JPH07120143A - 真空乾燥装置及び真空乾燥方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 溶剤により洗浄した工業部品を効率良くかつ
安全に乾燥する。 【構成】 格納容器２内に工業部品を格納し、格納容器
２に設けた加熱槽３により格納容器２の底部及び側壁を
加熱すると共に、送風管４から格納容器２内に熱風を吹
き込んで、工業部品を加熱する。そして、格納容器２に
連通接続した排気管１０内に導かれた溶剤ガスを冷却装
置１１で冷却して凝縮回収するとともに、溶剤ガスを回
収後の排気は大気開放管１２から大気中に排出する。次
に、格納容器２の熱風加熱を停止するとともに排気管１
０の大気連通状態を解除し、排気管１０に連通接続した
真空発生装置１３で格納容器２内を減圧し、格納容器２
内に残存した溶剤を気化蒸発させるとともに、冷却装置
で溶剤ガスを凝縮回収する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電気部品、電子部品、
機械部品等の工業部品を主として乾燥する真空乾燥装置
に関し、特にこれらの部品を熱風及び真空状態を利用し
て乾燥するとともに、蒸発気化した溶剤を冷却して凝縮
回収するものである。

【０００２】

【従来の技術】電気部品、電子部品、機械部品等は、製
造工程において加工油、加工屑等や微細なゴミ等の汚れ
が付着してしまう。これらの汚れをそのままにしておく
と、製品の品質を低下させるばかりでなく、部品を組み
込んだ装置等の故障の原因ともなる。そこで、従来か
ら、これらの汚れを除去するため、水系または非水系の
溶剤を用いて部品を洗浄していた。また、部品に残留し
た溶剤は乾燥除去しなければならないが、蒸発させた溶
剤をそのまま大気中に放散したのでは、大気汚染の原因
となる。また、被乾燥物に溶剤が残ると、残った溶剤に
より錆が発生したり、輪どり模様等が現れるなど品質を
損なう問題もある。このため、本出願人は、溶剤を用い
て洗浄した部品の乾燥処理を行うとともに、蒸発気化し
た溶剤を回収するための真空乾燥装置を開発し、出願し
た（特願平4-212669号）。この真空乾燥装置は、乾燥室
と、この乾燥室の排気口に連通された送風機を有する排
気路と、乾燥室の吸気口に連通された加熱室を有する吸
気路と、排気路と吸気路との間に連通接続されかつ溶剤
回収路を連通させた冷却室とを設けて、乾燥室と排気路
と吸気路とにより空気循環路を形成するとともに、空気
循環路に切換バルブを介して連通接続された真空ポンプ
を設けてある。そして、乾燥室内に加熱室で加熱した空
気を送り込むことにより乾燥室内の被乾燥物の温度を上
昇させて溶剤を蒸発気化させた後、冷却室で溶剤ガスを
凝縮回収する。次に、切換弁を切り替えて、真空ポンプ
により乾燥室内を減圧して被乾燥物に付着している溶剤
の蒸発気化を促している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記した真空乾燥装置
では、乾燥室内の被乾燥物を加熱するために、乾燥室内
に加熱室で加熱した空気を送り込んでいる。しかし、加
熱した空気のみにより乾燥室内の被乾燥物を加熱する方
法では、乾燥室の側壁の温度が十分上昇しないため、一
旦蒸発した溶剤ガスが乾燥室の側壁で冷やされて凝縮付
着してしまい、効率よく乾燥を行うことができないとい
う問題があった。また、乾燥室内の温度調整も難しく、
この点でも効率よい乾燥が行えなかった。さらに、内部
に細管等を有する複雑な構造をした部品では、複雑な構
造中に入り込んだ溶剤は加熱した空気のみで乾燥するこ
とができない。そこで、エアーガン等を用いて手作業で
付着した溶剤を予め吹き飛ばすことを行っているが、こ
の方法では手間がかかるとともに、細部に付着した溶剤
を完全に吹き飛ばすことが困難であった。また、空気循
環路は閉鎖した循環路であるため、溶剤が次第に蒸発気
化することにより空気循環路内の蒸気ガス濃度が異常に
高まり引火するおそれがあった。また、この真空乾燥装
