JPH01205959A - Ｘｙテーブルの微細位置決め方法 - Google Patents
Ｘｙテーブルの微細位置決め方法Info
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- JPH01205959A JPH01205959A JP2576188A JP2576188A JPH01205959A JP H01205959 A JPH01205959 A JP H01205959A JP 2576188 A JP2576188 A JP 2576188A JP 2576188 A JP2576188 A JP 2576188A JP H01205959 A JPH01205959 A JP H01205959A
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- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、プリント板など比較的に小型な部品を載置し
て穴あけなどの加工位置に精密移動するＸＹ子テーブル
微細位置決め方法に関するものである。
て穴あけなどの加工位置に精密移動するＸＹ子テーブル
微細位置決め方法に関するものである。
［従来の技術］
電子装置用のプリント板の製造工程において、高精度で
数百箇の小穴を穴あけすることがある。
数百箇の小穴を穴あけすることがある。
そのためにボール盤を固定し、プリント板をＸＹ子テー
ブル可動テーブルに載置して可動テーブルの位置をプロ
グラム制御することが行われる。
ブル可動テーブルに載置して可動テーブルの位置をプロ
グラム制御することが行われる。
第４図は、ＸＹ子テーブル使用した穴あけ装置の一例の
斜視図であって、１は加工される試料としてのプリント
板、２はＸ！１ｌｌＩＹ軸をパルスモータによって晩動
するＸＹ子テーブル２ａはＸＹ子テーブルの可動テーブ
ル、２ｂは可動テーブル２ａ上でのプリント板１の載置
場所を特定するためのストッパ、３はＸＹ子テーブルを
制御するステージコントローラ、３ａは人手操作によっ
てステージコントローラ３に命令を入力するトラックボ
ール、４はプリント板を穴あけするボール盤である。
斜視図であって、１は加工される試料としてのプリント
板、２はＸ！１ｌｌＩＹ軸をパルスモータによって晩動
するＸＹ子テーブル２ａはＸＹ子テーブルの可動テーブ
ル、２ｂは可動テーブル２ａ上でのプリント板１の載置
場所を特定するためのストッパ、３はＸＹ子テーブルを
制御するステージコントローラ、３ａは人手操作によっ
てステージコントローラ３に命令を入力するトラックボ
ール、４はプリント板を穴あけするボール盤である。
このＸＹ子テーブル使用した穴あけ装置の動作は、可動
テーブル２ａ上に、ストッパ２ｂをガイドとしてプリン
ト板１を所定位置に設置したのち、ステージコントロー
ラ３の加工開始キーを操作者が押すと、ステージコント
ローラ３が予め与えられている加ニブログラムに従って
、ＸＹ子テーブルのＸ軸およびＹ軸パルスモータにパル
ス指令が出され、可動テーブル２のボール盤４の直下位
置が目的のプリント板加工位置となるようにされて、そ
の後、ステージコントローラ３からボール盤４に穴あけ
指令が出され、加工が行われる。ついで次の加工命令が
あるか調べられ、あれば新たな位置指令がＸＹ子テーブ
ル出され穴あけが繰り返される。
テーブル２ａ上に、ストッパ２ｂをガイドとしてプリン
ト板１を所定位置に設置したのち、ステージコントロー
ラ３の加工開始キーを操作者が押すと、ステージコント
ローラ３が予め与えられている加ニブログラムに従って
、ＸＹ子テーブルのＸ軸およびＹ軸パルスモータにパル
ス指令が出され、可動テーブル２のボール盤４の直下位
置が目的のプリント板加工位置となるようにされて、そ
の後、ステージコントローラ３からボール盤４に穴あけ
指令が出され、加工が行われる。ついで次の加工命令が
