ここで基板
（１）の側縁を支持するようになっている。レール板
（55）については、段部（56）のところに多数のローラ
（61）を配置している。ローラ（61）は１列に並んで基
板（１）の縁部を誘導するもので、各々が１個づつのス
ライドブロック（62）に支持されている。各スライドブ
ロック（62）は、第７図に見られるように一定のストロ
ーク範囲で進退が可能であって、圧縮コイルばね（63）
により、ローラ（61）を最大限に突出させる位置まで押
し出されている。

可動ガイドレール構造（53）について更に詳しく述べ
る。（70）は可動ガイドレール構造（53）の主部をなす
ベースプレートで、レール板（55）はその上に載置され
ている。レール板（55）の両端には基板（１）の流れ方
向と直角の方向の延びる長穴（71）が形設されており、
この長穴（71）に、ベースプレート（70）から突出した
案内ピン（72）が係合している。ベースプレート（70）
の側面にはばね受け板（73）を固定し、このばね受け板
（73）とレール板（55）の間に、第７図に示すように圧
縮コイルばね（74）を挿入して、レール板（55）をレー
ル板（54）の方へ押し出している。レール板（55）の進
出を止めるストッパ（75）もまた、ベースプレート（7
0）に固定する（第７図）。第４、５、６、８図に示す
（76）は大きく広がった頭部を有する抜け止めボルトで
あって、レール板（55）に穿った長穴（長穴（71）と同
方向に延びる）を通じてベースプレート（70）にねじ込
まれ、レール板（55）をスライド可能に、且つベースプ
レート（70）から分離しないように保持する。

ベースプレート（70）の、ローディングブリッジ（５）
及びアンローデイングブリッジ（７）の端部に面するこ
とになる側面には、１対づつの連結ローラ（80）が、水
平方向に所定の間隔を置いて装着されている。レール板
（55）の方には、両側に１個づつのカムフォロワローラ
（81）を装着する。カムフォロワローラ（81）は通常、
すなわちレール板（55）がストッパ（75）に当たってい
る状態において、１対の連結ローラ（80）のうちレール
板（54）から遠い側のものよりもややレール板（54）の
方に偏位した位置にある（第９図）。カムフォロワロー
ラ（81）は、ローディングブリッジ（５）とアンローデ
ィングブリッジ（７）の可動桁構造（11）（41）に固定
されたくさび状のカム板（82）と組み合わさって、カム
装置（83）を構成している。

ガイドレール構造（52）及び可動ガイドレール構造（5
3）は昇降機構（90）によって昇降せしめられる。（9
1）は昇降機構（90）の主部をなす昇降フレームで、フ
レーム（51）の上部構造を構成しており、図示しない軸
受にガイドロッド（103）を嵌合させて、垂直に昇降す
る。昇降動力源となるのはフレーム（51）に取り付けた
エアシリンダ（92）である。エアシリンダ（92）のロッ
ド（93）は真上を向き、その先端には押し上げヘッド
（94）が装着されている。押し上げヘッド（94）は、フ
レーム（51）に枢支したレバー（95）の先端のローラ
（96）を押し上げる。レバー（95）の裏側には別のロー
ラ（97）が取り付けられており、このローラ（97）が、
昇降フレーム（91）の一側面から張り出した耳片（98）
を押し上げる。而してレバー（95）は回動軸（99）の一
端に固定されるのであるが、回動軸（99）の他端にはも
う１本のレバー（100）が固定されており、このレバー
（100）の先端ローラ（101）が、昇降フレーム（91）の
他側面から張り出した耳片（102）を押し上げる仕組み
になっている。これにより、単一のエアシリンダ（92）
の力を昇降フレーム（91）の両側に均等に伝えることが
できる。

上記上昇フレーム（91）に対し、ガイドレール構造（5
2）は固定されているが、可動ガイドレール構造（53）
は、直線ガイド機構（110）（第２、３図）により、ス
ライド可能に支持されている。スライド方向は基板
（１）の流れ方向と直角である。可動ガイドレール構造
（53）から垂下したブラケット（111）に、可動ガイド
レール構造（53）のスライドを止めるブレーキ機構（11
2）が支持されている。ブレーキ機構（112）はロッドの
先端にブレーキパッド（113）を取り付けたエアシリン
ダ（114）により構成される。ブエーキパッド（113）は
常時は圧縮コイルバネ（115）の力により昇降フレーム
（91）の下面に押し付けられ、可動ガイドレール構造
（53）をロックしている。エアシリンダ（114）が作動
するとブレーキパッド（113）は昇降フレーム（91）か
ら引き離され、可動ガイドレール構造（53）はスライド
できるようになる。

