JPH0653804A - 補正テーブル生成方法、補正テーブル生成装置及び変位検出センサ - Google Patents
補正テーブル生成方法、補正テーブル生成装置及び変位検出センサInfo
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- JPH0653804A JPH0653804A JP22500292A JP22500292A JPH0653804A JP H0653804 A JPH0653804 A JP H0653804A JP 22500292 A JP22500292 A JP 22500292A JP 22500292 A JP22500292 A JP 22500292A JP H0653804 A JPH0653804 A JP H0653804A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 発振コイルや温度センサのばらつきの影響が
なく、正確に物体までの変位を検出できるようにするこ
と。 【構成】 発振コイル３を有する発振回路４と温度セン
サであるサーミスタ５とをセンサ部１に設ける。サーミ
スタ５にはＣＲ発振回路６を接続する。又この発振回路
４，６の周波数を測定するカウンタ９，１０を設ける。
そしてあらかじめ各温度に対するカウンタ９，１０の出
力を補正するための補正テーブルメモリ１３を設けてお
く。測定時にはこの補正テーブルメモリ１３に基づいて
カウンタ９の計数値を補正し、温度及び各変位センサに
固有の素子のばらつきを打ち消して正確に物体までの距
離を検出できるようにしている。
なく、正確に物体までの変位を検出できるようにするこ
と。 【構成】 発振コイル３を有する発振回路４と温度セン
サであるサーミスタ５とをセンサ部１に設ける。サーミ
スタ５にはＣＲ発振回路６を接続する。又この発振回路
４，６の周波数を測定するカウンタ９，１０を設ける。
そしてあらかじめ各温度に対するカウンタ９，１０の出
力を補正するための補正テーブルメモリ１３を設けてお
く。測定時にはこの補正テーブルメモリ１３に基づいて
カウンタ９の計数値を補正し、温度及び各変位センサに
固有の素子のばらつきを打ち消して正確に物体までの距
離を検出できるようにしている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は被検出物体の接近による
変位を非接触で検知するための変位検出センサに関する
ものである。
変位を非接触で検知するための変位検出センサに関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来高周波発振型の近接スイッチでは発
振コイルを設けた発振回路を有し、一定周波数で発振さ
せており、金属体の接近により発振の振幅や周波数が変
化することに基づいて物体を検出するようにしている。
例えば図１０に示す近接スイッチでは、発振回路１０１
に発振コイル１０２を設け一定の周波数で発振させてお
り、その出力は検波回路１０３に与えられる。検波回路
１０３ではその出力を検波して直流レベルの信号に変換
し、リニアライザ１０４によって直線化して距離に対応
した信号を得ている。そして比較回路１０５においてこ
の信号を使用者が設定した設定値で弁別することによっ
て、特定の距離までに物体が近接した場合に出力するよ
うにしている。
振コイルを設けた発振回路を有し、一定周波数で発振さ
せており、金属体の接近により発振の振幅や周波数が変
化することに基づいて物体を検出するようにしている。
例えば図１０に示す近接スイッチでは、発振回路１０１
に発振コイル１０２を設け一定の周波数で発振させてお
り、その出力は検波回路１０３に与えられる。検波回路
１０３ではその出力を検波して直流レベルの信号に変換
し、リニアライザ１０４によって直線化して距離に対応
した信号を得ている。そして比較回路１０５においてこ
の信号を使用者が設定した設定値で弁別することによっ
て、特定の距離までに物体が近接した場合に出力するよ
うにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこのよう
な従来の近接スイッチでは、物体の到来による発振コイ
ル１０２のコンダクタンスの変化よりも温度変化による
ものの方が大きい。従って温度による影響をなくすため
に、発振回路１０１の帰還回路部にサーミスタ等の温度
補償素子１０７を接続し、温度補償を行うようにしてい
る。しかし発振コイル１０２のコンダクタンスの温度特
性のばらつきや、サーミスタの定数のばらつきが影響す
るため、温度に対して高精度に補償された近接スイッチ
を得ることは難しいという欠点があった。
な従来の近接スイッチでは、物体の到来による発振コイ
