JPH0670912B2 - ブラウン管メタルバック蒸着用ヒーターコイルおよびブラウン管の製造方法 - Google Patents

ブラウン管メタルバック蒸着用ヒーターコイルおよびブラウン管の製造方法

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JPH0670912B2
JPH0670912B2 JP59135102A JP13510284A JPH0670912B2 JP H0670912 B2 JPH0670912 B2 JP H0670912B2 JP 59135102 A JP59135102 A JP 59135102A JP 13510284 A JP13510284 A JP 13510284A JP H0670912 B2 JPH0670912 B2 JP H0670912B2
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vapor deposition
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metal back
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博 高倉
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Hitachi Ltd
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14—Metallic material, boron or silicon

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
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  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Resistance Heating (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、ブラウン管パネル螢光面のメタルバツク蒸
着、とくにAl蒸着に用いる蒸着用ヒータコイルおよびこ
の蒸着ヒータを用いたブラウン管製造方法に関するもの
である。
〔発明の背景〕
一般にブラウン管の螢光面にメタルバツクのAl膜を形成
するためには、例えば実公昭53-30218号公報に示すよう
な蒸着装置を用い、ヒータコイルにて蒸着用Alを加熱
し、これによつてAlを蒸発させ蒸着膜を形成している。
従来この蒸着用ヒータコイルとしては、その素材である
タングステンは繊維組織の状態で使用していたので、ヒ
ータコイル製作時に発生する残留歪、Al耐蝕性の悪さに
よる素線径の細り等のために短寿命であつた。
〔発明の目的〕
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、そ
の目的とするところは、ヒータコイル製作時に発生する
残留歪を除去するとともにAl耐蝕性を向上させることに
より、長寿命化された蒸着用ヒータコイルおよびこの蒸
着ヒータを用いたブラウン管製造方法を提供することに
ある。
〔発明の概要〕
このような目的を達成するために本発明は、整形後の蒸
着用ヒータコイルの素材であるタングステンの組織を線
軸方向に細長く伸びた結晶粒が支配的である再結晶組織
とするものである。
〔発明の実施例〕
ブラウン管パネル螢光面のAl蒸着用によく使用される蒸
着用ヒータコイルを第１図（ａ）に、その一部を拡大し
た状態を第１図（ｂ）にそれぞれ示す。
次に蒸着用ヒータコイルの形状について第１図（ａ）を
用いて説明する。同図において右方からリード部1aとし
て延びて来たタングステン線は、中央付近で下方に向つ
て狭まりながら円錐状に巻かれ円錐の頂点に達すると今
度は上方に向かつて広がりながら円錐状に巻かれてコイ
ル部1bとなり、円錐の底面（上面）に達すると左方へリ
ード部1cとして延びて形成される。
つまり、この蒸着用ヒータコイルのコイル部1bはAlペレ
ツトが入るように円錐状になつている。
本発明に係わる蒸着用ヒータコイルは、素材であるタン
グステンを第２図に示すような線軸方向に細長く伸びた
結晶粒が支配的である再結晶組織としたものであり、こ
れにより素線及びヒータコイル製作時の残留歪が除去さ
れて耐変形性が向上し、また結晶の成長により粒界が減
少したための効果と考えられるAl耐蝕性の向上効果も得
ることが出来る。
実験の結果、このような蒸着用ヒータコイルは従来のも
のに比して寿命が、30％〜70％向上することが確認され
た。
尚、この実施例は、一形状について示したものである
が、その他形状の蒸着用ヒータコイルについても同様な
効果が得られる。
本実施例の蒸着用ヒータコイルの再結晶組織化は、H2雰
囲気炉を使用し1800℃×70分処理をする事により十分な
再結晶組織が得られる。この再結晶組織化は、真空炉あ
るいは、プラズマ，レーザ，電子ビーム等により超高温
加熱（1500〜3000℃）により行なつてもよい。
〔発明の効果〕
このように本発明は、整形後の蒸着用ヒータコイルの素
材であるタングステンを線軸方向に細長く伸びた結晶粒
が支配的である再結晶組織としたので、残留歪の除去に
より耐変形例を向上させ、また結晶の成長により粒界が
減少したための効果と考えられるAl耐蝕性の向上効果も
得ることが出来る。またこのことにより蒸着用ヒータコ
イルの寿命を決定する変形及び素線径の細りを減少させ
ることができるので、蒸着用ヒータコイルを長寿命なも
のとすることができる。
【図面の簡単な説明】
第１図（ａ）は蒸着用ヒータコイルの一例を示す外観
図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）のＡ部拡大図、第２図
はタングステンの再結晶組織図である。 1a,1c……リード部、1b……コイル部。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】整形後、線軸方向に細長く伸びた結晶粒が
    支配的になるように再結晶組織化されたタングステンか
    らなることを特徴とするブラウン管メタルバック蒸着用
    ヒーターコイル。
  2. 【請求項２】素材であるタングステンを蒸着用ヒーター
    に整形した後、加熱により線軸方向に細長く伸びた結晶
    粒が支配的である再結晶組織としたことを特徴とする蒸
    着用ヒーターをメタルバック工程に用いたことを特徴と
    するブラウン管の製造方法。
JP59135102A 1984-07-02 1984-07-02 ブラウン管メタルバック蒸着用ヒーターコイルおよびブラウン管の製造方法 Expired - Lifetime JPH0670912B2 (ja)

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