JPH0680692B2 - ボンデイング装置 - Google Patents
ボンデイング装置Info
- Publication number
- JPH0680692B2 JPH0680692B2 JP60238195A JP23819585A JPH0680692B2 JP H0680692 B2 JPH0680692 B2 JP H0680692B2 JP 60238195 A JP60238195 A JP 60238195A JP 23819585 A JP23819585 A JP 23819585A JP H0680692 B2 JPH0680692 B2 JP H0680692B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- work
- reference plate
- clamper
- clampers
- bonding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Die Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はワークを載置するステージを高さ方向に回転さ
せるボンデイング装置に関する。
せるボンデイング装置に関する。
［従来の技術］ 例えばレーザダイオードにおいては、ワークの異なる面
にそれぞれチツプやワイヤを接続する必要がある。この
ことを第７図によつて説明する。レーザダイオード１
は、リード2A、2B、2Cが植設されたフランジ３にキヤツ
プ４が固定されたワーク５を有し、前記フランジ３の水
平な上面及び前記キヤツプ４の垂直面にそれぞれチツプ
6A、6Bがチツプボンデイングされ、更にリード2Aとチツ
プ6A及びリード2Bの側面とチツプ6Bとにそれぞれワイヤ
7A、7Bがワイヤボンデイングされている。
にそれぞれチツプやワイヤを接続する必要がある。この
ことを第７図によつて説明する。レーザダイオード１
は、リード2A、2B、2Cが植設されたフランジ３にキヤツ
プ４が固定されたワーク５を有し、前記フランジ３の水
平な上面及び前記キヤツプ４の垂直面にそれぞれチツプ
6A、6Bがチツプボンデイングされ、更にリード2Aとチツ
プ6A及びリード2Bの側面とチツプ6Bとにそれぞれワイヤ
7A、7Bがワイヤボンデイングされている。
このように、両チツプ6A、6Bは相互にほぼ直交する面に
チツプボンデイングされる。またワイヤ7Aがボンデイン
グされる面とワイヤ7Bがボンデイングされる面とが前記
チツプボンデイングと同様にほぼ直交する面にそれぞれ
ワイヤボンデイングされている。
チツプボンデイングされる。またワイヤ7Aがボンデイン
グされる面とワイヤ7Bがボンデイングされる面とが前記
チツプボンデイングと同様にほぼ直交する面にそれぞれ
ワイヤボンデイングされている。
従って、かかるワーク５へのボンデイングは、例えば特
開昭59−117226号公報に示すように、ワーク５を載置す
るステージを高さ方向に回転させなければならない。
開昭59−117226号公報に示すように、ワーク５を載置す
るステージを高さ方向に回転させなければならない。
［発明が解決しようとする問題点］ このように、かかるボンデイング装置は、ステージを高
さ方向に回転させる必要があるので、ワーク５の供給及
び排出を自動的に行う自動装置とするには、ワーク５の
クランプ及びクランプ解除に工夫を要する。
さ方向に回転させる必要があるので、ワーク５の供給及
び排出を自動的に行う自動装置とするには、ワーク５の
クランプ及びクランプ解除に工夫を要する。
本発明の目的は、ワークのクランプ及び解除を自動的に
行うことができるボンデイング装置を提供することにあ
る。
行うことができるボンデイング装置を提供することにあ
る。
［問題点を解決するための手段］ 上記従来技術の問題点を解消するための本発明の構成を
実施例に対応する第１図乃至第６図によつて説明する。
高さ方向に回転可能に支承され中央部にボンデイング用
の窓10aが形成された基準プレート10と、この基準プレ
ート10を高さ方向に回転させるピニオン20、ラツク21等
よりなる回転手段と、前記基準プレート10の下方に上下
動可能に配設されワーク５を基準プレート10の窓部10a
の下面に押し付けるワーク吸着ヘツド70等よりなるワー
ク上下動手段と、前記基準プレート10の下面に押し付け
られたワーク５をクランプするように前記基準プレート
の下面に開閉自在に配設された一対のクランパ30、31
と、この一対のクランパ30、31を閉じる方向に付勢する
ばね44、45と、前記基準プレート10の外側に配設され前
