JPH0621026A - 密閉された光化学反応容器内における酸化膜のエッチング方法 - Google Patents
密閉された光化学反応容器内における酸化膜のエッチング方法Info
- Publication number
- JPH0621026A JPH0621026A JP5101531A JP10153193A JPH0621026A JP H0621026 A JPH0621026 A JP H0621026A JP 5101531 A JP5101531 A JP 5101531A JP 10153193 A JP10153193 A JP 10153193A JP H0621026 A JPH0621026 A JP H0621026A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oxide
- etching
- gas
- oxide film
- photochemical reaction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3105—After-treatment
- H01L21/311—Etching the insulating layers by chemical or physical means
- H01L21/31105—Etching inorganic layers
- H01L21/31111—Etching inorganic layers by chemical means
- H01L21/31116—Etching inorganic layers by chemical means by dry-etching
Abstract
(57)【要約】
【目的】酸化物のエッチング速度を制御する一方で、水
蒸気の使用、従って腐食の心配、を最小限にする、半導
体基板上の酸化膜のエッチング方法を提供する。 【構成】密閉された光化学反応容器12内において、半
導体または他の基板14上の酸化膜をエッチングする方
法である。無水フッ化水素(AHF)ガスまたは他のハ
ロゲン含有ガスと、窒素等の不活性ガスによって運ばれ
たアルコール蒸気と、がエッチングされるべき酸化物上
を通過する。UV放射が窓16を通って照射され、その
窓16がUV放射を通過させ、ガスが流れているとき
に、酸化物上にUV放射が照射される。UV窓16は、
エッチング処理ガスによって傷みにくい。エッチング速
度が修正され、改善された酸化物のエッチング特性を与
える。
蒸気の使用、従って腐食の心配、を最小限にする、半導
体基板上の酸化膜のエッチング方法を提供する。 【構成】密閉された光化学反応容器12内において、半
導体または他の基板14上の酸化膜をエッチングする方
法である。無水フッ化水素(AHF)ガスまたは他のハ
ロゲン含有ガスと、窒素等の不活性ガスによって運ばれ
たアルコール蒸気と、がエッチングされるべき酸化物上
を通過する。UV放射が窓16を通って照射され、その
窓16がUV放射を通過させ、ガスが流れているとき
に、酸化物上にUV放射が照射される。UV窓16は、
エッチング処理ガスによって傷みにくい。エッチング速
度が修正され、改善された酸化物のエッチング特性を与
える。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造の前段階
(front-end-semiconductor processing)に関し、特
に、半導体基板や他の基板上の酸化膜のエッチング過程
に関する。
(front-end-semiconductor processing)に関し、特
に、半導体基板や他の基板上の酸化膜のエッチング過程
に関する。
【0002】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】半導
体製造の前段階におけるエッチング操作中においては、
エッチング過程において、半導体基板上の他の膜を過剰
にエッチングすることなく、また、同時にガス流に水分
を加えることなく、酸化物を適切な速度において除去す
ることが常に問題であった。このような酸化物のタイプ
としては、ボロンりんガラス(borophosphate silicate
glass)、スピンオンガラス(spun on glass )、スパ
ッタされ、化学気相成長され、熱により、または、自然
/化学的に成長(偶然に)したものがある。室温付近に
おいて、そして大気圧において、基板上に残存すべき他
の材料を攻撃することなく、従来技術の方法等において
は、HFガス、HFガスに水蒸気を加えたもの、HFガ
スとアルコール、等を用いているが、これらの酸化物を
所望の厚さエッチングすることが常に問題であった。
体製造の前段階におけるエッチング操作中においては、
エッチング過程において、半導体基板上の他の膜を過剰
にエッチングすることなく、また、同時にガス流に水分
を加えることなく、酸化物を適切な速度において除去す
ることが常に問題であった。このような酸化物のタイプ
としては、ボロンりんガラス(borophosphate silicate
glass)、スピンオンガラス(spun on glass )、スパ
ッタされ、化学気相成長され、熱により、または、自然
/化学的に成長(偶然に)したものがある。室温付近に
おいて、そして大気圧において、基板上に残存すべき他
の材料を攻撃することなく、従来技術の方法等において
は、HFガス、HFガスに水蒸気を加えたもの、HFガ
スとアルコール、等を用いているが、これらの酸化物を
所望の厚さエッチングすることが常に問題であった。
【0003】本発明は、従来技術のエッチング過程の問
題を、HFガスあるいは他のハロゲン含有ガスと、アル
コールとをUV照射との組み合わせにおいて使用する方
法を提供することによって、解決する。
題を、HFガスあるいは他のハロゲン含有ガスと、アル
コールとをUV照射との組み合わせにおいて使用する方
法を提供することによって、解決する。
【0004】
【課題を解決するための手段および作用】本発明の一般
的な目的は、無水フッ化水素(AHF)ガス、およびア
ルコール蒸気化学(alcohol vapor chemistry )を用
い、製造の前段階における半導体や他の基板上の酸化膜
のエッチングのための150−600ナノメーターの波
長範囲における紫外光の刺激を提供することにある。紫
外光照射の目的は、種々の酸化物のエッチング過程を促