基板位置決め装置（３）において、基板流れ方向と直角
方向の位置決めはレール板（55）が基板（１）をレール
板（54）に押し付けることによって構成されるが、基板
流れ方向の位置決めについては別途方策を講じなければ
ならない。以下その機構を説明する。

（120）は基板（１）の進行方向前縁（以下単に「前
縁」と呼ぶ）ないし進行方向後縁（以下単に「後縁」と
呼ぶ）を受け止める位置基準部材である。位置基準部材
（120）はレバー（121）の先端に設けられており、レバ
ー（121）は、ガイドレール構造（52）と平行する如く
昇降フレーム（91）に枢支された回動軸（122）（第13
図）に取り付けられている。レバー（121）の根元はす
り割り部（123）となっており、締付ボルト（124）を緩
めれば回動軸（122）の軸線方向にレバー（121）をスラ
イドさせることができる。レバー（121）の取付角度が
狂わないよう、レバー（121）と回動軸（122）の間には
キー（125）を介在させる。回動軸（122）は、その一端
に固定したレバー（126）を図示しないばねが押すこと
により、レール板（54）（55）の間に位置基準部材（12
0）が顔を出す角度位置に常時保持されている。回動軸
（122）の他端にはレバー様の動力伝達部材（127）を固
定する。この動力伝達部材（127）は、ローディングブ
リッジ（５）の出力部材（23）から動きを伝えられるこ
とになる。進退アクチュエータ（19）、出力部材（2
3）、動力伝達部材（127）の組み合わせにより、位置基
準部材駆動機構（128）が構成される。なお位置基準部
材（120）の両面からは図示しないばねで附勢されたバ
ンパー部材（129）が突出している。ばねの力は弱いも
のであり、基板（１）が当たればバンパー部材（129）
は容易に位置基準面の中に引っ込む。

位置基準部材（120）に基板（１）を押し付ける押圧部
材は、昇降フレーム（91）にではなく、フレーム（51）
の非昇降部分に設置される。基板（１）の前縁側と後縁
側とに、第１の押圧部材（140）と第２の押圧部材（14
1）を対称的に設ける。第１と第２の押圧部材（140）
（141）は垂直な回動軸（142）（143）に固定されたレ
バー様部材であって、先端には基板（１）に接触するロ
ーラ（144）（145）を有する。これらの押圧部材（14
0）（141）は、次のように構成される押圧部材駆動機構
（147）によって動かされる。すなわち回動軸（142）
（143）には、互いに相手の方に突出するようにレバー
（148）（149）を固定する（第15図）。レバー（148）
（149）の先端にはローラ（150）（151）を固定し、ま
た引張コイルばね（152）（153）により、レバー（14
8）は第15図において反時計まわりに、レバー（149）は
同じく時計まわりに、それぞれ附勢されている。ローラ
（150）（151）はフレーム（51）に水平に支持したスラ
イドロッド（154）（155）に当たる。スライドロッド
（154）（155）は圧縮コイルばね（156）（157）により
最大進出位置（抜止リング（158）が限界を定める）に
押し出される。基板位置決め装置（３）がローディング
ブリッジ（５）とアンローディングブリッジ（７）の間
のいわゆる原点に復帰すると、この位置に設けてある不
動ストッパ（159）にスライドロッド（154）（155）が
当たって押され、レバー（148）（149）をばね（152）
（153）に抗して押し、押圧部材（140）（141）を位置
基準部材（120）から遠ざかる方向に回動させることに
なる。