あるか調べられ、あれば新たな位置指令がＸＹ子テーブ
ル出され穴あけが繰り返される。
〔解決しようとする課題］
しかしながら、プリント板１等試料の端部加工精度が良
くないときはストッパ２ｂによる（６Ｗ決めが正確に行
えず、また、プリント板１の銅箔エツチングがプリント
板端から一定のところにないとき、ボール盤４直下位置
が正しい銅箔バタン位置とならないことがある。
くないときはストッパ２ｂによる（６Ｗ決めが正確に行
えず、また、プリント板１の銅箔エツチングがプリント
板端から一定のところにないとき、ボール盤４直下位置
が正しい銅箔バタン位置とならないことがある。
本発明は、上記の問題を解決しようとするもので、取付
は誤差、印刷（エツチング）誤差の影響を受けずに正確
な加工位置決めができる微細位置決め用ＸＹ子テーブル
得ることを目的とする。
は誤差、印刷（エツチング）誤差の影響を受けずに正確
な加工位置決めができる微細位置決め用ＸＹ子テーブル
得ることを目的とする。
［課題を解決するための手段］
本発明のＸＹ子テーブル微細位置決め方法は。
ＸＹ子テーブル載置固定された試料をａ察する顕微鏡と
、同顕微鏡の映像を撮影するテレビカメラと、同テレビ
カメラの生成する映像信号を表示するテレビモニタと、
前記ＸＹ子テーブルＸ軸の位置量を計測し信号出力する
Ｘ軸位置計測器と、前記Ｙ軸の位置量を計測し信号出力
するＹ軸位置計測器とを設け、前記試料上に予め設定さ
れているｘｙ座標の原点位置の映像が前記テレビモニタ
の画面所定位置に合致するように前記Ｘ軸およびＹ軸を
手動操作したときのＸ軸位置計測器の信号値をＡｘ、Ｙ
軸位置計測器の信号値をＡｙとし、前記試料上の座標の
Ｘ軸上で原点とは重ならない所定点の映像が前記テレビ
モニタの画面所定位置に合致するように前記Ｘ軸および
Ｙ軸を手動操作したときのＸ軸位置計測器の信号値をＢ
ｘ、Ｙ軸位置計測器の信号値をＢｙとして、前記Ａｘ、
Ａｙ。
、同顕微鏡の映像を撮影するテレビカメラと、同テレビ
カメラの生成する映像信号を表示するテレビモニタと、
前記ＸＹ子テーブルＸ軸の位置量を計測し信号出力する
Ｘ軸位置計測器と、前記Ｙ軸の位置量を計測し信号出力
するＹ軸位置計測器とを設け、前記試料上に予め設定さ
れているｘｙ座標の原点位置の映像が前記テレビモニタ
の画面所定位置に合致するように前記Ｘ軸およびＹ軸を
手動操作したときのＸ軸位置計測器の信号値をＡｘ、Ｙ
軸位置計測器の信号値をＡｙとし、前記試料上の座標の
Ｘ軸上で原点とは重ならない所定点の映像が前記テレビ
モニタの画面所定位置に合致するように前記Ｘ軸および
Ｙ軸を手動操作したときのＸ軸位置計測器の信号値をＢ
ｘ、Ｙ軸位置計測器の信号値をＢｙとして、前記Ａｘ、
Ａｙ。
Ｂｘ、Ｂｙから既述（１）式により前記プログラム中の
加工位置座標（ｘ ｘ ＋ ｙ ｘ ）を修正演算した
Ｘ軸位置Ｘｉ 、Ｙ軸位置ＹｉをＸＹ子テーブル指令す
ることを特徴としている。
加工位置座標（ｘ ｘ ＋ ｙ ｘ ）を修正演算した
Ｘ軸位置Ｘｉ 、Ｙ軸位置ＹｉをＸＹ子テーブル指令す
ることを特徴としている。
［作用］
小物部品の精密加工においては、顕微鏡を覗きながらの
作業となることが多いが、顕微ｆＡＴＡ察は疲労しやす
く、特に高齢者にとっては苛酷な作業となる。
作業となることが多いが、顕微ｆＡＴＡ察は疲労しやす
く、特に高齢者にとっては苛酷な作業となる。
本発明は、機械的な位置合わせの精度が問題となる場合
に、テレビモニタ上の顕微鏡映像によって位置合わせを
行おうとするもので、加工される試料上には予めｘｙ座
標原点と、Ｘ軸上の１点とをバタン表示しておき、また
、加ニブログラムも加工位置を前記ｘｙ座標上の位置（
相対座標の位置）として定義しておく。
に、テレビモニタ上の顕微鏡映像によって位置合わせを
行おうとするもので、加工される試料上には予めｘｙ座
標原点と、Ｘ軸上の１点とをバタン表示しておき、また
、加ニブログラムも加工位置を前記ｘｙ座標上の位置（
相対座標の位置）として定義しておく。
