JPH01207998A - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は電子回路基板等の基板を加工す゛る工程で用い
る基板搬送装置に関する。

（ロ）従来の技術 基板加工工程、例えば電子回路基板に電子部品を装着す
るといった工程においては、ＸＹ子テーブルような基板
位置決め装置に基板を固定して、基板の任意の装置を加
工用工具（例えば電子部品装着用真空チャック）に相対
きせる、という構成をとることが多い。基板位置決め装
置に基板を取り付けたり、あるいはそこから基板を取り
外したりする作業も最近では殆ど自動化されている。こ
の作業に関連してローディングブリッジとアンローディ
ングブリッジが用いられる。基板位置決め装置、ローデ
ィングブリッジ、アンローディングブリッジは一直線に
並んで基板の受け渡しを行なう。かかる装置の例は、例
えば特公昭５９−１２５６５号公報、特公昭６２−１３
８３７号公報に見ることができる。

上記のような基板搬送装置は、大ききの異なる基板を取
り扱えるよう、搬送部の幅を調節できるようになってい
る。ローディングブリッジの幅とアンローディングブリ
ッジの幅を同期して変化させることは、実公昭５７−７
７２１３号公報にも示きれているが、実際にも広く行な
われている。しかるに基板位置決め装置の幅調節は、ロ
ーティングブリッジ、アンローディングブリッジと同期
して行なう適当な手段がなく（ローティングブリッジ、
アンローディングブリッジ、基板位置決め装置をすへて
電動機で幅調節するものとすれは、３者の同期調節はも
ちろん可能であるか、このようにすると基板位置決め装
置の質量が増し、その高速化を阻害するので、この構造
が考慮されることはあまりない）、作業者が手操作で調
節することを余儀なくされていた。

（ハ）発明が解決しようとする課題 本発明は、ローディングブリッジ・アンローデインダブ
リ・／シの基板撤退幅調節に連動して基板位置決め装置
の基板搬送幅を調節でき、しかも４一 基板位置決め装置の質量を徒らに増大させることのない
、新規構成の基板搬送装置を提供することを目的とする
。

（ニ）課題を解決するための手段 本発明においては、ローディングブリッジとアンローデ
ィングブリッジ番、基板位置決め装置のはまり込む間隔
を置いて相互距離不変に設置する。両ブリッジは各々１
対つつ平行な桁構造を有し、各１対の内少なくとも一方
の桁構造は他方に対し間隔不変の可動桁構造となってい
る。両ブリッジの可動桁構造は、間隔変更動力源により
同期して移動せしめられる。基板位置決め装置は１対の
ガイドレール構造を有し、このガイドレール構造は基板
受け渡し時のみ両ブリンシと一直線に並び、それ以外の
時点では両ブリッジの間から抜け出して、両ブリッジに
干渉することなく水平方向に移動できるようになってい
る。ガイドレール構造の内前記可動桁構造と同じ側に位
置するものは、可動桁構造と同様可動構造とする。可動
ガイドレール構造と可動桁構造の少なくとも一方の間に
は、可動ガイドレール構造が両ブリ・／ジの間にはまり
込む動きに伴ないこれらを連結するに至る連結構造を設
ける。また基板位置決め装置中には、可動ガイドレール
構造を、こえが可動桁構造と共に移動する時以外はロッ
クするブレーキ機構を設置する。

（ホ〉　作用 ガイドレール構造がローディングブリッジとアンローデ
ィングの間にはまり込むと、少なくとも−・方の可動桁
構造に可動ガイドレール構造が連結する。可動桁構造が
移動すると、可動ガイドレール構造もそれに伴なって移
動する。この時は、可動ガイドレール構造はブレーキを
解除されている。可動桁構造が動きを止めると可動ガイ
ドレール構造も新しい位置を得る。ここで再びブレーキ
機構を動作させ、可動ガイドレール構造をロックする。

