JP2018080891A - 壁面材および熱処理炉 - Google Patents
壁面材および熱処理炉 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018080891A JP2018080891A JP2016224657A JP2016224657A JP2018080891A JP 2018080891 A JP2018080891 A JP 2018080891A JP 2016224657 A JP2016224657 A JP 2016224657A JP 2016224657 A JP2016224657 A JP 2016224657A JP 2018080891 A JP2018080891 A JP 2018080891A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- radiation
- heat insulating
- heat
- wall
- wall surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Heat Treatments In General, Especially Conveying And Cooling (AREA)
- Tunnel Furnaces (AREA)
- Furnace Housings, Linings, Walls, And Ceilings (AREA)
Abstract
【課題】熱処理炉の壁面を構成する壁面材において、断熱性能を有するとともに、熱輻射率を大きくすることにより、被加熱物を効率的に加熱することができる壁面材、およびその壁面材を備えた熱処理炉を提供すること。
【解決手段】被加熱物90を加熱するための熱処理炉1の内壁面に設置する壁面材3であって、壁面材3は、断熱材4、および輻射材5を有し、断熱材4の材料は、輻射材5の材料よりも断熱性が高い材料であり、輻射材5の材料は、断熱材4の材料よりも熱輻射率が大きい材料であり、輻射材5は、壁面材3の表面51に露出している。
【選択図】図2
【解決手段】被加熱物90を加熱するための熱処理炉1の内壁面に設置する壁面材3であって、壁面材3は、断熱材4、および輻射材5を有し、断熱材4の材料は、輻射材5の材料よりも断熱性が高い材料であり、輻射材5の材料は、断熱材4の材料よりも熱輻射率が大きい材料であり、輻射材5は、壁面材3の表面51に露出している。
【選択図】図2
Description
本発明は、壁面材および熱処理炉に関し、さらに詳しくは、熱処理炉の壁面を構成する断熱材を有する壁面材、およびその壁面材を備えた熱処理炉に関する。
熱処理炉は、壁面材として断熱レンガ、セラミック壁面材等が用いられている。これまでの壁面材は、主に断熱性能が着目されていた。これまで、熱処理炉は、例えば、特許文献1に示されるように、鋼板製の炉殻内に断熱材製の炉壁を内張状に配設して成る構造の熱処理炉が用いられている。
被加熱物は、熱対流による加熱に加え、熱処理炉の内壁面に設置された壁面材の表面から、輻射伝熱を受けて昇温するため、輻射伝熱の効率は壁面材の表面の熱輻射率に依存する。また、壁面材は、ラジアントチューブバーナ式等のヒータ、あるいは直火燃焼方式等のバーナの燃焼熱を吸収して、輻射により被加熱物を加熱する役割を担っている。
しかし、壁面材は、従来、主に断熱性に着目して材料が選定されており、壁面材の表面の熱輻射率は重視されてこなかった。例えば、セラミック壁面材は、シリカ、アルミナが主成分であり、熱輻射率は、0.4程度であり、高いとはいえない熱輻射率である。
本発明が解決しようとする課題は、熱処理炉の壁面を構成する壁面材において、断熱性能を有するとともに、熱輻射率を大きくすることにより、被加熱物を効率的に加熱することができる壁面材、およびその壁面材を備えた熱処理炉を提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明にかかる壁面材は、被加熱物を加熱するための熱処理炉の内壁面に設置する壁面材であって、前記壁面材は、断熱材、および輻射材を有し、前記断熱材の材料は、前記輻射材の材料よりも断熱性が高い材料であり、前記輻射材の材料は、前記断熱材の材料よりも熱輻射率が大きい材料であり、前記輻射材は、前記壁面材の表面に露出していることを要旨とする。
ここで、前記断熱材の表面に、前記輻射材からなる表層が形成されているとよい。
また、前記輻射材は、プレート状であり、前記断熱材の表面に設置されているとよい。
また、前記輻射材は、布状体であり、前記断熱材の表面を覆っているとよい。
また、前記輻射材は、前記断熱材の表面に一体的に接合された層として形成されているとよい。
