JPH0682530U - 焦電素子装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】焦電体膜１の第１の面および第２の面にそれぞ
れ第１の電極４、５および第２の電極２、３を設けるこ
とによって複数個の単位焦電素子を構成した焦電素子装
置において、複数個の第１の電極４、５のそれぞれの端
子部４ｃ、５ｃは、焦電体膜１の上記第１の面の縁部に
配置され、複数個の第１の電極４、５のそれぞれの引き
出し部４ｂ、５ｂは、電極本体４ａ、５ａから端子部４
ｃ、５ｃまで延在している。また、上記引き出し部４
ｂ、５ｂのおのおのは、その基端部分９の引き出し方向
が実質的に互いに同一であり、また、その基端部分９の
幅も実質的に互いに同一の大きさである。 【効果】第１の電極４、５および第２の電極２、３のパ
ターンの間に多少の位置ずれがあっても、各単位焦電素
子間の有効受光電極面積は実質的に互いに相違しないの
で、外乱光に対する電気的特性が優れ、また、電極のリ
ード接続のための作業がきわめて簡便である。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、焦電体膜と、この焦電体膜の一方の面に設けられた第１の電極と、 上記焦電体膜の他方の面に設けられた第２の電極とを備え、上記第１の電極は、 複数個の電極から成り、これら複数個の第１の電極のおのおのは、有効受光電極 面積を与えるための電極本体と、他の電気回路とのリード接続を行うために、上 記電極本体と一体に形成されている端子部とをそれぞれ有し、上記第２の電極は 、上記第１の電極の上記電極本体と対向して有効受光電極面積を与えるための電 極本体を少くとも有し、上記第１および第２の電極と、これら第１および第２の 電極の間に介在する上記焦電体膜とによって、複数個の単位焦電素子が構成され ている焦電素子装置、特にその電極構造に関し、この焦電素子装置は、焦電型赤 外線センサに用いるのに好適なものである。

【０００２】

【従来の技術】

セキュリティや自動ドアなどの分野で使用される侵入者検知用の焦電型赤外線 センサには高い信頼性が求められており、このために、以下に述べるように、こ のようなセンサについて各種の研究・開発がなされている。例えば、米国特許第 ３，８３９，６４０号明細書には、一対の単位焦電素子をこれらの極性が互いに 逆向きになるように直列または並列に接続して対焦電素子を構成することによっ て、室温の変化や外乱光の入射などで誤検出が生ずる欠陥を改善するようにした 焦電素子装置が開示されている。また、特開昭６１−１７５５８３号公報、実開 昭５８−３２３３７号公報およびヨーロッパ特許公開第１３１９９６号公報には 、本願の添付図面中の図１（Ａ）、図２（Ａ）および図３（Ａ）にそれぞれ示す ように、上述のような対焦電素子から成る焦電素子装置の電極構造が開示されて いる。

【０００３】 次に、これらの図１（Ａ）、図２（Ａ）および図３（Ａ）に示す対焦電素子か ら成る焦電素子装置の電極構造について説明する。なお、これらの図において、 互いに対応する部分には、同一の符号が付されている。

【０００４】 これらの図において、符号１は焦電体膜、符号２、３は焦電体膜１の表面上に 形成された表面電極である。そして、これらの電極２、３は、有効受光電極面積 を与えるための電極本体２ａ、３ａと、これらの電極本体２ａ、３ａから引き出 されて延在する引き出し部２ｂ、３ｂと、これらの引き出し部２ｂ、３ｂの先端 部分で構成される端子部２ｃ、３ｃとから成っている。また、符号４、５は、焦 電体膜１の裏面上に形成された裏面電極である。そして、これらの電極４、５は 、有効受光電極面積を与えるための電極本体４ａ、５ａと、これらの電極本体４ ａ、５ａから引き出されて延在する引き出し部４ｂ、５ｂと、これらの引き出し 部４ｂ、５ｂの先端部分で構成される端子部４ｃ、５ｃとから成っている。また 、電極２と電極３とは、焦電体膜１の表面上に点対称的に配置され、電極４と電 極５とは、焦電体膜１の裏面上に点対称的に配置されている。そして、電極２お よび３と、電極４および５とは、焦電体膜１の表裏で同一形状となるように配置 されている。

