JPH0679218A - 帯状塗装体の乾燥・焼付装置 - Google Patents
帯状塗装体の乾燥・焼付装置Info
- Publication number
- JPH0679218A JPH0679218A JP23740892A JP23740892A JPH0679218A JP H0679218 A JPH0679218 A JP H0679218A JP 23740892 A JP23740892 A JP 23740892A JP 23740892 A JP23740892 A JP 23740892A JP H0679218 A JPH0679218 A JP H0679218A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- drying
- furnace
- belt
- strip
- coated body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Abstract
(57)【要約】
【目的】 温風・熱風を使用する帯状塗装体の乾燥・焼
付装置においてクリーンな環境下での乾燥・焼付を可能
とする装置を提供すること。 【構成】 炉内雰囲気温度より高い温度に設定可能な炉
内壁を配設した乾燥・焼付装置であり、温風・熱風加熱
方式では内壁加熱装置を配設するとともに誘導加熱方式
では内壁自身の発熱を利用する。 【効果】 帯状塗装体を乾燥・焼付するさい、クリーン
な環境下での乾燥・焼付を可能とし、塗装外観が良好な
被塗装体を得ることを可能とするとともに乾燥・焼付装
置の清掃を不要とし生産性のよい乾燥・焼付装置の提供
を可能とした。
付装置においてクリーンな環境下での乾燥・焼付を可能
とする装置を提供すること。 【構成】 炉内雰囲気温度より高い温度に設定可能な炉
内壁を配設した乾燥・焼付装置であり、温風・熱風加熱
方式では内壁加熱装置を配設するとともに誘導加熱方式
では内壁自身の発熱を利用する。 【効果】 帯状塗装体を乾燥・焼付するさい、クリーン
な環境下での乾燥・焼付を可能とし、塗装外観が良好な
被塗装体を得ることを可能とするとともに乾燥・焼付装
置の清掃を不要とし生産性のよい乾燥・焼付装置の提供
を可能とした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、温風・熱風を使用する
帯状塗装体のクリーンな乾燥・焼付装置に関するもので
ある。
帯状塗装体のクリーンな乾燥・焼付装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来法による帯状塗装体の温風・熱風加
熱方式の例の概略を図３に示す。外気は空気取入口５か
ら取入れられ、低温フィルタ（ＨＥＰＡフィルタ等）６
で外部塵を除かれた後、空気接触面が非酸化性材質から
なる排ガス処理炉（熱交換器を含む）７，非酸化性材質
からなる送気配管（〜加熱装置まで）９ａ，空気接触面
が非酸化性材質からなる加熱装置８及び非酸化性材質か
らなる送気配管（加熱装置以降）９ｂを経て乾燥・焼付
炉１内に導入されている。乾燥・焼付炉１内で帯状塗装
体４の乾燥・焼付に使われた後、排気配管（〜排ガス処
理炉まで）１０ｂ，排ガス処理炉（熱交換器を含む）７
及び排気配管（排ガス処理炉以降）１０ａを経て排気放
散口１１から放散される。一方、内壁３はステンレス等
非酸化性金属により構成されている。
熱方式の例の概略を図３に示す。外気は空気取入口５か
ら取入れられ、低温フィルタ（ＨＥＰＡフィルタ等）６
で外部塵を除かれた後、空気接触面が非酸化性材質から
なる排ガス処理炉（熱交換器を含む）７，非酸化性材質
からなる送気配管（〜加熱装置まで）９ａ，空気接触面
が非酸化性材質からなる加熱装置８及び非酸化性材質か
らなる送気配管（加熱装置以降）９ｂを経て乾燥・焼付
炉１内に導入されている。乾燥・焼付炉１内で帯状塗装
体４の乾燥・焼付に使われた後、排気配管（〜排ガス処