ル１０２のコンダクタンスの変化よりも温度変化による
ものの方が大きい。従って温度による影響をなくすため
に、発振回路１０１の帰還回路部にサーミスタ等の温度
補償素子１０７を接続し、温度補償を行うようにしてい
る。しかし発振コイル１０２のコンダクタンスの温度特
性のばらつきや、サーミスタの定数のばらつきが影響す
るため、温度に対して高精度に補償された近接スイッチ
を得ることは難しいという欠点があった。
【０００４】本発明はこのような従来の問題点に着目し
てなされたものであって、発振コイルの温度特性のばら
つきやサーミスタの温度のばらつき等の影響がなく、高
精度で物体の変位を検知することができる変位センサを
提供することを目的とする。
てなされたものであって、発振コイルの温度特性のばら
つきやサーミスタの温度のばらつき等の影響がなく、高
精度で物体の変位を検知することができる変位センサを
提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本願の請求項１の発明
は、発振コイルを有し該発振コイルへの被検出物体の接
近によって発振周波数が変化する第１の発振回路と、第
１の発振回路の温度の変化によって発振周波数が変化す
る第２の発振回路と、第１，第２の発振回路の発振周波
数を計数する第１，第２の計数手段と、を有する変位検
出センサに用いられる補正テーブルを生成する補正テー
ブル生成方法であって、使用温度範囲での第１の発振回
路の各温度に対応した第２の計数手段より得られるべき
演算値を算出して第１の計数テーブルを生成する第１の
ステップと、使用温度範囲での第１の発振回路の各温度
に対応して第１，第２の計数手段より得られる計数値を
夫々第２，第３の計数テーブルとして生成する第２のス
テップと、第２及び第３の計数テーブルのデータを比例
配分することによって第１のテーブルの各温度での演算
値に対応した第１の計数手段より得られるべき演算値を
算出する第３のステップと、第３のステップの各演算値
から第１の計数手段の基準計数値ＮR を減算することに
よって各温度での補正値ΔＮの第４の計数テーブルを算
出する第４のステップと、を具備し、第１，第４の計数
テーブルを補正テーブルデータとすることを特徴とする
ものである。
は、発振コイルを有し該発振コイルへの被検出物体の接
近によって発振周波数が変化する第１の発振回路と、第
１の発振回路の温度の変化によって発振周波数が変化す
る第２の発振回路と、第１，第２の発振回路の発振周波
数を計数する第１，第２の計数手段と、を有する変位検
出センサに用いられる補正テーブルを生成する補正テー
ブル生成方法であって、使用温度範囲での第１の発振回
路の各温度に対応した第２の計数手段より得られるべき
演算値を算出して第１の計数テーブルを生成する第１の
ステップと、使用温度範囲での第１の発振回路の各温度
に対応して第１，第２の計数手段より得られる計数値を
夫々第２，第３の計数テーブルとして生成する第２のス
テップと、第２及び第３の計数テーブルのデータを比例
配分することによって第１のテーブルの各温度での演算
値に対応した第１の計数手段より得られるべき演算値を
算出する第３のステップと、第３のステップの各演算値
から第１の計数手段の基準計数値ＮR を減算することに
よって各温度での補正値ΔＮの第４の計数テーブルを算
出する第４のステップと、を具備し、第１，第４の計数
テーブルを補正テーブルデータとすることを特徴とする
ものである。
【０００６】本願の請求項２の発明は、発振コイルを有
し該発振コイルへの被検出物体の接近によって発振周波
数が変化する第１の発振回路と、第１の発振回路の温度
の変化によって発振周波数が変化する第２の発振回路
と、第１，第２の発振回路の発振周波数を計数する第
１，第２の計数手段と、を有する変位検出センサに用い
られる補正テーブルを生成する補正テーブル生成装置で
あって、使用温度範囲での第１の発振回路の各温度に対
応した第２の計数手段より得られるべき演算値を算出し
て第１の計数テーブルを生成する第１の計数テーブル算
出手段と、使用温度範囲での第１の発振回路の各温度に
対応して第１，第２の計数手段より得られる計数値を夫
々第２，第３の計数テーブルとして生成する第２の計数
テーブル生成手段と、第２及び第３の計数テーブルのデ
ータを比例配分することによって第１のテーブルの各温
度での演算値に対応した第１の計数手段より得られるべ
き演算値を算出し、第１の計数手段の基準計数値ＮR を
減算することによって各温度での補正値ΔＮの第４のテ
ーブルを算出するΔＮテーブル算出手段と、を具備する
ことを特徴とするものである。
し該発振コイルへの被検出物体の接近によって発振周波
数が変化する第１の発振回路と、第１の発振回路の温度