両ブリッジの間からガイドレール構造が抜（づ出すと可
動ガイドレール構造と可動桁構造の連結は解ける。

（へ）実施例 まず第１図に基き装置のアウトラインを説明する。同図
において、〈１）は加工すべき基板、〈３）は基板（１
）を加Ｔ位置に移動きせる基板位置決め装置、（５）は
基板位置決め装置（３）に未加工の基板（１）を送り込
むローディングブリッジ、（７）は基板位置決め装置（
３）から加工済基板を受け取るアンローディングブリッ
ジである。ローディングブリッジ（５）とアンローティ
ングブリッジ（７）は、基板位置決め装置（３ンのはま
り込む間隔を置いて、相互距離不変に設置されている。

基板加工作業は、基板位置決め装Ｍ（３）の上部をロー
ディングブリッジ（５）とアンローティングブリッジ（
７）より下に沈み込ませておいて行なう。作業終了後、
基板位置決め装置（３）の上部は」−昇してローディン
グブリッジ（５）とアンローディングブリッジ（７）の
間を連絡する。この機構については後述する。

次にローティングブリッジ（５〉の構造を説明する。ロ
ーティングブリッジ（５）は、１対の平行する桁構造（
１０）＜１１）により構成される。一方の桁橋造り１１
〉は、桁構造（１０）に対し開閉動可能、つまり自ら動
いて桁構造（１０）との間の間隔を変えられるようにな
っている。第６図に模型的に示す電動機（１２）が、間
隔変更動力源を構成する。電動機（１２）はねし軸（１
３）を回転源せて桁構造（１１）を動かす。

以下の説明では、桁構造（１１）のことを特に可動桁構
造と呼ぶことにする。

桁構造（１０〉と可動桁構造（１１）の互に向かい合う
縁部には、基板（１）の側縁を落とし込んで支える段部
（１４）が形設されている（第５図、第１２図）。段部
（１４）の底の部分は、ローディングブリッジ（５）の
出口に近い僅かな個所を除いて、その殆どを基板搬送ベ
ルｈ（］５）によって構成きれている。桁構造（１０）
と可動桁構造（１１）の間には、基板搬送ベル１−（１
５）によって運んで来た基板（１）のオーバーランを防
ぐためのストッパ（１６）を配置する。ストッパ（１６
）は第１６図に示す形状をしたレバー様の部材であって
、桁構造（１０）の外面に水平に支持きれた回動軸（１
７）に取り付けられ、先端の爪部（１８〉を、回動軸（
１７）の一方向への回動と共に基板係止位置へ進出させ
、回動軸（１７）の逆方向への回動と共に基板係止位置
から待避させる。（１９）はス１−ツバ（１６）の進退
アクチュエータである。進退アクチュエータ（１９〉は
エアシリンダにより構成され、桁構造（１０）から突出
したブラケッ１−（２０）に基端を枢支され、ロンド（
２１）の先端を、回動軸（１７）に固定したクランク（
２２）に連結している。進退アクチュエータ（１９）が
ロンド（２１）を出し入れすることにより、回動軸（１
７）に回動が生しる。回動軸（１７）の、アンローディ
ングブリッジ（７）側の端には出力部材（２３）を固定
する。出力部材（２３）は先端にローラ（２４）を有す
るレバー様部材である。

（２６）は基板（１）を送るためのウオーキングビーム
で、３木の爪（２７）（２８）（２９＞を下向きに突出
許せている。爪（２７）は基板位置決め装置（３）から
加工ｉＡ：基板（１）を押し出すためのもの、爪（２８
＞（２９）は、ローティングブリッジ（５）から基板位
置決め装置（３〉へ、未加工の基板（１）を前後から挾
んで送り込むだめのものである。

アンローディングブリッジ（７）も、平行する１対の桁
構造（４０）（４１）からなる。可動桁構造（１１）と
同し側に位置する桁構造（４１）は、やはり桁構造（４
０）に対し間隔変更運動可能となっている。そこで、桁
構造（４１）も可動桁構造と呼ぶ。可動桁構造（４１）
の間隔変更動力源は、第６図に模型的に示す電動機（４
２〉と、これによって回転せしめられるねじ軸（４３）
である。電動機（１２）（４２）は、可動桁構造（１１
）（１４）が、同時に、同方向へ、同速度で、同距離た
け移動Ｖるよう、制御装置（４４〉により制御きれる。