【０００５】 したがって、電極２と、電極４と、焦電体膜１のうちのこれらの電極２および ４の間に介在する部分とによって、第１の単位焦電素子が構成されている。また 、電極３と、電極５と、焦電体膜１のうちのこれらの電極３および５の間に介在 する部分とによって、第２の単位焦電素子が構成されている。そして、これら第 １および第２の単位焦電素子をこれらの極性が互いに逆向きになるように直列ま たは並列に接続することによって、対焦電素子が構成されている。例えば、これ ら第１および第２の単位焦電素子をこれらの極性が互いに逆向きになるように並 列に接続する場合には、引き出し部２ｂの先端部分で構成される端子部２ｃと、 引き出し部５ｂの先端部分で構成される端子部５ｃとは、共通のリード線（図示 せず）にそれぞれ電気的に接続される。そして、引き出し部３ｂの先端部分で構 成される端子部３ｃと、引き出し部４ｂの先端部分で構成される端子部４ｃとは 、上述の端子部２ｃおよび５ｃの場合と同様に、別の共通のリード線（図示せず ）にそれぞれ電気的に接続される。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

以上に述べたように、第１および第２の単位焦電素子を対にして構成した対焦 電素子から成る焦電素子装置に関する多くの研究・開発がなされているにもかか わらず、このような対焦電素子から成る焦電素子装置の技術を用いて、焦電型赤 外線センサを実際に製造した場合、外乱光に対する電気的特性が期待どおりに優 れているセンサは必ずしも得られず、また、製造ロット間でその外乱光に対する 電気的特性にばらつきが見られる。

【０００７】 上述の点についてさらに詳述すると、第１および第２の単位焦電素子をこれら の極性が互いに逆向きになるように直列または並列に接続することによって構成 した対焦電素子において、外乱光に対する誤検出を生じないようにするためには 、第１および第２の単位焦電素子の外乱光に対する電気的特性が互いに揃ってい ることが必要である。さらに具体的に言えば、これら第１および第２の単位焦電 素子を逆並列に接続した場合には、外乱光である赤外光が２つの単位焦電素子に 同時に入射したときのこれら両単位焦電素子の発生電荷量が互いに等しいことが 必要であり、また、逆直列に接続した場合には、赤外光が２つの単位焦電素子に 同時入射したときのこれら両単位焦電素子の発生電位が互いに等しいことが必要 である。

【０００８】 しかし、実際に製造される対焦電素子は、これら２つの単位焦電素子の厚み、 誘電率および焦電係数のばらつきを小さくしても、それだけでは外乱光に対する 電気的特性は改善されなかった。

【０００９】 本考案者は、その原因を鋭意調査・検討した結果、通常の製造時の機械的精度 では、焦電体膜の表裏両面にそれぞれ形成される表面電極のパターンと裏面電極 のパターンとの間に互いに位置ずれが生じ、この結果、各単位焦電素子間で有効 受光電極面積に違いが生じるためであることを見出した。

【００１０】 次に、この現像を、従来の電極構造を有する焦電素子装置について、図１（Ａ ）〜図３（Ｂ）を参照してさらに説明する。

【００１１】 図１（Ａ）、図２（Ａ）および図３（Ａ）に示す焦電素子装置において、焦電 体膜１の表側の表面電極２、３のパターンと裏側の裏面電極４、５のパターンと が上下および左右方向に若干互いに位置ずれした場合が、図１（Ｂ）、図２（Ｂ ）および図３（Ｂ）にそれぞれ示されている。なお、これらの図１（Ｂ）、図２ （Ｂ）および図３（Ｂ）においては、焦電体膜１の図示は省略されている。また 、斜線部分７ａおよび７ｂは、電極２と電極４との重なり部分および電極３と電 極５との重なり部分をそれぞれ示している。そして、矢印は、引き出し部２ｂ、 ３ｂ、４ｂ、５ｂが各電極本体２ａ、３ａ、４ａ、５ａからそれぞれ引き出され て延在し始める方向を示している。