記クランパ30、31を開く方向に作動させるクランパ開閉
部材46とを備え、前記ワーク上下動手段は、ワーク供給
時には上昇してワーク５を前記基準プレート10の下面に
押し付け、前記クランパ30、30が閉じてワーク５をクラ
ンプした後前記基準プレート10の回転時には下降し、ワ
ーク排出時には上昇してワーク５に当接し、前記クラン
パ30、30が開いた後にワーク５を保持して下降すること
を特徴とする。
実施例に対応する第１図乃至第６図によつて説明する。
高さ方向に回転可能に支承され中央部にボンデイング用
の窓10aが形成された基準プレート10と、この基準プレ
ート10を高さ方向に回転させるピニオン20、ラツク21等
よりなる回転手段と、前記基準プレート10の下方に上下
動可能に配設されワーク５を基準プレート10の窓部10a
の下面に押し付けるワーク吸着ヘツド70等よりなるワー
ク上下動手段と、前記基準プレート10の下面に押し付け
られたワーク５をクランプするように前記基準プレート
の下面に開閉自在に配設された一対のクランパ30、31
と、この一対のクランパ30、31を閉じる方向に付勢する
ばね44、45と、前記基準プレート10の外側に配設され前
記クランパ30、31を開く方向に作動させるクランパ開閉
部材46とを備え、前記ワーク上下動手段は、ワーク供給
時には上昇してワーク５を前記基準プレート10の下面に
押し付け、前記クランパ30、30が閉じてワーク５をクラ
ンプした後前記基準プレート10の回転時には下降し、ワ
ーク排出時には上昇してワーク５に当接し、前記クラン
パ30、30が開いた後にワーク５を保持して下降すること
を特徴とする。
［実施例］ 以下、本発明の一実施例を第１図乃至第６図により説明
する。基準プレート10には、ワーク５にボンデイングを
施すための窓10aが形成され、この窓10a部の下面側には
ワーク５のフランジ３が当接する基準面10bが形成され
ている。前記基準プレート10の左右両側は回転軸11、12
にねじ13で固定され、回転軸11、12はベース板14に固定
されたブラケット15、16に軸受17、18を介して回転自在
に支承されている。
する。基準プレート10には、ワーク５にボンデイングを
施すための窓10aが形成され、この窓10a部の下面側には
ワーク５のフランジ３が当接する基準面10bが形成され
ている。前記基準プレート10の左右両側は回転軸11、12
にねじ13で固定され、回転軸11、12はベース板14に固定
されたブラケット15、16に軸受17、18を介して回転自在
に支承されている。
前記一方の回転軸12の端部にはピニオン20が固定されて
おり、このピニオン20にはラツク21が噛合している。ラ
ツク21はガイド板22、23に沿って図示しないリニアモー
タでピニオン20の軸心に直角な方向に駆動させられる。
前記ピニオン20の軸部20a及び前記ガイド板22にはそれ
ぞればね掛けピン24、25が固定されており、これらばね
掛けピン24、25にばね26が掛けられ、ピニオン20は一方
向に付勢されている。
おり、このピニオン20にはラツク21が噛合している。ラ
ツク21はガイド板22、23に沿って図示しないリニアモー
タでピニオン20の軸心に直角な方向に駆動させられる。
前記ピニオン20の軸部20a及び前記ガイド板22にはそれ
ぞればね掛けピン24、25が固定されており、これらばね
掛けピン24、25にばね26が掛けられ、ピニオン20は一方
向に付勢されている。
前記基準プレート10の下面には、回転軸11、12の方向に
溝10cが形成されており、この溝10cには窓10aの両側に
相対向してクランパ30、31が摺動自在に配設されてい
る。また前記溝10cの開放部を覆うように、基準プレー
ト10の下面側には、２個の蓋32、33が左右に配設され、
ねじ34によつて基準プレート10に固定されている。更に
蓋32、33の下面に２個のクランパ作動レバー35、36が左
右に配設されており、前記クランパ作動レバー35、36は
基準プレート10に螺合された支点軸37によつて回転自在
に支承されている。
溝10cが形成されており、この溝10cには窓10aの両側に
相対向してクランパ30、31が摺動自在に配設されてい
る。また前記溝10cの開放部を覆うように、基準プレー
ト10の下面側には、２個の蓋32、33が左右に配設され、
ねじ34によつて基準プレート10に固定されている。更に
蓋32、33の下面に２個のクランパ作動レバー35、36が左
右に配設されており、前記クランパ作動レバー35、36は
基準プレート10に螺合された支点軸37によつて回転自在
に支承されている。
