JPH0682702A - プラットフォームの座標変位を制御する方法および装置 - Google Patents

プラットフォームの座標変位を制御する方法および装置

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JPH0682702A
JPH0682702A JP5104101A JP10410193A JPH0682702A JP H0682702 A JPH0682702 A JP H0682702A JP 5104101 A JP5104101 A JP 5104101A JP 10410193 A JP10410193 A JP 10410193A JP H0682702 A JPH0682702 A JP H0682702A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 顕微鏡と、カメラおよびコンピュータ・ワー
クステーションからなる対話的イメージ分析システムと
の組合わせにおいて、顕微鏡のステージの座標変位の対
話的制御を容易にする方法および装置を提供する。 【構成】 座標x、yのそれぞれに対して、電気機械的
制御チャンネルが確立され、制御チャンネルの入力に、
同軸状配置の2個のカスケード状ホイール2、4と、2
個の角度エンコーダ24、26とが、ステージ38に対
して力学的にリンクされない取外し可能な独立的ツール
として使用される。制御チャンネルの中間で、角度エン
コーダのパルスが非線形変換を受ける。プロセッサ28
が、遅い変位と早い変位間を弁別する計算を行う。制御
チャンネルの終りに、顕微鏡ステージの容易に接近可能
な平坦なプラットフォーム39が、一方が手動の事前検
査のための、また一方が試料の対話的走査のための2つ
の作業域40、42を有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、プラットフォームの座
標の変位を制御するための方法および装置に関する。本
発明の望ましい用途は、顕微鏡のステージである。
【0002】
【従来の技術】一般的な顕微鏡では、研究の被検体がス
テージ上に支持される。この被検体は、スライド即ち、
試料を1つの層の形態に密閉する2枚のガラス板のパッ
ケージである。このスライドは、プラットフォームの如
く機能して顕微鏡の対物面を規定するステージにより支
持される。スライド面は、座標xおよびyを持つ周知の
方法で照合される。
【0003】視認される試料またはプローブが通常そう
であるように顕微鏡の視野面積より大きい面積を持つな
らば、ユーザは観察中である特定域を選択しなければな
らない。スライドは、これをプラットフォームの平坦面
上に自由にずらすことにより位置を変えることができ
る。他の方法では、視野の選定は、x−y面内のステー
ジの変位により行われる。換言すれば、固定された試料
スライドを担持するプラットフォームはx軸およびy軸
に沿って独立的に変位することができる。
【0004】病理学においては、顕微鏡は試料を視認す
るため使用される基本的な機器である。顕微鏡分析は、
様々な種類の診断目的を満足させるものである。過去1
0年間、顕微鏡分析の信頼度を改善するため多くの試み
がなされてきた。顕微鏡により伝統的に集められる定性
的情報に加えて、更に多くの定量的情報が得られる。定
量的情報を集めるためには、顕微鏡の周囲にコンピュー
タに基くイメージ分析システムが確立されてきた。公知
のイメージ分析システムの大半は、対話的性格のもので
あり、即ち、ユーザが光学的情報を収集する過程でプロ
グラムされたコンピュータと対話を行う。ユーザの重要
な対話的寄与は、測定されるべき顕微鏡の視野を選択す
ることである。
【0005】通常、このような対話的なイメージ分析シ
ステムにおいては、スライド全体を1回だけ検査するこ
とが意図される。必要な細部の分解能に比較して大きな
領域を持つ試料の経済的、系統的な検査の必要が存在す
る。機械の性能は、ステージのx−y軸位置を追跡して
記録することにより高めることができる。このため、コ
ンピュータは、顕微鏡に対して位置の変位信号を送るの
みならず、既に検査した領域の位置におけるフィードバ
ック信号を取得することもできる。このことは、顕微鏡
ステージが位置の読出し機能を備えるべきことを意味す
る。
【0006】スライドがプラットフォーム上に固定され
る時視野の選択を行う2つの主な方法があり、即ち、
1)2つの直接操作ホイールによる古典的な機械的駆動
部、あるいは2)典型的にはコンピュータのx−y軸コ
ントローラと関連して使用される電気機械的駆動部であ
る。両方の原理は従来技術によることにより次に説明さ
れる。
【0007】ヨーロッパ特許出願第EP−317139
号は、マークしたセルの光学的識別によりセルのパラメ
ータの選択された特徴を測定するためのシステムを開示
している。この公知のシステムは、ディジタル・イメー
ジ分析および処理システムとして機能的に働く。本装置
は、オペレータが支持部、望ましい実施態様ではガラス
・スライド上の拡大された試料を視認することを可能に
する高分解能顕微鏡を含む。この顕微鏡は、その光学系
をスライドに合焦させる調整即ち位置決め手段と、異な
る領域を視認するため位置決め手段を介して2つの方向
に増分的に運動可能なプラットフォームとを含む。位置
決め手段は、計器品質の顕微鏡において周知である機械
的な調整バーニヤの形態を呈する。
【0008】公知の顕微鏡ステージは、顕微鏡のスライ
ド面内で約10μmの精度を持つx−y軸検出装置が嵌
合されている。これらセンサは、コンピュータとインタ
ーフェースされ、システムにより常に読出される。これ
らは、システムが取得したイメージの相対的なx−y軸
位置を記録するためガラス板上にマークを有する特殊顕
微鏡スライドと共に使用される。このx−y軸位置の検
出および記録機構は、大量のイメージ情報を評価しなけ
ればならない実験的状況において有効である。顕微鏡の
スライド自体は、例えば、イメージ記憶媒体として使用
することができる。顕微鏡のスライドは、例えば実験が
繰返される時、あるいはディジタル・イメージに対する
バックアップ・メモリーが役立つ時、あるいは完全セッ
トのディジタル化イメージが非常に大きな記憶容量を必
要とする時、ちょうどイメージ記憶媒体の如くアクセス
される。
【0009】公知の顕微鏡の第2の事例は、商品名「W
esterboer」で市販されている。Wester
boerのステージは、x−y軸面内の変位を制御する
ため、x−y軸の各方向に2つの異なる平行動作する駆
動装置を有する。第1の駆動装置は、顕微鏡ステージの
周知の機械的制御部である。第2の駆動装置は、ステー
ジのコンピュータ支援電気機械的制御部である。機械的
および電気機械的駆動部は平行に公知のステージに対し
てリンクされている。
【0010】Westerboer顕微鏡ステージの従
来の手動駆動部は、同じ軸上に配置された2個のカスケ
ード状ホイールにより作動する。歯車の助けにより、こ
のホイールの運動はステージの運動に変換される。
【0011】公知のステージの第2の駆動装置は、いわ
ゆるマウスあるいはいわゆるジョイスティックを用いて
コンピュータに対して所要のx−y座標を入力する。位
置指令信号は、コンピュータにおいて復号されて対応す
る駆動信号に変換される。駆動信号は、コンピュータか
ら出力されてx軸モータとy軸モータを制御する。x軸
モータは、ステージの対応するようねじが設けられた部
材を変位させるためのねじ部を持つ主軸を回転させる。
y軸モータは、y主軸を回転させ、y主軸の回転は、別
のネジ部材によりステージのy軸方向における変位に変
換される。公知のステージを駆動するためのモータはD
Cサーボ・モータで、当該サーボ・モータに帰属する位