そして、前記輻射材の材料は、炭化ケイ素であるとよい。
一方、本発明にかかる熱処理炉は、炉内に被加熱物を収容することができる炉体と、前記炉体の内壁面に設置される上記の壁面材と、被加熱物を加熱する熱源と、を有し、前記被加熱物を加熱することを要旨とする。
ここで、前記壁面材は、別体として構成する前記断熱材、および前記輻射材が、前記炉体にたいして前記輻射材が前記炉内に面するように、共通の固定部材にて固定されているとよい。
上記発明にかかる壁面材においては、壁面材は、断熱材および輻射材を有している。ここで、断熱材は、熱処理炉内の熱を熱処理炉外にたいして遮断できる。また、輻射材は、熱処理炉の内壁面に設置する壁面材の表面のうち、熱処理炉の内側の表面に露出させて用いることで、被加熱物を輻射伝熱により加熱できる。
また、断熱材の材料は、輻射材の材料よりも断熱性が高く、輻射材の材料は、断熱材の材料よりも熱輻射率が大きいため、断熱材により断熱性能を有するとともに、輻射材により熱輻射率を大きくすることができる。熱輻射率を大きくすると、輻射材は自らがより早く昇温しやすく、かつ輻射材と温度差のある被加熱物を、より早く輻射伝熱により加熱できる。そのため、被加熱物の昇温速度、および昇温効率を向上させることができる。
ここで、断熱材の表面に、輻射材からなる表層が形成されている場合には、壁面材の表面に輻射材の表層を形成することができる。そのため、壁面材は、壁面材の表面に輻射材の表層が形成されていない場合と比べて、被加熱物を輻射材からの輻射伝熱により、効率よく、昇温速度、および昇温効率を向上させて加熱できる。なお、壁面材の表面に輻射材の表層が形成されていない場合とは、壁面材の表面に輻射材が、点在して露出して形成されている場合等を示す。
また、輻射材は、プレート状であり、断熱材の表面に設置されている場合には、プレート状に製作した輻射材を、断熱材の表面に固定できるため、迅速かつ簡易に壁面材を製作できる。
また、輻射材は、布状体であり、断熱材の表面を覆っている場合には、布状体の輻射材を、断熱材の表面の形状に沿って覆うことができるため、断熱材の形状にかかわらず、壁面材を容易に製作できる。
また、輻射材は、断熱材の表面に一体的に接合された層として形成されている場合には、断熱材の表面に複雑な凹凸形状等が形成されている場合でも、断熱材の表面に密着して輻射材を形成できる。そのため、輻射材は、断熱材の表面側への輻射を無視できる程度にすることができるとともに、熱処理炉の内側への熱輻射率の大きい壁面材を製作できる。また、昇温速度、および昇温効率を向上させて加熱できる壁面材を容易に製作できる。
そして、輻射材の材料は、炭化ケイ素である場合には、炭化ケイ素の熱輻射率は、0.9程度であり、種々の耐熱性材料の中で高い熱輻射率である。そのため、被加熱物の昇温速度、および昇温効率を向上させて加熱できる。また、炭化ケイ素の耐熱温度は1500℃程度であるため、耐熱性能の高い輻射材を製作できる。また、炭化ケイ素は、紛体として容易に利用でき、プレート状、布状体等、種々の形態のものも利用可能であるため、各種輻射材を、容易に製作できる。
一方、上記発明にかかる熱処理炉によれば、簡素な構成で、断熱性能を有するとともに、熱輻射率を大きくすることにより、被加熱物の昇温速度、および昇温効率を向上させることができる。
ここで、壁面材は、別体として構成する断熱材、および輻射材が、炉体にたいして輻射材が炉内に面するように、共通の固定部材にて固定されている場合には、別体の断熱材、および輻射材を、共通の固定部材にて固定できる。そのため、炉体にたいして壁面材を簡易に設置できる。
以下、本発明の一実施形態の壁面材および熱処理炉について、図面を参照しながら説明する。
[熱処理炉]
まず、本発明の一実施形態の壁面材および熱処理炉において、被加熱物90を熱処理する熱処理炉1について説明する。図1は、本発明の一実施形態の熱処理炉を示す模式図である。
まず、本発明の一実施形態の壁面材および熱処理炉において、被加熱物90を熱処理する熱処理炉1について説明する。図1は、本発明の一実施形態の熱処理炉を示す模式図である。
図1に示すように、熱処理炉1は、炉体2を本体としてなっている。炉体2は、金属からなり、雰囲気加熱炉と称される形式のものであるが、他に、真空炉、あるいは大気炉であってもよい。また、炉体2の内壁面の略全域に無機酸化物よりなる壁面材3が形成され、内部空間に被加熱物90を収容することができる。
熱処理炉1は、必要に応じて以下のような構成を有する炉体2の一端部に、被加熱物90の出入口16が設けられている。また、出入口16を開閉するための扉8が設けられている。扉8は、駆動装置61により昇降駆動される。また、炉体2内の全長にわたって、被加熱物90を搬送するハースローラ14が設けられている。
