JPS62294165A - 蒸着用タングステンヒ−タボ−ト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 〔産業上の利用分野〕 本発明は、アルミ（以下、Ａｔと称す）の蒸着に用層ら
れる蒸着用タングステンヒータボートに関し、特に、長
寿命の蒸着用タングステンヒータに関する。

〔従来の技術〕

ブラウン管のノ譬ネル螢光面、レーデ−ディスクの表面
のメタルバックには、　ｋｔ膜が蒸着して形成されてい
る。

斯かるＡｔ膜の蒸着形成は、蒸着用Ａｔを入れ植着用タ
ングステンヒータボートを通電加熱して。

蒸着用Ａｔを蒸発させる真空蒸着装置によって形成され
る。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところが、第４図に示すとおり、従来の蒸着用タングス
テンヒータボートに使用されるタングステンは、その組
織が残留歪の多い繊維組織から成っているため、タング
ステン板の圧延時及びヒータボート作成時に内部残留歪
を生じ易く９通電加熱時のヒータテートの高温変形・垂
下環を起こす欠点があった。

さらに、繊維組織のタングステンでは、その結晶粒子の
境界が多いため、　ｋｔの、腐蝕を被り易く。

その結果、ヒータホードの板厚を細らせ、ヒータコート
の使用頻度を低減させる欠点があった。

そこで９本発明の目的は、上記欠点に鑑み、残留歪が低
く、且つｗ　ｋｌの腐蝕に強いタングステンの組織から
なる蒸着用タングステンヒータボートを提供することで
ある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明によれば、タングステンからなる蒸着用タングス
テンヒータヒートにおいて、前記タングステンの組織は
、再結晶組織からなることを特徴とする蒸着用タングス
テンヒータボートが得られる。

さらに、タングステンの再結晶組織は９重量比で５〜１
００　ｐｐｍのカリウムをドープしていることを特徴と
する蒸着用タングステンヒータボートが得られる。

〔実施例〕

本発明の実施例を図面を参照して説明する。

まず２通常の粉末冶金法により２重量比で０゜５　、５
０　＋　１００　ｐｐｍのカリウムをドープした種種の
タングステンインゴット（厚みｔ　１５　ｘａ　）を用
意した。このタングステンインゴットヲ熱間圧延及び温
間圧延にて０．５膿の板厚に作成した。このとき、タン
グステンの再結晶を防止するためンζ。

その加工率の増加に従って、加熱温度を約１５ｏｏ℃か
ら約４００℃に減少させた。さらに、タングステンの板
は、斯かる加工率の増加に従って、加工硬化を被）、板
の圧延割れを生じる場合があるため２通常の歪取りアニ
ーリングを数回（１１００１：Ｘ６０分）くシ返して、
弯の圧延割れ防止を施した。

第１図に示すとおり、上述のようにして得たタングステ
ン板ｌを、深絞シ成型加を施して、蒸着用タングステン
ヒーター（−トに仕上ケタ。

その後、斯かるヒータコートを、水素雰囲気炉にて、１
８００℃×６０分で再結晶処理を施した。

次に９本発明の実施例である再結晶処理を施しだヒータ
サートと、未処理のヒータコートとを。

それぞれ添加するカリウムの重量比を変えて、その寿命
の程度と高温変形の有無について蒸着実験を行った。

尚、蒸着実験は、第２図に示すとおシ、ヒータゴー）Ｉ
Ｋ被蒸着物であるｌｏｇのＡｔ板２を入れ。

ヒータコート１の両端を真空蒸着装置のヒータ部の電極
３９．￥に各々取り付け、真空度ｌＸｌ０−’Ｔｏｒｒ
にて、１８００℃で保持時間１０秒の通電加熱によるＡ
ｔ蒸着をくり返すものである。

ヒータコートの寿命は、０５間の板厚のタングステン板
にＡｔの腐蝕による穴が明き、使用不能になる迄の尼蒸
着の回数である。

ヒータヒートの変形の有無は、その寿命の尽きた時の、
ボート自身の垂下又はねじれの有無である。

表−１に、上述の蒸着実験による再結晶処理を施したホ
・−トと未処理のものとの比較の結果を示す。

再結晶処理を施した方が、未処理のものに比べ。

寿命が約３倍も向上し変形も無いことが認められ。

しかも、カリウムをドープした場合は、変形することな
く、更に寿命を向上させることが認められた。

このことは、第３図（、）及び（ｂ）に示すとおり、再
結晶処理を施したホードのタングステンの再結晶組織が
、カリウムのドープ量の増加に従がって。

その再結晶粒の粒度が更に大きく成長するため。

例えば、白熱球のタングステンフィラメントのように、
耐垂下構造を形成するからである。

尚、第４図に示すとおり、繊維組織を呈する未処理のボ
ートのタングステンは、カリウムをド一ゾしても、その
に−ｆ量に対し顕著な差違は認められなかった。

ここで、再結晶処理には、水素雰囲気炉を使用したが、
高周波炉、エレクトロンビーム、プラズマアーク及びレ
ーデ等を用いて高温加熱（１０００℃〜３０００℃）し
てもよい。

また、カリウムのドープ量を、最大値１００　ｐｐｍと
しだのはｅ　１００　ｐｐｍを越えると、圧延時の割れ
が発生し１歩留シが著しく低下するからである。

尚、実施例のヒータボートの形状は、その−形状を示し
たものであって、他の形状であっても同様な効果が得ら
れる。

〔本発明の効果〕

以上の説明から分かるとおり１本発明によれば。

蒸着用タングステンヒータボートのタングステンの組織
を、再結晶組織とすることにより、結晶粒の粒度を大き
くシ、その境界を少なくすることができるから、　Ａｔ
の腐蝕を防ぐことができる。しかも。

デートのタングステンの組織を、繊維組織から再結晶組
織にすることによシ、耐垂下構造を形成するため、物理
強度を高め変形を無くすことができる。

また、カリウムをタングステンにドープすることによシ
、上述の効果をさらに向上させることができる。

従って、長寿命の蒸着用タングステンヒータボートを提
供することができる。

以下余日

【図面の簡単な説明】

第１図は１本発明に係る蒸着用タングステンヒータテー
トの斜視図、第２図は蒸着実験の既略図。 第３図は再結晶処理を施した蒸着用タングステンヒータ
ヒートのタングステン組織の断面図であって、（ａ）は
カリウムをドープしていない場合、（ｂ）はカリウムを
１００　ｐｐｍ　ト’−ゾした場合の断面図。 第４図は、未処理の蒸着用タングステンヒータボートの
タングステン組織の断面図である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、タングステンからなる蒸着用タングステンヒータボ
   ートにおいて、前記タングステンの組織は、再結晶組織
   からなることを特徴とする蒸着用タングステンヒータボ
   ート。 ２、特許請求の範囲第１項記載の蒸着用タングステンヒ
   ータボートにおいて、タングステンの再結晶組織は、重
   量比で５〜１００ｐｐｍのカリウムをドープしているこ
   とを特徴とする蒸着用タングステンヒータボート。