置では、乾燥室下部から乾燥室内に加熱した空気を送り
込むとともに、乾燥室上部から排気を行っている。しか
し、溶剤が大量に付着した状態の部品では、重力により
溶剤が下方に向かって滴り落ちるため、乾燥室の底部に
溶剤が溜まり、効率よく乾燥を行うことができないとい
う問題があった。また、乾燥室内は加熱した空気により
高温となっており、乾燥終了直後には乾燥室の扉も高温
となっているため、被乾燥物を取り出す際に作業者が火
傷を負う等の危険があった。そこで、本発明は上記した
従来の技術の有する問題点に鑑み提案されたもので、そ
の目的とするところは、水系または非水系溶剤により洗
浄した被乾燥物を、効率よくかつ安全に乾燥することが
できる真空乾燥装置を提供することにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ため、請求項１記載の発明では、水系または非水系の溶
剤により洗浄した被乾燥物を真空乾燥する真空乾燥装置
であって、開閉可能な蓋部材を設けて被乾燥物を内部に
格納するとともに、下部に加熱槽を設けた格納容器と、
格納容器に第１開閉弁を介して連通接続し、加熱された
空気を格納容器内に送風する送風管と、加熱槽に循環さ
せる難燃性オイルを加熱するオイル加熱器と、オイルを
オイル加熱器の出口側から加熱槽の入口側に供給すると
ともに、加熱槽の出口側からオイル加熱器の入口側にオ
イルを戻すオイル循環路と、オイル循環路にオイルを循
環させるオイル循環ポンプと、格納容器に連通接続し
て、格納容器内で蒸発気化した溶剤ガスを排出する排気
管と、排気管に連通接続して、排気管内の溶剤ガスを冷
却し凝縮回収する冷却装置と、冷却装置の下流側の排気
管から分岐した、第２開閉弁を有する大気開放管と、排
気管の先端側に第３開閉弁を介して連通接続して、格納
容器内を減圧する真空発生装置とにより真空乾燥装置を
構成したことを特徴とする。また、請求項２に記載の発
明では、上記送風管は格納容器の上部に連通接続すると
ともに、上記排気管は格納容器の下部に連通接続したこ
とを特徴とする。また、請求項３に記載の発明では、上
記格納容器に蓋部材を冷却するための蓋部材冷却装置を
設けたことを特徴とする。また、請求項４に記載の発明
では、上記オイル加熱器には、オイル温度を予め定めた
一定温度に保つための温度調節器を設けたことを特徴と
する。また、請求項５に記載の発明では、上記送風管の
途中に熱交換器を設け、オイル循環路には、熱交換器と
加熱槽との間に三方切替弁を設けるとともに、三方切替
弁から加熱槽を経由せずにオイル加熱装置にオイルを戻
すためのオイルバイパス路を設け、加熱槽に設けた温度
検出器からの検出出力に基づいて三方切替弁を選択的に
切り替え、オイル循環経路を変更することにより加熱槽
の温度調節を行うことを特徴とする。また、被乾燥物を
真空乾燥するための方法として、請求項６に記載の発明
では、開閉可能な蓋部材を有する格納容器内に水系また
は非水系溶剤により洗浄した被乾燥物を格納し、格納容
器の下部に設けた加熱槽に加熱した難燃性オイルを循環
させるとともに、送風管により格納容器内に熱風を送風
して、格納容器内を加熱し、格納容器内で蒸発気化した
溶剤ガスを格納容器に連通接続した排気管を介して格納
容器外に導いて、排気管に連通接続した冷却装置を用い
て溶剤を凝縮回収し、溶剤ガスを回収後の排気を冷却装
置下流側の排気管から分岐した大気開放管により大気中
に放散する第１工程と、送風管に設けた第１開閉弁を閉
塞して熱風の供給を停止し、大気開放管に設けた第２開
閉弁を閉塞して排気管の大気連通状態を封鎖し、排気管
の先端側に連通接続した真空発生装置を用いて格納容器
内を減圧し、格納容器内に残存した溶剤を蒸発気化させ
て排気管に排出し、排気管に連通接続した冷却装置を用
いて溶剤を凝縮回収する第２工程とにより被乾燥物の真
空乾燥を行うことを特徴とする。また、請求項７に記載
の発明では、前記第１工程と第２工程を行なうことを１
サイクルとし、このサイクルを繰り返して被乾燥物の乾
燥を行なうことを特徴とする。