炉体2は、不活性ガス雰囲気中で被加熱物90の加熱を行うものであり、本発明の一実施形態では、不活性ガスとしてN2ガスを用い、N2ガス発生装置(N2ガスボンベ)21からN2ガスが配管22を経て炉体2内に供給されるようになっている。また、開閉弁23が配管22に設けられている。
炉体2の内部には、撹拌用のファン25、および被加熱物90を加熱する熱源であるラジアントチューブバーナ式のヒータ11が設けられている。加熱されたヒータ11に生じた熱により、炉体2の内部が昇温され、被加熱物90は、熱対流による加熱に加え、炉体2の内壁面に設置された壁面材3の表面から、輻射伝熱を受けて昇温する。
炉体2の内壁面には、壁面材3が設置されている。熱処理炉1は、次に説明する図2の壁面材3の構成により、簡素な構成で、断熱性能を有するとともに、熱輻射率を大きくすることにより、被加熱物90の昇温速度、および昇温効率を向上させることができる。
[壁面材]
次に、本発明の一実施形態の壁面材3について説明する。図2に、図1のA−A線断面図を示す。
次に、本発明の一実施形態の壁面材3について説明する。図2に、図1のA−A線断面図を示す。
図2に示すように、壁面材3は、断熱材4、および輻射材5より構成されている。また、輻射材5は、壁面材3における、炉体2の内側の表面51に露出して形成されている。
また、壁面材3は、断熱材4の表面41に、輻射材5からなる表層50が形成されている。輻射材5は、プレート状に形成されてあり、炉体2の内壁面に断熱材4とともに、密着して固定部材であるピン15およびナット151にて固定されている。ピン15およびナット151は、断熱材4および輻射材5の共通の固定部材である。ピン15は、炉体2にたいして溶接にて固定されている。また、断熱材4および輻射材5は、ピン15に装着後、ナット151にて一体的に固定されている。
また、断熱材4の材料は、輻射材5の材料よりも断熱性が高い材料であり、輻射材5の材料は、断熱材4の材料よりも熱輻射率が大きい材料である。
断熱性が高い材料とは、炉内の熱が、炉外へ伝達することを阻止できる割合の高い材料ということであり、材料の熱伝導率が低ければ、高い断熱性を得ることができる。
断熱材4の材料としては、断熱レンガ、あるいはセラミック壁面材が使用可能である。また、輻射材5の材料としては、熱輻射率が大きく、かつ耐熱性能が高い材料が好適であり、炭化ケイ素が使用可能である。
壁面材3を構成する断熱材4は、熱処理炉1内の熱を熱処理炉1外にたいして遮断する。また、壁面材3を構成する輻射材5は、被加熱物90を輻射伝熱により加熱する。
ヒータ11により発生した熱は、撹拌用のファン25により、炉体2の内部を対流して、雰囲気加熱により輻射材5を加熱するとともに、直接、輻射材5を輻射で加熱する。加熱された輻射材5は表面51からの熱輻射により、炉体2内の輻射材5よりも温度の低い被加熱物90を加熱する。
被加熱物90の加熱には、輻射による寄与が大きいが、伝熱による寄与もあってもよい。
熱輻射率を大きくすると、輻射材5は自らがより早く昇温しやすく、かつ輻射材5よりも低温の被加熱物90を、より早く輻射伝熱により加熱できる。そのため、被加熱物90の昇温速度、および昇温効率を向上させることができる。
断熱材4の材料は、輻射材5の材料よりも断熱性が高く、輻射材5の材料は、断熱材4の材料よりも熱輻射率が大きいため、断熱材4により断熱性能を有するとともに、輻射材5により熱輻射率を大きくすることができる。
本発明の壁面材3においては、断熱材4の表面41に、輻射材5からなる表層50が形成されているため、炉体2内に面した壁面材3の表面51に輻射材5の表層50が形成された状態となっている。そのため、壁面材3は、壁面材3の表面51に輻射材5の表層50が形成されていない場合と比べて、被加熱物90を、輻射材5からの輻射伝熱により、効率よく、昇温速度、および昇温効率を向上させて加熱できる。
また、壁面材3は、プレート状に製作した輻射材5を、断熱材4の表面41に固定できるため、迅速かつ簡易に壁面材3を製作できる。
また、壁面材3は、別体の断熱材4、および輻射材5を、共通の固定部材であるピン15およびナット151にて固定できる。そのため、炉体2にたいして壁面材3を簡易に設置できる。
また、輻射材5の材料として好適な、炭化ケイ素の熱輻射率は、0.9程度であり、種々の耐熱性材料の中で高い熱輻射率である。そのため、被加熱物90の昇温速度、および昇温効率を向上させて加熱できる。また、炭化ケイ素の耐熱温度は1500℃程度であるため、耐熱性能の高い輻射材5を製作できる。また、炭化ケイ素は、紛体として容易に利用でき、プレート状、布状体等、種々の形態のものも利用可能であるため、各種輻射材を、容易に製作できる。
[壁面材の変形例]
