JPH069050U - イオン注入装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 処理内容に対応した専用のコントローラ１〜
５および故障表示装置６からなる制御装置によって注入
環境および各機器の動作を制御および監視するものであ
る。そして、表示画面中に設定される異常表示区域によ
ってデータ量が制限される異常表示データを有し、異常
時に異常表示データを故障表示装置６の異常表示区域に
表示するものである。上記故障表示装置６は、異常の有
無を判定して異常表示データを表示するものであり、各
機器の動作状態および注入環境を表示するマンマシンコ
ントローラ１とは別個に存在している。 【効果】 異常を判定して異常表示データを表示する処
理がマンマシンコントローラ１とは別個の故障表示装置
６によって行なわれるため、異常表示区域を表示画面の
全面を用いて設定することが可能になる。よって、異常
表示データのデータ量を大規模化させることが可能にな
る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、処理内容に対応した専用の処理装置からなる制御装置によって注入 環境および各機器の動作を制御および監視し、異常時に異常表示データを異常表 示区域に表示するイオン注入装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

イオン注入装置は、イオン源や質量分析器、走査電極、クランプ機構等の各種 の機器を真空隔壁内に収容し、高真空下でイオン照射対象物にイオン注入するも のである。従って、イオン注入装置は、イオン照射対象物へのイオン注入を均一 化させるため、真空隔壁内の圧力等の注入環境を安定化させることが必要になっ ていると共に、各機器を協調して動作させることが必要になっている。

【０００３】 そこで、従来のイオン注入装置は、図２に示すように、処理内応に対応した専 用のコントローラ５１〜５５からなる制御装置によって注入環境および各機器の 動作を制御および監視するようになっており、これらのコントローラ５１〜５５ の内、操作者が注入条件を設定および確認する処理には、マンマシンコントロー ラ５１が使用されるようになっている。

【０００４】 上記のマンマシンコントローラ５１は、装置本体、ＣＲＴ、およびキーボード 等を備えており、注入環境および各機器の動作状態を示す情報信号を常時監視し 、情報処理した結果をＣＲＴに表示するようになっている。そして、注入環境や 機器の異常を検知した場合には、図３に示すように、ＣＲＴの表示画面５６の一 部に設けられた異常表示区域５６ａに異常の内容や原因等を表示し、操作者に認 識させるようになっている。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

ところで、異常の内容や原因等を示す異常表示データは、監視対象となる機器 や条件が多く且つ複雑に関係しているため、データ量が大規模化し易いものにな っている。しかしながら、上記従来のイオン注入装置では、異常表示データ用に 割り当てられた異常表示区域５６ａが表示画面５６の一部に限定され、これに伴 い異常表示データの規模も制限されるため、異常表示データの内容が不十分にな り易く、結果として操作者に異常の内容等を充分に認識させることが困難になる という問題がある。

【０００６】 従って、本考案においては、大規模なデータ量の異常表示データを扱うことが できるイオン注入装置を提供することを目的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

本考案のイオン注入装置は、上記課題を解決するために、表示画面中に設定さ れる異常表示区域によってデータ量が制限される異常表示データを有し、処理内 容に対応した専用の処理装置からなる制御装置によって注入環境および各機器の 動作を制御および監視し、異常時に上記異常表示データを異常表示区域に表示す るものであり、下記の特徴を有している。

【０００８】 即ち、上記制御装置は、各機器の動作状態および注入環境を表示する処理装置 であるマンマシンコントローラと、異常の有無を判定して異常表示データを表示 する処理装置である故障表示装置とを別個に有していることを特徴としている。

【０００９】

【作用】

上記の構成によれば、各機器の動作状態および注入環境を表示する処理と、異 常を判定して異常表示データを表示する処理とが別個の処理装置によって行なわ れている。従って、異常表示データが表示される異常表示区域は、処理装置の表 示画面の全面を用いて設定することが可能になる。よって、イオン注入装置は、 異常表示区域によって制限される異常表示データのデータ量を大規模化させるこ とが可能になり、結果として操作者に異常の内容等を充分に認識させることが可 能になる。