置センサの入力DC信号とDCフィードバック信号を比
較することにより公知の方法で当該サーボモータは動作
する。両方のDC信号間の差がゼロであるならば、DC
モータは所要の位置に停止する。
【0012】電気機械的駆動部の主軸と機械的駆動部の
ラックは、共にステージに取付けられている。ユーザ
は、従来の手動駆動部か、コンピュータ支援駆動部のジ
ョイスティック/マウスかのいずれかを操作することを
欲するか決定する。両方の駆動装置は、駆動されるステ
ージ自体により相互に機械的に連結されている。x軸操
作ホイールの作動と同時に、ステージの変位もまたx軸
モータの主軸の回転を導く。一方、マウスまたはジョイ
スティックを操作することにより、DCモータはステー
ジを変位させるのみならず、カスケード状ホイールの駆
動機構をも運動させる。従って、操作ホイールとサーボ
・モータとの間には機械的結合が存在する。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、プラ
ットフォーム、特に容易に変位させることができる顕微
鏡のステージをユーザに提供することにある。
【0014】本発明の別の目的は、ユーザがステージを
操作する時、明確に鋭敏な感覚を生じることにある。
【0015】本発明の他の目的は、ユーザがステージの
非常に小さな変位を大きな精度で行わねばならない時、
再確認の作業を容易にすることにある。
【0016】本発明の他の目的は、ユーザが最小限の操
作により大きな変位を行わねばならない時再確認作業を
容易にすることにある。
【0017】本発明の他の目的は、試料の簡単な事前確
認を許容することにある。
【0018】本発明の他の目的は、ユーザが特殊な用途
のモードでスライド全体が1回だけ検査されることを保
証することを助けることにある。
【0019】本発明の他の目的は、別の用途モードにお
いて既に検査された特定域を容易に再配置することを可
能にすることにある。
【0020】
【課題を解決するための手段】本発明の1つの特質は、
コンピュータ支援位置決め機能と関連する従来の長い間
実証された手動入力機構の使用にある。同軸配置の2個
のカスケード状車輪を備えた古典的な入力装置が、ステ
ージあるいは他の駆動モータには運動的にリンクされな
い別個の独立的なツールとして使用される。ステージに
対する公知の直接の機械的結合は、電気機械的制御チャ
ンネルにより置換される。それにも拘わらず、ユーザに
よる手動操作は、ステージ変位の操作があたかもカスケ
ード状ホイールが従来の顕微鏡のステージに直接結合さ
れたかのように同じ感触を必要とする意味において維持
される。それは、維持されるステージにおける操作ホイ
ールの構成のみでなく、ユーザが操作ホイールを回転さ
せる時ユーザにより感じられる同様な機械的抵抗即ち摩
擦もある。このため、ユーザは、ステージの座標変位を
実施するために長い経験において取得した自分の感触お
よび視覚的な慣れを用いることができる。
【0021】対話的システムのユーザ側の公知の長い間
確立された信号入力特性を提供しながら、全体として電
気機械的な制御チャンネルは公知の機械的歯車駆動部の
直線的モデルではない。操作ホイールの回転は、角度コ
ーダの軸回転に機械的に伝達される。この角度コーダ
は、このようなものとして知られる方法で電気機械的ト
ランスジューサとして働く。角度コーダは一連のパルス
を出力し、その数は軸の角度変位に比例し、従ってステ
ージの所要の変位に比例する。このパルス列は、典型的
にはカウンタであるパルス・デコーダへ送られ、これが
所要の変位信号を記録する。位置の信号チャンネルのこ
のインターフェースまで、全ての信号の伝達および信号
の変換は線形的あるいは準線形的動作である。本発明の
以降の処理ステップは、非線形的性格のものである。典
型的にはディジタル・コンピュータであるプロセッサ
が、到来するパルス列を評価する。このパルス・カウン
トは所要の変位と比例し、パルスの周波数は、操作ホイ
ールを回転する時ユーザにより用いられる速度の尺度で
ある。本発明は、速度、従ってパルス周波数がオペレー
タの意図の有効な表示であることを認識した。もしオペ
レータが位置の分解能の大きさ程度の小さな変位を意図
するならば、当該オペレータは操作ホイールを非常にゆ
っくり回すことになる。オペレータが大きな変位を意図
するならば、当該オペレータは時間を節減する目的で操
作ホイールを高い速度で回すことになる。コンピュータ
が、ユーザにより与えられる速度を検出して、当該検出
した速度の関数である出力位置信号を計算する。この出
力信号は従来の入力信号の非線形変換であり、適当なモ
ータ駆動信号へ変換される。各信号チャンネルの終り
に、モータは変位座標xまたはyに沿ってステージを変
位させるための電気機械的トランスジューサとして働
く。
【0022】容易な事前の検査を可能にするため、ステ
ージ面上の個々の場所がテーブルの適切なx−y軸方向
の変位により接近可能になる。事前の検査領域付近のテ
ーブル面は充分に大きなx−y軸領域にわたって平坦で
あり、スライドの手による妨げられない運動を許容す
る。
【0023】本発明の顕微鏡のステージは、x軸面およ
び軸面と、プラットフォームの平坦面のレベルより下方
に配置される関連した駆動装置とを含む。この構成は、
プラットフォームの前側、左側および右側から自由に接
近可能である。プラットフォームの上面は、一方が手に
よる事前検査のための、また一方は試料の対話的走査の
ための2つの作業領域を有する。2個の同軸状の操作ホ
イールのすぐ近くには2個の押しボタンが配置されてい
る。一方の押しボタンは、事前検査領域から走査領域
へ、またその反対に、ステージ位置を切換えるため予め
定めた移動を起動する。2番目の押しボタンは、試料の
コンピュータで選択された位置を記憶するため使用され
る。
【0024】本発明は、全体的に、立証された技法を保
持しかつ新しい変位技法を一体化するように、複雑なイ
メージ分析システムの対話的な操作を支援する。
【0025】
【実施例】本発明については、以下において図面に示さ
れる実施例により更に詳細に説明する。
【0026】図1は、x−y面における顕微鏡ステージ
の変位を制御する従来の形態を示している。従来の手動
の顕微鏡ステージは、2個のホイール2、4によって操
作される。手動変位ホイール2は、x軸方向におけるプ
ラットフォームの変位を制御し、手動変位ホイール4は
y軸方向におけるプラットフォームの変位を制御する。
座標xおよびyは、方形デカルト座標系を形成する。
【0027】ホイール2、4のいずれかの回転は、歯車
によりステージの並進運動に変換される。x軸制御のた
めの歯車は、コグ・ホイール10と、対応するコグ・バ
ー即ちラック14とからなる。x軸コグ・ホイール10
は、x軸ホイール2の軸6上に取付けられている。x軸
ラック14は、図1には示さない方法でx軸方向の延長
上でステージに取付けられている。y軸歯車は、同じよ
うに、y軸7と、y軸コグ・ホイール8と、ステージの
y軸方向に伸長するy軸ラック12とからなる。
【0028】コグ・ホイール8または10の一方が2個
の手動変位手段2または4の一方の手動回転により回転
されると、対応するラック12または14がx軸方向あ
るいはx軸方向にそれぞれ変位させられる。x軸ホイー
ル2の1回転は、ステージを2cmの距離だけ移動させ
るが、y軸ホイール4は、y軸方向の1回転毎に1.5
cmの変位を生じる。
【0029】Westerboerステージと呼ばれる
従来技術においては、手動変位ホイール2および4はス
テージの右側に同軸状に配置される。ヨーロッパ特許第
EP−317 139号による従来技術のステージにお
いては、x軸ホイールはステージの前側に配置され、y
軸ホイールはステージの右側に配置されている。いずれ