桁構造（４０）と可動桁構造（４１）の互に向かい合う
縁部には、基板（１）の側縁を落とし込んで支える段部
（４５）が形設され、段部（４５）の底の部分は、アン
ローディングブリッジ（７）の入口に近い僅かな個所を
除いて、その殆どを基板搬送ヘルド（４６）によって構
成されている。

基板位置決め装置（３）の構造は次の通りである。ベー
ス（５０）はいわゆるＸＹテーブルであって、水平面内
で２次元的に移動する。この上にフレーム（５１）が設
置され、フレーム（５１）の上部には、ローディングブ
リッジ（５）及びアンローティングブリッジ（７）の桁
構造と並ぶように、１対のガイトレール構造（５２）（
５３）を設置する。ガイドレール構造（５３）はガイド
レール構造（５２）に対し間隔変更運動用能であり、可
動ガイドレール構造と呼ぶことにする。ガイドレール構
造（５２）と可動ガイドレール構造（５３〉はレール板
（５４）（５５）を有する。

またレール板（５４）（５５）から−段と低くなって、
向かい合う段部（５６）が形設され、ここで基板（１）
の側縁を支持するようになっている。レール１（５５）
については、段部（５６）のところに多数のローラ（６
１）を配置している。ローラ（６１）は１列に並んで基
板（１）の縁部を誘導するもので、各々が１個づつのス
ライドブロック（６２）に支持されている。各スライド
ブロック（６２〉は、第７図に見られるように一定のス
トローク範囲で進退が可能であって、圧縮コイルばね（
６３）により、ローラ（６１）を最大限に突出させる位
置まで押し出きれている。

可動ガイドレール構造（５３）について更に詳しく述べ
る。（７０）は可動ガイドト−ル構造（５３）の主部を
なすベースプレートで、レール板（５５）はその上に載
置されている。レール板（５５）の両端には基板（１）
の流れ方向と直角の方向に延びる長穴（７１）が形設さ
れており、この長大（７１）に、ベースプレートベ７０
）から突出した案内ビン（７２）が係合している。ベー
スプレー１−（７０＞の側面にははね受け板（７３）を
固定し、このばね受け板（７３）とレール板（５５）の
間に、第７図に示すように圧縮コイルばね（７４〉を挿
入して、レール板（５５）をレール板（５４）の方へ押
し出している。レール板（５５）の進出を止めるストッ
パ（７５）もまた、ベースプレー１−（７０）に固定す
る（第７図）。第４．５．６．８図に示す＜７６）は大
きく広がった頭部を有する抜け止めボルトであって、レ
ール板（５５）に穿った長穴く長穴（７１〉と同方向に
延びる）を通してベースプレー）、（７０）にねじ込ま
れ、レール板（５５）をスライド可能に、且つベースプ
レート（７０）から分離しないように保持する。

ベースプレート（７０）の、ローディングブリッジ（５
）及びアンローティングブリッジ（７）の端部に面する
ことになる側面には、１対つつの連結ローラ（８０）が
、水平方向に所定の間隔を置いて装着されている。レー
ル板（５５）の方には、両側に１個づつのカムフォロワ
ローラ（８１）を装着スる。カムフォロワローラ（８１
）は通常、すなわちレール板（５５）がストッパ（７５
）に当たっている状態において、１対の連結ローラ（８
０）のうちレール板（５４）から遠い側のものよりもや
やレール板（５４）の方に偏位した位置にある（第９図
）。カムフォロワローラ（８１）は、ローディングブリ
ッジ（５）とアンローディングブリッジ（７）の可動桁
構造（１１）（４１）に固定されたくさび状のカム板（
８２）と組み合わさって、カム装置（８３）を構成して
いる。

ガイドし・−ル構造（５２）及び可動ガイドレール構造
（５３）は昇降機構（９０）によって昇降せしめられる
。（９１）は昇降機構（９０）の主部をなす昇降フレー
ムで、フレーム＜５１）の上部構造を構成しており、図
丞しない軸受にガイドロッド（１０３）を嵌合させて、
垂直に昇降する。昇降動力源となるのはフレーム（５１
）に取り付けたエアシリンダ（９２）である。

