JPS6115963A - ブラウン管メタルバツク蒸着用ヒ−タコイル - Google Patents

ブラウン管メタルバツク蒸着用ヒ−タコイル

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JPS6115963A
JPS6115963A JP13510284A JP13510284A JPS6115963A JP S6115963 A JPS6115963 A JP S6115963A JP 13510284 A JP13510284 A JP 13510284A JP 13510284 A JP13510284 A JP 13510284A JP S6115963 A JPS6115963 A JP S6115963A
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JP
Japan
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vapor deposition
heater coil
cathode ray
ray tube
metal back
Prior art date
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Application number
JP13510284A
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English (en)
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JPH0670912B2 (ja
Inventor
Hiroshi Takakura
博 高倉
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14—Metallic material, boron or silicon

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、ブラウン管パネル螢光面のメタルバック蒸着
、とくにＡノ蒸着に用いる蒸着用ヒータコイルに関する
ものである。
〔発明の背景〕
一般にブラウン管の螢光面にメタルバックのＭ膜を形成
するためには、例えば実公昭５３−３０２１８号公報に
示すような蒸着装置を用い、ヒータコイルにて蒸着用Ａ
Ｊを加熱し、これによってＡノを蒸発畜せ蒸着膜を形成
している。従来この蒸着用ヒータコイルとしては、その
素材であるタングステンは繊維組織の状態で使用してい
たので、ヒータコイル製作時に発生する残留歪１人！耐
蝕性の悪さによる素線径の細シ等のために短寿命であっ
た。
〔発明の目的〕
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであシ、そ
の目的とするところは、ヒ゛−）コイル製作時に発生す
る残留歪を除去するとともにＡＪ耐蝕性を向上させるこ
とによ）、長寿命化された蒸着用ヒータコイルを提供す
ることにある。
〔発明の概要〕
このような目的を達成するために本発明は、蒸着用ヒー
タコイルの素材であるタングステンの組織を再結晶組織
とするものである。
〔発明の実施例〕
ブラウン管パネル螢光面のＡノ蒸着用によく使用される
蒸着用ヒータコイルを第１図（ａ）に、その一部を拡大
した状態を第１図伽）にそれぞれ示す。
次に蒸着用ヒータコイルの形状について第１図（ａ）ｔ
−用いて説明する。同図において右方からリード部１ａ
として延びて来たタングステン線は、中夫付近で下方に
向かって狭ま）ながら円錐状に巻かれ円錐の頂点に達す
ると今度は上方に向かって広がシながら円錐状に巻かれ
てコイル部１ｂとなシ、円錐の底面（上面）に達すると
左方へリード部１ｃとして延びて形成される。
つま夛、この蒸着用ヒータコイルのコイル部１ｂはＡ７
ペレツトが入るように円錐状按なっている。
本発明に係わる蒸着用ヒータコイルは、素材であるタン
グステンを第２図に示すような再結晶組織としたもので
あシ、これによ多素線及びヒータコイル製作時の残留歪
が除去されて耐変形性が向上し、また結晶の粗大化によ
、９Ａノ耐蝕性も向上させることができる。
実験の結果、このような蒸着用ヒータコイルは従来のも
のに比して寿命が、３０％〜７０％向上することが確認
された。
尚、この実施例は、−形状について示したものであるが
、その細形状の蒸着用ヒータコイルについても同様な効
果が得られる。
本実施例の蒸着用ヒータコイルの再結晶組織化は、Ｈｓ
雰囲気炉を使用し１８００℃ｘ７０分処理をする事によ
シ十分な再結晶組織が得られる。この再結晶組織化は、
真空炉あるいは、プラズマ、レーザ、電子ビーム等によ
シ超高温加熱（１５００〜３０００℃）によル行なって
もよい。
〔発明の効果〕
このように本発明は、蒸着用ヒータコイルの素材である
タングステンを再結晶組織としたので、残留歪の除去に
よシ討変形性を向上させ、また結晶の粗大化によルＡｌ
耐蝕性を向上させることができる。またこのことＫよ）
蒸着用ヒータコイルの寿命を決定する変形及び素線径の
細シを減少させることができるので、蒸着用ヒータコイ
ルを長寿命なものとすることができる。
【図面の簡単な説明】
第１ｆｉ９（ａ）は蒸着用ヒータコイルの一例を示す外
観図、第１図（ロ）は第１図（荀のＡ部拡大図、第２図
はタングステンの再結晶組織図である。 ＩＪＩ、ＩＣＩＩＩ譬・リード部、１ｂｍｅｌＩｍコイ
ル部。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 素材であるタングステンを再結晶組織としたことを特徴
    とするブラウン管メタルバツク蒸着用ヒータコイル。
JP59135102A 1984-07-02 1984-07-02 ブラウン管メタルバック蒸着用ヒーターコイルおよびブラウン管の製造方法 Expired - Lifetime JPH0670912B2 (ja)

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WO2017010243A1 (ja) * 2015-07-15 2017-01-19 アイシン精機株式会社 蒸着装置

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