【００１２】 図１（Ｂ）の場合には、一対の斜線部分７ａ、７ｂのうちの右側の斜線部分７ ａの方が、左側の斜線部分７ｂよりも、斜線部分７ａの上下端において２重斜線 で示す部分８ａ、８ｂだけ大きくなっている。図２（Ｂ）の場合には、左側の斜 線部分７ｂの方が、右側の斜線部分７ａよりも、斜線部分７ｂの上下端において ２重斜線で示す部分８ａ、８ｂだけ大きくなっている。図３（Ｂ）の場合には、 左側の斜線部分７ｂの方が、右側の斜線部分７ａよりも、電極３の引き出し部３ ｂの基端部において２重斜線で示す部分８だけ大きくなっている。なお、上記２ 重斜線部分８ａ、８ｂ、８は、引き出し部２ｂ〜５ｂの何れかが焦電体膜１を介 して反対側にある電極２〜５の何れかと重なった部分である。そして、上記２重 斜線部分８ａ、８ｂ、８が第１および第２の単位焦電素子の有効受光電極面積を 互いに相違させていることが判る。

【００１３】 上述のように、２重斜線部分８ａ、８ｂ、８が生じる理由は、図１（Ｂ）、図 ２（Ｂ）および図３（Ｂ）において、引き出し部２ｂ〜５ｂが電極本体２ａ〜５ ａから引き出されて延在し始める方向（すわなち、引き出し開始方向）が互いに 異なっているために、電極２〜５のパターンが焦電体膜１の表裏で上下および／ または左右方向に位置ずれすると、電極２と電極４との間の位置ずれの状態と、 電極３と電極５との間の位置ずれの状態とが互いに異なって来るためである。

【００１４】 このような問題を解決するために、焦電体膜１の表面電極２、３を裏面電極４ 、５よりも小さくして、電極のパターンが表裏で多少ずれても良いように設計す る方法も、図３（Ａ）に示すように、すでに知られている。しかし、このように 設計した場合でも、やはり、上述のような理由から、図３（Ｂ）に示すように、 第１および第２の単位焦電素子で有効受光電極面積が相違してしまう。

【００１５】 本考案者は、上述の知見に基づいて、次に述べるような焦電素子装置（以下、 「参考例装置」という）を本考案とは別に案出した。

【００１６】 すなわち、この参考例装置は、焦電体膜と、この焦電体膜の一方の面に設けら れた第１グループの複数個の電極と、上記焦電体膜の他方の面に設けられた第２ グループの複数個の電極とを備えている。また、この参考例装置においては、上 記第１および第２グループのそれぞれの電極は、有効受光電極面積を与えるため の電極本体と、他の電気回路とのリード接続を行うために、上記電極本体から一 体に引き出されて延在する引き出し部とをそれぞれ有し、上記第１グループの複 数個の電極と、上記第２グループの複数個の電極と、これら第１および第２グル ープのそれぞれの複数個の電極の間に介在する上記焦電体膜とによって、複数個 の単位焦電素子が構成されている。

【００１７】 さらに、上記参考例装置においては、上記第１グループの第１の電極と上記第 ２グループの第１の電極とこれら２つの第１の電極の間に介在する上記焦電体膜 とにより第１の単位焦電素子が構成されると共に、上記第１グループの第２の電 極と上記第２グループの第２の電極とこれら２つの第２の電極の間に介在する上 記焦電体膜とにより第２の単位焦電素子が構成されている。また、この参考例装 置においては、上記第１の単位焦電素子が上記第２の単位焦電素子にそれらの分 極方向を互いに逆にして並列接続されるように上記第１および第２の単位焦電素 子のそれぞれの上記第１および第２の電極を上記他の電気回路にリード接続する ために、上記第１グループの上記第１の電極の上記引き出し部の先端部分は、上 記第２グループの上記第２の電極の上記引き出し部の先端部分と上記焦電体膜を 挾んでほゞ対向すると共に、上記第１グループの上記第２の電極の上記引き出し 部の先端部分は、上記第２グループの上記第１の電極の上記引き出し部の先端部 分と上記焦電体膜を挾んでほゞ対向している。また、この参考例装置においては 、これら第１グループの上記複数個の電極のパターンが上記第２グループの上記 複数個の電極のパターンに対して多少位置ずれして形成されていても、上記第１ グループの上記第１および第２の電極と上記第２グループの上記第１および第２ の電極とのそれぞれの重なり部分により構成される有効受光電極面積が各単位焦 電素子間で実質的に相違しないように、上記第１グループの複数個の電極のそれ ぞれの引き出し部は、上記電極本体から引き出されて延在し始める方向が実質的 に互いに同一の方向であり、また、この延在し始める部分の幅も実質的に互いに 同一の大きさであると共に、上記第２グループの複数個の電極のそれぞれの引き 出し部は、上記電極本体から引き出されて延在し始める方向が実質的に互いに同 一の方向であり、また、この延在し始める部分の幅も実質的に互いに同一の大き さである。

