JPH0676784A - イオン注入制御装置 - Google Patents
イオン注入制御装置Info
- Publication number
- JPH0676784A JPH0676784A JP4227372A JP22737292A JPH0676784A JP H0676784 A JPH0676784 A JP H0676784A JP 4227372 A JP4227372 A JP 4227372A JP 22737292 A JP22737292 A JP 22737292A JP H0676784 A JPH0676784 A JP H0676784A
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- JP
- Japan
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- communication
- operation data
- processing devices
- ion implantation
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 イオン注入制御装置は、動作データを送受信
する特殊コントローラ１やパーソナルコンピュータ４等
の処理装置が、処理装置からアクセス可能に動作データ
を記憶し、所定の通信規約に変換して動作データを送受
信する通信規約統合装置５を介して光ループバスの通信
形態に接続されたものである。 【効果】 光ループバスの通信形態に接続された各処理
装置が同一の通信規約によって動作データを送受信する
ようになっているため、各処理装置間における動作デー
タの送信から受信までの手順が簡単化され、全ての処理
装置間の通信が短時間で完了すると共に、処理装置の増
設および削除を通信規約統合装置５によって容易に行う
ことができる。
する特殊コントローラ１やパーソナルコンピュータ４等
の処理装置が、処理装置からアクセス可能に動作データ
を記憶し、所定の通信規約に変換して動作データを送受
信する通信規約統合装置５を介して光ループバスの通信
形態に接続されたものである。 【効果】 光ループバスの通信形態に接続された各処理
装置が同一の通信規約によって動作データを送受信する
ようになっているため、各処理装置間における動作デー
タの送信から受信までの手順が簡単化され、全ての処理
装置間の通信が短時間で完了すると共に、処理装置の増
設および削除を通信規約統合装置５によって容易に行う
ことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、イオン注入装置に装備
されたコントローラや端末装置を制御および監視するイ
オン注入制御装置に関するものであり、詳細には、各コ
ントローラや端末装置の動作データを各処理装置がリア
ルタイムに確認することができるイオン注入制御装置に
関するものである。
されたコントローラや端末装置を制御および監視するイ
オン注入制御装置に関するものであり、詳細には、各コ
ントローラや端末装置の動作データを各処理装置がリア
ルタイムに確認することができるイオン注入制御装置に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】イオン注入装置は、イオン源から引き出
されたイオンを質量分析器によって特定のイオン種から
なるイオンビームとし、このイオンビームをイオン照射
対象物へ照射することによってイオン照射対象物に不純
物を注入するものであり、不純物を均一に注入させるた
め、イオン注入制御装置によって注入状態が監視および
制御されるようになっている。
されたイオンを質量分析器によって特定のイオン種から
なるイオンビームとし、このイオンビームをイオン照射
対象物へ照射することによってイオン照射対象物に不純
物を注入するものであり、不純物を均一に注入させるた
め、イオン注入制御装置によって注入状態が監視および
制御されるようになっている。
【０００３】従来、上記のイオン注入制御装置は、図３
に示すように、各機器の動作状態を注入条件の変動に高
速に対応させて制御できることが望ましいため、所定の
仕事単位に機器を制御する特殊コントローラ５２および
入出力機器を制御する端末装置５３…を有しており、こ
れらの特殊コントローラ５２および端末装置５３…は、
メインコントローラ５１によって集中して管理されるよ
うになっている。
に示すように、各機器の動作状態を注入条件の変動に高
速に対応させて制御できることが望ましいため、所定の
仕事単位に機器を制御する特殊コントローラ５２および