【００１０】

【実施例】

本考案の一実施例を図１に基づいて説明すれば、以下の通りである。

【００１１】 本実施例に係るイオン注入装置は、図１に示すように、真空度等の注入環境や 各機器の動作状態を監視して操作者に認識させるマンマシンコントローラ１（処 理装置）と、エンドステーション部の機器の動作を制御するＥ／Ｓコントローラ ２（処理装置）と、真空隔壁内を所定の真空度に維持する真空系の機器を制御す る真空コントローラ３（処理装置）と、引出電極や加速電源等の電源系の機器を 制御する電源コントローラ４（処理装置）と、各機器を所定の注入条件となるよ うに立ち上げるフルオートコントローラ５（処理装置）とを有している。

【００１２】 上記の各コントローラ１〜５は、相互に情報信号を送受信可能にリング状に接 続されている。また、フルオートコントローラ５には、故障表示装置６（処理装 置）がＲＳ２３２Ｃ規格のケーブルを介して接続されており、この故障表示装置 ６は、演算部および記憶部からなる装置本体と、全面が異常表示区域に設定され たＣＲＴ６ａと、キーボードとを有している。故障表示装置６の装置本体は、異 常判定プログラムを実行することによって、フルオートコントローラ５を介して 入力される情報信号から異常の有無を判定するようになっていると共に、この判 定結果に対応する異常表示データをＣＲＴ６ａの異常表示区域に表示させるよう になっている。

【００１３】 異常表示データは、例えば表１に示すように、エンドステーション部やイオン 源等の異常部位を示す項目と、異常部位を構成する機器の異常内容を示す項目と 、機器の異常原因を示す項目と、異常に対する処置である復旧ガイダンスを示す 項目とが内容別に分類してデータベース化されており、異常が検知された際の検 索処理が容易化されるようになっている。

【００１４】

【表１】

【００１５】 上記の構成において、イオン注入装置の動作について説明する。

【００１６】 マンマシンコントローラ１に注入条件等が入力されると、このマンマシンコン トローラ１に接続された各コントローラ２〜５は、注入条件に従って各機器を制 御してイオン注入を開始させることになる。この際、各コントローラ１〜５によ って制御される機器および真空度等の注入環境は、各種のセンサー等の検知器に よって情報信号として各コントローラ１〜５に入力されており、マンマシンコン トローラ１は、入力された情報信号を基にしてビームセットアップ情報やインタ ーロック情報等を画面表示することになる。

【００１７】 また、情報信号は、フルオートコントローラ５を介して故障表示装置６にも入 力されており、故障表示装置６は、情報信号から異常の有無を判定することにな る。そして、異常であると判定した場合には、データベース化された異常表示デ ータから異常部位、異常内容、異常原因、および復旧ガイダンスを検索し、ＣＲ Ｔ６ａに表示させることになる。そして、このＣＲＴ６ａから異常を認識した操 作者は、マンマシンコントローラ１を介して異常を復旧させたり、或いはイオン 注入を中止させることになる。

【００１８】 このように、本実施例のイオン注入装置は、イオン注入時の各機器の動作状態 および注入環境を表示する処理と、異常を判定して異常表示データを表示する処 理とを異なる処理装置（マンマシンコントローラ１および故障表示装置６）によ って行なわせるようになっている。これにより、イオン注入装置は、故障表示装 置６のＣＲＴ６ａの全面に異常表示データを表示させることができるため、異常 表示データのデータ量を大規模化することが可能になり、結果として操作者に異 常の内容等を充分に認識させることが可能になっている。さらに、イオン注入装 置は、マンマシンコントローラ１が全ての処理を行なう場合よりも負担が軽減し たものになるため、マンマシンコントローラ１の処理速度が向上し、より詳細な 監視を行なうことも可能になっている。

【００１９】 次に、ＯＳ（Operating System）の一種であるＵＮＩＸの環境下に存在するウ インドウシステムを実行可能なマンマシンコントローラ１および故障表示装置６ を有したイオン注入装置について説明する。