【００１８】 したがって、上述のように構成された参考例装置（すなわち、焦電素子装置） を用いて従来の手法に従って焦電型赤外線センサを製造した場合、電極のパター ンが焦電体膜の両側面で互いに多少位置ずれしていても、上記焦電素子装置を構 成する複数個の単位焦電素子の有効受光電極面積が各単位焦電素子間で実質的に 互いに同一となるので、外乱光に対する電気的特性の優れたセンサを得ることが できる。

【００１９】 次に、上述のように構成された参考例装置の具体例を図４（Ａ）および図４（ Ｂ）について説明する。なお、これらの図において、図１（Ａ）〜図３（Ｂ）と 共通の部分には、同一の符号が付されている。

【００２０】 図４（Ａ）において、符号１は焦電体膜であり、この焦電体膜１の表面上には 、表面電極２、３が形成され、裏面上には、裏面電極４、５が形成されている。

【００２１】 電極２〜５は、有効受光電極面積を与えるためのほぼ長方体形状の電極本体２ ａ〜５ａと、他の電気回路（図示せず）とリード接続を行うために、これらの電 極本体２ａ〜５ａから一体に引き出されて延在する引き出し部２ｂ〜５ｂと、こ れらの引き出し部２ｂ〜５ｂの先端部分で構成される端子部２ｃ〜５ｃとから成 っている。そして、この引き出し部２ｂ〜５ｂは、その幅が電極本体２ａ〜５ａ の幅よりも小さい細幅に構成されている。また、電極２と電極３の電極本体２ａ 、３ａはほぼ同形であり、電極４と電極５の電極本体４ａ、５ａもほぼ同形であ る。しかし、電極本体４ａ、５ａは、電極本体２ａ、３ａとの間に位置ずれを生 じていない図４（Ａ）に示す場合に、電極本体２ａ、３ａらはみ出している部分 １１をそのほぼ全周囲に亘って備えるように構成されている。

【００２２】 引き出し部２ｂ〜５ｂは、電極本体２ａ〜５ａら引き出されて延在し始める方 向が互いにほぼ同一の方向でかつこの延在し始める基端部分９の幅も互いにほゞ 同一である。なお、本文において、「同一方向」とは、平行な方向または完全に 同一の方向でかつ向きも同じ側であることを意味している。

【００２３】 引き出し部２ｂ〜５ｂは、短い長さだけ上記同一の方向に延びる基端部分９と この基端部分９からほぼ直角の方向に引き出されてほゞＬ字状に延在する部分１ ０とから成っている。そして、こられの部分１０の先端部分で端子部２ｃ〜５ｃ が構成されている。また、引き出し部２ｂ〜５ｂは、その基端部分９が互いに重 ならないようにそれぞれ形成されている。そして、電極２と５の端子部２ｃと５ ｃは、焦電体膜１の縁部においてこの焦電体膜１を挾んで表裏で互いに対向する と共に、電極３と４の端子部３ｃと４ｃは、これと同様に、焦電体膜１の縁部に おいてこの焦電体膜１を挟んで表裏で互いに対向している。また、表面電極２、 ３のパターンと裏面電極４、５のパターンとは、はみ出し部分１１が存在するこ とを除いて、焦電体膜１の表裏でほぼ対称的になっている。