エアシリンダ（９２〉のロッド（９３）は真上を向き、
その先端には押し上げヘッド（９４）が装着されている
。押し上げヘッド（９４）は、フレーム（５１）に枢支
したレバー（９５）の先端のローラ（９６）を押し上げ
る。レバー（９５）の裏側には別のローラ（９７〉が取
り付けられており、このローラ（９７）が、昇降フレー
ム（９１）の−側面から張り出した耳片（９８）を押し
上げる。而してレバー（９５）は回動軸（９９〉の一端
に固定されるのであるが、回動軸（９９）の他端にはも
う１本のレバー（１００）が固定されており、このレバ
ー　（１００）の先端のローラ（１０１）が、昇降フし
・−ム（９１）の他側面から張り出した耳片（１０２）
を押し上げる仕組みになっている。これにより、単一の
エアシリンダ（９２）の力を昇降フレーム（９１）の両
側に均等に伝えることができる。

上記昇降フレーム（９１）に対し、ガイドレール構３ｍ
（５２）は固定きれているが、可動ガイドレール構造（
５３）は、直線ガイド機構（１１０）（第２．３図）に
より、スライド可能に支持されている。スライド方向は
基板（１）の流れ方向と直角である。可動ガイドレール
構造（５３）から垂下したブラケット（１１１）に、可
動ガイドレール構造（５３）のスライドを止めるブレ・
−キ機構（１１２＞が支持されている。

ブレーキ機構（１１２）はロッドの先端にブレーキパッ
ド＜１１３＞を取り付けたエアシリンダ（１１４）によ
り構成される。ブレーキパッド（１１３）は常時は圧縮
コイルハネ（１１５）の力により昇降フレーム（９１）
の下面に押し付けられ、可動ガイドレール構造（５３）
をロックしている。エアシリング（１１４）が作動する
とブレーキパッド（１１３）は昇降フレーム＜９１）か
ら引き離され、可動ガイドレール構造（５３）はスライ
ドできるようになる。

基板位置決め装置（３）において、基板流れ方向と直角
方向の位置決めはレール板（５５）が基板（１）をレー
ル板（５４）に押し付けることによって構成されるが、
基板流れ方向の位置決めについては別途方策を講じなけ
れはならない。以下その機構を説明する。

（１２０）は基板〈１〉の進行方向前縁（以下単に「前
縁」と呼ぶ）ないし進行方向後縁（以下単に１後縁、と
呼ぶ）を受け止める位置基準部材である。

位置基準部材（１２０）はレバー（１２１）の先端に設
けられており、レバー（１２１）は、ガイドレール構造
（５２）と平行する如く昇降フレーム（９１）に枢支さ
れた回動軸（１２２）（第１３図）に取り付けられてい
る。

レバー（１２１）の根元はすり割り部（１２３）となっ
ており、締付ポルト（１２４）を緩めれば回動軸（１２
２＞の軸線方向にレバー（１２１）をスライドさせるこ
とができる。レバー（１２１）の取付角度が狂わないよ
う、レバー（１２１）と回動軸（１２２）の間にはキー
（１２５）を介在きせる。回動軸（１２２）は、その一
端に固定したレバー（１２６）を図示しないばねが押す
ことにより、レール板（５４）（５５）の間に位置基準
部材（１２０）が顔を出す角度位置に常時保持されてい
る。回動軸（１２２）の他端にはレバー様の動力伝達部
材（１２７＞を固定する。この動力伝達部材（１２７）
は、ローディングブリッジ（５）の出力部材（２３）か
ら動きを伝えられることになる。進退アクチュエータ（
１９）、出力部材（２３〉、動力伝達部材（１２７）の
組み合わせにより、位置基準部材駆動機構（１２８）が
構成される。なお位置基準部材（１２０）の両面からは
図示しないばねで附勢されたバンパ一部材（１２９）が
突出している。ばねの力は弱いものであり、基板（１）
が当たればバンパ一部材（１２９）は容易に位置基準面
の中に引っ込む。

