JPH0669095A - 露光装置 - Google Patents
露光装置Info
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- JPH0669095A JPH0669095A JP4244019A JP24401992A JPH0669095A JP H0669095 A JPH0669095 A JP H0669095A JP 4244019 A JP4244019 A JP 4244019A JP 24401992 A JP24401992 A JP 24401992A JP H0669095 A JPH0669095 A JP H0669095A
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- exhaust line
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70858—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 水銀ランプが破裂し水銀蒸気が発生した場合
でも、水銀が装置外に放出されることを防止する。ま
た、その際の水銀の回収および清掃作業を容易にする。 【構成】 水銀ランプを光源とする照明光学系１７と、
該照明光学系よりの排気ライン１８とを有する露光装置
において、該排気ラインを他の排気ラインより独立、分
離するとともに、該排気ライン中に水銀および水銀蒸気
の回収部４０を設ける。さらに、必要に応じて、回収部
前後の圧力差を検知するための差圧スイッチ６０を設け
る。
でも、水銀が装置外に放出されることを防止する。ま
た、その際の水銀の回収および清掃作業を容易にする。 【構成】 水銀ランプを光源とする照明光学系１７と、
該照明光学系よりの排気ライン１８とを有する露光装置
において、該排気ラインを他の排気ラインより独立、分
離するとともに、該排気ライン中に水銀および水銀蒸気
の回収部４０を設ける。さらに、必要に応じて、回収部
前後の圧力差を検知するための差圧スイッチ６０を設け
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は露光装置に関し、特に露
光光源として水銀ランプを用いた露光装置に関する。
光光源として水銀ランプを用いた露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、露光装置の照明光学系は特開平４
−７７７４４および特開平４−７７７４３等に記載され
ているようにその光源に水銀ランプを使用している。
−７７７４４および特開平４−７７７４３等に記載され
ているようにその光源に水銀ランプを使用している。
【０００３】また、露光装置は、装置周辺を一定温度か
つ高清浄度な空間とするために、チャンバに収納されて
いる。
つ高清浄度な空間とするために、チャンバに収納されて
いる。
【０００４】さらに装置各部、照明系部等の熱源部に
は、特開平４−７６３２５に記載される如く熱排気用の
吹い込み口が設けられている。
は、特開平４−７６３２５に記載される如く熱排気用の
吹い込み口が設けられている。
【０００５】この時、照明系部の熱排気用エアは、他の
排気エアとともに熱交換器で冷却され、その後温調（温
度調節）される。
排気エアとともに熱交換器で冷却され、その後温調（温
度調節）される。
【０００６】第２の従来例を図２に示す。図２におい
て、１はチャンバ、２はチャンバ機械室、４はブ−ス、
５は冷凍機、６は熱交換器、７はヒ−タ、８はブ−スへ
の送風用ファン、９はフィルタ、１０はブ−スへの吹き
出し口、１１〜１３は吹い込み口、１４，１５はダク
ト、１６は吹い込み用ファンである。これらについて
は、特開平４−７６３２５と同じであるため、特に説明
しない。１７は照明系ランプ部で照明系光源としての水
銀ランプである。照明系ランプ部１７は、ランプ点灯
時、高温となるため、排気ダクト１８および排気ファン
１９により熱排気される。排気されたエアは、ダクト２
０により設備側排気へ接続される。上記特開平４−７６