前記クランパ30、31には前記クランパ作動レバー35、36
の下面より下方に突出するばね掛けピン40、41が固定さ
れており、前記蓋32、33にはばね掛けピン40、41の部分
にクランパ30、31の作動方向に長溝32a、33aが形成さ
れ、前記クランパ作動レバー35、36にもばね掛けピン4
0、41の部分に前記長溝32a、33aと直角方向に長溝35a、
36aが形成されている。前記蓋32、33にもばね掛けピン4
2、43が固定されており、前記ばね掛けピン40と42、41
と43にはそれぞればね44、45が掛けられ、２個のクラン
パ30、31は閉じる方向に付勢されている。前記クランパ
作動レバー35、36は近接した部分に押圧部35b、36bが外
側に突出して形成されており、この押圧部35b、36bに対
向して図示しない駆動手段で矢印Ａ方向に駆動されるク
ランパ開閉部材46が配設されている。
の下面より下方に突出するばね掛けピン40、41が固定さ
れており、前記蓋32、33にはばね掛けピン40、41の部分
にクランパ30、31の作動方向に長溝32a、33aが形成さ
れ、前記クランパ作動レバー35、36にもばね掛けピン4
0、41の部分に前記長溝32a、33aと直角方向に長溝35a、
36aが形成されている。前記蓋32、33にもばね掛けピン4
2、43が固定されており、前記ばね掛けピン40と42、41
と43にはそれぞればね44、45が掛けられ、２個のクラン
パ30、31は閉じる方向に付勢されている。前記クランパ
作動レバー35、36は近接した部分に押圧部35b、36bが外
側に突出して形成されており、この押圧部35b、36bに対
向して図示しない駆動手段で矢印Ａ方向に駆動されるク
ランパ開閉部材46が配設されている。
前記基準プレート10の上面には、ワーク５のリード2Bを
両側より支持する２個の支持チヤツク50、51が配設され
ており、支持チヤツク50、51は、基準プレート10に固定
された支点軸52に回転自在に支承されている。前記支持
チヤツク50、51にはばね掛けピン53、54が固定されてお
り、このばね掛けピン53、54に掛けられたばね55によつ
て支持チヤツク50、51は閉じる方向に付勢されている。
また支持チヤツク50、51に向い合った外側端面には斜面
50a、51aが形成されており、この斜面50a、51aに対向し
て図示しない駆動手段で矢印Ｂ方向に駆動される支持チ
ヤツク開閉部材56が配設されている。
両側より支持する２個の支持チヤツク50、51が配設され
ており、支持チヤツク50、51は、基準プレート10に固定
された支点軸52に回転自在に支承されている。前記支持
チヤツク50、51にはばね掛けピン53、54が固定されてお
り、このばね掛けピン53、54に掛けられたばね55によつ
て支持チヤツク50、51は閉じる方向に付勢されている。
また支持チヤツク50、51に向い合った外側端面には斜面
50a、51aが形成されており、この斜面50a、51aに対向し
て図示しない駆動手段で矢印Ｂ方向に駆動される支持チ
ヤツク開閉部材56が配設されている。
前記回転軸11の端部にはカセツトヒータ60が埋設されて
いる。また基準プレート10の上面にはうずまき状に巻回
されたヒータ61が配設されており、このヒータ61の端部
は回転軸12の中心を通つて図示しない制御部に接続され
ている。またヒータ61上にはヒータ押え板63が配設さ
れ、このヒータ押え板63はねじ64で基準プレート10に固
定されている。
いる。また基準プレート10の上面にはうずまき状に巻回
されたヒータ61が配設されており、このヒータ61の端部
は回転軸12の中心を通つて図示しない制御部に接続され
ている。またヒータ61上にはヒータ押え板63が配設さ
れ、このヒータ押え板63はねじ64で基準プレート10に固
定されている。
前記クランパ作動レバー35、36の下方には、基準プレー
ト10の窓10aに対応した部分にワーク５を移送させるた
めに、ワーク吸着ヘツド70が上下動可能に配設されてい
る。前記ワーク吸着ヘツド70は筒状に形成されており、
図示しない真空手段でワーク５を吸着するようになつて
いる。またワーク５を下方位置にあるワーク吸着ヘツド
70の上方に移送するために、ワーク吸着ヘツド70の両側
にはワーク５が載置されたキヤリツジ71をガイドする一
対のガイドレール72、73が配設されている。
ト10の窓10aに対応した部分にワーク５を移送させるた
めに、ワーク吸着ヘツド70が上下動可能に配設されてい
る。前記ワーク吸着ヘツド70は筒状に形成されており、
図示しない真空手段でワーク５を吸着するようになつて
いる。またワーク５を下方位置にあるワーク吸着ヘツド