位置基準部材（１２０）に基板（１）を押し付ける抑圧
部材は、昇降フレーム（９１）にではなく、フシ・−ム
（５１〉の非昇降部分に設置される。基板（１）の前縁
側と後縁側とに、第１の抑圧部材（１４０）と第２の押
圧部材（１４１）を対称的に設ける。第１と第２の押圧
部材（１４０＞（１４１）は垂直な回動軸（１４２＞（
１４３）に固定されたレバー様部材であって、先端には
基板（１）に接触するローラ（１４４）（１４５）を有
する。これらの抑圧部材（１４０）（１４１＞は、次の
ように構成される抑圧部材駆動機構（１４７）によって
動かされる。電なわち回動軸（１４２）（１４３）には
、互に相手の方に突出するようにレバー（１４８）（１
４９）を固定するく第１５図）。レバー（１４８）（１
４９）の先端にはローラ（１’５０）（１５１）を固定
し、また引張コイルばね（１５２，）（１５３）により
、レバー（１４８）は第１５図において反時計まわりに
、レバー＜１４９）は同じく時計まわりに、それぞれ附
勢きれている。ローラ（１５０）（１５，１）はフレー
ム（５１）に水平に支持したスライドロッド（１５４）
（１５５）に当たる。スライドロッド（１５４）（１５
５）は圧縮コイルばね（１５６）（１５７）により最大
進出位置（抜止リング（１５８）が限界を定める）に押
し出される。基板位置決め装置（３）がローディングブ
リッジ（５）とアンローディングブリッジ（７〉の間の
いわゆる原点に復帰すると、この位置に設けである不動
ストッパ（１５９）にスライドロッド（１５４）（１５
５）が当たって押され、レバー（１４８）（１４９）を
ばね（１５２＞（１５３）に抗して押し、押圧部材（１
４０）（１４１）を位置基準部材（１２０）から遠ざか
る方向に回動させることになる。

図中（１７０）は接着剤ディスベンザである。

本発明装置は次のように動作する。基板（１）の加工と
は、本実施例の場合、接着剤デイスペンサ（１７０）が
降下して基板表面に接着剤を付着きせる作業、のことで
あるが、その作業時には昇降フレーム（９１）は降下位
置にあり、ガイドレール構造（５２）と可動ガイドレー
ル構造（５３）は、ローディングブリッジ〈３）とアン
ローディングブリッジ（７）に干渉しない高さに下がっ
ている（第２図）。基板加工作業は、ガイドレール構造
（５２）と可動ガイドレール構造（５３）を下げると共
に、不動ストッパ（１５９）から基板位置決め装置（３
）を引き離して行なう。

このため押圧部材駆動機構（１，４７）のスライドロッ
ド（１り４）（１５５）は最大進出位置に移動しており
、押圧部材（１４０）（１４１）は位置基準部材（１２
０）に接近し５、基板（１）の位置決めを行なっている
。図示の例では、第２の押圧部材（１４１）と位置基準
部材（１２０）との間に基板（１〉を挾む設定となって
いる。またレール板（５５）はばね（７４）の弾発力に
よりレール板（５４）に基板（１）を押し付ける。これ
により、万に直交する２方向に関し基板位置決め装置く
３）と基板（１）の相対位置が決定いれる。

基板加工終了後、基板位置決め装置（３）は原点に復帰
する。原点に復帰すると、スライドロッド（１５４）（
１５５）が不動ストッパ（１５９）に当たって押され、
押圧部材〈１４０）’（１４１）は位置基準部材（１２
０）から離れる向きに回動し、基板（１）はその流れ方
向において拘束を解かれる。次いでエアシリノゲ（９２
〉が動作し、昇降フレーム（９１）を上昇きせる。

抑圧部材（１４０）（１４１）は下に残り、基板（１）
の前後から消える。昇降フレーム（９１）の上昇に伴な
いガイドレール構造り５２）はローティングブリソシ（
５〉とアンローディングブリッジ（７）の桁構造（１０
）（４０）の間にはまり込んで３者−直線に並び、可動
ガイドレール構造（５３）は同じく可動桁構造（１１）
（４１〉の間にはまり込んで３者−直線に並ぶ。その際
、レール板（５５）が可動桁構造（１１）（４１）の間
に入って行くにつれ、第９図から第１１図にパすように
カム板（８２）とローラカムフォロワ（８１）との間に
接触が生し、レール板（５５）ははね（７４）に抗し移
動せしめられて、基板（１）を釈放する。可動ガイドレ
ール構造（５３）が上昇の頂点に達１．た第１１図の状
態では、カム板（８２）が連結ローラ（ｓｏ）（ｇｏ＞
の間に嵌合し、可動ガイドレール構造（５３）そのもの
が可動桁構造＜１１＞（’１４）に連結する形になる。