３２５に記載された第１の従来例と異なる点は、熱排気
がチャンバ内に戻らないため、熱負荷が減少し、冷凍機
能力が少なく小型化出来る点である。しかし、設備側に
熱排気用ラインが必要となるという短所を有する。
て、１はチャンバ、２はチャンバ機械室、４はブ−ス、
５は冷凍機、６は熱交換器、７はヒ−タ、８はブ−スへ
の送風用ファン、９はフィルタ、１０はブ−スへの吹き
出し口、１１〜１３は吹い込み口、１４，１５はダク
ト、１６は吹い込み用ファンである。これらについて
は、特開平４−７６３２５と同じであるため、特に説明
しない。１７は照明系ランプ部で照明系光源としての水
銀ランプである。照明系ランプ部１７は、ランプ点灯
時、高温となるため、排気ダクト１８および排気ファン
１９により熱排気される。排気されたエアは、ダクト２
０により設備側排気へ接続される。上記特開平４−７６
３２５に記載された第１の従来例と異なる点は、熱排気
がチャンバ内に戻らないため、熱負荷が減少し、冷凍機
能力が少なく小型化出来る点である。しかし、設備側に
熱排気用ラインが必要となるという短所を有する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、装置稼働中
に水銀ランプが破裂した場合、照明系ランプ部が高温の
ため、水銀ランプ内に含まれる水銀が水銀蒸気となる。
しかしながら、上記第１の従来例では、水銀蒸気は、熱
排気エアと共にチャンバ機械室に導かれる。熱交換器部
でエアは冷却されるため、水銀蒸気はほとんどが水銀に
戻る。したがってチャンバ内が水銀蒸気で充満するよう
なことはないが、熱排気ラインならびに熱交換器部での
水銀の除去、清掃が困難であるという欠点があった。
に水銀ランプが破裂した場合、照明系ランプ部が高温の
ため、水銀ランプ内に含まれる水銀が水銀蒸気となる。
しかしながら、上記第１の従来例では、水銀蒸気は、熱
排気エアと共にチャンバ機械室に導かれる。熱交換器部
でエアは冷却されるため、水銀蒸気はほとんどが水銀に
戻る。したがってチャンバ内が水銀蒸気で充満するよう
なことはないが、熱排気ラインならびに熱交換器部での
水銀の除去、清掃が困難であるという欠点があった。
【０００８】一方、上記第２の従来例では、水銀ランプ
が破裂した場合、照明系部熱排気エアは設備側排気ライ
ンに接続されているため、第１の従来例と同様に大気放
出とはならない。しかしながら、設備側排気ライン内の
水銀を全て回収しなければならない。一般に設備側排気
は、露光装置等の各装置毎に単独に設けるものではな
い。一系統の排気ラインに対し複数の装置を接続する
か、あるいは他の設備へ分岐し使用している。このた
め、水銀回収作業は、大がかりでかつ困難な作業となる
欠点があった。
が破裂した場合、照明系部熱排気エアは設備側排気ライ
ンに接続されているため、第１の従来例と同様に大気放
出とはならない。しかしながら、設備側排気ライン内の
水銀を全て回収しなければならない。一般に設備側排気
は、露光装置等の各装置毎に単独に設けるものではな
い。一系統の排気ラインに対し複数の装置を接続する
か、あるいは他の設備へ分岐し使用している。このた
め、水銀回収作業は、大がかりでかつ困難な作業となる
欠点があった。
【０００９】本発明は、上述の事情に鑑みてなされたも
ので、その目的は水銀ランプが破裂し水銀蒸気が発生し
た場合でも、水銀が装置外に放出されることを防止した
露光装置を提供することにある。また、水銀ランプが破
裂した際の水銀の回収および清掃作業が容易な露光装置
を提供することにある。
ので、その目的は水銀ランプが破裂し水銀蒸気が発生し
た場合でも、水銀が装置外に放出されることを防止した
露光装置を提供することにある。また、水銀ランプが破
裂した際の水銀の回収および清掃作業が容易な露光装置
を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明では、水銀ランプを光源とする照明光学系
と、該照明光学系よりの排気ラインとを有する露光装置
において、該排気ラインを他の排気ラインより独立、分
離するとともに、該排気ライン中に水銀および水銀蒸気