進し制御すること、および反応室内に水蒸気を供給する
必要をなくすことにある。反応室内に水蒸気を供給する
必要をなくすことにより、従来技術の方法に付随してい
た腐食についての心配が解消される。
的な目的は、無水フッ化水素(AHF)ガス、およびア
ルコール蒸気化学(alcohol vapor chemistry )を用
い、製造の前段階における半導体や他の基板上の酸化膜
のエッチングのための150−600ナノメーターの波
長範囲における紫外光の刺激を提供することにある。紫
外光照射の目的は、種々の酸化物のエッチング過程を促
進し制御すること、および反応室内に水蒸気を供給する
必要をなくすことにある。反応室内に水蒸気を供給する
必要をなくすことにより、従来技術の方法に付随してい
た腐食についての心配が解消される。
【0005】本発明の一実施例によれば、無水フッ化水
素ガス(AHF)とアルコール蒸気化学とを、150−
600ナノメーターの波長範囲の紫外線の照射下におい
て、酸化物を有する半導体基板を横切って供給して、酸
化物のエッチング速度を制御し、それによって、エッチ
ング特性を損うことなく、処理ガスから水蒸気を除去
し、腐食を最小限にする、半導体基板上の酸化膜のエッ
チング方法が提供される。
素ガス(AHF)とアルコール蒸気化学とを、150−
600ナノメーターの波長範囲の紫外線の照射下におい
て、酸化物を有する半導体基板を横切って供給して、酸
化物のエッチング速度を制御し、それによって、エッチ
ング特性を損うことなく、処理ガスから水蒸気を除去
し、腐食を最小限にする、半導体基板上の酸化膜のエッ
チング方法が提供される。
【0006】本発明の重大な局面および特徴は、酸化物
のエッチング速度を制御する一方で、同時に水蒸気の使
用、従って腐食の心配、を最小限にする、半導体基板上
の酸化膜のエッチングを含んでいる。
のエッチング速度を制御する一方で、同時に水蒸気の使
用、従って腐食の心配、を最小限にする、半導体基板上
の酸化膜のエッチングを含んでいる。
【0007】本発明の他の重大な局面および特徴は、従
来技術のエッチング過程によって従来経験されたエッチ
ング速度よりもはるかに大きいエッチング速度にある。
来技術のエッチング過程によって従来経験されたエッチ
ング速度よりもはるかに大きいエッチング速度にある。
【0008】本発明の実施例を以上において記載したよ
うに、本発明の主な目的は、150−600ナノメータ
ーの波長の紫外光の照射下において、無水フッ化水素
(AHF)ガス、または他の水素含有ガスと、アルコー
ル蒸気化学とを利用した、半導体または他の基板上の酸
化膜のエッチング方法を提供することにある。
うに、本発明の主な目的は、150−600ナノメータ
ーの波長の紫外光の照射下において、無水フッ化水素
(AHF)ガス、または他の水素含有ガスと、アルコー
ル蒸気化学とを利用した、半導体または他の基板上の酸
化膜のエッチング方法を提供することにある。
【0009】本発明の一目的は、「クラスタツールドラ
イクリーニング装置(Cluster ToolDry Cleaning Syste
m)」と題され、1992年1月15日に出願され、本
出願にレファランスとして組入れられた(incorporated
by reference )米国特許出願第07/820,985
号に開示され、クレームされたような、ドライクラスタ
ツール(dry cluster tool)における半導体基板上の酸
化膜のエッチング方法にある。
イクリーニング装置(Cluster ToolDry Cleaning Syste
m)」と題され、1992年1月15日に出願され、本
出願にレファランスとして組入れられた(incorporated
by reference )米国特許出願第07/820,985
号に開示され、クレームされたような、ドライクラスタ
ツール(dry cluster tool)における半導体基板上の酸
化膜のエッチング方法にある。
【0010】本発明の他の目的や本発明の付随する多く
の利点は、付随する図面と関連させて次の詳細な説明を
参照することによって、容易により良く理解されるであ
ろう。なお、図面全般にわたって、同じ参照符号は同じ
部分を示す。
の利点は、付随する図面と関連させて次の詳細な説明を
参照することによって、容易により良く理解されるであ
ろう。なお、図面全般にわたって、同じ参照符号は同じ
部分を示す。
【0011】
【実施例】図1は、半導体または他の基板上の酸化膜の
エッチング処理を行なうための装置の概略図である。室
12は、エッチングされるべき少なくとも1つの酸化膜
をその上に有する基板14を収容するのに十分な大きさ
である。UV窓16は150−600ナノメーターの範
囲の紫外光放射を通過させる。この紫外光放射は、紫外
光発生ランプ18によって放射されたものであるが、こ
れは説明の目的のみのための一例であって、本発明を制
限するように解釈されてはならない。出口端22におい
て、排出口20が室12に接続されている。シリンダー
26からの無水フッ化水素ガスとアルコールバブラー2
8からのアルコール蒸気が、入口端24にある。AHF
液化ガスのシリンダ圧力を増加させ、および/またはバ
ルブ33の駆動によりガス供給系内のオリフィスを通っ
て膨張するときにAHFガスが凝縮するのを防止するた
めに、選択的なヒーター30によって無水フッ化水素2
6を加熱することができる。選択的な窒素源34が、ま
た、バルブ35の駆動によってアルコールバブラー28
を通ってアルコール蒸気を運ぶ。
エッチング処理を行なうための装置の概略図である。室
12は、エッチングされるべき少なくとも1つの酸化膜
をその上に有する基板14を収容するのに十分な大きさ
である。UV窓16は150−600ナノメーターの範
囲の紫外光放射を通過させる。この紫外光放射は、紫外
光発生ランプ18によって放射されたものであるが、こ
れは説明の目的のみのための一例であって、本発明を制
限するように解釈されてはならない。出口端22におい
て、排出口20が室12に接続されている。シリンダー
26からの無水フッ化水素ガスとアルコールバブラー2
8からのアルコール蒸気が、入口端24にある。AHF
液化ガスのシリンダ圧力を増加させ、および/またはバ
ルブ33の駆動によりガス供給系内のオリフィスを通っ
て膨張するときにAHFガスが凝縮するのを防止するた
めに、選択的なヒーター30によって無水フッ化水素2