【０００５】

【作用】上記した発明では、まず、第１工程として、開
閉可能な蓋部材を有する格納容器内に水系または非水系
溶剤により洗浄した被乾燥物を格納し、格納容器の下部
に設けた加熱槽に加熱した難燃性オイルをオイル循環ポ
ンプを用いて循環させるとともに、送風管の先端側に接
続した送風機により格納容器内に熱風を送風して格納容
器内の被乾燥物を加熱し、格納容器内で蒸発気化した溶
剤ガスを格納容器に連通接続した排気管を介して格納容
器外に導いて、排気管に連通接続した冷却装置を用いて
溶剤を凝縮回収し、溶剤ガスを回収後の排気を冷却装置
下流側の排気管から分岐した大気開放管により大気中に
排出する。この様に、第１工程では被乾燥物の温度上昇
により溶剤の蒸発が促進される。次に、第２工程とし
て、送風管に設けた第１開閉弁を閉塞して熱風の供給を
停止し、大気開放管に設けた第２開閉弁を閉塞して排気
管の大気連通状態を封鎖し、排気管の先端側に連通接続
した真空発生装置を用いて格納容器内を減圧して、格納
容器内に残存した溶剤を蒸発気化させて排気管に排出
し、排気管に連通接続した冷却装置を用いて溶剤を凝縮
回収する（請求項１、請求項６）。この様に、第２工程
では、被乾燥物が熱せられた状態で減圧状態されるの
で、溶剤の沸点が低下し、これにより蒸発が著しく促進
される。したがって、被乾燥物の乾燥を行う格納容器内
は、熱風により加熱されるとともに、加熱槽により加熱
されているので、格納容器の側壁に気化した溶剤が凝縮
して再付着することがなく、効率よい乾燥が行える。さ
らに、格納容器からの排気は、冷却装置で溶剤が凝縮回
収された後、大気開放管から大気中に排出されているの
で、装置内の溶剤蒸気ガスの圧力が異常に高まることが
ない。また、格納容器内に送風する熱風は、格納容器の
上部から送風され、格納容器内からの排気は格納容器の
下部から行われる（請求項２）。したがって、被乾燥物
に付着した溶剤が、重力により格納容器の下方に向かっ
て滴り落ちることが促進され、溶剤が滴り落ちても、こ
の溶剤が格納容器内に残留することなく速やかに排出さ
れるので、乾燥効率を高めることができる。また、格納
容器に設けた蓋部材は、蓋部材冷却装置により冷却され
る（請求項３）。したがって、格納容器の蓋部材の温度
上昇が抑えられ、被乾燥物の乾燥処理が終了した直後で
あっても、安全に格納容器内から被乾燥物を取り出すこ
とができる。また、加熱に用いられるオイルは、オイル
加熱器に設けた温度調整装置により、予め定めた一定温
度に保たれる（請求項４）。したがって、被乾燥物の乾
燥処理を効率よく行うことができる。また、加熱槽に設
けた温度検出器からの検出出力に基づいて、オイル循環
路の熱交換器と加熱槽との間に設けた三方切替弁を切り
替え、加熱槽の温度が予め定めた一定温度以下である場
合には、オイルを加熱槽に循環させ、加熱槽の温度が予
め定めた一定温度以上である場合には、オイルを加熱槽
に循環させることなくオイルバイパス路を経由してオイ
ル加熱装置に戻す（請求項５）。したがって、被乾燥物
の乾燥処理をさらに効率よく行うことができる。

【０００６】

【実施例】以下、図面に基づいて本発明の実施例を説明
する。図１は、本発明に係る真空乾燥装置の概略構成図
である。この真空乾燥装置１は、被乾燥物Ａを内部に格
納する格納容器２、格納容器２の下部に設けた加熱槽
３、格納容器２に連通接続した送風管４、送風管４の途
中に設けた熱交換器５、送風管４の基端側に連通接続し
た送風機６、加熱槽３及び熱交換器５に循環させる難燃
性オイルを加熱するオイル加熱器７、オイルを加熱槽３
及び熱交換器５に循環させるオイル循環路８、オイル循
環路８にオイルを循環させるオイル循環ポンプ９、格納
容器２に連通接続した排気管１０、排気管１０に連通接
続した冷却装置１１、冷却装置１１の下流側の排気管１
０から分岐した大気開放管１２、排気管１０の先端側に
連通接続した真空発生装置１３等を主な構成要素とす
る。

【０００７】格納容器２は、上部が開放した円筒状の金
属製容器で、格納容器２の内部の下方に被乾燥物Ａを載
置する有孔棚板状の載置部１４を設け、上部側壁には送
風管４を連通接続するための送風口１５と、外気連通管
１６を連通接続するための外気連通口１７とを設け、底
部中央には排気管１０を連通接続するための排気口１８
が設けてある。そして、上部開口縁からは格納容器２の
外方に向かってフランジ部１９が延設してあり、このフ
ランジ部１９上に蓋部材２０を載置して格納容器２の開
口部を閉塞する。なお、フランジ部１９と蓋部材２０の
間には、ゴム等からなるシール材２１を介在させて、蓋
部材２０による格納容器２の開口部の気密性を高めてい
る。また、蓋部材２０を格納容器２に係止するための係
止手段（図示せず）を設ければ、蓋部材２０を格納容器
２にさらに強固に取り付けることができる。