他方カイトレール構造（５２）の側においては、レバー
（１２７）が出力部材（２３）に並び、出力部材（２３
〉のローラ（２４）が動力伝達部材（１２７）の上面に
対向している。

ここで進退アクチュエータ（１９）の動作が生じる。第
１８図のように進退アクチュエータク１９）がロッド（
２１）を伸ばすとストッパ（１６）は下向きに回動し、
これに当たって止まっていた基板（１）から離れる。出
力部材（２３）も下向きに回動し、ローラ（２４）で動
力伝達部材（１２７＞を押す。そのため回動軸（１２２
）が回動し、位置基準部材（１２０）は基板係止位置か
ら退避するく第６．１５図）。それと共につオーキング
ビーム（２６）が動き、基板□位置決め装置（３）から
加工済の基板（１）をアンローディングブリッジ（７）
へと押し出し、また未加工の基板（１）をローティング
ブリソシ（５）から基板位置決め装置へ移ず。つオーキ
ングビーム（２６）の動作中は、基板搬送ベルト（１５
）は静止し一〇いる。基板（１）の受け渡しを終えた後
、進退アクチュエータ夕（１９）はロッド（２１）を引
っ込め、ストッパ（１６）と位置基準部材（１２０＞は
旧装置に復元する。それと゛同時に基板搬送・ベルト（
１５）の動きが再開し、新たな未゛加工２１一 基板（１）をストッパ（１６）のところまで運んで来る
ものである。アンローディングブリッジ（７〉の方の基
板搬送ベルト（４６）は常時運転しており、加工済基板
（１）の一部がその上にかかった時点で、摩擦力により
引き込んで運び去っているものである。

次いでシリンダ（９２）が昇降フレーム（９１）を降下
させる。カム板（８２）からカムフォロワローラ（８１
）が離れることにより、レール板り５５）はぼね（７４
）の力で進出し、基板（１）をレール板（５４）に押し
つける。昇降フレーム（９１）が降りきると押圧部材（
１４０）（１４１）が基板（１）の前後に出現すること
になる。基板位置決め装置（３）が水平に移動し、不動
ストッパ（１５９）から離れて行くと、押圧部材（１４
０）（１４１）は位置基準部材（１２０）に接近し、第
２の押圧部材（１４１）は基板（１）を後方から押して
位置基準部材（１２０＞に押しつけ、基板（１）に所定
の基準位置を獲得させる。

基板（１）が後辺を基準辺とする場合は、位置基準部材
（１２０）の前に基板（１）を送り込む。今度は＝２２
− 第１の押圧部材（１４０）が基板（１）の後縁を位置基
準部材（１２０＞に押しつけることになる。レバー（１
２１）を回動軸け２２）に沿って移動させることにより
、位置基準部材（１２０）と抑圧部材（１４０）（１４
１）の間隔を基板（１）の前後方向長さに応して自由に
設定することができる。このように基板（１〉の送り込
み深さを変えるため、ウオーキングビーム（２６）は、
その移動ストロークを変更できるようにしておく。また
爪（２８）（２９）も位置可変であるのが望ましい。

基板（１）の搬送幅は次のようにして調節する。

基板位置決め装置（３）を原点に置き、昇降フレーム（
９１）を上昇きせると、前述のように連結ローラ（８０
）＜８０）がカム板（８２）を挾んで可動桁構造（１１
）（４１）と可動ガイドレール構造（５３）は連結する
。ここでブレーキ機構（１１２）による可動ガイドレー
ル構造（５３）のロックを解除し、電動機（１２）＜４
２）を駆動すると、可動桁構造（１１）’（４１）と可
動ガイドレール構造（５３〉は一体となって基板搬送幅
を広げる方向または狭まる方向に移動ず乙。所望の搬送
幅が得られたところで電動機（１２）（４２）を停止し
、ブレーキ機構（１１２）により再び可動ガイドレール
構造（５３）をロックすれば、以後その幅で基板（１）
を受け入れて搬送することになる。