【００２４】 したがって、電極２と、電極４と、焦電体膜１のうちのこれらの電極２および ４の間に介在する部分とによって、第１の単位焦電素子が構成されている。また 、電極３と、電極５と、焦電体膜１のうちのこれらの電極３および５の間に介在 する部分とによって、第２の単位焦電素子が構成されている。そして、これら第 １および第２の単位焦電素子をこれらの極性が互いに逆向きになるように並列に 接続することによって、対焦電素子から成る焦電素子装置が構成されている。な お、このように極性が互いに逆向きになるように並列に接続するには、表面電極 ２の端子部２ｃと、裏面電極５の端子部５ｃとが、特開昭６１−１７５５８３号 公報およびヨーロッパ特許公開第１３１，９９６号公報に開示されているように 、共通のリード線（図示せず）にそれぞれ電気的に接続される。また、表面電極 ３の端子部３ｃと、裏面電極４の端子部４ｃとが、電極２および５の端子部２ｃ および５ｃの場合と同様に、別の共通のリード線（図示せず）にそれぞれ電気的 に接続される。

【００２５】 図４（Ｂ）には、図４（Ａ）に示す焦電素子装置において表面電極２、３のパ ターンと裏面電極４、５のパターンとがはみ出し部分１１の幅だけ上下および左 右方向に互いに位置ずれしている状態を示している。このような位置ずれは、焦 電体膜１に電極２〜５を形成する際の製造上の誤差によって往々にして生ずる。

【００２６】 図４（Ｂ）において、電極２〜５の引き出し部２ｂ〜５ｂの基端部分９が同一 方向に引き出されているので、電極２と４との間の位置ずれの状態と電極３と５ との位置ずれの状態とが引き出し部２ｂ〜５ｂを含めて、点対称的に互いに類似 している。このために、第１の単位焦電素子と第２の単位焦電素子とで有効受光 電極面積は、図４（Ｂ）において斜線部分７ａ、７ｂとして示すように、実質的 な相違が生じない。

【００２７】 しかし、図４（Ａ）および図４（Ｂ）に具体例が示されている上記参考例装置 は、２つの単位焦電素子をこれらの分極方向が互いに逆になるように並列接続し たものであるが、焦電型赤外線センサの用途によっては、２つの単位焦電素子を これらの分極方向が互いに逆になるように直列接続またはこの直列接続に類似し た接続（後述の図５に示すような接続であって、以下、「擬似的直列接続」とい う）にした焦電素子装置を必要とする場合があり、このような場合には、上記参 考例装置を用いることができない。また、上記参考例装置の場合には、焦電体膜 の両側面にこの焦電体膜を挟んで表裏に互いに対向するようにそれぞれ配置され た一対の電極の一対の端子部を共通のリード線に接続する必要があるから、電極 のリード線への接続作業が面倒である。

【００２８】 したがって、本考案の目的は、複数個の単位焦電素子を直列接続または擬似的 直列接続にした焦電素子装置であって、その外乱光に対する電気的特性が優れ、 しかも、電極のリード線への接続作業が簡単なものを提供することを目的とする 。

【００２９】

【課題を解決するための手段】

この目的を達成するための本考案は、冒頭に述べた焦電素子装置において、前 記端子部は、前記複数個の単位焦電素子の第１の電極を前記焦電体膜の前記一方 の面の縁部において前記他の電気回路とリード接続するために、上記焦電体膜の 上記一方の面の上記縁部に配置され、上記複数個の第１の電極のおのおのは、前 記電極本体から一体に引き出されて上記端子部まで延在しかつこの端子部と一体 に形成されている引き出し部をさらに有し、上記複数個の第１の電極のそれぞれ の引き出し部は、これら第１の電極のパターンが前記第２の電極のパターンに対 して多少位置ずれして形成されていても、上記第１の電極と上記第２の電極との 重なり部分により構成される有効受光電極面積が各単位焦電素子間で実質的に相 違しないように、上記電極本体から引き出されて延在し始める方向が実質的に互 いに同一の方向であり、また、この延在し始める部分の幅も実質的に互いに同一 の大きさである。