加工の際に、試料が多少ずれてＸＹ子テーブル取付けら
れても正確な位置加工ができるように、試料上の前記バ
タン表示２点をテレビカメラを取付けた顕微鏡で撮影し
、その映像をテレビモニタで確認したときに前記２点が
ＸＹ子テーブルＸＹ座標上でどんな位置量となるかを計
測し、その計測量によって前記加ニブログラム中の加工
位置データ（ｘ ｉ＋ ｙ ｘ ）を修正してＸＹ子テ
ーブル座標（Ｘｉ、 Ｙｉ）とし、ＸＹ子テーブル置を
制御している。
れても正確な位置加工ができるように、試料上の前記バ
タン表示２点をテレビカメラを取付けた顕微鏡で撮影し
、その映像をテレビモニタで確認したときに前記２点が
ＸＹ子テーブルＸＹ座標上でどんな位置量となるかを計
測し、その計測量によって前記加ニブログラム中の加工
位置データ（ｘ ｉ＋ ｙ ｘ ）を修正してＸＹ子テ
ーブル座標（Ｘｉ、 Ｙｉ）とし、ＸＹ子テーブル置を
制御している。
［実施例］
以下、本発明の一実施例を図面により詳細に説明する。
なお、既述の符号は同一の部分を示しており説明を省略
する。
する。
第１図は一実施例としてのＸＹ子テーブル微細位置決め
方法による微細位置決め用ＸＹ子テーブル斜視図であっ
て、５は穴あけ加工時のボール盤４と同一位置にあって
プリント板１を拡大観察する顕微鏡、６は顕微鏡５の映
像を撮影するテレビカメラとしてのＣＣＤカメラ、７は
ＣＣＤカメラ６の生成する映像信号を表示するテレビモ
ニタである。
方法による微細位置決め用ＸＹ子テーブル斜視図であっ
て、５は穴あけ加工時のボール盤４と同一位置にあって
プリント板１を拡大観察する顕微鏡、６は顕微鏡５の映
像を撮影するテレビカメラとしてのＣＣＤカメラ、７は
ＣＣＤカメラ６の生成する映像信号を表示するテレビモ
ニタである。
なお、Ｘ軸位置計測器の機能は本実施例の場合、ステー
ジコントローラ３の内部においてソフトウェア的にパル
スモータの陳動パルス数をカウントすることによって実
現されている。Ｙ軸位置計測器についても同様である。
ジコントローラ３の内部においてソフトウェア的にパル
スモータの陳動パルス数をカウントすることによって実
現されている。Ｙ軸位置計測器についても同様である。
また、顕微鏡５とボール盤４（図示せず）とは１方が動
作状態にあるとき他方は別位置で待機するように構成さ
れている。
作状態にあるとき他方は別位置で待機するように構成さ
れている。
第２図はステージコントローラ３の本実施例における制
御プログラムで、 ステップ３１では、加工試料１をストッパー２ｂにセッ
トする。
御プログラムで、 ステップ３１では、加工試料１をストッパー２ｂにセッ
トする。
ステップ３２では、試料上のｘｙ座標原点１ａが顕微鏡
５の直下にくるまで可動テーブル２ａをトラックボール
３ａの手動操作で移動させる。
５の直下にくるまで可動テーブル２ａをトラックボール
３ａの手動操作で移動させる。
ステップ３３では、モニタテレビ７の基準点７ｂにｘｙ
座標原点１ａの映像が来るよう、トラックボール３ａの
手動操作で可動テーブル２ａの微動移動を行う。
座標原点１ａの映像が来るよう、トラックボール３ａの
手動操作で可動テーブル２ａの微動移動を行う。
ステップ３４では、ステージコントローラ３の位置記憶
設定キーを押す。これによりコントローラ３のメモリに
、ｘｙ座標原点１ａの、ＸＹ子テーブルＹ座標での位ａ
（Ａｘ、 Ａｙ）が記憶される。
設定キーを押す。これによりコントローラ３のメモリに
、ｘｙ座標原点１ａの、ＸＹ子テーブルＹ座標での位ａ
（Ａｘ、 Ａｙ）が記憶される。
ステップ３５では、試料ｘｙ座標のｘ！ｉ［ｌｌ線上の
所定点１ｂが顕微鏡５の直下にくるようにトラックボー
ル３ａの手動操作で可動テーブル２ａを移動する。
所定点１ｂが顕微鏡５の直下にくるようにトラックボー
ル３ａの手動操作で可動テーブル２ａを移動する。
ステップ３６では、モニタテレビ７の１点７ｂにＸ軸線
上の所定点１ｂの映像が来るよう、トラックボール３ａ