6を加熱することができる。選択的な窒素源34が、ま
た、バルブ35の駆動によってアルコールバブラー28
を通ってアルコール蒸気を運ぶ。
【0012】操作モード 酸化物を有する基板が、独立の単位(stand-alone uni
t)として使用されている、あるいは、米国特許出願第
07/820,985号に開示されているドライクラス
タツールの一部としての、密閉された光化学反応容器内
に置かれる。
t)として使用されている、あるいは、米国特許出願第
07/820,985号に開示されているドライクラス
タツールの一部としての、密閉された光化学反応容器内
に置かれる。
【0013】無水フッ化水素(AHF)による、半導体
または他の基板上の酸化膜のエッチングは、AHFおよ
びアルコール化学を150−600ナノメーターの波長
領域の紫外光照射にさらして、アルコール蒸気によって
制御される。紫外光照射は、酸化物のエッチング速度を
促進および制御し、また、一方で、処理ガスから、水蒸
気を実質的に除去し、または除去し、このようにするこ
とによって、腐食の心配を最小限にし、または、なくす
る。
または他の基板上の酸化膜のエッチングは、AHFおよ
びアルコール化学を150−600ナノメーターの波長
領域の紫外光照射にさらして、アルコール蒸気によって
制御される。紫外光照射は、酸化物のエッチング速度を
促進および制御し、また、一方で、処理ガスから、水蒸
気を実質的に除去し、または除去し、このようにするこ
とによって、腐食の心配を最小限にし、または、なくす
る。
【0014】本発明に対して、ここで明らかな範囲から
離れることなく、種々の修正を行なうことができる。
離れることなく、種々の修正を行なうことができる。
【図1】半導体基板上の酸化膜のエッチング過程のため
の装置の模式図である。
の装置の模式図である。
12……室 14……半導体基板 16……UV窓 20……排出口 22……出口端 24……入口端 26……シリンダー 28……アルコールバブラー 30……選択的なヒーター 32……窒素 33……バルブ 34……選択的な窒素源 35……バルブ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ケビン トーレック アメリカ合衆国、ペンシルバニア州 16801、ステート カレッジ、オールド ボールスバーグ ロード 1215 (72)発明者 リチャード イー.ノバク アメリカ合衆国、ミネソタ州 55447、プ リモウス、フォンテイン レーン 2000 (72)発明者 ジャージー ルジーロ アメリカ合衆国、ペンシルバニア州 16801、ステート カレッジ、ロイヤル サークル 616
Claims (1)
- 【請求項1】a.独立型の室またはクラスタツールに接
続された室内に基板を置く工程と、 b.同時にまたは連続して、無水フッ化水素ガスまたは
他のハロゲン含有ガスと、アルコール蒸気とを、前記室
内を通って通過させる工程と、 c.紫外光放射によって前記室の内部を照射する工程
と、 を有することを特徴とする半導体または他の基板上の少
なくとも1つの酸化膜をエッチングする方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US07/876,043 US5234540A (en) | 1992-04-30 | 1992-04-30 | Process for etching oxide films in a sealed photochemical reactor |
US07/876043 | 1992-04-30 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0621026A true JPH0621026A (ja) | 1994-01-28 |
Family
ID=25366875
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5101531A Pending JPH0621026A (ja) | 1992-04-30 | 1993-04-27 | 密閉された光化学反応容器内における酸化膜のエッチング方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5234540A (ja) |
EP (1) | EP0568363A2 (ja) |
JP (1) | JPH0621026A (ja) |
Families Citing this family (59)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5385633A (en) * | 1990-03-29 | 1995-01-31 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Method for laser-assisted silicon etching using halocarbon ambients |
KR940012061A (ko) * | 1992-11-27 | 1994-06-22 | 가나이 쯔또무 | 유기물제거방법 및 그 방법을 이용하기 위한 유기물제거장치 |
US5814156A (en) * | 1993-09-08 | 1998-09-29 | Uvtech Systems Inc. | Photoreactive surface cleaning |
WO1995007152A1 (en) * | 1993-09-08 | 1995-03-16 | Uvtech Systems, Inc. | Surface processing |
US5524272A (en) * | 1993-12-22 | 1996-06-04 | Gte Airfone Incorporated | Method and apparatus for distributing program material |
US5439553A (en) | 1994-03-30 | 1995-08-08 | Penn State Research Foundation | Controlled etching of oxides via gas phase reactions |
JPH0864559A (ja) * | 1994-06-14 | 1996-03-08 | Fsi Internatl Inc | 基板面から不要な物質を除去する方法 |