70の上方に移送するために、ワーク吸着ヘツド70の両側
にはワーク５が載置されたキヤリツジ71をガイドする一
対のガイドレール72、73が配設されている。
なお、第１図及び第４図において、80はワイヤ81が挿通
されたキヤピラリ、82はキヤピラリ80が一端に固定され
たボンデイングアームを示す。
されたキヤピラリ、82はキヤピラリ80が一端に固定され
たボンデイングアームを示す。
次に作用について説明する。今、１例として第７図に示
すワーク５にはチツプ6A、6Bがチツプボンデイングされ
ており、ワイヤ7A、7Bをボンデイングする場合について
説明する。基準プレート10の下面にワーク５がクランパ
される前の状態は、クランパ開閉部材46及び支持チヤツ
ク開閉部材56が共に前進し、クランパ30、31及び支持チ
ヤツク50、51は開いた状態にある。即ち、クランパ開閉
部材46が前進すると、クランパ作動レバー35、36の押圧
部35b、36bが押され、クランパ作動レバー35、36は支点
軸37を中心として、第２図において、クランパ作動レバ
ー35は時計方向に、クランパ作動レバー36は反時計方向
にそれぞれ回動する。これにより、クランパ作動レバー
35、36の長溝35a、36aに係合しているばね掛けピン40、
41を介してクランパ30はばね44の付勢力に抗して基準プ
レート10の溝10cに沿って左方向に、クランパ31はばね4
5の付勢力に抗して基準プレート10の溝10cに沿って右方
向に移動し、クランパ30、31は開く。また支持チヤツク
開閉56が前進すると、支持チヤツク50、51の斜面50a、5
1aが押され、支持チヤツク50、51は支点軸52を中心とし
て、支持チヤツク50は時計方向に、支持チヤツク51は反
時計方向に回動し、支持チヤツク50、51は開く。
すワーク５にはチツプ6A、6Bがチツプボンデイングされ
ており、ワイヤ7A、7Bをボンデイングする場合について
説明する。基準プレート10の下面にワーク５がクランパ
される前の状態は、クランパ開閉部材46及び支持チヤツ
ク開閉部材56が共に前進し、クランパ30、31及び支持チ
ヤツク50、51は開いた状態にある。即ち、クランパ開閉
部材46が前進すると、クランパ作動レバー35、36の押圧
部35b、36bが押され、クランパ作動レバー35、36は支点
軸37を中心として、第２図において、クランパ作動レバ
ー35は時計方向に、クランパ作動レバー36は反時計方向
にそれぞれ回動する。これにより、クランパ作動レバー
35、36の長溝35a、36aに係合しているばね掛けピン40、
41を介してクランパ30はばね44の付勢力に抗して基準プ
レート10の溝10cに沿って左方向に、クランパ31はばね4
5の付勢力に抗して基準プレート10の溝10cに沿って右方
向に移動し、クランパ30、31は開く。また支持チヤツク
開閉56が前進すると、支持チヤツク50、51の斜面50a、5
1aが押され、支持チヤツク50、51は支点軸52を中心とし
て、支持チヤツク50は時計方向に、支持チヤツク51は反
時計方向に回動し、支持チヤツク50、51は開く。
このようにクランパ30、31及び支持チヤツク50、51が開
いた状態で、ワーク５が載置されたキヤリツジ71がガイ
ドレール72、73にガイドされてワーク吸着ヘツド70の上
方に送られる。すると、ワーク吸着ヘツド70は２点鎖線
で示す位置に上昇し、ワーク５を真空吸着する。ワーク
吸着ヘツド70がこの状態より更に上昇すると、ワーク５
はキヤリツジ71より取り出され、実線で示すようにワー
ク５のフランジ３の上面が基準プレート10の基準面10b
に当接させられる。
いた状態で、ワーク５が載置されたキヤリツジ71がガイ
ドレール72、73にガイドされてワーク吸着ヘツド70の上
方に送られる。すると、ワーク吸着ヘツド70は２点鎖線
で示す位置に上昇し、ワーク５を真空吸着する。ワーク
吸着ヘツド70がこの状態より更に上昇すると、ワーク５
はキヤリツジ71より取り出され、実線で示すようにワー
ク５のフランジ３の上面が基準プレート10の基準面10b
に当接させられる。
次にクランパ開閉部材46及び支持チヤツク開閉部材56が
後退する。これにより、クランパ30、31及び支持チヤツ
ク50、51は前記と逆にそれぞればね44、45及び55の付勢
力で閉じる。即ち、クランパ30、31によつてワーク５の
フランジ３の外周をクランプし、支持チヤツク50、51に
よつてワーク５のリード2Bを挟持する。続いてワーク吸
着ヘツド70の真空が切れ、ワーク吸着ヘツド70は下降す
る。この状態でリード2Aとチツプ6Aとにワイヤ7Aがキヤ