入出力機器を制御する端末装置５３…を有しており、こ
れらの特殊コントローラ５２および端末装置５３…は、
メインコントローラ５１によって集中して管理されるよ
うになっている。
【０００４】この際、特殊コントローラ５２は、注入条
件等の比較的に変更の多い動作データを扱うことから、
動作データのデータ構成を容易に変更できるように、メ
インコントローラ５１との通信がＲＳ２３２Ｃ等の一般
的な通信規約を用いて行われるようになっている。一
方、端末装置５３…は、ＯＮ・ＯＦＦ情報等の比較的に
変更の少ない動作データを扱うことから、メインコント
ローラ５１との通信が例えば高速性を追求した特殊な通
信規約を用いて行われるようになっている。
件等の比較的に変更の多い動作データを扱うことから、
動作データのデータ構成を容易に変更できるように、メ
インコントローラ５１との通信がＲＳ２３２Ｃ等の一般
的な通信規約を用いて行われるようになっている。一
方、端末装置５３…は、ＯＮ・ＯＦＦ情報等の比較的に
変更の少ない動作データを扱うことから、メインコント
ローラ５１との通信が例えば高速性を追求した特殊な通
信規約を用いて行われるようになっている。
【０００５】また、イオン注入制御装置は、動作データ
を基に動作状況等を画面表示可能なパーソナルコンピュ
ータ５４も有しており、パーソナルコンピュータ５４
は、特殊コントローラ５２および端末装置５３…から動
作データを得るため、各動作データが集中するメインコ
ントローラ５１に接続されている。そして、このパーソ
ナルコンピュータ５４とメインコントローラ５１との通
信は、パーソナルコンピュータ５４が標準装備している
ＲＳ２３２Ｃ等の一般的な通信規約を用いて行われるよ
うになっている。
を基に動作状況等を画面表示可能なパーソナルコンピュ
ータ５４も有しており、パーソナルコンピュータ５４
は、特殊コントローラ５２および端末装置５３…から動
作データを得るため、各動作データが集中するメインコ
ントローラ５１に接続されている。そして、このパーソ
ナルコンピュータ５４とメインコントローラ５１との通
信は、パーソナルコンピュータ５４が標準装備している
ＲＳ２３２Ｃ等の一般的な通信規約を用いて行われるよ
うになっている。
【０００６】これにより、従来のイオン注入制御装置
は、装置や各装置間で送受信される動作データの特徴を
最も有効に利用した通信形態によって、動作データを送
受信するようになっているため、装置の改良や追加を容
易に行なえるようになっている。
は、装置や各装置間で送受信される動作データの特徴を
最も有効に利用した通信形態によって、動作データを送
受信するようになっているため、装置の改良や追加を容
易に行なえるようになっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のイオン注入制御装置では、動作データがメインコン
トローラ５１を中心として管理されていると共に、異な
る通信規約によって動作データが送受信されているた
め、下記の問題を有している。
来のイオン注入制御装置では、動作データがメインコン
トローラ５１を中心として管理されていると共に、異な
る通信規約によって動作データが送受信されているた
め、下記の問題を有している。
【０００８】即ち、従来のイオン注入制御装置は、例え
ば端末装置５３…の動作データをパーソナルコンピュー
タ５４に画面表示させる場合、端末装置５３…の動作デ
ータを入出力ユニット５５…を介してメインコントロー
ラ５１へ送信し、通信規約を変換した後、パーソナルコ
ンピュータ５４へ送信するという複雑な手順を要するこ
とになっている。従って、通信を行う装置間によって
は、通信に長時間を要することになっていると共に、通
信途中でノイズの発生率が高いものになっており、この
長時間を要する通信および高いノイズの発生率は、各機
器の動作状態を注入条件の変動に高速に対応させて正確
に制御できることが望ましいイオン注入制御装置にとっ
て大きな問題になっている。
ば端末装置５３…の動作データをパーソナルコンピュー
タ５４に画面表示させる場合、端末装置５３…の動作デ
ータを入出力ユニット５５…を介してメインコントロー
ラ５１へ送信し、通信規約を変換した後、パーソナルコ
ンピュータ５４へ送信するという複雑な手順を要するこ
とになっている。従って、通信を行う装置間によって
は、通信に長時間を要することになっていると共に、通
信途中でノイズの発生率が高いものになっており、この
長時間を要する通信および高いノイズの発生率は、各機
器の動作状態を注入条件の変動に高速に対応させて正確
に制御できることが望ましいイオン注入制御装置にとっ