の場合も、x軸ホイールおよびy軸ホイールは独立的に
動作可能であり、プラットフォームの下方に配置されて
いる。
【0030】本発明は、角度デコーダで歯車を置換す
る。生物学的試料が分析されるため、ステージを1乃至
2μmの精度以内で位置決めすることができねばならな
い。2μmの精度は、ステージの2cmの変移と共に、
1回転当たり100,000ステップまでの分解能を持
つ角度エンコーダを必要とする。一般に、回転当たりこ
のように多くのパルスを持つ角度エンコーダは寸法が大
きい。従って、このような角度エンコーダは、同軸ホイ
ールの軸上には取付けることができない。図2のAによ
る望ましい実施例においては、2個の角度エンコーダ2
0および22が軸6および7から偏って置かれ、2個の
牽引ベルト16、18が変位装置2、4から高分解能の
角度エンコーダ20、22までの機械的伝達装置として
用いられている。より小さな角度エンコーダは同軸ホイ
ール2、4の軸上に取付けることができる。図2のB
は、同軸のカスケード状のホイール2、4の軸6、7に
直接取付けた2個の低分解能の角度エンコーダ24、2
6を示している。
【0031】図2のAによる望ましい実施例において
は、x軸コグ・ホイール10がx軸ホイール2のx軸用
の軸6上に取付けられている。x軸コグ・ホイール10
からx軸角度エンコーダ22への機械的伝達は、x軸牽
引ベルト18により行われる。このx軸牽引ベルト18
は、x軸牽引ベルト18の内面上およびx軸コグ・ホイ
ール10の外面上のコグ即ち歯、および角度エンコーダ
のコグ・ホイール22が見えるように一部のみが示され
る。
【0032】同様に、y軸ホイール4の回転は、y軸用
の軸7、y軸コグ・ホイール8およびy軸牽引ベルト1
6を介してy軸角度エンコーダ20に機械的に伝達され
る。本例においては、角度エンコーダ20および22の
両者が1回転当たり2048ステップの分解能を有す
る。各ステップは、望ましい実施例における電気的パル
スであるパルス出力を生成する。しかし、同様に光パル
スを生じる位置エンコーダを使用することも可能であ
る。
【0033】角度エンコーダ22、22は、ねじが設け
られている。このねじを固く締め付けるほど、ユーザの
感じる抵抗が大きくなる。このねじは、ユーザが感じる
機械的抵抗即ち摩擦が図1による従来のホイール装置と
同じ程度に固く締め付けられることが望ましい。
【0034】図3において、図2のBのホイール/エン
コーダの機械は、顕微鏡のステージ38において図1の
公知のホイール/ラックの機械を置換するように示され
ている。図2のBによるより小さい低分解能の角度エン
コーダ24、26がプラットフォーム49を制御するに
充分である場合、ホイール/エンコーダの構成2、4、
24、26が公知のホイール/ラックの構成2、4、1
2、14と非常によく似ているようにみえるが、角度エ
ンコーダ24、26はプラットフォーム39のx軸プレ
ート46とy軸プレート44から僅かに外れている。
【0035】望ましい高分解能の角度エンコーダ20、
22が使用される場合は、図3の小さな角度エンコーダ
24がコグ・ホイール8、牽引ベルト16およびより大
きなエンコーダ20により置換される。同様に、小さな
角度エンコーダ26は、コグ・ホイール10、牽引ベル
ト18およびより大きなエンコーダ22により置換され
る。コグ・ホイール8、10もまた、プラットフォーム
39のx軸プレート46およびy軸プレート44に対す
る機械的結合がない。
【0036】信号の流れの順序で述べれば、角度エンコ
ーダ24、26が機械的入力信号を多数のパルスに変換
する。パルスの数は、角度エンコーダ24または26の
分解能に従ってホイール2または4の機械的回転に比例
する。望ましい分解能は、1回転当たり2048パルス
である。
【0037】当該パルスは、ケーブル27を介してコン
ピュータ28のパルス・デコーダ・ボード28aへ伝達
される。望ましい実施例では、ケーブル27は導電線を
含み、送られるパルスは電気的パルスである。しかし、
光ガイドを用いて光パルスを角度エンコーダ24、26
からパルス・デコーダ回路28aへ送ることも同様に可
能である。
【0038】パルス・デコーダ28aは、送られたパル
スを受取り、座標x−yの各々に対してパルス入力変位
信号を記録する。パルス・デコーダ28aは、この入力
変位信号のパルスを記録するためのカウンタを含む。パ
ルス・デコーダ回路28aのパルス・カウントは、75
Hzのサンプル速度でサンプルされる。パルス・デコー
ダ28aは、4個の16ビット・パルス・カウンタから
なる。xおよびy軸方向は共に、左と右の両方向でパル
スを記録する2個のカウンタを必要とする。角度エンコ
ーダが1回転当たり2048パルスを提供するので、本
システムは13.3ミリ秒のサンプル時間内で32の分
解能に対処することができる。13.3ミリ秒のサンプ
ル時間は、75Hzサンプル速度の逆数である。従っ
て、カウンタの一方における桁溢れの可能性は排除され
得る。
【0039】サンプルiにおける角度エンコーダの位置
はp(i)と呼ばれ、角度エンコーダの速度はsaと呼
ばれ、角度エンコーダの速度saは下式で与えられる。
即ち、
【数1】
【0040】この計算は、コンピュータ28(図3参
照)のプログラム・プロセッサ・ボード28bによりオ
ンラインで行われる。バックグラウンド・モードにおけ
るプログラムの実行は、ホイール2、4の運動を検出
し、パルス入力変位信号からパルス出力変位信号を計算
する。本発明の望ましい実施例では、プログラム・プロ
セッサ・ボード28bにより非線形関数がパルス入力変
位信号に与えられ、非線形変換の結果がモータ駆動回路
28cによりモータ駆動信号に変換される。
【0041】プログラム・プロセッサ・ボード28b
は、Intelプロセッサ386または486を備える
ことが望ましいが、Intel286プロセッサもサポ
ートされる。プログラムはMS−DOSオペレーティン
グ・システム、バージョン3.3以上の下でランする。
【0042】プログラム・プロセッサ・ボード28bの
計算については、図4に関して説明される。パルス・カ
ウントに与えられる非線形関数は、変位装置の手動操作
の速度に依存する。角度エンコーダの速度Saは、下式
に従ってモータ速度Smに変換される。即ち、
【数2】
【0043】Sm(i)は、ステージの変位に要求され
るサンプルiにおけるステップ/秒(step/s)単
位のモータ速度csw、は高速モードと低速モード間で式
2の数式を用いる切換え定数である。高速モードでは、
切換え定数csw=64である。高速モードは、非線形計
算のデフォルト(default)・モードであり、対
応する関数が図4に示される。角度エンコーダ速度Sa
および要求されるモータ速度Smは両対数スケールで与
えられる。非線形速度の関係は、予め定め得る低速範囲
における2次関数である。この2次関数は、図4の両対
数スケールにおける勾配2を特徴とする。結果として得
る高速範囲においては、図4の両対数スケールにおける
勾配1を特徴とする線形関係が用いられる。非常に高い
角度エンコーダ速度Saでは、モータ速度Smは、モータ
の最大速度と対応する170000ステップ/秒に制限
される。
【0044】このプログラムおよび対応する図4の関数
(式2)は、低速モードへ切換えられ得る。式2におけ
る切換え定数cswは値16にセットされ、これによりこ
の関係の直線部分が拡張されて中間範囲における低減さ
れたモータ速度Smを生じる結果となる。
【0045】パルス・デコーダ回路28aにより受取ら
れる入力パルス数とモータ駆動回路28cへ送られる出
力パルス数との間には固定された関係がないことが注目
される。x軸ホイール2の完全回転が非常に低い速度で
行われるものとする。従って、x軸角度エンコーダ26
