CN108203314A - 蒸发舟的高温纳米保护涂层及制备工艺及对应蒸发舟 - Google Patents

蒸发舟的高温纳米保护涂层及制备工艺及对应蒸发舟 Download PDF

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Abstract

本发明提出了一种蒸发舟的高温纳米保护涂层,包括如下组分:纳米材料10~15份,所述纳米材料的级数为10~100nm;树脂材料10~30份;溶剂材料30~60份。本发明在蒸发舟上涂覆有一多层结构的复合涂层,防止金属溶液滴落对冲击钼舟或钨舟底部,造成的变形或形成凹坑,同时可以防止金属溶液腐蚀舟体,延长蒸发舟的寿命。

Description

蒸发舟的高温纳米保护涂层及制备工艺及对应蒸发舟
技术领域
本发明涉及蒸发舟领域,特别是指一种蒸发舟的保护涂层。
背景技术
蒸发舟为所有蒸发器皿的统称。蒸发舟为所有蒸发器皿的统称。根据使用用途的不同,其成分配方也不一样。所涉及到的材料有氮化硼,二硼化钛,氮化铝,氧化铝,氧化锆,碳化硅,氮化硅等多种金属非金属化合物。
目前,真空蒸镀经常采用钼舟或钨舟,在镀高熔点金属时,存在着如下缺点:送丝时,金属溶液滴落对冲击钼舟或钨舟底部,造成变形或形成凹坑。
发明内容
本发明提出一种蒸发舟的高温纳米保护涂层及制备工艺及对应蒸发舟,解决了现有技术中的问题。
本发明的技术方案是这样实现的:
蒸发舟的高温纳米保护涂层,其特征在于,包括如下组分:
纳米材料10~15份,所述纳米材料的级数为10~100nm;
树脂材料10~30份;
溶剂材料30~60份。
作为本发明的优选方案,所述纳米材料包括前置材料和后置材料,其中0.5≤前置材料/后置材料≤2。
作为本发明的优选方案,所述前置材料为硼粉、固体碳和碳化钼中的一种或多种。
作为本发明的优选方案,所述后置材料为锆粉、钨粉、钼粉和碳化钼中的一种或多种。
作为本发明的优选方案,所述树脂材料为酚醛树脂。
作为本发明的优选方案,将树脂材料替换成3~15份的金属粉末。
作为本发明的优选方案,所述溶剂材料为酮类溶剂和水中的一种或两种。
一种蒸发舟的高温纳米保护涂层的制备工艺,采用权利要求1中的材料配方,具体工艺如下:
(1)将纳米材料研磨并混合均匀;
(2)向步骤(1)中的材料内添加竖直材料和溶剂材料并混合球磨得到泥浆;
(3)将步骤(2)中的泥浆均匀地涂刷与蒸发舟舟体;
(4)将步骤(3)中的舟体在气氛保护下反应烧结。
蒸发舟,采用上述配方及工艺方法涂覆涂层,包括容置槽(1),所述容置槽两端连接有连接板(2),所述连接板(2)外侧设有延伸支架板(3)。
有益效果:
本发明提出了一种蒸发舟的高温纳米保护涂层,包括如下组分:纳米材料10~15份,所述纳米材料的级数为10~100nm;树脂材料10~30份;溶剂材料30~60份。本发明在蒸发舟上涂覆有一多层结构的复合涂层,防止金属溶液滴落对冲击钼舟或钨舟底部,造成的变形或形成凹坑,同时可以防止金属溶液腐蚀舟体,延长蒸发舟的寿命。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明立体结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
实施例1
蒸发舟的高温纳米保护涂层,包括如下组分:
纳米材料10~15份,所述纳米材料的级数为10~100nm;
树脂材料10~30份;
溶剂材料30~60份。
纳米材料包括前置材料和后置材料,其中0.5≤前置材料/后置材料≤2。
一种蒸发舟的高温纳米保护涂层的制备工艺,采用上述材料配方,具体工艺如下:
(1)将纳米材料研磨并混合均匀;