の手動操作で可動テーブル２ａの微動移動を行う。
上の所定点１ｂの映像が来るよう、トラックボール３ａ
の手動操作で可動テーブル２ａの微動移動を行う。
ステップ３７では、ステージコントローラ３の位置記憶
設定キーを押す。これによりコントローラ３のメモリに
、Ｘ軸線上の所定点１ｂの、ＸＹ子テーブルＹ座標での
位置（Ｂｘ、 Ｂｙ）が記憶される。
設定キーを押す。これによりコントローラ３のメモリに
、Ｘ軸線上の所定点１ｂの、ＸＹ子テーブルＹ座標での
位置（Ｂｘ、 Ｂｙ）が記憶される。
ステップ３８では、ステージコントローラ３で取付は傾
き角度θの計算を行う。
き角度θの計算を行う。
θ＝ｊａｎ−１（（Ｂｙ Ａｙ）／（Ｂｘ−Ａｘ））
ステップ３９では、ステージコントローラ３は加ニブロ
グラムの読込みを行い、命令ポインタｉを１とする。
ステップ３９では、ステージコントローラ３は加ニブロ
グラムの読込みを行い、命令ポインタｉを１とする。
ステップ４０では、ｉ番目の命令の位置データ（ｘｘ、
ｙｉ）をｘｙ子テーブル上ＸＹ／Ｉ標の位置量（Ｘｉ
、 Ｙｉ）に修正演算する。
ｙｉ）をｘｙ子テーブル上ＸＹ／Ｉ標の位置量（Ｘｉ
、 Ｙｉ）に修正演算する。
ステップ４１では、ステージコントローラ３は演算した
位置量Ｘｉ、ＹｉをＸＹ子テーブルに指令出力する。
位置量Ｘｉ、ＹｉをＸＹ子テーブルに指令出力する。
ステップ４２では、ステージコントローラ３はボール盤
に穴あけ指令する。
に穴あけ指令する。
ステップ４３では、命令ポインタｉを＋１する。
ステップ４４では、プログラムに次の命令があるか調べ
て、あればステップ４０に戻り、なければ終了する。
て、あればステップ４０に戻り、なければ終了する。
本発明のＸＹ子テーブル微細位置決め方法による装置は
このように構成されており、次のように動作する。
このように構成されており、次のように動作する。
操作者はまず、プリント板１を可動テーブル２ａの上に
置き、ストッパ２ｂの内側コーナにプリント板の所定の
角部を押し付は図示しない保持装置でプリント板１を可
動テーブル２ａに固定する。
置き、ストッパ２ｂの内側コーナにプリント板の所定の
角部を押し付は図示しない保持装置でプリント板１を可
動テーブル２ａに固定する。
この時のプリント板の設定状況を第３図に例示する。
第３図は可動テーブルへのプリント板の取り付けがやや
不正確であるときの状況を示す図で、Ｘ軸とＸ軸とが並
行でない場合である。同図中には後述する（Ａｘ、Ａｙ
）＋ （Ｂｘ、Ｂｙ）＋ （Ｘｌｌ ｙｌＬ（Ｘｉ、
Ｙｉ）各点を表示している。
不正確であるときの状況を示す図で、Ｘ軸とＸ軸とが並
行でない場合である。同図中には後述する（Ａｘ、Ａｙ
）＋ （Ｂｘ、Ｂｙ）＋ （Ｘｌｌ ｙｌＬ（Ｘｉ、
Ｙｉ）各点を表示している。
次に操作者は、プリント板１上のｘｙ座標の原点１ａの
位置をステージコントローラ３に入力する。それには３
ａによってステージコントローラ３経由でＸＹ子テーブ
ルを手動操作し、原点の映像を顕微鏡５→ＣＣＤカメラ
６→の経路でテレビモニタ７に写し出し、モニタ画面上
の十字カーソル７ａの交点７ｂに重なるようにＸＹ子テ
ーブルを調整して、その時のｘＹ子テーブルのＸ軸、Ｙ
軸の位置量をＸ軸位置計測器、Ｙ軸位置計測器の機能（
パルスモータ恥動パルスのカウント）によって知り、Ａ
ｘ、Ａｙとして記憶する。
位置をステージコントローラ３に入力する。それには３
ａによってステージコントローラ３経由でＸＹ子テーブ
ルを手動操作し、原点の映像を顕微鏡５→ＣＣＤカメラ
６→の経路でテレビモニタ７に写し出し、モニタ画面上
の十字カーソル７ａの交点７ｂに重なるようにＸＹ子テ
ーブルを調整して、その時のｘＹ子テーブルのＸ軸、Ｙ
軸の位置量をＸ軸位置計測器、Ｙ軸位置計測器の機能（
パルスモータ恥動パルスのカウント）によって知り、Ａ
ｘ、Ａｙとして記憶する。
次に操作者は、プリント板１上のｘｙ座標のＸ軸上の所
定点１ｂの位置をステージコントローラ３に入力し、Ｂ