【００３０】

【実施例】 図５（Ａ）および図５（Ｂ）には、本考案の一実施例による焦電素子装置が示 されている。なお、図５（Ａ）および図５（Ｂ）において、図４（Ａ）および図 ４（Ｂ）と共通の部分には、同一の符号が付されている。

【００３１】 図５（Ａ）において、焦電体膜１の裏面上には、裏面電極４、５が形成されて いる。これらの裏面電極４、５は、互いに平行に延在しかつ有効受光電極面積を 与えるための電極本体４ａ、５ａと、これらの電極本体４ａ、５ａが延在する方 向に電極本体４ａ、５ａから一体に引き出されて焦電体膜１の縁部附近まで延在 する細幅の引き出し部４ｂ、５ｂと、これらの引き出し部４ｂ、５ｂの先端部分 で構成されている端子部４ｃ、５ｃとから成っている。したがって、引き出し部 ４ｂ、５ｂは、電極本体４ａ、５ａの延在する方向にほゞ沿って互いに同一の側 に引き出されて延在している。

【００３２】 端子部４ｃ、５ｃは、裏面電極４、５を焦電体膜１の裏面の縁部において他の 電気回路（図示せず）とリード接続するために、焦電体膜１の裏面の縁部に互い に並置されている。そして、電極本体４ａ、５ａから一体に引き出された引き出 し部４ｂ、５ｂは、端子部４ｃ、５ｃまで延在しかつこれらの端子部４ｃ、５ｃ と一体に形成されている。また、引き出し部４ｂ、５ｂの幅は電極本体４ａ、５ ａおよび端子部４ｃ、５ｃのいずれの幅よりも小さく、端子部４ｃ、５ｃの幅は 、電極本体４ａ、５ａの幅よりも小さくなっている。

【００３３】 焦電体膜１の表面上には、表面電極２、３が形成されている。そして、表面電 極２は、裏面電極４、５の電極本体４ａ、５ａが延在する第１の方向の側の一半 部分にそれぞれ重なりかつ有効受光電極面積を与えるための電極本体２ａ₁ 、２ ａ₂ と、これらの電極本体２ａ₁ 、２ａ₂ を互いに接続している細幅の接続部１ ２とから成っている。また、表面電極３は、裏面電極４、５の電極本体４ａ、５ ａの上記第１の方向とは反対側の他半部分にそれぞれ重なりかつ有効受光電極面 積を与えるための電極本体３ａ₁ 、３ａ₂ と、これらの電極本体３ａ₁ 、３ａ₂ を互いに接続している細幅の接続部１２とから成っている。さらに、表面電極２ と３との間には、細幅の隙間１３が設けられている。したがって、表面電極２、 ３は、裏面電極４、５のようには引き出し部や端子部を有していない。

【００３４】 電極本体２ａ₁ 、２ａ₂ 、３ａ₁ 、３ａ₂ は、電極本体４ａ、５ａとの間に位 置ずれを生じていない図５（Ａ）に示す場合に、電極本体４ａ、５ａからはみ出 している部分１１を、上記隙間１３に臨む部分を除くそのほぼ全周囲に亘って備 えている。また、引き出し部４ｂおよび５ｂは、電極本体４ａおよび５ａから引 き出されて延在し始める方向が互いにほぼ同一の方向でかつこの延在し始める基 端部分９の幅も互いにほぼ同一である。

【００３５】 したがって、表面電極２、３の電極本体２ａ₁ 、３ａ₁ と、裏面電極４と、焦 電体膜１のうちのこれらの電極本体２ａ₁ 、３ａ₁ と電極４との間に介在する部 分とによって、第１の単位焦電素子が構成されている。また、表面電極２、３の 電極本体２ａ₂ 、３ａ₂ と、裏面電極５と、焦電体膜１のうちのこれらの電極本 体２ａ₂ 、３ａ₂ と裏面電極５との間に介在する部分とによって、第２の単位焦 電素子が構成されている。そして、裏面電極４の端子部４ｃは、他の電気回路と リード線（図示せず）により電気的に接続され、また、裏面電極５の端子部５ｃ は、他の電気回路と別のリード線（図示せず）により電気的に接続される。