図中（170）は接着剤ディスペンサである。

本発明装置は次にように動作する。基板（１）の加工と
は、本実施例の場合、接着剤ディスペンサ（170）が降
下して基板表面に接着剤を付着させる作業のことである
が、その作業時には昇降フレーム（91）は降下位置にあ
り、ガイドレール構造（52）と可動ガイドレール構造
（53）は、ローディングブリッジ（３）とアンローディ
ングブリッジ（７）に干渉しない高さに下がっている
（第２図）。基板加工作業は、ガイドレール構造（52）
と可動ガイドレール構造（53）を下げると共に、不動ス
トッパ（159）から基板位置決め装置（３）を引き離し
て行なう。このため押圧部材駆動機構（147）のスライ
ドロッド（154）（155）は最大進出位置に移動してお
り、押圧部材（140）（141）は位置基準部材（120）に
接近し、基板（１）の位置決めを行なっている。図示の
例では、第２の押圧部材（141）と位置基準部材（120）
との間に基板（１）を挾む設定となっている。またレー
ル板（55）はばね（74）の段発力によりレール板（54）
に基板（１）を押し付ける。これにより、互に直行する
２方向に関し基板位置決め装置（３）と基板（１）の相
対位置が決定される。

基板加工終了後、基板位置決め装置（３）は原点に復帰
する。原点に復帰すると、スライドロッド（154）（15
5）が不動ストッパ（159）に当たって押され、押圧部材
（140）（141）は位置基準部材（120）から離れる向き
に回動し、基板（１）はその流れ方向において拘束を解
かれる。次いでエアシリンダ（92）が動作し、昇降フレ
ーム（91）を上昇させる。押圧部材（140）（141）は下
に残り、基板（１）の前後から消える。昇降フレーム
（91）の上昇に伴いガイドレール構造（52）はローディ
ングブリッジ（５）とアンローディングブリッジ（７）
の桁構造（10）（40）の間にはまり込んで３者一直線に
並び、可動ガイドレール構造（53）は同じく可動桁構造
（11）（41）の間にはまり込んで３者一直線に並ぶ。そ
の際、レール板（55）が可動桁構造（11）（41）の間に
入って行くにつれ、第９図から第11図に示すようにカム
板（82）とローラカムフォロワ（81）との間に接触が生
じ、レール板（55）はばね（74）に抗し移動せしめられ
て、基板（１）を釈放する。可動ガイドレール構造（5
3）が上昇の頂点に達した第11図の状態では、カム板（8
2）が連結ローラ（80）（80）の間に嵌合し、可動ガイ
ドレール構造（53）そのものが可動桁構造（11）（14）
に連結する形になる。他方ガイドレール構造（52）の側
においては、レバー（127）が出力部材（23）に並び、
出力部材（23）のローラ（24）が動力伝達部材（127）
の上面に対向している。

ここで進退アクチュエータ（19）の動作が生じる。第18
図のように進退アクチュエータ（19）がロッド（21）を
伸ばすとストッパ（16）は下向きに回動し、これに当た
って止まっていた基板（１）から離れる。出力部材（2
3）も下向きに回動し、ローラ（24）で動力伝達部材（1
27）を押す。そのため回動軸（122）が回動し、位置基
準部材（120）は基板係止位置から退避する（第６、15
図）。それと共にウォーキングビーム（26）が動き、基
板位置決め装置（３）から加工済の基板（１）をアンロ
ーディングブリッジ（７）へと押し出し、また未加工の
基板（１）をローディングブリッジ（５）から基板位置
決め装置へ移す。ウォーキングビーム（26）の動作中
は、基板搬送ベルト（15）は静止している。基板（１）
の受け渡しを終えた後、進退アクチュエータ（19）はロ
ッド（21）を引っ込め、ストッパ（16）と位置基準部材
（120）は旧位置に復元する。それと同時に基板搬送ベ
ルト（15）の動きが再開し、新たな未加工基板（１）を
ストッパ（16）のところまで運んで来るものである。ア
ンローディングブリッジ（７）の方の基板搬送ベルト
（46）は常時運転しており、加工済基板（１）の一部が
その上にかかった時点で、摩擦力により引き込んで運び
去っているものである。

次いでシリンダ（92）が昇降フレーム（91）を降下させ
る。カム板（82）からカムフォロワローラ（81）が離れ
ることにより、レール板（55）はばね（74）の力で進出
し、基板（１）をレール板（54）に押しつける。昇降フ
レーム（91）が降りきると押圧部材（140）（141）が基
板（１）の前後に出現することになる。基板位置決め装
置（３）が水平に移動し、不動ストッパ（159）から離
れて行くと、押圧部材（140）（141）は位置基準部材
（120）に接近し、第２の押圧部材（141）は基板（１）
を後方から押して位置基準部材（120）に押しつけ、基
板（１）に所定の基準位置を獲得させる。