理炉まで）１０ｂ，排ガス処理炉（熱交換器を含む）７
及び排気配管（排ガス処理炉以降）１０ａを経て排気放
散口１１から放散される。一方、内壁３はステンレス等
非酸化性金属により構成されている。
【０００３】従来法による帯状塗装体の誘導加熱方式の
例の概略を図４に示す。温風・熱風加熱方式と同様に、
外気は空気取入口５から取入れられ、低温フィルタ（Ｈ
ＥＰＡフィルタ等）６で外部塵を除かれた後、空気接触
面が非酸化性材質からなる排ガス処理炉（熱交換器を含
む）７，非酸化性材質からなる送気配管（〜加熱装置ま
で）９ａ，空気接触面が非酸化性材質からなる加熱装置
８及び非酸化性材質からなる送気配管（加熱装置以降）
９ｂを経て乾燥・焼付炉１内に導入されている。乾燥・
焼付炉１内で帯状塗装体４の乾燥・焼付に使われた後、
排気配管（〜排ガス処理炉まで）１０ｂ，排ガス処理炉
（熱交換器を含む）７及び排気配管（排ガス処理炉以
降）１０ａを経て排気放散口１１から放散される。一
方、誘導加熱装置加熱コイル１２の内側に配設された内
壁３は、誘導加熱装置加熱コイル１２による渦電流発生
を避け、非金属の造形品が使用されている。
例の概略を図４に示す。温風・熱風加熱方式と同様に、
外気は空気取入口５から取入れられ、低温フィルタ（Ｈ
ＥＰＡフィルタ等）６で外部塵を除かれた後、空気接触
面が非酸化性材質からなる排ガス処理炉（熱交換器を含
む）７，非酸化性材質からなる送気配管（〜加熱装置ま
で）９ａ，空気接触面が非酸化性材質からなる加熱装置
８及び非酸化性材質からなる送気配管（加熱装置以降）
９ｂを経て乾燥・焼付炉１内に導入されている。乾燥・
焼付炉１内で帯状塗装体４の乾燥・焼付に使われた後、
排気配管（〜排ガス処理炉まで）１０ｂ，排ガス処理炉
（熱交換器を含む）７及び排気配管（排ガス処理炉以
降）１０ａを経て排気放散口１１から放散される。一
方、誘導加熱装置加熱コイル１２の内側に配設された内
壁３は、誘導加熱装置加熱コイル１２による渦電流発生
を避け、非金属の造形品が使用されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来、クリーンな環境
での乾燥・焼付を必要とする場合、予熱前空気は低温用
フィルタ（ＨＥＰＡ等）６で外部塵を除かれた後、空気
接触面が非酸化性材質からなる排ガス処理炉（熱交換器
を含む）７，非酸化性材質からなる送気配管（〜加熱装
置まで）９ａ，空気接触面が非酸化性材質からなる加熱
装置８及び非酸化性材質からなる送気配管（加熱装置以
降）９ｂを経て乾燥・焼付炉１に導入され、炉内へは外
部塵が極力入らないようにされている。
での乾燥・焼付を必要とする場合、予熱前空気は低温用
フィルタ（ＨＥＰＡ等）６で外部塵を除かれた後、空気
接触面が非酸化性材質からなる排ガス処理炉（熱交換器
を含む）７，非酸化性材質からなる送気配管（〜加熱装
置まで）９ａ，空気接触面が非酸化性材質からなる加熱
装置８及び非酸化性材質からなる送気配管（加熱装置以
降）９ｂを経て乾燥・焼付炉１に導入され、炉内へは外
部塵が極力入らないようにされている。
【０００５】しかし、乾燥・焼付炉１の内壁３は、温風
・熱風加熱による乾燥・焼付の場合、ステンレス等非酸
化性金属が配設されており、乾燥・焼付炉１内の塵の発
生が抑えられるとともに内壁３の清掃性の容易さも確保
されているものの、内壁３の温度は炉内の雰囲気温度よ
り低いため、帯状塗装体４からの気化・蒸発物が凝結等
により内壁３に付着し、これが未乾燥の帯状塗装体４上
に落下し、帯状塗装体４の塗装欠陥を招くとともに内壁
３の頻繁な清掃を余儀なくされていた。
・熱風加熱による乾燥・焼付の場合、ステンレス等非酸
化性金属が配設されており、乾燥・焼付炉１内の塵の発
生が抑えられるとともに内壁３の清掃性の容易さも確保
されているものの、内壁３の温度は炉内の雰囲気温度よ
り低いため、帯状塗装体４からの気化・蒸発物が凝結等
により内壁３に付着し、これが未乾燥の帯状塗装体４上