て大きな問題になっている。
【０００９】従って、本発明においては、装置の改良や
追加を容易に行なえると共に、動作データの通信に要す
る時間を短縮することができるイオン注入制御装置を提
供することを目的としている。
追加を容易に行なえると共に、動作データの通信に要す
る時間を短縮することができるイオン注入制御装置を提
供することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明のイオン注入制御
装置は、上記課題を解決するために、動作データを送受
信する処理装置からなるものであり、下記の特徴を有し
ている。
装置は、上記課題を解決するために、動作データを送受
信する処理装置からなるものであり、下記の特徴を有し
ている。
【００１１】即ち、上記各処理装置は、処理装置からア
クセス可能に動作データを記憶するデータ共有メモリ
と、上記データ共有メモリの動作データを所定の通信規
約に変換して送受信するプロトコル変換部とを有した通
信規約統合装置を介して光ループバスの通信形態に接続
されていることを特徴としている。
クセス可能に動作データを記憶するデータ共有メモリ
と、上記データ共有メモリの動作データを所定の通信規
約に変換して送受信するプロトコル変換部とを有した通
信規約統合装置を介して光ループバスの通信形態に接続
されていることを特徴としている。
【００１２】
【作用】上記の構成によれば、イオン注入制御装置は、
光ループバスの通信形態に接続された各処理装置が同一
の通信規約によって動作データを送受信するようになっ
ているため、各処理装置間における動作データの送信か
ら受信までの手順が簡単化され、全ての処理装置間の通
信が短時間で完了することになっていると共に、パーソ
ナルコンピュータ等の処理装置の増設および削除を通信
規約統合装置によって容易に行うことが可能になってい
る。さらに、光ループバスを移動する動作データが光信
号の信号形態になっているため、ノイズの発生率を低減
させることも可能になっている。
光ループバスの通信形態に接続された各処理装置が同一
の通信規約によって動作データを送受信するようになっ
ているため、各処理装置間における動作データの送信か
ら受信までの手順が簡単化され、全ての処理装置間の通
信が短時間で完了することになっていると共に、パーソ
ナルコンピュータ等の処理装置の増設および削除を通信
規約統合装置によって容易に行うことが可能になってい
る。さらに、光ループバスを移動する動作データが光信
号の信号形態になっているため、ノイズの発生率を低減
させることも可能になっている。
【００１３】
【実施例】本発明の一実施例を図１および図２に基づい
て説明すれば、以下の通りである。
て説明すれば、以下の通りである。
【００１４】本実施例に係るイオン注入制御装置は、図
１に示すように、真空コントローラや加速コントロー
ラ、マスコントローラ等の特殊コントローラ１（処理装
置）と、電源のＯＮ・ＯＦＦ等を行う端末装置２…（処
理装置）と、上記の特殊コントローラ１および端末装置
２…を管理するメインコントローラ３（処理装置）と、
装置の動作状況等を表示可能なパーソナルコンピュータ
４（処理装置）とを有している。
１に示すように、真空コントローラや加速コントロー
ラ、マスコントローラ等の特殊コントローラ１（処理装
置）と、電源のＯＮ・ＯＦＦ等を行う端末装置２…（処
理装置）と、上記の特殊コントローラ１および端末装置
２…を管理するメインコントローラ３（処理装置）と、
装置の動作状況等を表示可能なパーソナルコンピュータ
４（処理装置）とを有している。
【００１５】上記の特殊コントローラ１およびパーソナ
ルコンピュータ４は、例えばＲＳ２３２Ｃ等の一般的な
通信規約に従って動作データを送受信するようになって
おり、端末装置２…は、例えば通信の高速性を追求した
特殊な通信規約に従って動作データを送受信するように
なっている。また、メインコントローラ３は、上記の特
殊コントローラ１やパーソナルコンピュータ４が有する
例えばＲＳ２３２Ｃ等の一般的な通信規約に従って動作
データを送受信するようになっていると共に、端末装置
２…が有する特殊な通信規約に従って動作データを送受
信するようになっている。
ルコンピュータ４は、例えばＲＳ２３２Ｃ等の一般的な
通信規約に従って動作データを送受信するようになって
おり、端末装置２…は、例えば通信の高速性を追求した
特殊な通信規約に従って動作データを送受信するように
なっている。また、メインコントローラ３は、上記の特
殊コントローラ１やパーソナルコンピュータ４が有する
例えばＲＳ２３２Ｃ等の一般的な通信規約に従って動作