【０００８】また、格納容器２の上部外周には、格納容
器２の上部及び蓋部材２０を冷却保護するための蓋部材
冷却装置２２が設けてある。この蓋部材冷却装置２２
は、格納容器２の上部外周を囲うように設けてあり、内
部に冷却水を流すことにより冷却を行っている。この冷
却水は、冷却水取入口２３から蓋部材冷却装置２２の内
部に取り込まれ、冷却水取出口２４から外部に導かれて
いる。

【０００９】格納容器２の送風口１５には、第１開閉弁
２５を介して送風管４が連通接続してあり、送風管４の
基端側には送風管４内に空気を送り込むための送風機６
が連通接続してある。また、送風管４の途中には、送風
管４内の空気を加熱するための熱交換器５が設けてあ
る。

【００１０】また、格納容器２の外気連通口１７には、
外気開閉弁２６を介して外気連通管１６が連通接続して
ある。この外気連通管１６は、真空乾燥が終了した後に
格納容器２内へ外気を取り込む際に使用するものであ
る。

【００１１】格納容器２の外側下部には、格納容器２の
底部と側壁を囲むように加熱槽３が設けてある。この加
熱槽３は、内部に循環させる難燃性オイルにより格納容
器２の底部と側壁を加熱するためのもので、底部にオイ
ル取入口２７が設けてあり、側面上部にオイル排出口２
８が設けてある。また、加熱槽３の外壁には加熱槽３の
温度を検出するための温度検出器２９が設けてある。

【００１２】送風管４に設けた熱交換器５と加熱槽３の
熱源となる難燃性オイルは、オイル加熱器７のオイル出
口３０側に連通接続されたオイル循環ポンプ９により、
熱交換器５を経て加熱槽３に送られ、再びオイル加熱器
７のオイル入口３１に戻るオイル循環路８内を循環す
る。

【００１３】また、オイル循環路８の熱交換器５と加熱
槽３との間には三方切替弁３２が設けてあり、三方切替
弁３２の一側はオイル加熱器７のオイル入口３１に向か
うオイルバイパス路３３に連通接続されている。この三
方切替弁３２を切り替えることにより、オイル循環経路
を選択的に切り替えて、熱交換器５からのオイルを加熱
槽３に送るか、熱交換器５からのオイルを加熱槽３を経
ることなく直接オイル加熱器７に戻すかを選択すること
ができる。

【００１４】オイル加熱器７は、電気ヒーター３４によ
り難燃性オイルを加熱するための装置で、内部にはオイ
ル温度を検出して電気ヒーター３４のオン・オフを行う
ための温度調節器３５が設けてある。また、オイル加熱
器７の上部にはエアー抜口３６が設けてあり、オイル加
熱器７内にオイル蒸気が充満した場合であっても、オイ
ル加熱器７が破損することを防止している。

【００１５】格納容器２の底部中央に設けた排気口１８
には排気管１０が連通接続してあり、この排気管１０に
は冷却装置１１が連通接続してある。

【００１６】この冷却装置１１は、冷却水入口３７から
取り入れた冷却水により排気管１０内を送られてきた溶
剤ガスを冷却するための装置で、排気管１０を二重に取
り囲むように設けた冷却部３８と、冷却凝縮した溶剤を
取り出す溶剤取出口３９とを設けてある。冷却装置１１
内部を通過した冷却水は冷却水出口４０から取り出さ
れ、上記した蓋部材冷却装置２２の冷却水取入口２３に
導かれている。

【００１７】冷却装置１１の下流側の排気管１０には、
第２開閉弁４１を有する大気開放管１２を分岐してあ
り、冷却装置１１で溶剤が凝縮回収された後の排気が、
この大気開放管１２から大気中に排出される。

【００１８】また、排気管１０の先端側には、第３開閉
弁４２を介して真空発生装置１３が連通接続してある。
この真空発生装置１３は、格納容器２内を減圧するため
の装置で、本実施例では真空ポンプからなる。また、真
空発生装置１３の排気側にはオイルミスト除去装置４４
が設けてあり、大気中にオイルミストが拡散することを
防止している。

【００１９】上記した真空発生装置１３を使用して、水
系または非水系溶剤で洗浄した被乾燥物Ａを真空乾燥す
る手順を説明する。工業部品等の被乾燥物Ａは、例えば
石油等の炭化水素系の溶剤等により洗浄される。この洗
浄後の被乾燥物Ａを格納容器２内に装入し、載置部１４
上に載置する。そして、格納容器２の開口部を蓋部材２
０で密閉し、外気開閉弁２６を閉じて外気連通口１７を
塞ぐとともに、第１開閉弁２５を開いて送風口１５を送
風管４に連通させる。