(2)向步骤(1)中的材料内添加竖直材料和溶剂材料并混合球磨得到泥浆;
(3)将步骤(2)中的泥浆均匀地涂刷与蒸发舟舟体;
(4)将步骤(3)中的舟体在气氛保护下反应烧结。采用上述配方及工艺方法涂覆涂层,包括容置槽1,容置槽两端连接有连接板2,连接板2外侧设有延伸支架板3。
具体配方工艺如下:
分别将硼粉和锆粉研磨至纳米级(10~100nm),混合均匀后加入一定量的酚醛树脂和酮类溶剂混合球磨形成泥浆,将泥浆均匀涂刷于舟体,最后再气氛保护下反应烧结而成。
实施例2
蒸发舟的高温纳米保护涂层,包括如下组分:
纳米材料10~15份,所述纳米材料的级数为10~100nm;
树脂材料10~30份;
溶剂材料30~60份。
纳米材料包括前置材料和后置材料,其中0.5≤前置材料/后置材料≤2。
一种蒸发舟的高温纳米保护涂层的制备工艺,采用上述材料配方,具体工艺如下:
(1)将纳米材料研磨并混合均匀;
(2)向步骤(1)中的材料内添加竖直材料和溶剂材料并混合球磨得到泥浆;
(3)将步骤(2)中的泥浆均匀地涂刷与蒸发舟舟体;
(4)将步骤(3)中的舟体在气氛保护下反应烧结。
如图1所示,采用上述配方及工艺方法涂覆涂层,包括容置槽1,容置槽两端连接有连接板2,连接板2外侧设有延伸支架板3。
具体配方工艺如下:
分别将硼粉和钨粉研磨至纳米级(10~100nm),混合均匀后加入一定量的酚醛树脂和酮类溶剂混合球磨形成泥浆,将泥浆均匀涂刷于舟体,最后再气氛保护下反应烧结而成。
实施例3
蒸发舟的高温纳米保护涂层,包括如下组分:
纳米材料10~15份,所述纳米材料的级数为10~100nm;
树脂材料10~30份;
溶剂材料30~60份。
纳米材料包括前置材料和后置材料,其中0.5≤前置材料/后置材料≤2。
一种蒸发舟的高温纳米保护涂层的制备工艺,采用上述材料配方,具体工艺如下:
(1)将纳米材料研磨并混合均匀;
(2)向步骤(1)中的材料内添加竖直材料和溶剂材料并混合球磨得到泥浆;
(3)将步骤(2)中的泥浆均匀地涂刷与蒸发舟舟体;
(4)将步骤(3)中的舟体在气氛保护下反应烧结。采用上述配方及工艺方法涂覆涂层,包括容置槽1,容置槽两端连接有连接板2,连接板2外侧设有延伸支架板3。
具体配方工艺如下:
分别将固体碳、钼研磨至纳米级(10~100nm),混合均匀后加入一定量的酚醛树脂和酮类溶剂混合球磨形成泥浆,将泥浆均匀涂刷于舟体,最后再气氛保护下反应烧结而成。
实施例4
蒸发舟的高温纳米保护涂层,包括如下组分:
纳米材料10~15份,所述纳米材料的级数为10~100nm;
树脂材料10~30份;
溶剂材料30~60份。
纳米材料包括前置材料和后置材料,其中0.5≤前置材料/后置材料≤2。
一种蒸发舟的高温纳米保护涂层的制备工艺,采用上述材料配方,具体工艺如下:
(1)将纳米材料研磨并混合均匀;
(2)向步骤(1)中的材料内添加竖直材料和溶剂材料并混合球磨得到泥浆;
(3)将步骤(2)中的泥浆均匀地涂刷与蒸发舟舟体;
(4)将步骤(3)中的舟体在气氛保护下反应烧结。采用上述配方及工艺方法涂覆涂层,包括容置槽1,容置槽两端连接有连接板2,连接板2外侧设有延伸支架板3。
具体配方工艺如下:
将硼粉和锆粉按比例混合(比例为2~0.5),加入一定量的硅酸钠和高温树脂(质量分数为10%~30%),纳米化处理上述原料,而后在上述原料加入一定量水或其他溶剂(质量分数为:30~60%),混合球磨形成泥浆,将泥浆均匀涂刷于舟体内表面,最后再气氛保护下反应烧结而成。
实施例5
蒸发舟的高温纳米保护涂层,包括如下组分:
纳米材料10~15份,所述纳米材料的级数为10~100nm;
树脂材料10~30份;