ピラリ80によつてワイヤボンデイングが行われる。ここ
で、ボンデイング前においては、キヤピラリ80はボンデ
イング位置より左側に配設され、ボンデイング位置の真
上にはボンデイング位置を検出するカメラ（図示せず）
が配設されている。そして、ボンデイング時にキヤピラ
リ80が図示しないボンデイングヘツドによつてＸ方向
（ボンデイング位置の真上）に移動してからワイヤボン
デイングを行う。
後退する。これにより、クランパ30、31及び支持チヤツ
ク50、51は前記と逆にそれぞればね44、45及び55の付勢
力で閉じる。即ち、クランパ30、31によつてワーク５の
フランジ３の外周をクランプし、支持チヤツク50、51に
よつてワーク５のリード2Bを挟持する。続いてワーク吸
着ヘツド70の真空が切れ、ワーク吸着ヘツド70は下降す
る。この状態でリード2Aとチツプ6Aとにワイヤ7Aがキヤ
ピラリ80によつてワイヤボンデイングが行われる。ここ
で、ボンデイング前においては、キヤピラリ80はボンデ
イング位置より左側に配設され、ボンデイング位置の真
上にはボンデイング位置を検出するカメラ（図示せず）
が配設されている。そして、ボンデイング時にキヤピラ
リ80が図示しないボンデイングヘツドによつてＸ方向
（ボンデイング位置の真上）に移動してからワイヤボン
デイングを行う。
次にラツク21が作動し、ピニオン20は回動させられる。
これにより、回転軸11、12と共に基準プレート10が回動
し、ワーク５はクランパ30、31にクランプされた状態で
回動する。そして、ワーク５のリード2Bのボンデイング
面及びチツプ6Bが水平状態にさせられる。この状態でリ
ード2Bとチツプ6Bとにワイヤ7Bがキヤピラリ80によつて
ワイヤボンデイングが行われる。
これにより、回転軸11、12と共に基準プレート10が回動
し、ワーク５はクランパ30、31にクランプされた状態で
回動する。そして、ワーク５のリード2Bのボンデイング
面及びチツプ6Bが水平状態にさせられる。この状態でリ
ード2Bとチツプ6Bとにワイヤ7Bがキヤピラリ80によつて
ワイヤボンデイングが行われる。
このワイヤ7Bをボンデイングする時、リード2Bは支持チ
ヤツク50、51によつて支持されているので、リード2Bへ
のボンデイングが良好に行われる。この支持チヤツク5
0、51の機構は、リード2Bの剛性が弱い場合に効果的で
ある。もし、リード2Bが適度の剛性を有する場合には、
支持チヤツク50、51の機構は設けなくてもよい。
ヤツク50、51によつて支持されているので、リード2Bへ
のボンデイングが良好に行われる。この支持チヤツク5
0、51の機構は、リード2Bの剛性が弱い場合に効果的で
ある。もし、リード2Bが適度の剛性を有する場合には、
支持チヤツク50、51の機構は設けなくてもよい。
ワイヤボンデイングが終了すると、ラツク21は前記と逆
方向に作動し、基準プレート10は元の水平状態に位置さ
せられる。次に再びワーク吸着ヘツド70が上昇してワー
ク５に当接し、ワーク５を真空吸着する。その後クラン
パ開閉部材46及び支持チヤツク開閉部材56が前進する。
これによつてクランパ30、31及び支持チヤツク50、51は
開く。続いてワーク吸着ヘツド70は下降する。これによ
り、ワーク５はキヤリツジ71に載置される。次にキヤリ
ツジ71が１ピツチ送られ、次のワーク５がワーク吸着ヘ
ツド70の上方に位置させられる。以上で一連の作動が終
了する。以後前記動作を繰返し、順次ワーク５にボンデ
イングが行われる。
方向に作動し、基準プレート10は元の水平状態に位置さ
せられる。次に再びワーク吸着ヘツド70が上昇してワー
ク５に当接し、ワーク５を真空吸着する。その後クラン
パ開閉部材46及び支持チヤツク開閉部材56が前進する。
これによつてクランパ30、31及び支持チヤツク50、51は
開く。続いてワーク吸着ヘツド70は下降する。これによ
り、ワーク５はキヤリツジ71に載置される。次にキヤリ
ツジ71が１ピツチ送られ、次のワーク５がワーク吸着ヘ
ツド70の上方に位置させられる。以上で一連の作動が終
了する。以後前記動作を繰返し、順次ワーク５にボンデ
イングが行われる。
前記ワイヤ7A、7Bのボンデイング時には、基準プレート
10はヒータ60、61によつて加熱されているので、これに
よつてワーク５も加熱され、良好なボンデイングが行わ
れる。しかし、ヒータ60、61はワーク５の種類によつて
は設けなくてもよい。
10はヒータ60、61によつて加熱されているので、これに
よつてワーク５も加熱され、良好なボンデイングが行わ
れる。しかし、ヒータ60、61はワーク５の種類によつて