に落下し、帯状塗装体４の塗装欠陥を招くとともに内壁
３の頻繁な清掃を余儀なくされていた。
【０００６】一方、誘導加熱による乾燥・焼付の場合
は、非金属の造形品が内壁３に使用されており、温風・
熱風加熱による乾燥・焼付の場合に比べて、更に、内壁
の清掃の困難さが増大されているとともに、帯状塗装体
４との接触による非金属の造形品の破損による塵発生が
加わり、これが未乾燥の帯状塗装体４上に落下し、帯状
塗装体４の塗装欠陥を頻繁に招くとともに内壁３の更な
る頻繁な清掃を余儀なくされていた。
は、非金属の造形品が内壁３に使用されており、温風・
熱風加熱による乾燥・焼付の場合に比べて、更に、内壁
の清掃の困難さが増大されているとともに、帯状塗装体
４との接触による非金属の造形品の破損による塵発生が
加わり、これが未乾燥の帯状塗装体４上に落下し、帯状
塗装体４の塗装欠陥を頻繁に招くとともに内壁３の更な
る頻繁な清掃を余儀なくされていた。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は従来技術の課題
を有利に解決するものであって、上記目的を達成するた
めに発明者らは鋭意工夫を重ねた結果、温風・熱風を使
用する帯状塗装体の乾燥・焼付炉において炉内壁への異
物付着をなくすことを可能としたもので、その発明の要
旨とするところは、 （１）温風・熱風を使用する帯状塗装体の乾燥・焼付装
置において、炉内雰囲気温度より高い温度に設定可能な
炉内壁を配設したことを特徴とする帯状塗装体の乾燥・
焼付装置。 （２）炉内壁の外側に加熱装置を配設したことを特徴と
する（１）記載の帯状塗装体の乾燥・焼付装置。 （３）炉内壁の外側に誘導加熱コイルを配設し、且つ炉
内壁を薄手非強磁性金属帯体及び帯状塗装体の通板方向
に垂直な断面内の回路形成を妨げる絶縁帯体により構成
したことを特徴とする（１）記載の帯状塗装体の乾燥・
焼付装置。にある。
を有利に解決するものであって、上記目的を達成するた
めに発明者らは鋭意工夫を重ねた結果、温風・熱風を使
用する帯状塗装体の乾燥・焼付炉において炉内壁への異
物付着をなくすことを可能としたもので、その発明の要
旨とするところは、 （１）温風・熱風を使用する帯状塗装体の乾燥・焼付装
置において、炉内雰囲気温度より高い温度に設定可能な
炉内壁を配設したことを特徴とする帯状塗装体の乾燥・
焼付装置。 （２）炉内壁の外側に加熱装置を配設したことを特徴と
する（１）記載の帯状塗装体の乾燥・焼付装置。 （３）炉内壁の外側に誘導加熱コイルを配設し、且つ炉
内壁を薄手非強磁性金属帯体及び帯状塗装体の通板方向
に垂直な断面内の回路形成を妨げる絶縁帯体により構成
したことを特徴とする（１）記載の帯状塗装体の乾燥・
焼付装置。にある。
【０００８】以下、本発明を図面に従って詳細に説明す
る。図１に本発明による帯状体の温風・熱風加熱方式の
例の概略を示す。外気は空気取入口５から取入れられ、
低温フィルタ（ＨＥＰＡフィルタ等）６で外部塵を除か
れた後、空気接触面が非酸化性材質からなる排ガス処理
炉（熱交換器を含む）７，非酸化性材質からなる送気配
管（〜加熱装置まで）９ａ，空気接触面が非酸化性材質
からなる加熱装置８及び非酸化性材質からなる送気配管
（加熱装置以降）９ｂを経たあと、乾燥・焼付炉１に導
入される。
る。図１に本発明による帯状体の温風・熱風加熱方式の
例の概略を示す。外気は空気取入口５から取入れられ、
低温フィルタ（ＨＥＰＡフィルタ等）６で外部塵を除か
れた後、空気接触面が非酸化性材質からなる排ガス処理
炉（熱交換器を含む）７，非酸化性材質からなる送気配
管（〜加熱装置まで）９ａ，空気接触面が非酸化性材質
からなる加熱装置８及び非酸化性材質からなる送気配管
（加熱装置以降）９ｂを経たあと、乾燥・焼付炉１に導
入される。
【０００９】乾燥・焼付炉１の内壁３は、ステンレス等
非酸化性金属からなり、内壁加熱装置１５で外側から加
熱され、その温度は炉内雰囲気温度よりやや高い温度に