図3(a)に、本発明の一実施形態の壁面材の変形例1の模式図を示す。また、図3(b)に、本発明の一実施形態の壁面材の変形例2の模式図を示す。また、図3(c)に、本発明の一実施形態の壁面材の変形例3の模式図を示す。
図3(a)に、本発明の一実施形態の壁面材の変形例1の模式図を示す。また、図3(b)に、本発明の一実施形態の壁面材の変形例2の模式図を示す。また、図3(c)に、本発明の一実施形態の壁面材の変形例3の模式図を示す。
図3(a)に示すように、炉体2の内壁面に設置された変形例1の壁面材30は、断熱材4の表面41に、布状体に形成された輻射材55が覆われている。
輻射材55は、布状体に形成されているため、断熱材4の表面41の形状に沿って覆うことができる。そのため、断熱材4の形状にかかわらず、変形例1の壁面材30を容易に製作できる。
また、図3(b)に示すように、炉体2の内壁面に設置された変形例2の壁面材31は、断熱材4の表面41に一体的に接合された層である輻射材56が形成されている。接合する前の輻射材56の材料の状態は、ペースト状である。壁面材31は、ペースト状の材料を断熱材4の表面41に塗布して焼成することにより、断熱材4と輻射材56が一体的に接合した構造とすることができる。
輻射材56は、断熱材4の表面41に一体的に接合されている。そのため、断熱材4の表面41に複雑な凹凸形状等が形成されている場合でも、断熱材4の表面41に密着して輻射材56を形成できる。また、輻射材56は、断熱材4の表面41側への輻射が実質的に発生することがなく、炉体2内への熱輻射率の大きい壁面材31を製作できる。また、昇温速度、および昇温効率を向上させて加熱できる変形例2の壁面材31を、容易に製作できる。
なお、輻射材56は、ペースト状の材料を断熱材4の表面41に塗布して焼成する方法以外にも、化学気相成長、または化学気相蒸着等の薄膜を形成する蒸着法を使用して形成されているものでもよい。
また、図3(c)に示すように、炉体2の内壁面に設置された変形例3の壁面材40は、無数の空隙43を有する多孔質層が形成されている断熱材42と、断熱材42の多孔質層よりも見かけ密度が大きい緻密層が形成されている輻射材44とが、一体的に積層されている。
断熱材42は、輻射材44よりも見かけ密度が小さいため、輻射材44よりも熱伝導率を小さくできる。また、輻射材44は、断熱材42よりも見かけ密度が大きいため、断熱材42よりも熱輻射率を大きくできる。そのため、壁面材を輻射材44のみで構成する場合に比べて、断熱性能が高い変形例の壁面材40を製作できる。
なお、壁面材40は、断熱材42の熱伝導率を輻射材44よりも小さくできるとともに、輻射材44の熱輻射率を断熱材42よりも大きくできる形態であれば、断熱材42と輻射材44は、同材質であっても、異材質であってもよい。
また、壁面材3は、微粉末である輻射材5の材料を、断熱材4の材料にたいして練り込んで複合材料とした後、焼成等にて製作されたものでもよい。また、微粉末以外にも、断熱材4の材料にたいして練り込み可能な形態であるならば、微粉末以外の形態も使用できる。
他にも、輻射材5は、壁面材3の表面51に露出させることができる形態であれば、いかなる形態でもよい。
以下、実施例を用いて本発明をより具体的に説明する。図4(a)に、実施例の解析シミュレーション時における炉体温度および被加熱物である材料の温度変化を示す分布図、図4(b)に、図4(a)の拡大図を示す。加熱テストは、下記条件をインプットした解析シミュレーションにて実施した。
[使用炉]
下記炉体条件の加熱炉を使用した。
(炉体条件)N2ガス比率:1.25kg/m3、炉体内表面積(輻射面積):8.828m2/m、風速:2m/s、熱輻射率:0.75〜0.59(輻射材なしの場合)、0.9(輻射材有りの場合)。
下記炉体条件の加熱炉を使用した。
(炉体条件)N2ガス比率:1.25kg/m3、炉体内表面積(輻射面積):8.828m2/m、風速:2m/s、熱輻射率:0.75〜0.59(輻射材なしの場合)、0.9(輻射材有りの場合)。
[被加熱物]
下記条件の被加熱物を使用した。
(被加熱物の条件)材質:中炭素鋼(0.415%C)、受熱表面積(輻射時):5.75m2/m、熱輻射率:0.6、受熱表面積(対流時):1.535m2/m、重量:2222.22kg/m、移動速度:0m/s。
下記条件の被加熱物を使用した。
(被加熱物の条件)材質:中炭素鋼(0.415%C)、受熱表面積(輻射時):5.75m2/m、熱輻射率:0.6、受熱表面積(対流時):1.535m2/m、重量:2222.22kg/m、移動速度:0m/s。
[加熱方法]