は設けなくてもよい。
なお、上記実施例においては、ワイヤボンデイングの場
合について説明したが、チツプボンデイングの場合にも
同様に適用できることはいうまでもない。
合について説明したが、チツプボンデイングの場合にも
同様に適用できることはいうまでもない。
［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、高さ
方向に回転可能に支承され中心部にボンデイング用の窓
が形成された基準プレートと、この基準プレートを高さ
方向に回転させる回転手段と、前記基準プレートの下方
に上下動可能に配設されワークを基準プレートの窓部の
下面に押し付けるワーク上下動手段と、前記基準プレー
トの下面に押し付けられたワークをクランプするように
前記基準プレートの下面に開閉自在に配設された一対の
クランパと、この一対のクランパを閉じる方向に付勢す
るばねと、前記基準プレートの外側に配設され前記クラ
ンパを開く方向に作動させるクランパ開閉部材とを備え
てなるので、回転させられるワークのクランプ及び解除
を自動的に行うことができ、高さ方向に回転するステー
ジへのワークの供給及び排出を自動的に行うことができ
る。
方向に回転可能に支承され中心部にボンデイング用の窓
が形成された基準プレートと、この基準プレートを高さ
方向に回転させる回転手段と、前記基準プレートの下方
に上下動可能に配設されワークを基準プレートの窓部の
下面に押し付けるワーク上下動手段と、前記基準プレー
トの下面に押し付けられたワークをクランプするように
前記基準プレートの下面に開閉自在に配設された一対の
クランパと、この一対のクランパを閉じる方向に付勢す
るばねと、前記基準プレートの外側に配設され前記クラ
ンパを開く方向に作動させるクランパ開閉部材とを備え
てなるので、回転させられるワークのクランプ及び解除
を自動的に行うことができ、高さ方向に回転するステー
ジへのワークの供給及び排出を自動的に行うことができ
る。
第１図は本発明の一実施例を示す正面断面図、第２図は
第１図の平面図、第３図は第１図のＣ−Ｃ線矢視図、第
４図は第２図のＤ−Ｄ線断面図、第５図は第２図のＥ−
Ｅ線断面図、第６図は第２図のＦ−Ｆ線断面図、第７図
はワークの一例を示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は拡大
平面図である。 2A、2B、2C:リード、5:ワーク、 10:基準プレート、10a:窓、 20:ピニオン、21:ラツク、 30、31:クランパ、44、45:ばね、 46:クランパ開閉部材、 50、51:支持チヤツク、 55:ばね、 56:支持チヤツク開閉部材、 60、61:ヒータ、 70:ワーク吸着ヘツド。
第１図の平面図、第３図は第１図のＣ−Ｃ線矢視図、第
４図は第２図のＤ−Ｄ線断面図、第５図は第２図のＥ−
Ｅ線断面図、第６図は第２図のＦ−Ｆ線断面図、第７図
はワークの一例を示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は拡大
平面図である。 2A、2B、2C:リード、5:ワーク、 10:基準プレート、10a:窓、 20:ピニオン、21:ラツク、 30、31:クランパ、44、45:ばね、 46:クランパ開閉部材、 50、51:支持チヤツク、 55:ばね、 56:支持チヤツク開閉部材、 60、61:ヒータ、 70:ワーク吸着ヘツド。
フロントページの続き (72)発明者 玉井 光一 神奈川県川崎市幸区堀川町72番地 株式会 社東芝堀川町工場内 (56)参考文献 特開 昭59−117226（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−98633（ＪＰ，Ａ) 実開 昭58−34734（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭59−195756（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭57−93200（ＪＰ，Ｕ)
Claims (2)
- 【請求項１】高さ方向に回転可能に支承され中央部にボ
ンデイング用の窓が形成された基準プレートと、この基
準プレートを高さ方向に回転させる回転手段と、前記基
準プレートの下方に上下動可能に配設されワークを基準
プレートの窓部の下面に押し付けるワーク上下動手段
と、前記基準プレートの下面に押し付けられたワークを
クランプするように前記基準プレートの下面に開閉自在
に配設された一対のクランパと、この一対のクランパを
閉じる方向に付勢するばねと、前記基準プレートの外側