制御されており、帯状塗装体４からの気化・蒸発物が凝
結等により内壁３に付着することがなくなり、未乾燥の
帯状塗装体４上への異物落下がなくなり、塗装外観の良
好な帯状塗装体４を得ることが可能となるとともに乾燥
・焼付装置の清掃を不要とすることが可能となった。
尚、内壁加熱装置１５は例えば、テープヒータ等で構成
されている。
非酸化性金属からなり、内壁加熱装置１５で外側から加
熱され、その温度は炉内雰囲気温度よりやや高い温度に
制御されており、帯状塗装体４からの気化・蒸発物が凝
結等により内壁３に付着することがなくなり、未乾燥の
帯状塗装体４上への異物落下がなくなり、塗装外観の良
好な帯状塗装体４を得ることが可能となるとともに乾燥
・焼付装置の清掃を不要とすることが可能となった。
尚、内壁加熱装置１５は例えば、テープヒータ等で構成
されている。
【００１０】図２（ａ）に本発明による帯状体の誘導加
熱方式の例の概略を示す。外気は空気取入口５から取入
れられ、低温フィルタ（ＨＥＰＡフィルタ等）６で外部
塵を除かれた後、空気接触面が非酸化性材質からなる排
ガス処理炉（熱交換器を含む）７，非酸化性材質からな
る送気配管（〜加熱装置まで）９ａ，空気接触面が非酸
化性材質からなる加熱装置８及び非酸化性材質からなる
送気配管（加熱装置から）９ｂを経たあと、乾燥・焼付
炉１に導入される。
熱方式の例の概略を示す。外気は空気取入口５から取入
れられ、低温フィルタ（ＨＥＰＡフィルタ等）６で外部
塵を除かれた後、空気接触面が非酸化性材質からなる排
ガス処理炉（熱交換器を含む）７，非酸化性材質からな
る送気配管（〜加熱装置まで）９ａ，空気接触面が非酸
化性材質からなる加熱装置８及び非酸化性材質からなる
送気配管（加熱装置から）９ｂを経たあと、乾燥・焼付
炉１に導入される。
【００１１】図２（ｂ）に誘導加熱装置加熱コイル１２
の内側に配設された乾燥・焼付炉１の内壁３の概略を示
す。内壁３は（１）主要部：非酸化性の薄手非強磁性金
属帯体（オーステナイト系ステンレス等）１８と（２）
一部：非金属成形品からなる。非酸化性の薄手非強磁性
金属帯体１８は帯状塗装体４を加熱する誘導加熱装置に
より加熱されるが、その温度が炉内雰囲気温度よりやや
高い温度に加熱されるような最適な材質・厚みが誘導加
熱装置の周波数・磁場強さ等を考慮して選ばれる。一方
非金属成形品は、最低必要箇所のみ使用とするととも
に、非金属成形品部分が未乾燥の帯状塗装体４と接触し
ないように配設されており、帯状塗装体の通板方向に
垂直な断面内の渦電流の回路形成を妨げる絶縁帯体１６
と磁束貫通部（非金属）１７から構成されている。ま
た、帯状塗装体４との接触を防止する対策として小さな
非酸化性の非強磁性金属バー１９が配設されている。
の内側に配設された乾燥・焼付炉１の内壁３の概略を示
す。内壁３は（１）主要部：非酸化性の薄手非強磁性金
属帯体（オーステナイト系ステンレス等）１８と（２）
一部：非金属成形品からなる。非酸化性の薄手非強磁性
金属帯体１８は帯状塗装体４を加熱する誘導加熱装置に
より加熱されるが、その温度が炉内雰囲気温度よりやや
高い温度に加熱されるような最適な材質・厚みが誘導加
熱装置の周波数・磁場強さ等を考慮して選ばれる。一方
非金属成形品は、最低必要箇所のみ使用とするととも
に、非金属成形品部分が未乾燥の帯状塗装体４と接触し
ないように配設されており、帯状塗装体の通板方向に
垂直な断面内の渦電流の回路形成を妨げる絶縁帯体１６
と磁束貫通部（非金属）１７から構成されている。ま
た、帯状塗装体４との接触を防止する対策として小さな
非酸化性の非強磁性金属バー１９が配設されている。
【００１２】内壁３の温度は、炉内雰囲気温度よりやや
高い温度に維持され、帯状塗装体４からの気化・蒸発物
が凝結等により内壁３に付着することがなくなり、未乾
燥の帯状塗装体４上への異物落下がなくなり、塗装外観
の良好な帯状塗装体４を得ることが可能となるとともに
乾燥・焼付装置の清掃を不要とすることが可能となっ
た。