【００３６】 なお、これら第１および第２の単位焦電素子は、表面電極２と３とが互いに一 体に形成されていて電気的に接続されている場合には、従来から周知のように、 これらの極性が互いに逆向きになるように直列に接続されて対焦電素子を構成し ていることになる。しかし、この実施例においては、表面電極２と３とが隙間１ ３を介して互いに分離されているから、極性が互いに逆向きになるように擬似的 直列接続されて対焦電素子を構成している。

【００３７】 図５（Ｂ）には、図５（Ａ）に示す焦電素子装置において表面電極２、３と裏 面電極４、５とがはみ出し部分１１の幅だけ上下および左右方向に互いに位置ず れしている状態を示している。

【００３８】 図５（Ｂ）において、裏面電極４、５の引き出し部４ｂ、５ｂの基端部分９が 同一方向に引き出されているので、表面電極２、３の電極本体２ａ₁ 、３ａ₁ と 電極４との間の位置ずれの状態と、表面電極２、３の電極本体２ａ₂ 、３ａ₂ と 裏面電極５との位置ずれの状態とが、引き出し部４ｂ、５ｂを含めて、互いに類 似している。このために、第１の単位焦電素子および第２の単位焦電素子の有効 受光電極面積のそれぞれの合計は、図５（Ｂ）において斜線部分７ａ₁ 、７ａ₂ および斜線部分７ｂ₁ 、７ｂ₂ としてそれぞれ示すようになるので、両者の間で 実質的な相違は生じない。換言すれば、斜線部分７ａ₁ と７ａ₂ とを合計した第 １の単位焦電素子の有効受光電極面積は、焦電体膜１の表裏で電極パターンが多 少位置ずれしていても、斜線部分７ｂ₁ と７ｂ₂ とを合計した第２の単位焦電素 子の有効受光電極面積と常に実質的に同一である。

【００３９】 本考案は、図５に示す電極パターンのみに限定されるものではなく、２個の引 き出し部４ｂ、５ｂの引き出されて延在し始める方向が実質的に互いに同一でそ の幅も実質的に同一の大きさであれば、他の電極パターンであってもよい。また 、本考案による焦電素子装置は必ずしも一対の単位焦電素子のみから成っている 必要はなく、一対よりも多い単位焦電素子から成る焦電素子装置を共通のパッケ ージ内に封入するようにした焦電型赤外線センサに本考案を適用することも可能 である。

【００４０】

【考案の効果】

本考案によれば、電極のパターンが焦電体膜の両側面で互いに多少位置ずれし ていても、複数個の単位焦電素子を直列接続または擬似的直列接続にした焦電素 子装置を構成する上記複数個の単位焦電素子の有効受光電極面積が各単位焦電素 子間で実質的に同一となるので、この焦電素子装置を用いて焦電型赤外線センサ を製造した場合、外乱光に対する電気的特性の優れたセンサを得ることができる 。

【００４１】 しかも、他の電気回路とリード接続する必要がある電極は、焦電体膜の一方の 面に設けられた第１の電極のみであり、また、焦電体膜の縁部に配置された端子 部を用いてリード接続することができるから、電極のリード接続のための作業が きわめて簡便である。

【図面の簡単な説明】

【図１】（Ａ）は、従来の焦電素子装置の斜視図であ
り、（Ｂ）は、（Ａ）に示す焦電素子装置において表面
電極と裏面電極とが互いに位置ずれしている状態を示す
平面図である。

【図２】（Ａ）は、従来の別の焦電素子装置の平面図で
あり、（Ｂ）は、（Ａ）に示す焦電素子装置において表
面電極と裏面電極とが互いに位置ずれしている状態を示
す平面図である。

【図３】（Ａ）は、従来のさらに別の焦電素子装置の平
面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）に示す焦電素子装置にお
いて表面電極と裏面電極とが互いに位置ずれしている状
態を示す平面図である。

【図４】（Ａ）は、本考案の参考例における焦電素子装
置の平面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）に示す焦電素子装
置における表面電極と裏面電極とが互いに位置ずれして
いる状態を示す平面図である。