ｘ、Ｂｙとする。操作はｘｙ座標の原点１ａのときと同
様である。
定点１ｂの位置をステージコントローラ３に入力し、Ｂ
ｘ、Ｂｙとする。操作はｘｙ座標の原点１ａのときと同
様である。
このあと顕微鏡５が別位置に待避し、これまで顕微鏡５
が位置していたところにボール盤４（図示せず）が移動
配置される。
が位置していたところにボール盤４（図示せず）が移動
配置される。
ステージコントローラ３は加ニブログラムの読込みを行
ってｘｙ座標上の位置量として記述されている加工位置
データ（ｘ ｘ ｒ ｙ ｉ）を１つ取出す。
ってｘｙ座標上の位置量として記述されている加工位置
データ（ｘ ｘ ｒ ｙ ｉ）を１つ取出す。
ついで、上記プリント板１上の座標表現の位置量（ｘｉ
、 ｙｉ）は、（１）式によりｘｙ子テーブル上ＸＹ座
標位置量（Ｘ ｉ 、 Ｙ ｉ ）に変換され、ＸＹ子
テーブルへの制御指令となる。
、 ｙｉ）は、（１）式によりｘｙ子テーブル上ＸＹ座
標位置量（Ｘ ｉ 、 Ｙ ｉ ）に変換され、ＸＹ子
テーブルへの制御指令となる。
ついで、ボール盤に穴あけ指令が出され加工が行われる
。
。
加ニブログラムにしたがって所定数の穴あけ作業が繰り
返される。
返される。
このようにして、本実施例のＸＹ子テーブル微細位置決
め方法により、ストッパへのプリント板の載置時の誤差
あるいはプリント板エツジと二ノチングバタンとのずれ
に影響されることなく、正確な穴あけ作業を行って、歩
留まり向上を図ることができる。
め方法により、ストッパへのプリント板の載置時の誤差
あるいはプリント板エツジと二ノチングバタンとのずれ
に影響されることなく、正確な穴あけ作業を行って、歩
留まり向上を図ることができる。
なお、本実施例では、Ａｘ、Ａｙ、Ｂｘ、Ｂｙの位置計
測後、顕微篤５とボール盤４を機械的に位置交替したが
、両者並列しての固定設置とし両者間の位置差を加算し
て、加工時のＸＹテーブル位置量Ｘｉ、Ｙｉを計算する
ようにしてもよい。
測後、顕微篤５とボール盤４を機械的に位置交替したが
、両者並列しての固定設置とし両者間の位置差を加算し
て、加工時のＸＹテーブル位置量Ｘｉ、Ｙｉを計算する
ようにしてもよい。
［発明の効果コ
本発明のｘｙ子テーブル微細位置決め方法は、ＸＹ子テ
ーブル載置固定された試料を観察する顕微鏡と、同顕微
鏡の映像を撮影するテレビカメラと、同テレビカメラの
生成する映像信号を表示するテレビモニタと、前記ＸＹ
子テーブルＸ軸の位置量を計測し信号出力するＸ軸位置
計測器と、前記Ｙ軸の位置量を計測し信号出力するＹ軸
位置計測器とを設け、前記試料上に予め設定されている
ｘｙ座標の原点位置の映像が前記テレビモニタの画面所
定位置に合致するように前記Ｘ軸およびＹ軸を手動操作
したときのＸ軸位置計測器の信号値をＡｘ、Ｙ軸位置計
測器の信号値をＡｙとし、前記試料上の座標のＸ軸上で
原点とは重ならない所定点の映像が前記テレビモニタの
画面所定位置に合致するように前記Ｘ軸およびＹ軸を手
動操作したときのＸ軸位置計測器の信号値をＢｘ、Ｙ軸
位置計測器の信号値をＢｙとして、前記Ａｘ、Ａｙ。
ーブル載置固定された試料を観察する顕微鏡と、同顕微
鏡の映像を撮影するテレビカメラと、同テレビカメラの
生成する映像信号を表示するテレビモニタと、前記ＸＹ
子テーブルＸ軸の位置量を計測し信号出力するＸ軸位置
計測器と、前記Ｙ軸の位置量を計測し信号出力するＹ軸
位置計測器とを設け、前記試料上に予め設定されている
ｘｙ座標の原点位置の映像が前記テレビモニタの画面所
定位置に合致するように前記Ｘ軸およびＹ軸を手動操作
したときのＸ軸位置計測器の信号値をＡｘ、Ｙ軸位置計
測器の信号値をＡｙとし、前記試料上の座標のＸ軸上で
原点とは重ならない所定点の映像が前記テレビモニタの
画面所定位置に合致するように前記Ｘ軸およびＹ軸を手
動操作したときのＸ軸位置計測器の信号値をＢｘ、Ｙ軸
位置計測器の信号値をＢｙとして、前記Ａｘ、Ａｙ。
Ｂｘ、Ｂｙから既述（１）式により前記プログラム中の