高い温度に維持され、帯状塗装体４からの気化・蒸発物
が凝結等により内壁３に付着することがなくなり、未乾
燥の帯状塗装体４上への異物落下がなくなり、塗装外観
の良好な帯状塗装体４を得ることが可能となるとともに
乾燥・焼付装置の清掃を不要とすることが可能となっ
た。
【００１３】
【発明の効果】以上述べたように、本発明により、帯状
塗装体の乾燥・焼付を行うとき、クリーンな環境下での
乾燥・焼付を可能とし、塗装外観の良好な帯状塗装体を
得ることを可能とするとともに乾燥・焼付装置の内壁の
清掃を不要とし生産性のよい乾燥・焼付装置の提供を可
能とした。
塗装体の乾燥・焼付を行うとき、クリーンな環境下での
乾燥・焼付を可能とし、塗装外観の良好な帯状塗装体を
得ることを可能とするとともに乾燥・焼付装置の内壁の
清掃を不要とし生産性のよい乾燥・焼付装置の提供を可
能とした。
【図１】本発明による温風・熱風加熱方式の乾燥・焼付
装置の例の概略図である。
装置の例の概略図である。
【図２】（ａ）は、本発明による誘導加熱方式の乾燥・
焼付装置の例の概略図である。（ｂ），（ｃ）は、本発
明による誘導加熱方式の炉内壁の概略図である。
焼付装置の例の概略図である。（ｂ），（ｃ）は、本発
明による誘導加熱方式の炉内壁の概略図である。
【図３】従来法による温風・熱風加熱方式の乾燥・焼付
炉の概略図である。
炉の概略図である。
【図４】従来法による誘導加熱方式の乾燥・焼付炉の概
略図である。
略図である。
１ 乾燥・焼付炉 ２ 外壁 ３ 内壁 ４ 帯状塗装体 ５ 空気取入口 ６ 低温フィルタ（ＨＥＰＡ等） ７ 排ガス処理炉（熱交換器を含む） ８ 加熱装置 ９ａ 送気配管（空気取入口〜加熱装置） ９ｂ 送気配管（加熱装置〜乾燥・焼付炉） １０ａ 排気配管（排気放散口〜排ガス処理炉） １０ｂ 排気配管（排ガス処理炉〜乾燥・焼付炉） １１ 排気放散口 １２ 誘導加熱装置加熱コイル １３ 誘導加熱装置遮蔽板 １５ 内壁加熱装置 １６ 絶縁帯体（非金属） １７ 磁束貫通部（非金属） １８ 薄手非強磁性金属帯体 １９ 非強磁性金属バー
Claims (3)
- 【請求項１】 温風・熱風を使用する帯状塗装体の乾燥
・焼付装置において、炉内雰囲気温度より高い温度に設
定可能な炉内壁を配設したことを特徴とする帯状塗装体
の乾燥・焼付装置。 - 【請求項２】 炉内壁の外側に加熱装置を配設したこと
を特徴とする請求項１記載の帯状塗装体の乾燥・焼付装
置。 - 【請求項３】 炉内壁の外側に誘導加熱コイルを配設
し、且つ炉内壁を薄手非強磁性金属帯体及び帯状塗装体
の通板方向に垂直な断面内の回路形成を妨げる絶縁帯体
により構成したことを特徴とする請求項１記載の帯状塗
装体の乾燥・焼付装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23740892A JPH0679218A (ja) | 1992-09-04 | 1992-09-04 | 帯状塗装体の乾燥・焼付装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23740892A JPH0679218A (ja) | 1992-09-04 | 1992-09-04 | 帯状塗装体の乾燥・焼付装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0679218A true JPH0679218A (ja) | 1994-03-22 |
Family
ID=17014942
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23740892A Withdrawn JPH0679218A (ja) | 1992-09-04 | 1992-09-04 | 帯状塗装体の乾燥・焼付装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0679218A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005262132A (ja) * | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Jfe Steel Kk | 加熱炉内の雰囲気温度調整方法、並びに塗装金属帯の乾燥及び焼付装置 |