加熱炉の炉体内に、被加熱物である中炭素鋼を載置後、輻射材有りおよび輻射材なしの場合について、それぞれ炉体の温度は400℃、中炭素鋼の温度は25℃から、加熱を開始した。中炭素鋼の加熱は、炉体の温度が760℃に到達した後、中炭素鋼の温度が759.9℃以上760℃未満になるまで実施した。
加熱炉の炉体内に、被加熱物である中炭素鋼を載置後、輻射材有りおよび輻射材なしの場合について、それぞれ炉体の温度は400℃、中炭素鋼の温度は25℃から、加熱を開始した。中炭素鋼の加熱は、炉体の温度が760℃に到達した後、中炭素鋼の温度が759.9℃以上760℃未満になるまで実施した。
[評価方法]
炉体の温度が400℃から760℃に加熱される際の中炭素鋼の昇温状態について、解析シミュレーションを実施した後、それぞれ、輻射材有りおよび輻射材なしの場合について、比較評価を実施した。
炉体の温度が400℃から760℃に加熱される際の中炭素鋼の昇温状態について、解析シミュレーションを実施した後、それぞれ、輻射材有りおよび輻射材なしの場合について、比較評価を実施した。
[評価結果]
図4(b)に示すように、輻射材を使用した場合には、輻射材を使用しない場合に比べて、材料の温度が750℃、および755℃に到達する時間が、それぞれ30分早くなるという結果が得られた。この結果から、輻射材を使用した場合は、被加熱物を、より早く輻射伝熱により加熱でき、被加熱物の昇温速度、および昇温効率を向上させることができるという検証が得られた。
図4(b)に示すように、輻射材を使用した場合には、輻射材を使用しない場合に比べて、材料の温度が750℃、および755℃に到達する時間が、それぞれ30分早くなるという結果が得られた。この結果から、輻射材を使用した場合は、被加熱物を、より早く輻射伝熱により加熱でき、被加熱物の昇温速度、および昇温効率を向上させることができるという検証が得られた。
以上、本発明の実施形態および実施例について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態および実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の改変が可能である。
1 熱処理炉
2 炉体
3、30、31、40 壁面材
4、42 断熱材
5、44、55、56 輻射材
11 ヒータ(熱源)
15 ピン(固定部材)
41、51 表面
50 表層
90 被加熱物
151 ナット(固定部材)
2 炉体
3、30、31、40 壁面材
4、42 断熱材
5、44、55、56 輻射材
11 ヒータ(熱源)
15 ピン(固定部材)
41、51 表面
50 表層
90 被加熱物
151 ナット(固定部材)
Claims (8)
- 被加熱物を加熱するための熱処理炉の内壁面に設置する壁面材であって、
前記壁面材は、断熱材、および輻射材を有し、
前記断熱材の材料は、前記輻射材の材料よりも断熱性が高い材料であり、
前記輻射材の材料は、前記断熱材の材料よりも熱輻射率が大きい材料であり、
前記輻射材は、前記壁面材の表面に露出していることを特徴とする壁面材。 - 前記断熱材の表面に、前記輻射材からなる表層が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の壁面材。
- 前記輻射材は、プレート状であり、前記断熱材の表面に設置されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の壁面材。
- 前記輻射材は、布状体であり、前記断熱材の表面を覆っていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の壁面材。
- 前記輻射材は、前記断熱材の表面に一体的に接合された層として形成されていることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の壁面材。
- 前記輻射材の材料は、炭化ケイ素であることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の壁面材。
- 炉内に被加熱物を収容することができる炉体と、
前記炉体の内壁面に設置される請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の壁面材と、
被加熱物を加熱する熱源と、
を有し、