US5534107A (en) * | 1994-06-14 | 1996-07-09 | Fsi International | UV-enhanced dry stripping of silicon nitride films |
US6015503A (en) * | 1994-06-14 | 2000-01-18 | Fsi International, Inc. | Method and apparatus for surface conditioning |
US6124211A (en) * | 1994-06-14 | 2000-09-26 | Fsi International, Inc. | Cleaning method |
JPH0817815A (ja) * | 1994-06-30 | 1996-01-19 | Toshiba Corp | 半導体デバイスの製造方法、半導体基板の処理方法、分析方法及び製造方法 |
US5635102A (en) | 1994-09-28 | 1997-06-03 | Fsi International | Highly selective silicon oxide etching method |
US5967156A (en) * | 1994-11-07 | 1999-10-19 | Krytek Corporation | Processing a surface |
US5931721A (en) * | 1994-11-07 | 1999-08-03 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Aerosol surface processing |
US5814562A (en) * | 1995-08-14 | 1998-09-29 | Lucent Technologies Inc. | Process for semiconductor device fabrication |
US7025831B1 (en) | 1995-12-21 | 2006-04-11 | Fsi International, Inc. | Apparatus for surface conditioning |
US5782986A (en) * | 1996-01-11 | 1998-07-21 | Fsi International | Process for metals removal using beta-diketone or beta-ketoimine ligand forming compounds |
US5922219A (en) * | 1996-10-31 | 1999-07-13 | Fsi International, Inc. | UV/halogen treatment for dry oxide etching |
US6065481A (en) | 1997-03-26 | 2000-05-23 | Fsi International, Inc. | Direct vapor delivery of enabling chemical for enhanced HF etch process performance |
US7404863B2 (en) * | 1997-05-09 | 2008-07-29 | Semitool, Inc. | Methods of thinning a silicon wafer using HF and ozone |
US20050215063A1 (en) * | 1997-05-09 | 2005-09-29 | Bergman Eric J | System and methods for etching a silicon wafer using HF and ozone |
US6701941B1 (en) * | 1997-05-09 | 2004-03-09 | Semitool, Inc. | Method for treating the surface of a workpiece |
US20050034745A1 (en) * | 1997-05-09 | 2005-02-17 | Semitool, Inc. | Processing a workpiece with ozone and a halogenated additive |
US7163588B2 (en) * | 1997-05-09 | 2007-01-16 | Semitool, Inc. | Processing a workpiece using water, a base, and ozone |
US7416611B2 (en) * | 1997-05-09 | 2008-08-26 | Semitool, Inc. | Process and apparatus for treating a workpiece with gases |
US20020157686A1 (en) * | 1997-05-09 | 2002-10-31 | Semitool, Inc. | Process and apparatus for treating a workpiece such as a semiconductor wafer |
US6869487B1 (en) | 1997-05-09 | 2005-03-22 | Semitool, Inc. | Process and apparatus for treating a workpiece such as a semiconductor wafer |
US7264680B2 (en) * | 1997-05-09 | 2007-09-04 | Semitool, Inc. | Process and apparatus for treating a workpiece using ozone |
US7378355B2 (en) * | 1997-05-09 | 2008-05-27 | Semitool, Inc. | System and methods for polishing a wafer |
US6240933B1 (en) * | 1997-05-09 | 2001-06-05 | Semitool, Inc. | Methods for cleaning semiconductor surfaces |
