JPH0760639B2 - マグネトロンの陰極構体 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明はマグネトロンの陰極構体に係わり、特にフイラ
メントの上下端を支持する上エンドシールドおよびこの
エンドシールド上に固着配置されるゲツタの構造に関す
るものである。

〔発明の背景〕

第１図は従来のマグネトロンの陰極構体の一例を示す断
面図である。同図において、１は熱電子を放射するらせ
ん状のフイラメント、２はこのフイラメント１の上端部
を保持する上エンドシールド、３はこのフイラメント１
の下端部を支持する下エンドシールド、3aは下エンドシ
ールド３の中空孔、４は上エンドシールド２を支持しか
つフイラメント１に所定の電力を通電するリードを兼ね
備えたセンターサポート、５は下エンドシールド３を支
持しかつフイラメント１に所定の電力を通電するリード
を兼ね備えたサイドサポート、６は上エンドシールド２
および下エンドシールド３の上面に溶接固定されたゲツ
タである。

このように構成されるマグネトロンの陰極構体は、前記
フイラメント１は通常のトリウム−タングステン線など
により形成され、またゲツタ６はジルコニウムまたはチ
タニウムなどの金属により形成され、さらに上エンドシ
ールド2,下エンドシールド3,センターサポート４および
サイドサポート５はモリブデンまたはタングステンなど
の高融点金属により形成されている。そして、フイラメ
ント１の両端部と上エンドシールド2,下エンドシールド
３との接合部および上エンドシールド２とセンターサポ
ートとの接合部並びに下エンドシールド３とサイドサポ
ート５との接合部はルテニウムとモリブデンとの共晶合
金ろう材７により接着固定されて電気的，機械的に結合
されている。

なお、このような陰極構体は、例えば特開昭57−36752
号公報に詳記されている。

しかしながら、このように構成されるマグネトロンの陰
極構体は次に説明するように種々の問題点を包含してい
ることがわかつた。すわわち、 （１）ゲツタ６の形状が中央部に小さな開口を有するの
みの厚さ約0.05mm程度の円板状薄板で形成されているた
め、変形しやすく、プレス成形後の洗浄，熱処理または
ハンドリング等により形状に反りが発生する。

（２）上エンドシールド２とゲツタ６とを点溶接する
際、前述したようにゲツタ６の反りが大きいため、上エ
ンドシールド２とゲツタ６との間に溶接の浮きが発生し
やすくなり、またゲツタ６に反りがあるために溶接作業
がやり難くなる。

（３）上エンドシールド２とゲツタ６との溶接点以外の
個所にゲツタ６の浮きが発生することによるマグネトロ
ン動作時の上エンドシールド２からゲツタ６への熱伝達
の差により、ゲツタ６の温度むらが発生し、ゲツタ６の
ガス吸収効果にむらが発生するとともにゲツタ６がガス
分子と反応する速度を低下させ、また上エンドシールド
２とゲツタ６との接触部の相互拡散等のむらにより、ゲ
ツタ６が著しく変形し、部分的に上エンドシールド２か
ら剥れることもある。

（４）ゲツタ６をプレス成形後、洗浄する段階で積み重
ねによる各ゲツタ６の相互間の密着現象が生じ、洗浄時
の油除却能力が低下する。また、その後の熱処理でゲツ
タ６の相互間の密着現象がより進展し、溶接作業でのゲ
ツタ６の供給が極めて困難となるとともに、この場合に
強制的に供給されると、ゲツタ６の形状が大きく変形す
ることにもなる。

以上説明したように従来の陰極構体においては、マグネ
トロンの寿命劣化が大きくなり、また組立作業性が悪い
という問題があつた。

〔発明の目的〕

したがつて本発明は、前述した従来の問題に鑑みてなさ
れたものであり、その目的とするところは、ゲツタの形
状変形の発生を防止し、寿命安定性および組立作業性の
高いマグネトロンの陰極構体を提供することにある。

〔発明の概要〕

このような目的を達成するために本発明は、上エンドシ
ールドを平面部と傾斜部とからなるほぼ傘形状に形成す
るとともに、この上エンドシールド上に配設するゲツタ
をこの上エンドシールドの形状とほぼ一致する平面部と
傾斜部とを有する傘形形状をもたせて構成したものであ
る。

すなわち、マグネトロンの陰極構体は、上エンドシール
ドおよび下エンドシールドの両者に対してゲツタの変形
が問題となるが、下エンドシールド上のゲツタは構造上
温度が低くなる関係で使用中に著しく変形したり、脱落
に到る可能性は少なく、大部分は上エンドシールド上の
ゲツタが問題となる。したがつて本発明は、上エンドシ
ールドとその上面に設けるゲツタとを形状に工夫を加え
て寿命安定性および組立作業性の高いマグネトロンの陰
極構体を実現可能にするものである。