データを送受信するようになっていると共に、端末装置
２…が有する特殊な通信規約に従って動作データを送受
信するようになっている。
【００１６】また、上記の特殊コントローラ１、メイン
コントローラ３、パーソナルコンピュータ４、および端
末装置２…には、ＣＰＵ−ＢＵＳに直結された外部拡張
バスが設けられており、この外部拡張バスには、図２に
示すように、通信規約統合装置５が接続されている。こ
の通信規約統合装置５は、データ共有メモリ５ａとプロ
トコル変換部５ｂと光／電気変換部５ｃとを有してお
り、データ共有メモリ５ａは、外部拡張バスを介して各
処理装置１・２・３・４のメモリの一部を構成し、各処
理装置１・２・３・４のＣＰＵによってアクセス可能に
なっていると共に、プロトコル変換部５ｂによってアク
セス可能になっている。
コントローラ３、パーソナルコンピュータ４、および端
末装置２…には、ＣＰＵ−ＢＵＳに直結された外部拡張
バスが設けられており、この外部拡張バスには、図２に
示すように、通信規約統合装置５が接続されている。こ
の通信規約統合装置５は、データ共有メモリ５ａとプロ
トコル変換部５ｂと光／電気変換部５ｃとを有してお
り、データ共有メモリ５ａは、外部拡張バスを介して各
処理装置１・２・３・４のメモリの一部を構成し、各処
理装置１・２・３・４のＣＰＵによってアクセス可能に
なっていると共に、プロトコル変換部５ｂによってアク
セス可能になっている。
【００１７】また、プロトコル変換部５ｂは、データ共
有メモリ５ａに記憶された動作データを通信規約統合装
置５の通信規約に変換して光／電気変換部５ｃに出力す
るようになっていると共に、光／電気変換部５ｃから通
信規約統合装置５の通信規約に従って入力された動作デ
ータをデータ共有メモリ部５ａに記憶させるようになっ
ている。そして、光／電気変換部５ｃは、光ファイバー
ケーブル等の通信ケーブル６を着脱可能になっていると
共に、光信号と電気信号との変換を行うようになってい
る。尚、通信規約統合装置５の通信規約には、例えば半
２重ビットシリアル方式（伝送フォーマットＨＤＬＣ）
が採用されている。
有メモリ５ａに記憶された動作データを通信規約統合装
置５の通信規約に変換して光／電気変換部５ｃに出力す
るようになっていると共に、光／電気変換部５ｃから通
信規約統合装置５の通信規約に従って入力された動作デ
ータをデータ共有メモリ部５ａに記憶させるようになっ
ている。そして、光／電気変換部５ｃは、光ファイバー
ケーブル等の通信ケーブル６を着脱可能になっていると
共に、光信号と電気信号との変換を行うようになってい
る。尚、通信規約統合装置５の通信規約には、例えば半
２重ビットシリアル方式（伝送フォーマットＨＤＬＣ）
が採用されている。
【００１８】上記の構成において、イオン注入制御装置
の動作について説明する。
の動作について説明する。
【００１９】先ず、通信規約統合装置５が各処理装置１
・２・３・４に設けられることになる。この後、通信規
約統合装置５の光／電気変換部５ｃに通信ケーブル６が
接続されることによって、図１に示すように、各処理装
置１・２・３・４が光ループバスの通信形態となるよう
に接続されることになる。
・２・３・４に設けられることになる。この後、通信規
約統合装置５の光／電気変換部５ｃに通信ケーブル６が
接続されることによって、図１に示すように、各処理装
置１・２・３・４が光ループバスの通信形態となるよう
に接続されることになる。
【００２０】次に、例えば特殊コントローラ１から動作
データが出力される場合、この動作データは、特殊コン
トローラ１の図示しないメモリから通信規約統合装置５
のデータ共有メモリ５ａに転送されることになる。そし
て、このデータ共有メモリ５ａに転送された動作データ
は、プロトコル変換部５ｂによって通信規約統合装置５
用の通信規約に変換された後、光／電気変換部５ｃに入
力され、この光／電気変換部５ｃによって電気信号から
光信号に変換されることになる。
データが出力される場合、この動作データは、特殊コン
トローラ１の図示しないメモリから通信規約統合装置５
のデータ共有メモリ５ａに転送されることになる。そし
て、このデータ共有メモリ５ａに転送された動作データ
は、プロトコル変換部５ｂによって通信規約統合装置５
用の通信規約に変換された後、光／電気変換部５ｃに入
力され、この光／電気変換部５ｃによって電気信号から
光信号に変換されることになる。
【００２１】光／電気変換部５ｃによって光信号に変換
された動作データは、通信ケーブル６を介して各処理装
置２・３・４に設けられた通信規約統合装置５の光／電
気変換部５ｃに入力されることになり、光／電気変換部