US6165853A (en) * | 1997-06-16 | 2000-12-26 | Micron Technology, Inc. | Trench isolation method |
US6090683A (en) | 1997-06-16 | 2000-07-18 | Micron Technology, Inc. | Method of etching thermally grown oxide substantially selectively relative to deposited oxide |
US6165273A (en) | 1997-10-21 | 2000-12-26 | Fsi International Inc. | Equipment for UV wafer heating and photochemistry |
US6126847A (en) | 1997-11-24 | 2000-10-03 | Micron Technology Inc. | High selectivity etching process for oxides |
DE19813757C2 (de) | 1998-03-27 | 2000-12-14 | Siemens Ag | Verfahren zur Herstellung einer mit Fluor belgten Halbleiteroberfläche |
US6544842B1 (en) | 1999-05-01 | 2003-04-08 | Micron Technology, Inc. | Method of forming hemisphere grained silicon on a template on a semiconductor work object |
US7045454B1 (en) | 1999-05-11 | 2006-05-16 | Micron Technology, Inc. | Chemical mechanical planarization of conductive material |
US6290863B1 (en) | 1999-07-31 | 2001-09-18 | Micron Technology, Inc. | Method and apparatus for etch of a specific subarea of a semiconductor work object |
US6287879B1 (en) | 1999-08-11 | 2001-09-11 | Micron Technology, Inc. | Endpoint stabilization for polishing process |
US6150277A (en) * | 1999-08-30 | 2000-11-21 | Micron Technology, Inc. | Method of making an oxide structure having a finely calibrated thickness |
US6995068B1 (en) | 2000-06-09 | 2006-02-07 | Newport Fab, Llc | Double-implant high performance varactor and method for manufacturing same |
US7270724B2 (en) | 2000-12-13 | 2007-09-18 | Uvtech Systems, Inc. | Scanning plasma reactor |
US6773683B2 (en) * | 2001-01-08 | 2004-08-10 | Uvtech Systems, Inc. | Photocatalytic reactor system for treating flue effluents |
US20040154743A1 (en) * | 2002-11-29 | 2004-08-12 | Savas Stephen E. | Apparatus and method for low temperature stripping of photoresist and residues |
JP2004228150A (ja) * | 2003-01-20 | 2004-08-12 | Canon Inc | エッチング方法 |
US7468323B2 (en) * | 2004-02-27 | 2008-12-23 | Micron Technology, Inc. | Method of forming high aspect ratio structures |
US20060040111A1 (en) * | 2004-08-20 | 2006-02-23 | Dolechek Kert L | Process chamber and system for thinning a semiconductor workpiece |
US7288489B2 (en) * | 2004-08-20 | 2007-10-30 | Semitool, Inc. | Process for thinning a semiconductor workpiece |
US7354649B2 (en) | 2004-08-20 | 2008-04-08 | Semitool, Inc. | Semiconductor workpiece |
US20060046499A1 (en) * | 2004-08-20 | 2006-03-02 | Dolechek Kert L | Apparatus for use in thinning a semiconductor workpiece |
US7193295B2 (en) * | 2004-08-20 | 2007-03-20 | Semitool, Inc. | Process and apparatus for thinning a semiconductor workpiece |
JP2006167849A (ja) * | 2004-12-15 | 2006-06-29 | Denso Corp | マイクロ構造体の製造方法 |
KR100752642B1 (ko) * | 2005-02-02 | 2007-08-29 | 삼성전자주식회사 | 반도체소자의 커패시터 제조방법 |