【００２０】オイル加熱器７では、電気ヒーター３４に
よりオイルを加熱し、オイル循環路８に設けた三方切替
弁３２を熱交換器５と加熱槽３側に開いた状態とする。
そして、オイル循環ポンプ９を作動してオイル循環路８
内にオイルを循環させて、熱交換器５により送風管４内
の空気を加熱するとともに、加熱槽３により格納容器２
の底部及び側壁を加熱する。このとき、温度調節器３５
によりオイル加熱器７内のオイル温度を検出して、電気
ヒーター３４のオン・オフ制御を行い、オイル温度を予
め定めた一定温度、例えば８０℃に保つ。

【００２１】送風管４内には送風機６から空気が送り込
まれているので、熱交換器５で熱せられた空気は熱風と
なって格納容器２上部に設けた送風口１５から格納容器
２内に送られ、格納容器２内の被乾燥物Ａを加熱する。
本実施例では、加熱された空気の温度は８０℃となって
いる。

【００２２】加熱槽３の温度は、加熱槽３外壁に設けた
温度検出器２９により検出されている。そして、加熱槽
３の温度が予め定めた一定温度以下の場合、例えば８０
℃以下の場合には、三方切替弁３２は上記したように熱
交換器５と加熱槽３側に開いており、加熱槽３がオイル
により加熱される。一方、加熱槽３の温度が予め定めた
一定温度以上となった場合、例えば８０℃を超えた場合
には、三方切替弁３２を熱交換器５とオイルバイパス路
３３側に開いて、熱交換器５からのオイルを加熱槽３に
は循環させずにオイル加熱器７へ戻す。このようにし
て、加熱槽３は予め定めた一定温度、例えば８０℃に保
たれる。

【００２３】格納容器２内に吹き込まれた熱風は、被乾
燥物Ａを加熱した後、蒸発した溶剤ガスとともに格納容
器２の底部に設けた排気口１８から排気管１０内に導か
れる。排気管１０には冷却装置１１が連通接続してある
ので、溶剤ガスは、この冷却装置１１により冷却凝縮さ
れて回収される。このとき、冷却装置１１の下流側の排
気管１０に設けた第３開閉弁４２は閉塞されているとと
もに、排気管１０から分岐した大気開放管１２の第２開
閉弁４１は開いた状態となっている。したがって、溶剤
が回収された後の排気は、大気開放管１２を通って大気
中に排出される。

【００２４】上記した第１工程を所定時間行った後、第
１開閉弁２５を閉じて格納容器２の送風口１５を塞ぐと
ともに、大気開放管１２の第２開閉弁４１を閉塞して大
気連通状態を封鎖し、第３開閉弁４２を開いて真空発生
装置１３を稼働させ、格納容器２内を減圧して第２工程
を実施する。

【００２５】真空乾燥を効率良く行なうための条件とし
ては、真空度を高めることと、乾燥温度を高めることと
がある。しかし、真空乾燥装置１、真空ポンプの能力等
から真空度を極端に高めることはできない。また、乾燥
温度を極端に高めると、溶剤が引火するおそれがある
し、被乾燥物が熱による悪影響を受けこともある。した
がって、使用される溶剤の特性と被乾燥物の材質などを
考慮して乾燥温度及び真空度を適宜に設定する。

【００２６】例えば、石油系溶剤（商品名「ナフテゾー
ル」（登録商標））を用いた場合、加熱温度を引火点以
下に下げるとともに真空乾燥装置１の強度を考慮して、
格納容器２内の温度は８０℃、真空度は０．５〜０．７
ｔｏｒｒであることが望ましい。

【００２７】上記した第２工程においても、排気管１０
に連通接続した冷却装置１１は冷水により冷却されてい
るので、溶剤ガスは冷却装置１１により冷却凝縮されて
回収される。

【００２８】上記した第１工程及び第２工程に要する時
間は、乾燥する被乾燥物Ａの大きさや数量等により異な
るが、例えば、５ｍｍ程度の接点端子を乾燥する場合に
は、第１工程に２分間、第２工程に２．５分間を要し、
両工程により溶剤を完全に蒸発乾燥させることができ
た。

【００２９】一方、本発明にかかる真空乾燥装置１を使
用しなかった場合、例えば８０℃の熱風のみで乾燥した
場合には２０分間の時間を要し、また複雑な構造をした
被乾燥物Ａでは、エアーガンによる吹き飛ばしに５分を
用紙、熱風乾燥に４０分間の時間を要していた。

【００３０】すなわち、本発明に係る真空乾燥装置１を
使用すれば、乾燥時間を著しく短縮することが可能であ
るとともに、溶剤を完全に乾燥除去することができる。

【００３１】また、全工程を通じて、格納容器２の上部
に設けた蓋部材冷却装置２２により蓋部材２０が冷却さ
れている。したがって、乾燥処理が終了した直後であっ
ても、蓋部材２０の温度は上昇しておらず、作業員が蓋
部材２０の熱により火傷を負うという危険がない。