（ト）発明の効果 本発明によれば、基板位置決め装置の可動ガイドレール
構、造がローディングブリッジ・アンローディングブリ
ッジの可動桁構造の間にはまり込むことにより、可動ガ
イトレーＩし構造と可動桁構造が連結し、可動ガイドレ
ール構造を可動桁構造が引きつれて移動させることにな
るので、基板位置決め装置には、可動ガイドレール構造
が不用意に移動するのを防止するブレーキ機構を設ける
だけで良くなり、基板位置決め装置を軽量に保ちつつ、
基板搬送部の幅調節をライン全体として一挙に遂行する
ことが可能になった。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の一実施例を示し、第１図は装置の概略構成
を示す斜視図、第２図及び第３図は基板位置決め装置の
要部断面正面図にして、異なる動作状態を示すもの、第
４図はガイドレール構造の昇降機構を示す斜視図、第５
図及び第６図は異なる動作状態の上面図、第７図及び第
８図は可動ガイドレール構造の断面図及び部分上面図、
第９図乃至第１１図は可動ガイドレール構造とカム板と
の相互作用を説明する側面図、第１２図はローディング
ブリッジ側可動桁構造の部分斜視図、第１３図は不動側
のガイドレール構造の斜視図、第１４図は基板位置決め
装置の拡大上面図、第１５図は同じく基板位置決め装置
の拡大上面図にして、要部を破断したもの、第１６図は
位置基準部材駆動機構の斜視図、第１７図及び第１８図
は位置基準部材駆動機構の動作説明図である。 （１）・・・基板、（３）・・・基板位置決め装置、（
５）・・・ローディングブリッジ、（１０）・・・桁構
造、（１１）・・・可動桁構造、（７）・・・アンロー
ディングブリッジ、（４０）・・・桁構造、＜４１〉・
・可動桁構造、（５２）・・・ガイドレール構造、（５
３）・・・可動ガイドレール構造、（９２）・・・エア
ンリンダ（動力源）、＜１２）（４２）・・・電動機（
間隔変更動力源）、（８０）（８２）・・・連結構造を
構成する連結ローラ板とカム板、（１１２）・・・ブレ
ーキ機構。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）次の構成要素を備えた基板搬送装置。 （ａ）基板を支持した状態で水平方向に移動することに
   より、基板面の所望個所を加工位置に置く基板位置決め
   装置 （ｂ）前記基板位置決め装置に未加工の基板を送り込む
   役割を担うものにして、基板の両側縁を支持する１対の
   平行な桁構造を有し、少なくとも一方の桁構造は他方に
   対し間隔不変の可動桁構造としてなるローディングブリ
   ッジ （ｃ）前記ローディングブリッジに対し基板位置決め装
   置のはまり込む間隔を置いて相互距離不変に設置され、
   基板位置決め装置から加工済の基板を受け取る役割を担
   うものにして、基板の両側縁を支持する１対の平行な桁
   構造を有し、ローディングブリッジ側可動桁構造と同じ
   側の桁構造を、他方に対し間隔可変の可動桁構造として
   なるアンローディングブリッジ （ｄ）基板位置決め装置において基板の両側縁を支持す
   る役割を担い、ローディングブリッジ及びアンローディ
   ングブリッジの両可動桁構造と同じ側に位置するものに
   ついては同様に可動構造としてなる１対のガイドレール
   構造 （ｅ）前記ガイドレール構造とローディングブリッジ・
   アンローディングブリッジとが、基板受け渡し時のみ一
   直線に並び、それ以外の時点ではガイドレール構造が両
   ブリッジの間から抜け出して相互干渉を回避することに
   なるよう、これらの相対位置を変化させる動力源 （ｆ）前記両可動桁構造を同期して移動させる間隔変更
   動力源 （ｇ）前記可動ガイドレール構造と、両可動桁構造の少
   なくとも一方との間に設けられ、可動ガイドレール構造
   が両ブリッジの間にはまり込む動きに伴ないこれらを連
   結するに到る連結構造（ｈ）基板位置決め装置中に設置
   され、可変ガイドレール構造を、これが可動桁構造と共
   に移動する時以外はロツクするブレーキ機構。