のパルス周波数は非常に低く、モータ速度信号Smの非
常に低いパルス周波数に変換される。比較的長い間隔に
おける出力パルスの積分は、ある出力の変位を生じる。
対照的に、1回転の2048入力パルスが、より短い時
間間隔内で比較的高いパルス周波数で生じ得る。出力パ
ルス周波数の2次の増加により、出力パルス数における
増加はより短い時間間隔の結果生じる通常の増加より多
くなる。このため、低パルス周波数がパルス入力の変位
信号の高いパルス周波数より低い出力変位信号を生じる
ことがプログラム・プロセッサ・ボード28bの本質的
な特徴である。
【0046】図3の望ましい実施例では、非線形関数が
対話的イメージ分析システムのコンピュータ28により
計算される。このイメージ分析システムは、モニター3
0とキーボード32、および顕微鏡に取付けられたカメ
ラ(図示せず)により完成する。プログラム・プロセッ
サ・ボード28bは、生物細胞組織の如き試料における
光学式パターン認識を行うようになっている。式2およ
び図4による非線形関数の計算は、コンピュータ28の
バックグラウンド・モードにおいて実行するプログラム
により行われる。しかし、本発明はまた、非線形関数が
非対話的プロセッサにより計算される場合もまた有効で
ある。
【0047】図3に戻り、モータ駆動回路28cは、全
ステップ・モードにおいて4個以下の低抵抗ステッピン
グ・モータを駆動することができる。モータの抵抗が微
細なステップ動作を可能にするものとすれば、モータ駆
動回路28cは比1/200までの微細ステップ動作を
サポートする。2個のモータが並列に動作し得、これが
モータ駆動回路28cを顕微鏡ステージ38のx軸モー
タ34とy軸モータ36を駆動するのに適合させる。各
モータは、位相毎に0.3Aの最大電流を与えることが
できる。望ましい実施例では、モータ34、36は、通
常2つの位相を有する。この0.3Aの制限は、モータ
の最大速度を決定する。もしコンピュータ28の電源が
ステージ・モータ34、36を駆動するのに対して制限
が大き過ぎるならば、モータ駆動回路28cは外部の1
2ボルト電源に対するコネクタをサポートする。
【0048】パルス・デコーダ回路28aおよびモータ
駆動回路28cは、1つの印刷回路板上に統合すること
ができる。この回路板は、ISAバス互換である。この
ことは、コンピュータ28がISAあるいはEISAバ
スを持つことが望ましいことを意味する。
【0049】x軸モータ34は、従来の方法でステージ
の対応するねじを設けた部材を変位させるねじを有する
主軸を回転させる。y軸モータ36は、ステージ38を
同じ従来の方法でy軸方向に動作させる。幾つかの形式
のモータおよび主軸を使用することができる。しかし、
種々のテストによれば、4mmの主軸と組合わせた20
0微小ステップを持つステッピング・モータを選好すべ
きである。主軸の2つの隣接するウエル間の距離は0.
4、1、2あるいは4mmの値を持つが、完全1回転に
対して4000ステップを必要とするステッピング・モ
ータと組合わせた場合は、この4mmの主軸が最良の結
果を生じる。従って、プラットフォーム39を座標xま
たはy軸の一方に沿って変位させるための電気機械的ト
ランスジューサ34または36は、下記の変換係数で動
作する。即ち、
【数3】
【0050】角度エンコーダ24または26からの1つ
のパルスがステージ・モータ34または36の最小1ス
テップと対応するので、式3による係数は最小位置精度
mi nと呼ばれる。このため、非常に低い速度では、式
2および図4による非線形関数が、要求される光学的分
解能に従う変位ステップを生じる。要求される光学的分
解能は、使用される対物レンズの倍率に依存する。その
結果、要求される光学的分解能と一致する最も小さな変
位ステップは、対物レンズの倍率に従ってコンピュータ
28により調整することができる。より小さな分解能を
必要とする試料が検査される用途においては、より小さ
い倍率の対物レンズが使用でき、1乃至2μmの最小位
置精度Pminが充分であり得る。式3において、1回転
当たり4000ステップをもつステッピング・モータが
充分である。従って、通常はより小さな分解能を要求す
る非生物学的試料に使用するように図3による装置を修
正することができる。
【0051】望ましい実施例では、モータ速度Smはパ
ルス信号であり、ステージ速度Ssは下式によりモータ
速度Smから決定することができる。即ち、
【数4】
【0052】ステージの最大速度は、モータ速度Sm
170000ステップ/秒を越え得ないため、次のよう
に計算することができる。即ち、
【数5】
【0053】この値は、図1による従来の手動ステージ
の変位と一致する。
【0054】望ましいステッピング・モータ34、36
の代わりに、プラットフォーム39の変位のためサーボ
モータを使用することができる。このような変更は、モ
ータ駆動信号としてステップ状アナログDC信号を必要
とする。わずかなハードウエアの調整で、サーボモータ
に対してモータ駆動回路28cを最適化することが可能
になる。サーボモータは、公知の方法で位置の検出器と
関連させられる。位置の読出し機能として働くように、
関連する位置検出器をコンピュータ28に接続すること
が可能である。しかし、望ましい実施例では、プラット
フォーム39にはコンピュータ28と接続された従来の
位置読出し機能が設けられる。コンピュータ28にプラ
ットフォーム39の実際のx−y軸位置を通知するこの
ような従来の読出し機能は図3には示されていない。
【0055】モータ/主軸装置34、36の各々は、プ
ラットフォーム39の最大の変位位置でモータを停止す
る終端スイッチを有する。2個の終端スイッチは図3に
は示さない。
【0056】図5は、システムの入力およびシステムの
応答を比較するための変位タイミング図である。ホイー
ル2または4の手動操作とプラットフォーム39の目で
見た変位との間には略々遅れがない。人間の視覚系は、
50ms以上の遅れを記録することができるに過ぎな
い。これは、13msのサンプル間隔を充分に上回る。
従って、視覚的な影響を避けるため、変位信号チャンネ
ルの応答時間は50ms−13ms=37ms以下でな
くてならない。低速の変位の場合は、これは問題となら
ない。Saswが170000より大きくなる(式2参
照)非常に高速の変位では、ユーザは例外的な場合に小
さな遅れを観察することができる。
【0057】望ましい実施例では、2つのx軸、y軸の
方向への所要の変位の入力信号を機械的に与えるための
手動で操作される変位装置が、プラットフォーム39の
下方に置かれた2個の同軸状に配置され独立的に動作可
能なホイール2、4である。しかし、いわゆるマウスあ
るいはいわゆるジョイスティックが手動で操作される変
位装置として係合される時、図4および図5による非線
形変換の利点が同様に達成できる。マウスとジョイステ
ィックは共に、テーブル面の摩擦により回転されるボー
ル要素を有する。回転するボール要素は、x軸ホイール
2およびy軸ホイール4の機能を取り得る2個のロール
を駆動する。マウスまたはジョイスティックが手動入力
変位装置として使用されるならば、それらの機能はモニ
ター・カーソル・モードからステージ走査モードへ切換
えることができる。
【0058】次に図6および図7において、顕微鏡ステ
ージ38のプラットフォーム39が更に詳細に示され
る。望ましいプラットフォーム39は、生物学的試料を
支持するようになっている。このプラットフォーム39
は、x軸プレート46と、x軸方向に変位するように動
作可能な関連する駆動装置34とを含む。プラットフォ
ーム39はまた、y軸プレート44と、y軸方向にプラ
ットフォーム39を変位させるよう動作可能な関連する
駆動装置36とを含む。
【0059】上部プレートは、y軸方向に変位するよう