【００３２】また、真空乾燥を行うことにより、被乾燥
物Ａは潜熱により温度が下降し、例えば真空乾燥開始当
初は約８０℃あった被乾燥物Ａの温度が、真空乾燥終了
後は約４０℃となる。このため、乾燥直後の被乾燥物Ａ
の取り扱いが容易となり、作業性を向上することができ
る。

【００３３】図２に、真空乾燥装置の他の実施例の概略
構成を示す。なお、上記した真空乾燥装置１と同様の作
用を行う部材は同一の符号を付して説明を省略する。

【００３４】この真空乾燥装置５０は、格納容器５１と
して箱状の容器を用いており、格納容器５１の前面に開
閉可能な扉５２が設けてある。

【００３５】また、オイル循環路８には、熱交換器５へ
のオイル循環経路を切り替える第１三方切替弁５３と、
加熱槽３へのオイル循環経路を切り替える第２三方切替
弁５４が設けてある。そして、排気管１０に設けた排気
温度検出器５５からの検出出力に基づき、第１三方切替
弁５３を制御して、送風管４により送風する空気の温度
を調節している。また、オイル循環路８に設けたオイル
温度検出器５６からの検出出力に基づき、第２三方切替
弁５４を制御して、加熱槽３の温度を調整している。ま
た、オイル循環路８には膨張タンク５７が設けてあり、
オイル循環路８内のオイル圧力の上昇を防止している。

【００３６】さらに、第１工程で使用する第１冷却装置
１１ａとは別個に、第２工程で使用する第２冷却装置１
１ｂを排気管１０に設けて、溶剤ガスの凝縮回収を行っ
ている。また、第１冷却装置１１ａ及び第２冷却装置１
１ｂを冷却する冷却水が流れる冷却水流路５８に冷却水
温度検出器５９を設けて、冷却水の温度調節を行ってい
る。

【００３７】なお、前記した各実施例では、難燃性オイ
ルを通す熱交換器５を送風管４に設けて熱風を作り出し
たが、熱交換器の代わりに電気ヒータを設けてもよい。

【００３８】また、被乾燥物を効率良く乾燥するために
はその被乾燥物の特性に適合した条件の下で行なうこと
が大切である。即ち、その部品の材質や形状や構造に適
合した条件で乾燥する。例えば、単純な形状で耐熱性に
優れた部品にあっては前記した第１工程のみで十分に乾
燥できる場合もある。

【００３９】また、前記した熱風乾燥による第１工程と
真空乾燥による第２工程を行なうことを１サイクルと
し、このサイクルを繰り返して行なう。この様にして被
乾燥物を乾燥すると、例えば被乾燥物が熱に弱くて温度
をそれ程高められない場合でも第１，第２工程の繰り返
しにより効率良く乾燥することができ、また、被乾燥物
の形状が複雑形状であったり、細かな孔や溝等があった
りして内部に毛細管現象等で溶剤が複雑に入り込んでい
る場合に、第１，第２工程を１サイクルとして複数サイ
クル繰り返すと、細部に入り込んだ溶剤まで効率良く確
実に乾燥させることができる。