５ｃによって光信号から電気信号に変換された後、プロ
トコル変換部５ｂに入力されることになる。プロトコル
変換部５ｂは、通信規約統合装置５用の通信規約に従っ
たデータ群から動作データのみを取り出し、この動作デ
ータをデータ共有メモリ５ａに記憶させることになる。
そして、各処理装置２・３・４は、データ共有メモリ５
ａに記憶された動作データをそれぞれの動作に用いるこ
とになる。
された動作データは、通信ケーブル６を介して各処理装
置２・３・４に設けられた通信規約統合装置５の光／電
気変換部５ｃに入力されることになり、光／電気変換部
５ｃによって光信号から電気信号に変換された後、プロ
トコル変換部５ｂに入力されることになる。プロトコル
変換部５ｂは、通信規約統合装置５用の通信規約に従っ
たデータ群から動作データのみを取り出し、この動作デ
ータをデータ共有メモリ５ａに記憶させることになる。
そして、各処理装置２・３・４は、データ共有メモリ５
ａに記憶された動作データをそれぞれの動作に用いるこ
とになる。
【００２２】このように、本実施例のイオン注入制御装
置は、光ループバスの通信形態に接続された各処理装置
１・２・３・４が同一の通信規約によって動作データを
送受信するようになっているため、各処理装置１・２・
３・４間における動作データの送信から受信までの手順
が簡単化され、全ての処理装置１・２・３・４間の通信
が短時間で完了することになっている。また、このイオ
ン注入制御装置は、動作データを光信号の信号形態にし
て通信ケーブル６中を移動させるため、ノイズの発生率
が低減されたものになっている。
置は、光ループバスの通信形態に接続された各処理装置
１・２・３・４が同一の通信規約によって動作データを
送受信するようになっているため、各処理装置１・２・
３・４間における動作データの送信から受信までの手順
が簡単化され、全ての処理装置１・２・３・４間の通信
が短時間で完了することになっている。また、このイオ
ン注入制御装置は、動作データを光信号の信号形態にし
て通信ケーブル６中を移動させるため、ノイズの発生率
が低減されたものになっている。
【００２３】さらに、イオン注入制御装置は、各処理装
置１・２・３・４の外部拡張バスに接続された通信規約
統合装置５が動作データを所定の通信規約に統一して各
処理装置１・２・３・４に送信するようになっているた
め、異なる通信規約を有する処理装置１・２・３・４の
増設および削除を通信規約統合装置５と通信ケーブル６
とによって容易に行うことが可能になり、結果として装
置の改良等を容易に行うことが可能になっている。
置１・２・３・４の外部拡張バスに接続された通信規約
統合装置５が動作データを所定の通信規約に統一して各
処理装置１・２・３・４に送信するようになっているた
め、異なる通信規約を有する処理装置１・２・３・４の
増設および削除を通信規約統合装置５と通信ケーブル６
とによって容易に行うことが可能になり、結果として装
置の改良等を容易に行うことが可能になっている。
【００２４】
【発明の効果】本発明のイオン注入制御装置は、以上の
ように、処理装置からアクセス可能に動作データを記憶
するデータ共有メモリと、上記データ共有メモリの動作
データを所定の通信規約に変換して送受信するプロトコ
ル変換部とを有した通信規約統合装置を介して光ループ
バスの通信形態に接続されている構成である。
ように、処理装置からアクセス可能に動作データを記憶
するデータ共有メモリと、上記データ共有メモリの動作
データを所定の通信規約に変換して送受信するプロトコ
ル変換部とを有した通信規約統合装置を介して光ループ
バスの通信形態に接続されている構成である。
【００２５】これにより、光ループバスの通信形態に接
続された各処理装置が同一の通信規約によって動作デー
タを送受信するようになっているため、各処理装置間に
おける動作データの送信から受信までの手順が簡単化さ
れ、全ての処理装置間の通信が短時間で完了すると共
に、パーソナルコンピュータ等の処理装置の増設および
削除を通信規約統合装置によって容易に行うことが可能
である。また、光ループバスを移動する動作データが光
信号の信号形態になっているため、ノイズの発生率を低
減させることも可能であるという効果を奏する。
続された各処理装置が同一の通信規約によって動作デー
タを送受信するようになっているため、各処理装置間に
おける動作データの送信から受信までの手順が簡単化さ
れ、全ての処理装置間の通信が短時間で完了すると共
に、パーソナルコンピュータ等の処理装置の増設および
削除を通信規約統合装置によって容易に行うことが可能
である。また、光ループバスを移動する動作データが光