加工位置座標Ｃｘｘ＋ ｙｊ）を修正演算したＸ軸位置
Ｘｉ、Ｙ軸位置ＹｉをＸＹ子テーブル指令するので、プ
リント板等の微細加工、検査において、機械的に座標合
わせを行うことが不要になり、相対座標系のＮＣデータ
より自動位置決めが可能となって加ニブログラムの作成
が容易になり、加工精度の向上とあわせて大きな経済効
果が得られる。
加工位置座標Ｃｘｘ＋ ｙｊ）を修正演算したＸ軸位置
Ｘｉ、Ｙ軸位置ＹｉをＸＹ子テーブル指令するので、プ
リント板等の微細加工、検査において、機械的に座標合
わせを行うことが不要になり、相対座標系のＮＣデータ
より自動位置決めが可能となって加ニブログラムの作成
が容易になり、加工精度の向上とあわせて大きな経済効
果が得られる。
第１図は一実施例としてのＸＹ子テーブル微細位置決め
方法による微細位置決め用ＸＹ子テーブル斜視図、第２
図は同実施例のＸＹ子テーブルステージコントローラの
制御プログラム、第３図は可動テーブルへのプリント板
の取付は状況を示す図、第４図は従来のＸＹ子テーブル
使用した穴あけ装置の斜視図である。 １・・・・・・試料としてのプリント板、２・・・・・
・ＸＹ子テーブル２ａ・・・・・可動テーブル、２ｂ・
・・・・ストッパ、３・・・・・・ステージコントロー
ラ、３ａ・・・・トラックボール、４・・・・・ボール
盤、５・・・・・・顕微鏡、６・・・・・・テレビカメ
ラとしてのＣＣＤカメラ、７・・・・・・テレビモニタ
。 特許出願人 神鋼電機株式会社 代理人 弁理士 小 林 傅 第１図 １−−−プリンＦ才反 ２−一−ＸＹキブ）し ３−一−ス形グコントローラ ３０−ｍ−トラ・７ワボ°−ル ５−−一顕微４艷 ６−−−ＣＣＤ刀メつ ７−−−肌ビ七ニダ 第３図 Ｙ軸 第４図 ２Ｇ−一一可ｔｆＪテーブル ２ｂ −一一ス ト・ソノで ４ −−４ぐ一ルル１３゜
方法による微細位置決め用ＸＹ子テーブル斜視図、第２
図は同実施例のＸＹ子テーブルステージコントローラの
制御プログラム、第３図は可動テーブルへのプリント板
の取付は状況を示す図、第４図は従来のＸＹ子テーブル
使用した穴あけ装置の斜視図である。 １・・・・・・試料としてのプリント板、２・・・・・
・ＸＹ子テーブル２ａ・・・・・可動テーブル、２ｂ・
・・・・ストッパ、３・・・・・・ステージコントロー
ラ、３ａ・・・・トラックボール、４・・・・・ボール
盤、５・・・・・・顕微鏡、６・・・・・・テレビカメ
ラとしてのＣＣＤカメラ、７・・・・・・テレビモニタ
。 特許出願人 神鋼電機株式会社 代理人 弁理士 小 林 傅 第１図 １−−−プリンＦ才反 ２−一−ＸＹキブ）し ３−一−ス形グコントローラ ３０−ｍ−トラ・７ワボ°−ル ５−−一顕微４艷 ６−−−ＣＣＤ刀メつ ７−−−肌ビ七ニダ 第３図 Ｙ軸 第４図 ２Ｇ−一一可ｔｆＪテーブル ２ｂ −一一ス ト・ソノで ４ −−４ぐ一ルル１３゜
Claims (1)
- （１）可動テーブル上に試料を載置し固定し、同可動テ
ーブルのＸ軸およびＹ軸の位置をプログラム制御して前
記試料を加工位置に移動させるＸＹテーブルの位置決め
方法において、前記の載置固定された試料を観察する顕
微鏡と、同顕微鏡の映像を撮影するテレビカメラと、同
テレビカメラの生成する映像信号を表示するテレビモニ
タと、前記Ｘ軸の位置量を計測し信号出力するＸ軸位置
計測器と、前記Ｙ軸の位置量を計測し信号出力するＹ軸
位置計測器とを設け、前記試料上に予め設定されている
ｘｙ座標の原点位置の映像が前記テレビモニタの画面所
定位置に合致するように前記Ｘ軸およびＹ軸を手動操作
したときのＸ軸位置計測器の信号値をＡ＿ｘ，Ｙ軸位置
計測器の信号値をＡ＿ｙとし、前記試料上の座標のｘ軸
上で原点とは重ならない所定点の映像が前記テレビモニ
タの画面所定位置に合致するように前記Ｘ軸およびＹ軸
を手動操作したときのＸ軸位置計測器の信号値をＢ＿ｘ
、Ｙ軸位置計測器の信号値をＢ＿ｙとして、前記Ａ＿ｘ
，Ａ＿ｙ，Ｂ＿ｘ，Ｂ＿ｙから下記（１）式により前記