溶剂材料30~60份。
纳米材料包括前置材料和后置材料,其中0.5≤前置材料/后置材料≤2。
一种蒸发舟的高温纳米保护涂层的制备工艺,采用上述材料配方,具体工艺如下:
(1)将纳米材料研磨并混合均匀;
(2)向步骤(1)中的材料内添加竖直材料和溶剂材料并混合球磨得到泥浆;
(3)将步骤(2)中的泥浆均匀地涂刷与蒸发舟舟体;
(4)将步骤(3)中的舟体在气氛保护下反应烧结。采用上述配方及工艺方法涂覆涂层,包括容置槽1,容置槽两端连接有连接板2,连接板2外侧设有延伸支架板3。
具体配方工艺如下:
将硼粉和钨粉按比例混合(比例为2~0.5),加入一定量的硅酸钠和高温树脂(质量分数为10%~30%),纳米化处理上述原料,而后在上述原料加入一定量水或其他溶剂(质量分数为:30~60%),混合球磨形成泥浆,将泥浆均匀涂刷于舟体内表面,最后再气氛保护下反应烧结而成。
实施例6
蒸发舟的高温纳米保护涂层,包括如下组分:
纳米材料10~15份,所述纳米材料的级数为10~100nm;
树脂材料10~30份;
溶剂材料30~60份。
纳米材料包括前置材料和后置材料,其中0.5≤前置材料/后置材料≤2。
一种蒸发舟的高温纳米保护涂层的制备工艺,采用上述材料配方,具体工艺如下:
(1)将纳米材料研磨并混合均匀;
(2)向步骤(1)中的材料内添加竖直材料和溶剂材料并混合球磨得到泥浆;
(3)将步骤(2)中的泥浆均匀地涂刷与蒸发舟舟体;
(4)将步骤(3)中的舟体在气氛保护下反应烧结。采用上述配方及工艺方法涂覆涂层,包括容置槽1,容置槽两端连接有连接板2,连接板2外侧设有延伸支架板3。
具体配方工艺如下:
对碳化钼颗粒进行研磨至纳米级(10~100nm),加入3%~15%金属粉末,均匀混合后,经离子喷涂在舟体内表面形成涂层,喷涂参数功率40kW,电流200A,电压220V,氩气流量5m3/h,氢气流量为1m3/h,涂层厚度500μm。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.蒸发舟的高温纳米保护涂层,其特征在于,包括如下组分:
纳米材料10~15份,所述纳米材料的级数为10~100nm;
树脂材料10~30份;
溶剂材料30~60份。
2.根据权利要求1所述的蒸发舟的高温纳米保护涂层,其特征在于,所述纳米材料包括前置材料和后置材料,其中0.5≤前置材料/后置材料≤2。
3.根据权利要求2所述的蒸发舟的高温纳米保护涂层,其特征在于,所述前置材料为硼粉、固体碳和碳化钼中的一种或多种。
4.根据权利要求2所述的蒸发舟的高温纳米保护涂层,其特征在于,所述后置材料为锆粉、钨粉、钼粉和碳化钼中的一种或多种。
5.根据权利要求1所述的蒸发舟的高温纳米保护涂层,其特征在于,所述树脂材料为酚醛树脂。
6.根据权利要求1所述的蒸发舟的高温纳米保护涂层,其特征在于,将树脂材料替换成3~15份的金属粉末。
7.根据权利要求1所述的蒸发舟的高温纳米保护涂层,其特征在于,所述溶剂材料为酮类溶剂和水中的一种或两种。
8.一种蒸发舟的高温纳米保护涂层的制备工艺,其特征在于,采用权利要求1中的材料配方,具体工艺如下:
(1)将纳米材料研磨并混合均匀;
(2)向步骤(1)中的材料内添加竖直材料和溶剂材料并混合球磨得到泥浆;
(3)将步骤(2)中的泥浆均匀地涂刷与蒸发舟舟体;
(4)将步骤(3)中的舟体在气氛保护下反应烧结。
9.蒸发舟,其特征在于,采用上述配方及工艺方法涂覆涂层,包括容置槽(1),所述容置槽两端连接有连接板(2),所述连接板(2)外侧设有延伸支架板(3)。
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