の回収部を設けたことを特徴とする。さらに、必要に応
じて、回収部前後の圧力差を検知するための差圧スイッ
チを設ける。
め、本発明では、水銀ランプを光源とする照明光学系
と、該照明光学系よりの排気ラインとを有する露光装置
において、該排気ラインを他の排気ラインより独立、分
離するとともに、該排気ライン中に水銀および水銀蒸気
の回収部を設けたことを特徴とする。さらに、必要に応
じて、回収部前後の圧力差を検知するための差圧スイッ
チを設ける。
【００１１】
【作用】本発明によれば、照明系の熱排気ラインを独立
ラインとし、照明系の熱排気をチャンバ機械室に戻さな
いようにしたため、水銀ランプが破裂し水銀蒸気が発生
した場合でもその回収および清掃作業が容易となる。
ラインとし、照明系の熱排気をチャンバ機械室に戻さな
いようにしたため、水銀ランプが破裂し水銀蒸気が発生
した場合でもその回収および清掃作業が容易となる。
【００１２】また、排気ラインに水銀フィルタを設ける
ことにより水銀蒸気が回収出来、水銀が装置外に放出さ
れることもない。
ことにより水銀蒸気が回収出来、水銀が装置外に放出さ
れることもない。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて説明す
る。
る。
【００１４】図１は本発明の一実施例に係る露光装置の
構成を示す。同図の装置は、図２の従来例に対し、排気
用ファン１９と排気ダクト１８の間に水銀フィルタ４０
を設け、排気用ファン１９と水銀フィルタ４０を排気ボ
ックス４１に収納し、かつ排気ダクト１８内と排気ボッ
クス４１内の差圧を検知するための差圧計６０を設けた
ものである。
構成を示す。同図の装置は、図２の従来例に対し、排気
用ファン１９と排気ダクト１８の間に水銀フィルタ４０
を設け、排気用ファン１９と水銀フィルタ４０を排気ボ
ックス４１に収納し、かつ排気ダクト１８内と排気ボッ
クス４１内の差圧を検知するための差圧計６０を設けた
ものである。
【００１５】図１の装置において、水銀ランプの点灯時
は照明系ランプ部１７が高温となるため排気ファン１９
により熱排気を行ない冷却する。この時排気用エアは、
ダクト１８によりチャンバブ−ス４とは分離されて排気
ボックス４１に導かれる。排気エアはさらに水銀フィル
タ４０を通り、ダクト２０により設備側排気に接続され
る。
は照明系ランプ部１７が高温となるため排気ファン１９
により熱排気を行ない冷却する。この時排気用エアは、
ダクト１８によりチャンバブ−ス４とは分離されて排気
ボックス４１に導かれる。排気エアはさらに水銀フィル
タ４０を通り、ダクト２０により設備側排気に接続され
る。
【００１６】図１の装置において水銀ランプが破裂した
場合、水銀蒸気は排気エアと共に排気ダクト１８を通
り、排気ボックス４１に入る。この時、水銀蒸気を含む
排気エアは排気ダクト１８によりチャンバブ−ス４内の
エアとは分離されているため、水銀蒸気がチャンバブ−
ス４内に放出されることはない。排気ボックス４１に入
った水銀蒸気を含む排気エアは、水銀フィルタ４０に入
る。そこで水銀蒸気は水銀フィルタ４０に回収される。
水銀の回収および清掃は、排気ダクト１８の交換、水銀
フィルタ４０の交換および１７照明系部の清掃により行
なわれる。
場合、水銀蒸気は排気エアと共に排気ダクト１８を通
り、排気ボックス４１に入る。この時、水銀蒸気を含む
排気エアは排気ダクト１８によりチャンバブ−ス４内の
エアとは分離されているため、水銀蒸気がチャンバブ−
ス４内に放出されることはない。排気ボックス４１に入
った水銀蒸気を含む排気エアは、水銀フィルタ４０に入
る。そこで水銀蒸気は水銀フィルタ４０に回収される。
水銀の回収および清掃は、排気ダクト１８の交換、水銀
フィルタ４０の交換および１７照明系部の清掃により行
なわれる。
【００１７】水銀フィルタ４０としては、市販のもの、
例えば、米国ＬＡＢ ＳＡＦＥＴＹ社製の”ＭＡＲＣＵ
ＲＹ ＡＢＳＯＲＰＴＩＯＮ ＦＩＬＴＥＲ（商品
名）、性能：水銀蒸気保収量、１５００μｇ／ｍ3 〜１
０μｇ／ｍ3 ”を使用することができる。
例えば、米国ＬＡＢ ＳＡＦＥＴＹ社製の”ＭＡＲＣＵ