| JP2013228149A (ja) * | 2012-04-26 | 2013-11-07 | Jtekt Corp | 塗装乾燥装置 |
| JP2013228148A (ja) * | 2012-04-26 | 2013-11-07 | Jtekt Corp | 塗装乾燥装置および塗装乾燥方法 |
-
1992
- 1992-09-04 JP JP23740892A patent/JPH0679218A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005262132A (ja) * | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Jfe Steel Kk | 加熱炉内の雰囲気温度調整方法、並びに塗装金属帯の乾燥及び焼付装置 |
| JP2013228149A (ja) * | 2012-04-26 | 2013-11-07 | Jtekt Corp | 塗装乾燥装置 |
| JP2013228148A (ja) * | 2012-04-26 | 2013-11-07 | Jtekt Corp | 塗装乾燥装置および塗装乾燥方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| ATE113324T1 (de) | Metalloxydierungsanordnung und verfahren. | |
| JPH0679218A (ja) | 帯状塗装体の乾燥・焼付装置 | |
| JP2005075660A (ja) | セラミックス成形体の乾燥装置及び乾燥方法 | |
| JP2737039B2 (ja) | 塗装外観の極めて美麗な塗装鋼板の製造方法 | |
| JPH059556A (ja) | 熱処理炉の送気方法 | |
| JPH07195020A (ja) | 耐熱プレコート金属板の焼付炉及び焼付方法 | |
| JPH1157580A (ja) | 乾燥装置ユニット | |
| JPS61158808A (ja) | 黒鉛化方法 | |
| JP7369092B2 (ja) | 過熱水蒸気装置 | |
| JPS60633Y2 (ja) | 連続加熱炉 | |
| GB2246793A (en) | Deposition employing fluidised bed | |
| JPH06136406A (ja) | 真空炉のベーキング方法及び装置 | |
| JPH0222637Y2 (ja) | ||
| JP2018080891A (ja) | 壁面材および熱処理炉 | |
| JP3023184B2 (ja) | 連続式トンネル炉 | |
| JPH0214405B2 (ja) | ||
| JPH0332524Y2 (ja) | ||
| JPS6142300Y2 (ja) | ||
| JPH0710239Y2 (ja) | 乾燥装置 | |
| JPS5827825Y2 (ja) | 塗料焼付炉 | |
| JPS5852407Y2 (ja) | 高周波加熱装置 | |
| JP2005087819A (ja) | 塗装用乾燥炉 | |
| JPS62149379A (ja) | 誘導加熱による切板塗装鋼板の塗膜均一硬化方法 | |
| JPS629812Y2 (ja) | ||
| JPH06249583A (ja) | 真空用炉殻内の付着物酸化方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991130 |