に、即ち、観察者に対して離反または接近するように動
作可能なy軸プレート44であることが望ましい。しか
し、上部プレートが、x軸方向へ、即ち、観察者に対し
て左右に変位するように動作可能なx軸プレート46で
あることもあり得る。
【0060】本発明においては、位置駆動装置34、3
6がプラットフォームの平坦な頂面のレベル以下に配置
されること、即ち、この位置駆動装置がプラットフォー
ムの前側、左側および右側に平坦な頂面のレベルより高
く上昇しないことが重要である。このような特徴によ
り、プラットフォーム39はユーザに容易に接近可能で
ある。
【0061】望ましい実施例では、プラットフォーム3
9は、上側プレート44に2つの作業域40、42を有
する。この2つの作業域40、42は、結果として試料
スライド(図7における43)を視認するため使用され
る。2つの作業域40、42は、観察者から伸びる線上
に、即ち、y軸方向(図5)に配置され得る。観察者に
近い作業域40は、事前検査域である。事前検査は、プ
ラットフォーム39の平坦な頂面上のスライドを手動で
変位させることにより行われる。他の作業域42は、走
査領域である。この走査領域42は、試料ホルダー48
とスライドを固定する正確な再位置決めのためのクリッ
プ50とが設けられている。固定されたスライドは、図
2、図3、図4および図5に関して述べた方法で位置が
変えられる。
【0062】あるいはまた、事前検査域40は、x軸方
向に伸びる線上に(図7)、あるいは走査域42に対し
て他の相対的位置に配置される。案内部材49は、スラ
イド43を緊締位置へ案内するため使用される。クリッ
プ50は、スライド50を停止部材51に対して再位置
決めすることができる。
【0063】顕微鏡ステージ38は更に、ケーブル56
によりコンピュータ28のプログラム・プロセッサ・ボ
ード28bに接続された位置切換えボタン54を含む。
【0064】動作において、ユーザは、位置切換えボタ
ン54を付勢して、コンピュータ28をしてプラットフ
ォーム39の位置を2つの作業域40と42間で切換え
させる。新しいスライド43を見なければならなけれ
ば、事前検査域40が顕微鏡の光路内に置かれる。ユー
ザは、このスライドを事前検査域40へ置き、スライド
を変位させることにより問題となる領域を検出する。そ
の後、ユーザは、矩形状の試料ホルダー48とばねで偏
倚されたクリップ50の助けによりこのスライドを走査
域42へ固定する。位置切換えボタン54を押すことに
より、ユーザはコンピュータ28をして走査域42を顕
微鏡の光路内に位置させる。これは、試料の対話的走査
が開始する瞬間である。ユーザはx軸ホイール2あるい
はy軸ホイール4を操作することにより、ステージ上の
操作ホイールの位置およびユーザにより感じられる機械
的抵抗に慣れる。それにも拘わらず、ステージの小さな
変位が高い精度で行われ、またステージの大きな変位が
最小限の操作運動により行われるので、視認作業は容易
になる。観察者が試料の問題領域を識別したならば、位
置記憶ボタン52がこの領域の位置をコンピュータ28
に記憶させる。この位置記憶ボタン52を押すことによ
り、信号がケーブル56を介してプログラム・プロセッ
サ・ボード28bへ送られ、これがコンピュータ28に
図6および図7には示されない位置の読出し機能の位置
信号を読出させる。この位置信号は、DCサーボモータ
のサーボ・ループのフィードバック信号であり得る。
【0065】位置記憶ボタン52および位置切換えボタ
ン54は、望ましい手動変位装置2,4,6,7,8,
10,16,18,20および22のすぐ近くでステー
ジ38の右側に置かれている。図2のAに示された望ま
しい手動変位装置は、プラットフォーム39の右側の後
隅部に従来の方法で配置され、図7に示されている。こ
のため、全てのハンドルは、プラットフォーム39の平
坦な頂面より下方に配置され、生物学的試料の対話的走
査をサポートする。
【0066】本発明の最も重要な要素は、以下の項に要
約され、これで本文の記述を終る。即ち、 1.下記のステップを含むプラットフォームの座標変位
を制御する方法。
【0067】─少なくとも1つの方向における所要の変
位の機械的入力信号を提供し、 ─変位装置および関連する変位信号チャンネルをプラッ
トフォームの各変位座標に割当て、 ─機械的入力信号を、変位単位当たりのパルスで与えら
れる位置エンコーダの回転に従って機械的位置信号に比
例する数のパルスに変換し、 ─このパルスを変位座標毎にパルス入力変位信号として
パルス数を記録するパルス・デコーダに送り、 ─低速の変位を表わすパルス周波数が高速の変位を表わ
すパルス周波数より低い出力変位信号を生じるように出
力変位信号を発生させるため、関数を前記パルス入力変
位信号に与え、 ─前記プラットフォームに接続されたモータに前記出力
変位信号を与えることにより、出力変位信号と対応する
プラットフォームの変位を生じさせる。
【0068】2.前記プラットフォームが生物学的試料
を支持するための顕微鏡ステージである1項記載の方
法。 3.前記変位装置が、2個の同軸状に配置され独立的に
動作可能な手動で作動されるホイールである1項記載の
方法。 4.前記変位装置がプラットフォームより下方に配置さ
れた2個のホイールである1項記載の方法。 5.前記変位装置が、コンピュータのマウスの回転する
ボール要素である項1記載の方法。 6.前記変位装置が、コンピュータのジョイスティック
の回転するボール要素である項1記載の方法。 7.前記変位座標x、yが、方形のデカルト座標系ある
いは円形極座標系を形成する項1記載の方法。 8.前記手動変位装置から位置エンコーダに対する機械
的伝達が牽引ベルトにより行われる項1記載の方法。 9.各位置エンコーダが、同軸状ホイールの軸上に直接
取付けられる項1記載の方法。
【0069】10.前記位置エンコーダが角度エンコー
ダである項1記載の方法。 11.前記角度エンコーダが、1回転当たり210乃至2
12ステップの分解能を有する項1記載の方法。 12.前記角度エンコーダが、1回転当たり100,0
00ステップまでの分解能を有する項1記載の方法。 13.前記位置エンコーダからパルス・デコーダへ送ら
れるパルスが電気パルスである項1記載の方法。 14.前記位置エンコーダからパルス・デコーダへ送ら
れるパルスが電磁パルスである項1記載の方法。 15.前記パルス・デコーダが、入力変位信号のパルス
を記録するためのカウンタを含む項1記載の方法。 16.前記速度の関係が、予め定め得る速度範囲、例え
ば高速範囲あるいは低速範囲内の非線形2次関数であ
り、あるいは該速度の関係が予め定め得る低速範囲内の
対数あるいは指数の非線形関数である項1記載の方法。 17.非常に低い速度では、前記非線形関数が、対物レ
ンズの要求される光学的分解能に従ってxおよびy軸方
向における変位ステップを生じる項16記載の方法。 18.要求される光学的分解能と一致するための最も小
さな変位ステップが、使用される対物レンズの倍率に従
って調整することができる項17記載の方法。 19.前記非線形関数が非対話的プロセッサにより計算
される項1記載の方法。
【0070】20.前記非線形関数が、対話的イメージ
分析システムのコンピュータにより計算される項1記載
の方法。 21.前記非線形関数の計算が、コンピュータのバック
グラウンド・モードで実行するプログラムにより行われ
る項20記載の方法。 22.前記非線形変換の結果が、コンピュータのモータ
駆動回路により出力変位信号に変換される項21記載の
方法。 23.前記モータ駆動信号がステップ状のアナログの直
流である項22記載の方法。 24.前記モータ駆動信号がパルス信号である項22記
載の方法。 25.前記プラットフォームを変位させるモータがステ