【００４０】

【発明の効果】本発明は、上記した構成からなるので、
以下に説明する効果を奏することができる。請求項１記
載の発明及び請求項６記載の発明では、まず、第１工程
として、格納容器内に被乾燥物を格納し、格納容器の下
部に設けた加熱槽により格納容器の底部及び側壁を加熱
するとともにと、格納容器に連通接続した送風管から格
納容器内に熱風を吹き込んで、被乾燥物を加熱し、これ
により表面に付着した溶剤を蒸発させ、且つ、複雑形状
としたり被乾燥物に孔，溝等の部分があり内部に入り込
んだ溶剤を効率良く乾燥させるため被乾燥物全体の温度
を上昇させる。そして、格納容器に連通接続した排気管
内に導かれた溶剤ガスを冷却装置により冷却して凝縮回
収するとともに、溶剤ガスを回収後の排気は大気開放管
から大気中に排出する。次に、第２工程として、格納容
器の吸気側を閉塞するとともに排気管の大気連通状態を
封鎖し、排気管の先端側に連通接続した真空発生装置を
用いて格納容器内を減圧して、格納容器内に残存した溶
剤を蒸発気化させる。そして、第１工程と同様に、冷却
装置を用いて溶剤を凝縮回収する。したがって、被乾燥
物の乾燥を行う格納容器内は、熱風により加熱されると
ともに、加熱槽により底部及び側壁が加熱されているの
で、格納容器の側壁に気化した溶剤が凝縮して再付着す
ることがなく、効率よい乾燥が行える。さらに、格納容
器からの排気は、冷却装置で溶剤が凝縮回収された後、
大気開放管から大気中に排出されており、装置内の溶剤
ガスの圧力が異常に高まることがなく、安全な真空乾燥
を行うことができる。また、真空乾燥するので、被乾燥
物の表面は勿論のこと複雑に入り組んだ部分や細部或は
細い孔、細かい溝の内部であっても満遍無く確実に乾燥
することができ、しかも乾燥に要する時間を大幅に短縮
することができる。さらに、被乾燥物を一旦加熱してか
ら真空乾燥するので、溶剤が凍ることがないし、真空乾
燥した被乾燥物の温度が人手で触れる温度まで低下する
ので、乾燥が終了した後に直ちに作業者が手で取り出す
こともでき、作業能率が良い。また、請求項２に記載の
発明では、格納容器の上部から熱風が送風されるととも
に、格納容器の下部から排気が行われている。したがっ
て、被乾燥物に付着した溶剤が、重力により格納容器の
下方に向かって滴り落ち易く、また、滴り落ちた溶剤が
格納容器内に残留することなく、排気口より速やかに排
出されるので、乾燥効率を高めることができる。また、
請求項３に記載の発明では、格納容器に設けた蓋部材
は、蓋部材冷却装置により冷却されている。したがっ
て、格納容器の蓋部材は高温となることがなく、被乾燥
物の乾燥処理が終了した直後であっても、安全に格納容
器内から被乾燥物を取り出すことができ、作業員が火傷
を負う等の危険がない。また、請求項４に記載の発明で
は、加熱に用いられるオイルは、オイル加熱器に設けた
温度調整器により、予め定めた一定温度に保たれてい
る。したがって、加熱エネルギーに無駄がなく、被乾燥
物の乾燥処理を効率よく行うことができるとともに、オ
イル温度の異常上昇による爆発等の事故を防止すること
ができる。また、請求項５に記載の発明では、加熱槽に
設けた温度検出器からの検出出力に基づいて、オイル循
環路の熱交換器と加熱槽との間に設けた三方切替弁を切
り替え、加熱槽の温度が予め定めた一定温度以下である
場合には、オイルを加熱槽に循環させ、加熱槽の温度が
予め定めた一定温度以上である場合には、オイルを加熱
槽に循環させることなくオイルバイパス路を経由してオ
イル加熱器に戻している。したがって、加熱エネルギー
の無駄を省くことができ、被乾燥物の乾燥処理をさらに
効率よく行うことができるとともに、格納容器を加熱し
過ぎることがなく、被乾燥物の破損を防止することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る真空乾燥装置の概略構成図であ
る。

【図２】真空乾燥装置の他の実施例の概略構成図であ
る。

【符号の説明】

Ａ 被乾燥物 １ 真空乾燥装置 ２ 格納容器 ３ 加熱槽 ４ 送風管 ５ 熱交換器 ６ 送風機 ７ オイル加熱器 ８ オイル循環路 ９ オイル循環ポンプ １０ 排気管 １１ 冷却装置 １２ 大気開放管 １３ 真空発生装置 １４ 載置部 １５ 送風口 １６ 外気連通管 １７ 外気連通口 １８ 排気口 １９ フランジ部 ２０ 蓋部材 ２１ シール材 ２２ 蓋部材冷却装置 ２３ 冷却水取入口 ２４ 冷却水取出口 ２５ 第１開閉弁 ２６ 外気開閉弁 ２７ オイル取入口 ２８ オイル取出口 ２９ 温度検出器 ３０ オイル出口 ３１ オイル入口 ３２ 三方切替弁 ３３ オイルバイパス路 ３４ 電気ヒーター ３５ 温度調節器 ３６ エアー抜口 ３７ 冷却水入口 ３８ 冷却部 ３９ 溶剤取出口 ４０ 冷却水出口 ４１ 第２開閉弁 ４２ 第３開閉弁 ４３ オイルミスト除去装置 ５０ 真空乾燥装置 ５１ 格納容器 ５２ 扉 ５３ 第１三方切替弁 ５４ 第２三方切替弁 ５５ 排気温度検出器 ５６ オイル温度検出器 ５７ 膨張タンク ５８ 冷却水流路 ５９ 冷却水温度検出器