信号の信号形態になっているため、ノイズの発生率を低
減させることも可能であるという効果を奏する。
【図１】本発明のイオン注入制御装置のブロック図であ
る。
る。
【図２】通信規約統合装置のブロック図である。
【図３】従来例を示すものであり、イオン注入制御装置
のブロック図である。
のブロック図である。
１ 特殊コントローラ（処理装置） ２ 端末装置（処理装置） ３ メインコントローラ（処理装置） ４ パーソナルコンピュータ（処理装置） ５ 通信規約統合装置 ６ 通信ケーブル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/265 Ｈ０４Ｂ 10/20
Claims (1)
- 【請求項１】動作データを送受信する処理装置からなる
イオン注入制御装置において、 上記各処理装置は、処理装置からアクセス可能に動作デ
ータを記憶するデータ共有メモリと、上記データ共有メ
モリの動作データを所定の通信規約に変換して送受信す
るプロトコル変換部とを有した通信規約統合装置を介し
て光ループバスの通信形態に接続されていることを特徴
とするイオン注入制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4227372A JPH0676784A (ja) | 1992-08-26 | 1992-08-26 | イオン注入制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4227372A JPH0676784A (ja) | 1992-08-26 | 1992-08-26 | イオン注入制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0676784A true JPH0676784A (ja) | 1994-03-18 |
Family
ID=16859777
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4227372A Pending JPH0676784A (ja) | 1992-08-26 | 1992-08-26 | イオン注入制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0676784A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000028572A1 (fr) * | 1998-11-05 | 2000-05-18 | Seiko Instruments Inc. | Appareil pour produire un faisceau de particules chargees |
| JP2010534385A (ja) * | 2007-06-29 | 2010-11-04 | ラム リサーチ コーポレーション | 電源供給を局所化する分散型電源装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5974749A (ja) * | 1982-10-22 | 1984-04-27 | Nec Corp | リングバスのプロトコル変換方式 |
| JPS62126536A (ja) * | 1985-11-27 | 1987-06-08 | Nissin Electric Co Ltd | イオン注入装置用制御装置 |
-
1992
- 1992-08-26 JP JP4227372A patent/JPH0676784A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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|---|---|---|---|---|
| JPS5974749A (ja) * | 1982-10-22 | 1984-04-27 | Nec Corp | リングバスのプロトコル変換方式 |
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| JP2015092483A (ja) * | 2007-06-29 | 2015-05-14 | ラム リサーチ コーポレーションＬａｍ Ｒｅｓｅａｒｃｈ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ | 電源供給を局所化する分散型電源装置 |
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