ッピング・モータである項24記載の方法。 26.前記プラットフォームを変位させるモータがサー
ボモータである項23記載の方法。 27.前記モータをプラットフォームの極限の変位位置
で停止させる終端スイッチを有する主軸装置により各モ
ータがプラットフォームを変位させる項1記載の方法。 28.前記主軸の隣接ウエルが約4mmの距離を有し、
前記モータが1回転当たり約40,000ステップの微
小ステップ動作を許容する項27記載の方法。 29.前記プラットフォームが、コンピュータに接続さ
れた位置読出し装置が備えられ、特にサーボ駆動機構の
位置読出しがコンピュータに接続される項20記載の方
法。 30.ボタンが前記位置読出し装置の位置信号をコンピ
ュータに記憶させる項29記載の方法。 31.前記位置記憶ボタンが手動変位装置の付近に配置
される項30記載の方法。
【0071】32.下記のステップを含む顕微鏡ステー
ジにおけるプラットフォームの座標変位を制御する方
法。 ─2つの同軸状に配置され独立的に動作可能なホイール
を手動で操作することにより、2つの方向x、yにおけ
る所要の変位の入力信号を提供し、 ─第1のホイールと関連する変位信号チャンネルをx軸
座標に割当て、第2の変位信号チャンネルと関連する第
2のホイールをプラットフォームのy軸座標に割当て、 ─所要の変位を示す機械的入力信号を電磁トランスジュ
ーサとして働く位置エンコーダへ送り、 ─前記位置エンコーダの機械的入力信号を、変位単位当
たりのパルスで与えられる位置エンコーダの分解能に従
って機械的入力位置信号に比例するパルス数に変換し、 ─前記パルスを、各座標x、yに対するパルス入力変位
信号を記録するパルス・デコーダに送り、 ─前記パルス入力信号をモータ駆動信号に変換し、 ─各モータが座標x、yに沿ってプラットフォームを変
位させる電気機械的トランスジューサとして作用する当
該モータを各変位信号チャンネルの出力により駆動す
る。
【0072】33.前記プラットフォームが生物学的試
料を支持する顕微鏡ステージである項32記載の方法。 34.前記同軸状ホイールが前記プラットフォームより
下方に配置される項32記載の方法。 35.前記変位座標xyが、方形のデカルト座標系ある
いは円形極座標系を形成する項32記載の方法。 36.前記変位装置から前記位置エンコーダへの前記機
械的伝達が牽引ベルトにより行われる項32記載の方
法。 37.前記位置エンコーダが前記同軸状ホイールの軸上
に直接取付けられる項32記載の方法。 38.前記位置エンコーダが角度エンコーダである項3
2記載の方法。 39.前記角度エンコーダが、1回転当たり210乃至2
12ステップの分解能を有する項38記載の方法。
【0073】40.前記角度エンコーダが、1回転当た
り100,000ステップの分解能を有する項38記載
の方法。 41.前記位置エンコーダからパルス・デコーダへ送ら
れるパルスが電気パルスである項32記載の方法。 42.前記位置エンコーダからパルス・デコーダへ送ら
れるパルスが電磁パルスである項32記載の方法。 43.前記パルス・デコーダが、入力変位信号のパルス
を記録するカウンタを含む項32記載の方法。 44.非線形関数が、パルス・デコーダのパルス入力変
位信号に与えられ、非線形変換の結果が前記モータ駆動
信号に変換される項32記載の方法。 45.前記パルスに与えられる非線形関数が、変位装置
の手動操作の速度に依存する項44記載の方法。 46.低いパルス周波数が、前記パルス入力変位信号の
高いパルス周波数より低い出力変位信号を生じる項45
記載の方法。 47.前記非線形の速度関係が、予め定め得る低速範囲
内の2次関数である項46記載の方法。 48.非常に低い速度において、前記非線形関数が所要
の光学的分解能に従って変位ステップを生じる項47記
載の方法。 49.前記所要の光学的分解能に一致する最も小さな変
位ステップが、使用される対物レンズの倍率に従って調
整することができる項48記載の方法。
【0074】50.前記非線形関数が非対話的プロセッ
サにより計算される項44記載の方法。 51.前記非線形関数が、非対話的イメージ分析システ
ムのコンピュータにより計算される項44記載の方法。 52.前記非線形関数の計算が、前記コンピュータのバ
ックグラウンド・モードにおいて実行するプログラムに
より行われる項51記載の方法。 53.前記非線形変換の結果が、前記コンピュータのモ
ータ駆動回路によりモータ駆動信号に変換される項52
記載の方法。 54.前記モータ駆動信号がステップ状のアナログの直
流である項53記載の方法。 55.前記モータ駆動信号がパルス信号である項53記
載の方法。 56.前記プラットフォームを変位させるモータがステ
ッピング・モータである項32記載の方法。 57.前記プラットフォームを変位させるモータがサー
ボモータである項32記載の方法。 58.主軸装置により前記プラットフォームを変位させ
る各モータが、該プラットフォームの極限の変位位置に
モータを停止させる終端スイッチを有する項32記載の
方法。 59.前記プラットフォームが前記コンピュータに接続
された位置読出し装置を備える項51記載の方法。 60.ボタンが、前記コンピュータに前記位置読出し装
置の位置信号を記憶させる項59記載の方法。 61.前記位置記憶ボタンが、2個の同軸状に配置され
たホイールの付近に配置される項60記載の方法。
【0075】62.実質的に平坦な頂面を持つプラット
フォームを有する顕微鏡ステージにおいて、 ─第1の面と、該第1の面に接続されてこれを第1の方
向xおよび第2の方向yに変位させる第1の駆動装置と
を設け、 ─前記第1の面上に取外し自在に取付けられた第2の面
と、該第2の面の変位を生じるように接続された第2の
駆動装置とを設け、 ─xおよびy座標の変位を生じる前記第1および第2の
駆動装置が、前記プラットフォームの実質的に平坦な頂
面のレベルより下方に配置されて、位置駆動装置が前記
プラットフォームの前側、左側および右側で実質的に平
坦な頂面のレベルより高く上昇しないようにし、 ─前記プラットフォームが試料スライドを視認するため
2つのプレートの上方の1つに2つの照明可能な作業域
を有する顕微鏡ステージ。
【0076】63.前記上方のプレートがy軸方向に変
位するように動作可能である項62記載の顕微鏡ステー
ジ。 64.前記上方のプレートがx軸方向に変位するように
動作可能である項62記載の顕微鏡ステージ。 65.前記2つの作業域が、観察者の位置からy軸方向
に延長する線上、あるいはx軸方向に延長する線上に配
置されている項62記載の顕微鏡ステージ。 66.前記観察者の位置に隣接する前記作業域が事前検
査領域である項65記載の顕微鏡ステージ。 67.事前の検査が、前記プラットフォームの平坦な頂
面におけるスライドの手動変位により行うことができる
項66記載の顕微鏡ステージ。 68.前記観察者から離れて位置され、または観察者の
位置から左方に位置されあるいはこれら双方の状態に位
置された前記作業域が走査領域である項65記載の顕微
鏡ステージ。 69.前記走査領域が、高精度の再位置決め固定具、例
えば試料ホルダーと、スライドを固定するクリップと、
スライドを緊締位置へ案内する案内部材とが設けられる
項68記載の顕微鏡ステージ。 70.前記走査領域の変位がコンピュータの制御下で行
われる項68記載の顕微鏡ステージ。 71.前記コンピュータを2つの作業域の位置間で切換
えさせるボタンが設けられている項70記載の顕微鏡ス
テージ。 72.前記位置切換えボタンが、前記プラットフォーム
の平坦な頂面の下方の第1および第2の位置駆動装置の
付近に配置される項71記載の顕微鏡ステージ。
【0077】73.顕微鏡と、少なくとも1つのTVカ
メラと、コンピュータ・ステーションを含むイメージ分
析システムであって、下記の構成を有するプラットフォ