ＲＹ ＡＢＳＯＲＰＴＩＯＮ ＦＩＬＴＥＲ（商品
名）、性能：水銀蒸気保収量、１５００μｇ／ｍ3 〜１
０μｇ／ｍ3 ”を使用することができる。
【００１８】図３は、このような水銀フィルタ４０の一
例を示す。同図において、５０はフィルタ本体、５１は
接続口で、フィルタ本体５０と接続口５１とはネジ結合
される。
例を示す。同図において、５０はフィルタ本体、５１は
接続口で、フィルタ本体５０と接続口５１とはネジ結合
される。
【００１９】また、図１の装置は差圧計６０を有してい
る。通常運転時は、排気ダクト１８と排気ボックス４１
間で一定の圧力差を有し、エアが排気される。
る。通常運転時は、排気ダクト１８と排気ボックス４１
間で一定の圧力差を有し、エアが排気される。
【００２０】水銀ランプが破裂し、水銀蒸気が排気され
水銀フィルタ４０に回収されると水銀フィルタ４０部で
の圧損が増大する。このため通常運転時の圧力差とは異
なった圧力差となる。この圧力差の変化は、差圧計６０
で検知出来る。すなわち、差圧計６０で圧力差を検知す
ることにより、水銀ランプの破裂が検知出来る。水銀ラ
ンプ破裂検知により、ランプへの給電を停止するととも
に、排気ファン１９を停止し、安全性を高めることがで
きる。
水銀フィルタ４０に回収されると水銀フィルタ４０部で
の圧損が増大する。このため通常運転時の圧力差とは異
なった圧力差となる。この圧力差の変化は、差圧計６０
で検知出来る。すなわち、差圧計６０で圧力差を検知す
ることにより、水銀ランプの破裂が検知出来る。水銀ラ
ンプ破裂検知により、ランプへの給電を停止するととも
に、排気ファン１９を停止し、安全性を高めることがで
きる。
【００２１】
【他の実施例】本発明は、上述の実施例に限定されるこ
となく適宜変形して実施することができる。例えば、水
銀回収のみに着目すると、前記実施例の水銀フィルタ４
０部を熱交換とし、排気エア温度を下げ、水銀化する方
式が考えられる。しかしながら、真空中でのある温度下
での水銀蒸気量は計算で求まるが空気中では求まらず、
実験による確認が必要となる。また液化した水銀の風量
と蒸発量の関係も同様である。
となく適宜変形して実施することができる。例えば、水
銀回収のみに着目すると、前記実施例の水銀フィルタ４
０部を熱交換とし、排気エア温度を下げ、水銀化する方
式が考えられる。しかしながら、真空中でのある温度下
での水銀蒸気量は計算で求まるが空気中では求まらず、
実験による確認が必要となる。また液化した水銀の風量
と蒸発量の関係も同様である。
【００２２】この時の回収を熱交換部または排気ボック
ス４１の交換で行なうことにより、生産ラインの停止を
短くすることができる。
ス４１の交換で行なうことにより、生産ラインの停止を
短くすることができる。
【００２３】またこの時、排気エアは冷却されているた
め、設備側排気ラインに接続せずクリンル−ム内に放出
してもよい。この場合、設備側排気ラインが不要とな
り、設備側コストが低減出来る。
め、設備側排気ラインに接続せずクリンル−ム内に放出
してもよい。この場合、設備側排気ラインが不要とな
り、設備側コストが低減出来る。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば水
銀ランプが破裂し水銀蒸気が発生しても １．チャンバ内に放出することはない。
銀ランプが破裂し水銀蒸気が発生しても １．チャンバ内に放出することはない。
【００２５】２．排気ラインが他のラインと独立してい
るため、回収、清掃が容易で装置の復帰が容易である。
るため、回収、清掃が容易で装置の復帰が容易である。
【００２６】３．チャンバ内で回収し、チャンバ外設備
側へ放出しないため、設備側の清掃等が不要である。
側へ放出しないため、設備側の清掃等が不要である。
【００２７】４．大気へ放出することがないため、環境
を汚染しない。
を汚染しない。
【００２８】５．水銀フィルタ前後の圧力差の変化を検
知することにより、水銀ランプの破裂が検知出来る。
知することにより、水銀ランプの破裂が検知出来る。
【００２９】等の効果が得られる。