基板（１）が後辺を基準辺とする場合は、位置基準部材
（120）の前に基板（１）を送り込む。今度は第１の押
圧部材（140）が基板（１）の後縁を位置基準部材（12
0）に押しつけることになる。レバー（121）を回動軸
（122）に沿って移動させることにより、位置基準部材
（120）と押圧部材（140）（141）の間隔を基板（１）
の前後方向長さに応じて自由に設定さすることができ
る。このように基板（１）の送り込み深さを変えるた
め、ウォーキングビーム（26）は、その移動ストローク
を変更できるようにしておく。また爪（28）（29）も位
置可変であるのが望ましい。

基板（１）の搬送幅は次のようにして調節する。基板位
置決め装置（３）を原点に置き、昇降フレーム（91）を
上昇させると、前述のように連結ローラ（80）（80）が
カム板（82）を挟んで可動桁構造（11）（41）と可動ガ
イドレール構造（53）は連結する。ここでブレーキ機構
（112）による可動ガイドレール構造（53）のロックを
解除し、電動機（12）（42）を駆動すると、可動桁構造
（11）（41）と可動ガイドレール構造（53）は一体とな
って基板搬送幅を広げる方向または狭まる方向に移動す
る。所望の搬送幅が得られたところで電動機（12）（4
2）を停止し、ブレーキ機構（112）により再び可動ガイ
ドレール構造（53）をロックすれば、以後その幅で基板
（１）を受け入れて搬送することになる。

（ト）発明の効果 本発明によれば、基板位置決め装置のレール板がローデ
ィングブリッジ・アンローディングブリッジの間にはま
り込み、またはそこから抜け出す動きに伴なって可動側
のレール板が動きを得、基板を拘束したり、または釈放
するようにしたから、レール板に動きを与えるためのア
クチュエータを基板位置決め装置に設けずとも良く、基
板位置決め装置に対する配線・配管をそれだけ少なくで
き、基板位置決め装置の故障頻度を低下させられるもの
である。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の一実施例を示し、第１図は装置の概略構成
を示す斜視図、第２図及び第３図は基板位置決め装置の
要部断面正面図にして、異なる動作状態を示すもの、第
４図はガイドレール構造の昇降機構を示す斜視図、第５
図及び第６図は異なる動作状態の上面図、第７図及び第
８図は可動ガイドレール構造の断面及び部分上面図、第
９図乃至第11図は可動ガイドレール構造とカム板との相
互作用を説明する側面図、第12図はローディングブリッ
ジ側可動桁構造の部分斜視図、第13図は不動側のガイド
レール構造の斜視図、第14図は基板位置決め装置の拡大
上面図、第15図は同じく基板位置決め装置の拡大上面図
にして、要部を破断したもの、第16図は位置基準部材駆
動機構の斜視図、第17図及び第18図は位置基準部材駆動
機構の動作説明図である。 （１）……基板、（３）……基板位置決め装置、（５）
……ローディングブリッジ、（７）……アンローディン
グブリッジ、（54）（55）……レール板、（92）……エ
アシリンダ（動力源）、（74）……ばね、（83）……カ
ム装置。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】次の構成要素を備えた基板搬送装置。 （ａ）基板を支持した状態で水平方向に移動することに
   より、基板面の所望個所を加工位置に置く基板位置決め
   装置 （ｂ）前記基板位置決め装置に未加工の基板を送り込む
   ローディングブリッジ （ｃ）前記ローディングブリッジに対し基板位置決め装
   置のはまり込む間隔を置いて相互距離不変に設置され、
   基板位置決め装置から加工済基板を受け取るアンローデ
   ィングブリッジ （ｄ）基板位置決め装置において基板の両側縁を案内す
   る役割を担う一対のレール板 （ｅ）前記レール板とローディングブリッジ・アンロー
   ディングブリッジとが、基板受け渡し時のみ一直線に並
   び、それ以外の時点ではレール板が両ブリッジの間から
   抜け出して相互干渉を回避することになるよう、これら
   の相対位置を変化させる動力源 （ｆ）前記レール板の一方を他方に対し附勢して、基板
   挾みつけ力を生じさせるばね （ｇ）前記ばねで附勢されたレール板と、ローディング
   ブリッジ及びアンローディングブリッジの一方又は双方
   との間に設けられ、レール板が両ブリッジの間にはまり
   込む過程においてカムの接触を生じ、このレール板を前
   記ばねに抗し基板釈放方向に移動させるカム装置。