【００２０】 マンマシンコントローラ１および故障表示装置６において実行されるウインド ウシステムは、画面上に複数のウインドウを形成し、各ウインドウにアプリケー ションプログラムを割り付けて順次動作させるものであり、代表的なウインドウ システムとして例えばＸウインドウがある。このＸウインドウは、サーバクライ アント型のウインドウシステムであり、外部装置との入出力を制御するプログラ ムであるＸウインドウサーバと、各ウインドウ内で動作するアプリケーションプ ログラムやデータであるクライアントとからなっている。

【００２１】 故障表示装置６は、クライアントとして情報信号を基にして異常の有無を判定 する異常判定プログラムおよび異常表示データを記憶している。一方、マンマシ ンコントローラ１は、ＸウインドウサーバをＯＳと共に記憶しており、操作者の 指示または故障表示装置６からの異常検知信号の入力によりＸウインドウサーバ を実行することによって、故障表示装置６に記憶されている異常判定プログラム を取り込んで実行し、対象となる異常表示データを所定のウインドウに表示させ るようになっている。

【００２２】 上記の構成によれば、マンマシンコントローラ１は、故障表示装置６からの異 常検知信号や操作者の指令によりＸウインドウサーバを実行することによって、 故障表示装置６に記憶されている異常判定プログラムを取り込んで実行し、対象 となる異常表示データを所定のウインドウに表示させることになる。

【００２３】 従って、このイオン注入装置は、異常表示データが表示される故障表示装置６ の異常表示区域内の画面と同一の画面をマンマシンコントローラ１のウインドウ 内に形成させることができるため、従来の異常表示区域によって制限されていた 異常表示データのデータ量を大規模化することが可能になり、結果として操作者 に異常の内容等を充分に認識させることが可能になっている。また、マンマシン コントローラ１および故障表示装置６をＵＮＩＸの環境下において実行させるよ うになっているため、分散処理した結果を両装置１・６において容易に共有する ことが可能になり、操作性が一層向上したものになっている。

【００２４】

【考案の効果】

本考案のイオン注入装置は、以上のように、表示画面中に設定される異常表示 区域によってデータ量が制限される異常表示データを有し、処理内容に対応した 専用の処理装置からなる制御装置によって注入環境および各機器の動作を制御お よび監視し、異常時に上記異常表示データを異常表示区域に表示するものであり 、上記制御装置が、各機器の動作状態および注入環境を表示する処理装置と、異 常の有無を判定して異常表示データを表示する処理装置とを別個に有している構 成である。

【００２５】 これにより、各機器の動作状態および注入環境を表示する処理と、異常を判定 して異常表示データを表示する処理とが別個の処理装置によって行なわれるため 、異常表示データが表示される異常表示区域を処理装置の表示画面の全面を用い て設定することが可能になる。よって、異常表示区域によって制限される異常表 示データのデータ量を大規模化させることが可能になり、結果として操作者に異 常の内容等を充分に認識させることが可能になるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案のイオン注入装置の制御装置のブロック
図である。

【図２】従来例を示すものであり、イオン注入装置の制
御装置のブロック図である。

【図３】マンマシンコントローラの表示画面の状態を示
す説明図である。

【符号の説明】

１ マンマシンコントローラ（処理装置） ２ Ｅ／Ｓコントローラ（処理装置） ３ 真空コントローラ（処理装置） ４ 電源コントローラ（処理装置） ５ フルオートコントローラ（処理装置） ６ 故障表示装置（処理装置） ６ａ ＣＲＴ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】表示画面中に設定される異常表示区域によ
   ってデータ量が制限される異常表示データを有し、処理
   内容に対応した専用の処理装置からなる制御装置によっ
   て注入環境および各機器の動作を制御および監視し、異
   常時に上記異常表示データを異常表示区域に表示するイ
   オン注入装置において、 上記制御装置は、各機器の動作状態および注入環境を表
   示する処理装置と、異常の有無を判定して異常表示デー
   タを表示する処理装置とを別個に有していることを特徴
   とするイオン注入装置。