プログラム中の加工位置座標（ｘ＿ｉ，ｙ＿ｉ）を修正
演算したＸ軸位置Ｘ＿ｉ、Ｙ軸位置Ｙ＿ｉをＸＹテーブ
ルに指令することを特徴とするＸＹテーブルの微細位置
決め方法。 Ｘ＿ｉ＝（ｘ＿ｉ・ｃｏｓθ−ｙ＿ｉ・ｓｉｎθ）＋Ａ
＿ｘ…（１） Ｙ＿ｉ＝（ｘ＿ｉ・ｓｉｎθ＋ｙ＿ｉ・ｃｏｓθ）＋Ａ
＿ｙ…（１） ただし θ＝Ｔａｎ＾−＾１［（Ｂ＿ｙ−Ａ＿ｙ）／（Ｂ＿ｘ−
Ａ＿ｘ）］
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2576188A JPH01205959A (ja) | 1988-02-08 | 1988-02-08 | Ｘｙテーブルの微細位置決め方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2576188A JPH01205959A (ja) | 1988-02-08 | 1988-02-08 | Ｘｙテーブルの微細位置決め方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01205959A true JPH01205959A (ja) | 1989-08-18 |
Family
ID=12174816
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2576188A Pending JPH01205959A (ja) | 1988-02-08 | 1988-02-08 | Ｘｙテーブルの微細位置決め方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01205959A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0732637A2 (en) * | 1992-04-30 | 1996-09-18 | Becton, Dickinson and Company | Method and apparatus for controlling coordinate displacements of a platform |
| US7820940B2 (en) * | 2006-12-29 | 2010-10-26 | Shenzhen Futaihong Precision Industry Co., Ltd. | Laser engraving mechanism and engraving method of using the same |
-
1988
- 1988-02-08 JP JP2576188A patent/JPH01205959A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0732637A2 (en) * | 1992-04-30 | 1996-09-18 | Becton, Dickinson and Company | Method and apparatus for controlling coordinate displacements of a platform |
| EP0732637A3 (en) * | 1992-04-30 | 1996-12-04 | Becton Dickinson Co | Method and device for controlling coordinate shifts of a platform |
| US7820940B2 (en) * | 2006-12-29 | 2010-10-26 | Shenzhen Futaihong Precision Industry Co., Ltd. | Laser engraving mechanism and engraving method of using the same |
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