ームの座標変位を制御する装置。 ─2つの方向x、yにおける所要の変位の入力信号を機
械的に生じる手動で操作される変位手段と、 ─第1の変位手段と、x座標に割当てられた関連する変
位信号チャンネルと、前記プラットフォームのy座標に
割当てられた第2の変位信号チャンネルと関連する第2
の変位装置と、 ─所要の変位を表示する機械的入力信号を、電気機械的
トランスジューサとして働く位置エンコーダへ送る手段
と、 ─機械的入力信号を、変位単位当たりのパルスで与えら
れる位置エンコーダの分解能に従って、機械的位置信号
に比例する数のパルスに変換する位置エンコーダ手段
と、 ─前記の送られたパルスを受取り、座標x、yの各々に
対してパルス入力変位信号を記録するパルス・デコーダ
と、 ─パルス入力変位信号からパルス出力変位信号を計算す
る電気的手段と、 ─前記パルス変換の結果をモータ駆動信号に変換する駆
動手段と、 ─各変位信号チャンネルの出力におけるモータであっ
て、各々が座標x、yに沿ってプラットフォームを変位
させる電気機械的トランスジューサとして働くモータと
を設けること。
【0078】74.前記プラットフォームが生物学的試
料を支持するための顕微鏡ステージである項73記載の
装置。 75.前記手動で操作される変位手段が2個の同軸状に
配置され独立的に動作可能なホイールである項73記載
の装置。 76.前記変位手段が前記プラットフォームの下方に配
置された2個のホイールである項73記載の装置。 77.前記変位手段が、いわゆるマウスの回転ボールに
より駆動される項73記載の装置。 78.前記変位手段が、いわゆるジョイスティックの回
転ボールにより駆動される項73記載の装置。 79.前記変位手段から前記位置エンコーダへの機械的
伝達が牽引ベルトにより行われる項73記載の装置。
【0079】80.各位置エンコーダが、同軸状でカス
ケード状に配置されたホイールの軸上に直接取付けられ
る項73記載の装置。 81.前記位置エンコーダが角度エンコーダである項7
3記載の装置。 82.前記角度エンコーダが、1回転当たり210乃至2
12ステップの分解能を有する項81記載の装置。 83.前記角度エンコーダが、1回転当たり100,0
00ステップの分解能を有する項81記載の装置。 84.前記位置エンコーダから前記パルス・デコーダへ
送られるパルスが電気パルスである項73記載の装置。 85.前記位置エンコーダから前記パルス・デコーダへ
送られるパルスが電磁パルスである項73記載の装置。 86.前記パルス・デコーダが、入力変位信号のパルス
を記録するためのカウンタを含む項73記載の装置。 87.前記電気手段により非線形関数がパルス入力変位
信号に与えられ、非線形変換の結果が前記モータ駆動信
号に変換される項73記載の装置。 88.前記パルス・カウントに与えられる非線形関数
が、前記変位手段の手動操作の速度に依存する項87記
載の装置。 89.低いパルス周波数が、前記パルス入力変位信号の
高いパルス周波数より低い出力変位信号を生じる項88
記載の装置。
【0080】90.前記非線形速度の関係が、予め定め
得る低速の範囲内の2次関数である項89記載の装置。 91.非常に低い速度では、前記非線形関数が所要の光
学的分解能に従う変位ステップを生じる項90記載の装
置。 92.所要の光学的分解能に一致させる最も小さな変位
ステップが、使用される対物レンズの倍率に従って前記
電気的手段により調整される項91記載の装置。 93.前記非線形関数が非対話的プロセッサにより計算
される項87記載の装置。 94.前記非線形関数が対話的イメージ分析システムの
コンピュータにより計算される項87記載の装置。 95.前記非線形関数の計算が、前記コンピュータのバ
ックグラウンド・モードにおいて実行するプログラムに
より行われる項94記載の装置。 96.前記非線形伝送の結果が前記コンピュータのモー
タ駆動回路により変換される項95記載の装置。 97.前記モータ駆動信号がステップ状のアナログの直
流である項96記載の装置。 98.前記モータ駆動信号がパルス信号である項96記
載の装置。 99.前記プラットフォームを変位させるモータがステ
ッピング・モータである項73記載の装置。 100.前記プラットフォームを変位させるモータがサ
ーボモータである項73記載の装置。 101.各モータが、前記プラットフォームの極限の変
位位置において前記モータを停止させる終端スイッチを
有する主軸装置により該プラットフォームを変位させる
項73記載の装置。 102.前記プラットフォームが、前記コンピュータに
接続された位置読出し装置を設けられる項94記載の装
置。 103.ボタンが、前記位置読出し装置の位置信号を前
記コンピュータに記憶させる項102記載の装置。 104.前記位置記憶ボタンが、前記手動変位手段の付
近に配置される項103記載の装置。
【図面の簡単な説明】
【図1】2個のカスケード状に配置されたホイールを有
する顕微鏡ステージの従来の手動駆動部を示す図であ
る。
【図2】Aは、本発明によるカスケード状ホイールと角
度エンコーダ間の牽引ベルトによる機械的伝達例を示す
図であり、Bは、本発明によるカスケード状ホイールと
角度エンコーダ間のホイール軸に取付けた角度エンコー
ダを備えた機械的伝達を示す図である。
【図3】本発明の望ましい実施例による位置信号の流れ
を示すブロック図である。
【図4】位置信号に速度に依存する計算を付与する望ま
しい非線形関数のグラフである。
【図5】システム入力とシステム応答との例を比較する
ための変位タイミング図である。
【図6】本発明による図3のステージを示す更に詳細な
図である。
【図7】本発明による図3のステージを示す更に詳細な
図である。
【符号の説明】
2 手動変位ホイール 4 手動変位ホイール 6 x軸 7 y軸 8 y軸コグ・ホイール 10 x軸コグ・ホイール 12 y軸ラック 14 ラック 16 牽引ベルト 18 牽引ベルト 20 角度エンコーダ 22 角度エンコーダ 24 角度エンコーダ 26 角度エンコーダ 27 ケーブル 28 コンピュータ 28a パルス・デコーダ回路 28b プログラム・プロセッサ・ボード 28c モータ駆動回路 34 x軸モータ 36 y軸モータ 38 顕微鏡ステージ 39 プラットフォーム 40 作業域 42 作業域 43 スライド 44 y軸プレート 46 x軸プレート 48 試料ホルダー 49 プラットフォーム 50 クリップ 51 停止部材 52 位置記憶ボタン 54 位置切換えボタン 56 ケーブル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 アレクザンダー・フリプス オランダ王国ライデン,ダ・コスタストラ ート 8 (72)発明者 ワルター・ヤヌス オランダ王国ハルレム,ハセラープレイン 12

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 プラットフォームの座標変位を制御する
    方法において、 少なくとも1つの方向における所要の変位の機械的入力
    信号を提供し、 変位手段および関連する変位信号チャンネルを前記プラ
    ットフォームの各変位座標に割当て、 機械的入力信号を、変位単位当たりのパルスで与えられ
    る位置エンコーダの回転に従って機械的位置信号に比例
    するパルス数に変換し、 前記パルスを変位座標毎にパルス入力変位信号として前
    記パルス数を記録するパルス・デコーダに送り、 前記パルス入力変位信号に関数を付与して、低速の変位
    を表わすパルス周波数が高速の変位を表わすパルス周波
    数より低い出力変位信号を生じるように出力変位信号を
    発生し、 前記プラットフォームに接続されたモータに前記出力変