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 水系または非水系の溶剤により洗浄した
   被乾燥物を真空乾燥する真空乾燥装置であって、 開閉可能な蓋部材を設けて被乾燥物を内部に格納すると
   ともに、下部に加熱槽を設けた格納容器と、 格納容器に第１開閉弁を介して連通接続し、加熱された
   空気を格納容器内に送風する送風管と、 加熱槽に循環させる難燃性オイルを加熱するオイル加熱
   器と、 オイルをオイル加熱器の出口側から加熱槽の入口側に供
   給するとともに、加熱槽の出口側からオイル加熱器の入
   口側にオイルを戻すオイル循環路と、 オイル循環路にオイルを循環させるオイル循環ポンプ
   と、 格納容器に連通接続して、格納容器内で蒸発気化した溶
   剤ガスを排出する排気管と、 排気管に連通接続して、排気管内の溶剤ガスを冷却し凝
   縮回収する冷却装置と、 冷却装置の下流側の排気管から分岐されて、第２開閉弁
   を有する大気開放管と、 排気管の先端側に第３開閉弁を介して連通接続されて、
   格納容器内を減圧する真空発生装置と、 からなることを特徴とする真空乾燥装置。
2. 【請求項２】 上記送風管は格納容器の上部に連通接続
   し、上記排気管は格納容器の下部に連通接続したことを
   特徴とする請求項１に記載の真空乾燥装置。
3. 【請求項３】 上記格納容器に蓋部材を冷却するための
   蓋部材冷却装置を設けたことを特徴とする請求項１また
   は請求項２に記載の真空乾燥装置。
4. 【請求項４】 上記オイル加熱器には、オイル温度を予
   め定めた一定温度に保つための温度調節器を設けたこと
   を特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の
   真空乾燥装置。
5. 【請求項５】 上記難燃性オイルが循環する熱交換器を
   上記送風管の途中に設け、上記オイル循環路には、熱交
   換器と加熱槽との間に三方切替弁を設けるとともに、三
   方切替弁から加熱槽を経由せずにオイル加熱装置にオイ
   ルを戻すためのオイルバイパス路を設け、加熱槽に設け
   た温度検出器からの検出出力に基づいて三方切替弁を選
   択的に切り替え、オイル循環経路を変更することにより
   加熱槽の温度調節を行うことを特徴とする請求項１乃至
   請求項５のいずれかに記載の真空乾燥装置。
6. 【請求項６】 開閉可能な蓋部材を有する格納容器内に
   水系または非水系溶剤により洗浄した被乾燥物を格納
   し、格納容器の下部に設けた加熱槽に加熱した難燃性オ
   イルをオイル循環ポンプを用いて循環させるとともに、
   送風管から格納容器内に熱風を送風して格納容器内を加
   熱し、格納容器内で蒸発気化した溶剤ガスを格納容器に
   連通接続した排気管を介して格納容器外に導いて、排気
   管に連通接続した冷却装置を用いて溶剤を凝縮回収し、
   溶剤ガスを回収後の排気を冷却装置下流側の排気管から
   分岐した大気開放管により大気中に放散する第１工程
   と、 送風管に設けた第１開閉弁を閉塞して格納容器の熱風供
   給を停止し、大気開放管に設けた第２開閉弁を閉塞して
   排気管の大気連通状態を封鎖し、排気管の先端側に連通
   接続した真空発生装置を用いて格納容器内を減圧し、格
   納容器内に残存した溶剤を蒸発気化させて排気管に排出
   し、排気管に連通接続した冷却装置を用いて溶剤を凝縮
   回収する第２工程と、 からなることを特徴とする真空乾燥方法。
7. 【請求項７】 開閉可能な蓋部材を有する格納容器内に
   水系または非水系溶剤により洗浄した被乾燥物を格納
   し、格納容器の下部に設けた加熱槽に加熱した難燃性オ
   イルをオイル循環ポンプを用いて循環させるとともに、
   送風管から格納容器内に熱風を送風して格納容器内を加
   熱し、格納容器内で蒸発気化した溶剤ガスを格納容器に
   連通接続した排気管を介して格納容器外に導いて、排気
   管に連通接続した冷却装置を用いて溶剤を凝縮回収し、
   溶剤ガスを回収後の排気を冷却装置下流側の排気管から
   分岐した大気開放管により大気中に放散する第１工程
   と、 送風管に設けた第１開閉弁を閉塞して格納容器の熱風供
   給を停止し、大気開放管に設けた第２開閉弁を閉塞して
   排気管の大気連通状態を封鎖し、排気管の先端側に連通
   接続した真空発生装置を用いて格納容器内を減圧し、格
   納容器内に残存した溶剤を蒸発気化させて排気管に排出
   し、排気管に連通接続した冷却装置を用いて溶剤を凝縮
   回収する第２工程と、 を行なうことを１サイクルとし、このサイクルを繰り返
   して格納容器内の被乾燥物を乾燥することを特徴とする
   真空乾燥方法。