前記被加熱物を加熱することを特徴とする熱処理炉。 - 前記壁面材は、別体として構成する前記断熱材、および前記輻射材が、前記炉体にたいして前記輻射材が前記炉内に面するように、共通の固定部材にて固定されていることを特徴とする請求項7に記載の熱処理炉。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016224657A JP2018080891A (ja) | 2016-11-18 | 2016-11-18 | 壁面材および熱処理炉 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016224657A JP2018080891A (ja) | 2016-11-18 | 2016-11-18 | 壁面材および熱処理炉 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018080891A true JP2018080891A (ja) | 2018-05-24 |
Family
ID=62197655
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016224657A Pending JP2018080891A (ja) | 2016-11-18 | 2016-11-18 | 壁面材および熱処理炉 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2018080891A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210069971A (ko) * | 2019-12-04 | 2021-06-14 | 주식회사 하이원시스 | 가열로 내벽에 설치되는 이너 플레이트 |
-
2016
- 2016-11-18 JP JP2016224657A patent/JP2018080891A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210069971A (ko) * | 2019-12-04 | 2021-06-14 | 주식회사 하이원시스 | 가열로 내벽에 설치되는 이너 플레이트 |
KR102267246B1 (ko) | 2019-12-04 | 2021-06-21 | 주식회사 하이원시스 | 가열로 내벽에 설치되는 이너 플레이트 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20100025394A1 (en) | Apparatus for heating moldings, in particular dental ceramic molding | |
JP2005506260A (ja) | 電磁エネルギーを用いるセラミック処理方法 | |
US20130213955A1 (en) | Apparatus For Heating Moldings | |
JPWO2017163986A1 (ja) | 放射装置及び放射装置を用いた処理装置 | |
JP2018080891A (ja) | 壁面材および熱処理炉 | |
JP4999422B2 (ja) | 連続式の熱処理方法及び連続式の熱処理炉 | |
JP2016126899A (ja) | ヒーターユニット及び浸炭炉 | |
US3314666A (en) | Fast fire tunnel kiln | |
JP2002048475A (ja) | 基板の熱処理方法及びそれに用いる連続式熱処理炉 | |
JP4982726B2 (ja) | 熱処理炉 | |
JPH01216522A (ja) | 半導体基板の熱処理方法及びそれに用いる熱処理装置 | |
US2097620A (en) | Method and apparatus for firing ceramic ware | |
CN113862451A (zh) | 燃气炉及燃气炉的使用方法 | |
JP3843030B2 (ja) | 高温焼成炉 | |
JP2009124005A (ja) | 均熱高速昇降炉 | |
US10947619B2 (en) | Processing arrangement and method for conditioning a processing arrangement | |
JP2005221135A (ja) | 焼成炉 | |
TW201221886A (en) | Substrate heating furnace | |
JP2003277157A (ja) | 焼成炉 | |
KR101358358B1 (ko) | 탈지 소결로 | |
JPH0533524U (ja) | 枚葉式cvd装置用ヒータ | |
US20220260314A1 (en) | Rapid Cooling Debinding and Sintering Furnace | |
JPH02192592A (ja) | 真空熱処理炉 | |
JP2004037044A (ja) | Fpd用真空加熱炉 | |
US1313985A (en) | Electric furnace |