    位信号を付与することにより、前記出力変位信号と対応
    するプラットフォームの変位を生じる、各ステップを備
    えることを特徴とする方法。
  2. 【請求項2】 前記変位手段が、前記プラットフォーム
    の下方に配置された2個の同軸状に配置されかつ独立的
    に動作可能な手動で操作するホイールであることを特徴
    とする請求項1記載の方法。
  3. 【請求項3】 前記速度に依存する関数が対話的イメー
    ジ分析システムのコンピュータにより計算されることを
    特徴とする請求項1または2に記載の方法。
  4. 【請求項4】 前記プラットフォームに前記コンピュー
    タに接続された位置読出し装置が設けられ、ボタンが、
    該位置読出し装置の位置信号を前記コンピュータに記憶
    させ、前記の位置記憶ボタンが手動変位装置の付近に配
    置されることを特徴とする請求項3記載の方法。
  5. 【請求項5】 顕微鏡ステージにおけるプラットフォー
    ムの座標変位を制御する方法において、 2つの同軸状に配置されかつ独立的に動作可能なホイー
    ルを手動で操作することにより、2つの方向x、yにお
    ける所要の変位の入力信号を提供し、 第1のホイールと、関連する変位信号チャンネルとをx
    軸座標に割当て、第2の変位信号チャンネルと関連する
    第2のホイールを前記プラットフォームのy軸座標に割
    当て、 所要の変位を示す機械的入力信号を電磁トランスジュー
    サとして働く位置エンコーダへ送り、 前記位置エンコーダの機械的入力信号を、変位単位当た
    りのパルスで与えられる位置エンコーダの分解能に従っ
    て機械的入力位置信号に比例するパルス数に変換し、 前記パルスを、各座標x、yに対するパルス入力変位信
    号を記録するパルス・デコーダに送り、 前記パルス入力信号をモータ駆動信号に変換し、 各モータが座標x、yに沿って前記プラットフォームを
    変位させる電気機械的トランスジューサとして働く当該
    モータを各変位信号チャンネルの出力により駆動する、
    各ステップを備えることを特徴とする方法。
  6. 【請求項6】 前記同軸状ホイールが前記プラットフォ
    ーム下方に配置され、前記変位手段から前記位置エンコ
    ーダへの機械的伝達が牽引ベルトにより行われることを
    特徴とする請求項5記載の方法。
  7. 【請求項7】 非線形関数が、前記パルス・デコーダの
    パルス入力変位信号に与えられ、非線形変換の結果が前
    記モータ駆動信号に変換され、前記パルス・カウントに
    与えられる非線形関数が前記変位手段の手動操作の速度
    に依存することを特徴とする請求項5または6に記載の
    方法。
  8. 【請求項8】 前記非線形関数が対話的イメージ分析シ
    ステムのコンピュータにより計算され、前記プラットフ
    ォームに前記コンピュータに接続された位置読出し装置
    が設けられることを特徴とする請求項7記載の方法。
  9. 【請求項9】 ボタンが、前記コンピュータに前記位置
    読出し装置の位置信号を記憶させ、前記の位置記憶ボタ
    ンが、2個の同軸状に配置されたホイールの付近に配置
    されることを特徴とする請求項8記載の方法。
  10. 【請求項10】 実質的に平坦な頂面を持つプラットフ
    ォームを有する顕微鏡ステージにおいて、 第1の面と、前記第1の面に接続されてこれを第1の方
    向xおよび第2の方向yに変位させる第1の駆動手段
    と、 前記第1の面上に取外し自在に取付けられた第2の面
    と、前記第2の面の変位を生じるように接続された第2
    の駆動手段と、を設け、 xおよびy座標の変位を生じる前記第1および第2の駆
    動手段が、前記プラットフォームの実質的に平坦な頂面
    のレベルの下方に配置されて、前記位置駆動手段が前記
    プラットフォームの前側、左側および右側で実質的に平
    坦な頂面のレベルより高く上昇しないようにし、 前記プラットフォームが試料スライドを視認するため2
    つのプレートの上方の1つに2つの照明可能な作業域を
    有することを特徴とする顕微鏡ステージ。
  11. 【請求項11】 前記作業域の一方が事前検査領域であ
    り、事前検査が前記プラットフォームの平坦な頂面上の
    スライドの手動の変位により行われることを特徴とする
    請求項10記載の顕微鏡ステージ。
  12. 【請求項12】 前記作業域の一方が走査領域であり、
    該走査領域の変位がコンピュータの制御下で行われるこ
    とを特徴とする請求項10または11に記載の顕微鏡ス
    テージ。
  13. 【請求項13】 前記コンピュータに前記2つの作業域
    の位置間に切換えさせるボタンを設け、前記の位置切換
    えボタンが、前記プラットフォームの平坦な頂面の下方
    の第1および第2の位置駆動手段の付近に配置されるこ
    とを特徴とする請求項12記載の顕微鏡ステージ。
  14. 【請求項14】 顕微鏡と、少なくとも1つのTVカメ
    ラと、コンピュータ・ステーションとを含むイメージ分
    析システムにおけるプラットフォームの座標変位を制御
    する装置において、 2つの方向x、yにおける所要の変位の入力信号を機械
    的に生じる手動で操作される変位手段と、 第1の変位手段と、x座標に割当てられた関連する変位
    信号チャンネルと、前記プラットフォームのy座標に割
    当てられた第2の変位信号チャンネルと関連する第2の
    変位装手段と、 電気機械的トランスジューサとして働く位置エンコーダ
    への所要の変位を表示する機械的入力信号を送る手段
    と、 機械的入力信号を、変位単位当たりのパルスで与えられ
    る位置エンコーダの分解能に従って、機械的位置信号に
    比例するパルス数に変換する位置エンコーダ手段と、 前記の送られたパルスを受取り、座標x、yの各々に対
    してパルス入力変位信号を記録するパルス・デコーダ
    と、 パルス入力変位信号からパルス出力変位信号を計算する
    電気的手段と、 前記パルス変換の結果をモータ駆動信号に変換する駆動
    手段と、 各変位信号チャンネルの出力において、各々が座標x、
    yに沿ってプラットフォームを変位させる電気機械的ト
    ランスジューサとして働くモータとを備えることを特徴
    とする装置。
  15. 【請求項15】 前記手動操作される変位手段が、2個
    の同軸状に配置され、かつ前記プラットフォームの下方
    に配置された独立的に動作可能なホイールであることを
    特徴とする請求項14記載の装置。
  16. 【請求項16】 非線形関数が前記電気的手段により前
    記パルス入力変位信号に与えられ、非線形変換の結果が
    前記モータ駆動信号に変換され、前記パルス・カウント
    に与えられる非線形関数が前記変位手段の手動操作の速
    度に依存し、これにより低いパルス周波数が前記パルス
    入力変位信号の高いパルス周波数より低い出力変位信号
    を生じることを特徴とする請求項14または15に記載
    の装置。
  17. 【請求項17】 前記プラットフォームに前記コンピュ
    ータに接続された位置読出し装置が設けられ、ボタン
    が、位置読出し装置の位置の信号を前記コンピュータに
    記憶させ、前記の位置記憶ボタンが前記手動変位手段の
    付近に配置されることを特徴とする請求項16記載の装
    置。
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