に配設され前記クランパを開く方向に作動させるクラン
パ開閉部材とを備え、前記ワーク上下動手段は、ワーク
供給時には上昇してワークを前記基準プレートの下面に
押し付け、前記クランパが閉じてワークをクランプした
後前記基準プレートの回転時には下降し、ワーク排出時
には上昇してワークに当接し、前記クランパが開いた後
にワークを保持して下降することを特徴とするボンデイ
ング装置。 - 【請求項２】高さ方向に回転可能に支承され中央部にボ
ンデイング用の窓が形成された基準プレートと、この基
準プレートを高さ方向に回転させる回転手段と、前記基
準プレートの下方に上下動可能に配設されワークを基準
プレートの窓部の下面に押し付けるワーク上下動手段
と、前記基準プレートの下面に押し付けられたワークを
クランプするように前記基準プレートの下面に開閉自在
に配設された一対のクランパと、この一対のクランパを
閉じる方向に付勢するばねと、前記基準プレートの外側
に配設され前記クランパを開く方向に作動させるクラン
パ開閉部材と、ワークの立上つたリードを支持するよう
に前記基準プレートの上面に配設された支持チヤツク
と、この支持チヤツクが前記リードに圧接するように付
勢するばねと、前記基準プレートの外側に配設され前記
支持チヤツクが前記リードより離れる方向に作動させる
支持チヤツク開閉部材とを備え、前記ワーク上下動手段
は、ワーク供給時には上昇してワークを前記基準プレー
トの下面に押し付け、前記クランパが閉じてワークをク
ランプした後前記基準プレートの回転時には下降し、ワ
ーク排出時には上昇してワークに当接し、前記クランパ
が開いた後にワークを保持して下降することを特徴とす
るボンデイング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60238195A JPH0680692B2 (ja) | 1985-10-24 | 1985-10-24 | ボンデイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60238195A JPH0680692B2 (ja) | 1985-10-24 | 1985-10-24 | ボンデイング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6298626A JPS6298626A (ja) | 1987-05-08 |
| JPH0680692B2 true JPH0680692B2 (ja) | 1994-10-12 |
Family
ID=17026569
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60238195A Expired - Lifetime JPH0680692B2 (ja) | 1985-10-24 | 1985-10-24 | ボンデイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0680692B2 (ja) |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6240432Y2 (ja) * | 1980-11-29 | 1987-10-16 | ||
| JPS5834734U (ja) * | 1981-08-31 | 1983-03-07 | 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 | 半導体製造装置 |
| JPS59117226A (ja) * | 1982-12-24 | 1984-07-06 | Hitachi Tokyo Electronics Co Ltd | ボンデイング装置 |
| JPS59195756U (ja) * | 1983-06-15 | 1984-12-26 | 東芝精機株式会社 | 発光素子取付装置 |
| JPS6098633A (ja) * | 1983-11-02 | 1985-06-01 | Hitachi Ltd | ボンデイング装置 |
-
1985
- 1985-10-24 JP JP60238195A patent/JPH0680692B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6298626A (ja) | 1987-05-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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