〔発明の実施例〕

次に図面を用いて本発明の実施例を詳細に説明する。

第２図は本発明によるマグネトロンの陰極構体の一例を
示す断面図であり、第１図と同一部分は同一符号を付し
てある。同図において、モリブデンまたはタングステン
などの高融点金属により形成された上エンドシールド
２′は、平坦部2aと傾斜部2bとからなるほぼ傘形状を有
して形成されており、この傘形状の上エンドシールド
２′の上面には、この傘形形状にほぼ一致した傘形形状
を有しかつ中心部にセンターサポート４の先端部を貫通
させるバーリング穴6aを有するゲツタ６′が溶接固定さ
れている。

このような構成によれば、上エンドシールド２′を平坦
部2aと傾斜部2bとからなるほぼ傘形状に形成するととも
に、この上エンドシールド２′上に設けるゲツタ６′を
同等の傘形形状を有しかつ中央部にバーリング穴6aを設
けた構成とすることにより、ゲツタ６′の全体強度が増
大するとともにゲツタ６′の表面が増大して大きなゲツ
タ効果が得られる。即ち、ゲッタをプレス成形で傘形状
のような立体構造とすることにより、ゲッタ全体が補強
されることになり、平坦部の反り、つまり初期的変形が
生じにくくなり、ゲッタ全体の寸法形状の精度が向上す
る。また、ゲッタ６′を傘形状とし、かつ中央部にバー
リング穴6aを設けたことにより、傘形状の軸方向に積み
重ねても、ゲッタ６′の平面部同士が密着することがで
きなくなり、ゲッタ６′のプレス工程から洗浄工程等に
おいてゲッタ６′同士がくっつき合うような現象を生じ
なくなり、洗浄効果を向上させることができるととも
に、均一な洗浄が可能となる。また、ゲッタが立体形状
に成形されているため機械的に補強された形状となって
いることから、ゲッタ複数個を熱処理する工程において
も、ゲッタを積み重ねた時のゲッタの重みによるゲッタ
の変形が生じにくく、また熱処理炉中でゲッタ同士が広
い面積で接触する状態にはならない。従って、従来の平
板状ゲッタのように熱処理によってゲッタ同士がくっつ
き合って離れない状態にはならないため、ゲッタ同士を
剥がすときの変形もなく、剥がす手間も掛からなくな
り、その後の溶接作業へのゲツタ６′の供給が極めて容
易となる。さらには溶接時の上エンドシールド２′とゲ
ッタ６′との浮きについては、プレス絞り工程によりゲ
ッタの平坦部の反りや変形や少なくなり、ゲッタ傾斜部
も含め全体の形状が上エンドシールド形状とほぼ一致し
ていることにより、上エンドシールドに対するゲッタの
密着性が良くなり、浮きの少ない溶接状態が得られる。
このためゲッタの場所による温度差やガス吸収性の差を
減らす結果となり、マグネトロン使用時のゲツタ６′の
変形による不良発生も極めて少なくなる。

〔発明の効果〕 以上説明したように本発明によれば、ゲツタを上エンド
シールドの外形形状とほぼ一致する傘形状で構成したこ
とにより、変形が少なく、かつ洗浄性，溶接性が良好と
なるので、寿命安定性および組立作業性の高いマグネト
ロンが得られるという極めて優れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のマグネトロンの陰極構体の一例を示す断
面図、第２図は本発明によるマグネトロンの陰極構体の
一例を示す断面図である。 １……フイラメント、２′……上エンドシールド、2a…
…平坦部、2b……傾斜部、３……下エンドシールド、3a
……中空穴、４……センターサポート、５……サイドサ
ポート、６′……ゲツタ、6a……バーリング穴、７……
共晶合金ろう材。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】センターサポートの軸まわりにらせん状に
   巻設されたフィラメントの上下端をそれぞれ支持する
   上，下エンドシールドと、上エンドシールドの上面に固
   着されたゲッタとを少なくとも備えたマグネトロンの陰
   極構体において、前記上エンドシールドは平坦部と傾斜
   部とを有する傘形状に形成するとともに、前記ゲッタは
   前記センターサポートの先端部を貫通し得る中心部にバ
   ーリング穴を有し、かつ前記上エンドシールドの形状と
   ほぼ一致する平坦部と傾斜部とを有する傘形状に形成し
   たことを特徴とするマグネトロンの陰極構体。