【図５】（Ａ）は、本考案の一実施例による焦電素子装
置の平面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）に示す焦電素子装
置における表面電極と裏面電極とが互いに位置ずれして
いる状態を示す平面図である。

【符号の説明】

１ 焦電体膜 ２ 表面電極 ２ａ₁ 電極本体 ２ａ₂ 電極本体 ３ 表面電極 ３ａ₁ 電極本体 ３ａ₂ 電極本体 ４ 裏面電極 ４ａ 電極本体 ４ｂ 引き出し部 ４ｃ 端子部 ５ 裏面電極 ５ａ 電極本体 ５ｂ 引き出し部 ５ｃ 端子部 ９ 基端部分 １２ 接続部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０１Ｖ 9/04 Ｎ 9216−2Ｇ Ｈ０１Ｌ 31/00 31/0264

Claims (5)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】焦電体膜と、 この焦電体膜の一方の面に設けられた第１の電極と、 上記焦電体膜の他方の面に設けられた第２の電極とを備
   え、 上記第１の電極は、複数個の電極から成り、これら複数
   個の第１の電極のおのおのは、有効受光電極面積を与え
   るための電極本体と、他の電気回路とのリード接続を行
   うために、上記電極本体と一体に形成されている端子部
   とをそれぞれ有し、 上記第２の電極は、上記第１の電極の上記電極本体と対
   向して有効受光電極面積を与えるための電極本体を少く
   とも有し、 上記第１および第２の電極と、これら第１および第２の
   電極の間に介在する上記焦電体膜とによって、複数個の
   単位焦電素子が構成されている焦電素子装置において、 上記端子部は、上記複数個の単位焦電素子の第１の電極
   を上記焦電体膜の上記一方の面の縁部において上記他の
   電気回路とリード接続するために、上記焦電体膜の上記
   一方の面の上記縁部に配置され、 上記複数個の第１の電極のおのおのは、上記電極本体か
   ら一体に引き出されて上記端子部まで延在しかつこの端
   子部と一体に形成されている引き出し部をさらに有し、 上記複数個の第１の電極のそれぞれの引き出し部は、こ
   れら第１の電極のパターンが上記第２の電極のパターン
   に対して多少位置ずれして形成されていても、上記第１
   の電極と上記第２の電極との重なり部分により構成され
   る有効受光電極面積が各単位焦電素子間で実質的に相違
   しないように、上記電極本体から引き出されて延在し始
   める方向が実質的に互いに同一の方向であり、また、こ
   の延在し始める部分の幅も実質的に互いに同一の大きさ
   であることを特徴とする焦電素子装置。
2. 【請求項２】上記第１および第２の電極のおのおのは、
   ２個の電極から成り、 上記第２の電極のうちの一方の電極は、上記２個の第１
   の電極の電極本体の一半部分とそれぞれ対向する第１お
   よび第２の電極本体と、これら第１および第２の電極本
   体を互いに電気的に接続する細幅の第１の接続部とを有
   し、 上記第２の電極のうちの他方の電極は、上記２個の第１
   の電極の電極本体の他半部分とそれぞれ対向する第１の
   および第２の電極本体と、これら第１および第２の電極
   本体を互いに電気的に接続する細幅の第２の接続部とを
   有することを特徴とする請求項１に記載の焦電素子装
   置。
3. 【請求項３】上記第１の電極のそれぞれの引き出し部の
   幅は、これら第１の電極のそれぞれの電極本体の幅より
   も小さく、上記第１の電極のそれぞれの端子部の幅より
   も小さいことを特徴とする請求項１または２に記載の焦
   電素子装置。
4. 【請求項４】上記第２の電極の電極本体は、上記複数個
   の第１の電極の電極本体との重なり部分の周囲にはみ出
   し部分を有することを特徴とする請求項１〜３のうちの
   いずれかに記載の焦電素子装置。
5. 【請求項５】上記複数個の第１の電極のそれぞれの引き
   出し部は、これら第１の電極のそれぞれの電極本体の延
   在する方向にほゞ沿って同一の側に引き出されて延在し
   ていることを特徴とする請求項１〜４のうちのいずれか
   に記載の焦電素子装置。