US20060188658A1 (en) * | 2005-02-22 | 2006-08-24 | Grant Robert W | Pressurized reactor for thin film deposition |
JP5958950B2 (ja) * | 2011-07-13 | 2016-08-02 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
US9431268B2 (en) | 2015-01-05 | 2016-08-30 | Lam Research Corporation | Isotropic atomic layer etch for silicon and germanium oxides |
US9425041B2 (en) | 2015-01-06 | 2016-08-23 | Lam Research Corporation | Isotropic atomic layer etch for silicon oxides using no activation |
WO2019226341A1 (en) | 2018-05-25 | 2019-11-28 | Lam Research Corporation | Thermal atomic layer etch with rapid temperature cycling |
EP3821457A4 (en) | 2018-07-09 | 2022-04-13 | Lam Research Corporation | ETCHING ATOMIC LAYER ETCHING USING ELECTRON EXCITATION |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4605479A (en) * | 1985-06-24 | 1986-08-12 | Rca Corporation | In-situ cleaned ohmic contacts |
JPH069195B2 (ja) * | 1989-05-06 | 1994-02-02 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板の表面処理方法 |
US5022961B1 (en) * | 1989-07-26 | 1997-05-27 | Dainippon Screen Mfg | Method for removing a film on a silicon layer surface |
GB2234631B (en) * | 1989-07-27 | 1993-02-17 | Stc Plc | Selective etching of insulating materials |
JP2553946B2 (ja) * | 1990-02-20 | 1996-11-13 | 信淳 渡辺 | 基板表面処理用ガスの供給方法 |
-
1992
- 1992-04-30 US US07/876,043 patent/US5234540A/en not_active Expired - Lifetime
-
1993
- 1993-04-27 JP JP5101531A patent/JPH0621026A/ja active Pending
- 1993-04-28 EP EP93303352A patent/EP0568363A2/en not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5234540A (en) | 1993-08-10 |
EP0568363A3 (ja) | 1994-03-30 |
EP0568363A2 (en) | 1993-11-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0621026A (ja) | 密閉された光化学反応容器内における酸化膜のエッチング方法 | |
US4749440A (en) | Gaseous process and apparatus for removing films from substrates | |
US4936940A (en) | Equipment for surface treatment | |
US5178721A (en) | Process and apparatus for dry cleaning by photo-excited radicals | |
JPH10303186A (ja) | 三フッ化窒素と酸素での熱的清浄方法 | |
JPH04302145A (ja) | 洗浄方法 | |
JP3150509B2 (ja) | 有機物除去方法及びその方法を使用するための装置 | |
WO1998037575A1 (fr) | Procede et appareil de traitement de surface | |
JPS6187338A (ja) | 多重ビ−ム照射Si表面ドライ洗浄法 | |
JP3680577B2 (ja) | レジスト除去洗浄方法及び装置 | |
JPH0796259A (ja) | 基体表面からの気相ゴミ除去装置及び除去方法並びにプロセス装置及びプロセスライン | |
JP2682479B2 (ja) | ドライエッチング方法 | |
JPH0684887A (ja) | 半導体ウェーハの保護膜形成方法及び同装置 | |
JPH05217968A (ja) | 半導体基板の表面処理方法 | |
JP2000077387A (ja) | レジスト除去方法及びその装置 | |
JP2804106B2 (ja) | 乾燥方法及び装置 | |
JP2000225337A (ja) | 紫外線処理方法 | |
JPH03133125A (ja) | レジストアッシング装置 | |
JPH01233728A (ja) | 表面処理方法および装置 | |
JPH08236492A (ja) | 光洗浄方法 | |
JPH07308567A (ja) | 容器の洗浄方法及び洗浄装置 | |
JPH0611347U (ja) | レジスト膜のアッシング装置 | |
JP3460855B2 (ja) | 洗浄方法及び洗浄装置 | |
JPS6242530A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPS62165330A (ja) | 有機ホトレジスト膜の除去方法 |