【図１】 本発明の一実施例に係る半導体露光装置の構
成図である。
成図である。
【図２】 従来の半導体露光装置の構成図である。
【図３】 図１における水銀フィルタの一構成例を示す
側面図である。
側面図である。
１：チャンバ、２：チャンバ機械室、４：ブ−ス、５：
冷凍機、６：熱交換器、７：ヒ−タ、８：送風ファン、
９：フィルタ、１０：吹き出し口、１１：吹い込み口、
１２：吹い込み口、１３：吹い込み口、１４：ダクト、
１５：ダクト、１６：排気ファン、１７：照明形ランプ
部、１８：排気ダクト、１９：排気ファン、２０：ダク
ト、３０：露光装置本体、４０：水銀フィルタ、４１：
排気ボックス、５０：フィルタ本体、５１：接続口、６
０：差圧計
冷凍機、６：熱交換器、７：ヒ−タ、８：送風ファン、
９：フィルタ、１０：吹き出し口、１１：吹い込み口、
１２：吹い込み口、１３：吹い込み口、１４：ダクト、
１５：ダクト、１６：排気ファン、１７：照明形ランプ
部、１８：排気ダクト、１９：排気ファン、２０：ダク
ト、３０：露光装置本体、４０：水銀フィルタ、４１：
排気ボックス、５０：フィルタ本体、５１：接続口、６
０：差圧計
Claims (2)
- 【請求項１】 水銀ランプを光源とする照明光学系と、
該照明光学系よりの排気ラインを有する露光装置におい
て、該排気ラインを他の排気ラインより独立、分離する
とともに、該排気ライン中に水銀および水銀蒸気の回収
部を設けたことを特徴とする露光装置。 - 【請求項２】 さらに、回収部前後の圧力差を検知する
ための差圧スイッチを設けたことを特徴とする請求項１
記載の露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4244019A JPH0669095A (ja) | 1992-08-21 | 1992-08-21 | 露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4244019A JPH0669095A (ja) | 1992-08-21 | 1992-08-21 | 露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0669095A true JPH0669095A (ja) | 1994-03-11 |
Family
ID=17112503
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4244019A Pending JPH0669095A (ja) | 1992-08-21 | 1992-08-21 | 露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0669095A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001209123A (ja) * | 1999-11-16 | 2001-08-03 | Sony Corp | 光源装置および画像投影装置 |
| JP2002333670A (ja) * | 2001-05-07 | 2002-11-22 | Nec Viewtechnology Ltd | 投光装置 |
-
1992
- 1992-08-21 JP JP4244019A patent/JPH0669095A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001209123A (ja) * | 1999-11-16 | 2001-08-03 | Sony Corp | 光源装置および画像投影装置 |
| JP2002333670A (ja) * | 2001-05-07 | 2002-11-22 | Nec Viewtechnology Ltd | 投光装置 |
| JP4651849B2 (ja) * | 2001-05-07 | 2011-03-16 | Ｎｅｃディスプレイソリューションズ株式会社 | 投光装置 |
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