の変化によって発振周波数が変化する第２の発振回路
と、第１，第２の発振回路の発振周波数を計数する第
１，第２の計数手段と、を有する変位検出センサに用い
られる補正テーブルを生成する補正テーブル生成装置で
あって、使用温度範囲での第１の発振回路の各温度に対
応した第２の計数手段より得られるべき演算値を算出し
て第１の計数テーブルを生成する第１の計数テーブル算
出手段と、使用温度範囲での第１の発振回路の各温度に
対応して第１，第２の計数手段より得られる計数値を夫
々第２，第３の計数テーブルとして生成する第２の計数
テーブル生成手段と、第２及び第３の計数テーブルのデ
ータを比例配分することによって第１のテーブルの各温
度での演算値に対応した第１の計数手段より得られるべ
き演算値を算出し、第１の計数手段の基準計数値ＮR を
減算することによって各温度での補正値ΔＮの第４のテ
ーブルを算出するΔＮテーブル算出手段と、を具備する
ことを特徴とするものである。
【０００７】本願の請求項４の発明は、発振コイルを有
し該発振コイルへの被検出物体の接近によって発振周波
数が変化する第１の発振回路と、第１の発振回路の温度
の変化によって発振周波数が変化する第２の発振回路
と、第１，第２の発振回路の発振周波数を計数し、夫々
計数値ＮS ，ＭT を得る第１，第２の計数手段と、請求
項１によって生成された補正テーブルによって第２の計
数手段の計数値ＭT に対応する補正値ΔＮを比例配分に
よって算出する温度補正処理部と、温度補正処理部より
得られる補正値ΔＮと基準値ＮR とを加算する加算手段
と、第１の計数手段の計数値Ｎｓから加算手段の加算値
（ΔＮ＋ＮR ）を減算する減算手段と、を具備すること
を特徴とするものである。
し該発振コイルへの被検出物体の接近によって発振周波
数が変化する第１の発振回路と、第１の発振回路の温度
の変化によって発振周波数が変化する第２の発振回路
と、第１，第２の発振回路の発振周波数を計数し、夫々
計数値ＮS ，ＭT を得る第１，第２の計数手段と、請求
項１によって生成された補正テーブルによって第２の計
数手段の計数値ＭT に対応する補正値ΔＮを比例配分に
よって算出する温度補正処理部と、温度補正処理部より
得られる補正値ΔＮと基準値ＮR とを加算する加算手段
と、第１の計数手段の計数値Ｎｓから加算手段の加算値
（ΔＮ＋ＮR ）を減算する減算手段と、を具備すること
を特徴とするものである。
【０００８】本願の請求項５の発明は、減算手段より得
られる出力Ｎｄを発振コイルから物体までの距離ｄに対
して直線化する変位算出処理部と、を具備することを特
徴とするものである。
られる出力Ｎｄを発振コイルから物体までの距離ｄに対
して直線化する変位算出処理部と、を具備することを特
徴とするものである。
【０００９】
【作用】このような特徴を有する本願の請求項１〜３の
発明によれば、第２の計数手段より得られるべき演算値
をまず演算によって算出して第１の計数テーブルを生成
している。そして第１の発振回路の温度を使用範囲内で
連続して変化させ、各温度に対応して第１，第２の計数
手段から得られる計数値を第２，第３の計数テーブルと
している。そして第２，第３の計数テーブルのデータの
比例配分によって、第１の計数テーブルの各温度での計
数値に対応した第１の計数手段より得られるべき演算値
を算出し、基準計数値ＮR を減算することによって補正
値ΔＮの第４のテーブルを得ている。このΔＮの第４の
計数テーブルと第１の計数テーブルとを補正テーブルデ
ータとして補正テーブルを生成している。
発明によれば、第２の計数手段より得られるべき演算値
をまず演算によって算出して第１の計数テーブルを生成
している。そして第１の発振回路の温度を使用範囲内で
連続して変化させ、各温度に対応して第１，第２の計数
手段から得られる計数値を第２，第３の計数テーブルと
している。そして第２，第３の計数テーブルのデータの
比例配分によって、第１の計数テーブルの各温度での計
数値に対応した第１の計数手段より得られるべき演算値
を算出し、基準計数値ＮR を減算することによって補正
値ΔＮの第４のテーブルを得ている。このΔＮの第４の
計数テーブルと第１の計数テーブルとを補正テーブルデ
ータとして補正テーブルを生成している。
【００１０】又請求項４及び５の変位検出センサでは、
この補正テーブルを用い、第２の計数手段から得られる
計数値ＭT によりそのときの温度に対応した補正値ΔＮ
を得ている。そして基準値ＮR と加算し第１の計数手段
からの計数値ＮS より減算することによって温度に依存
しない距離情報Ｎｄを得ている。又請求項５の発明で
は、このデータＮｄを変位算出処理部によって直線化処
理している。
この補正テーブルを用い、第２の計数手段から得られる
計数値ＭT によりそのときの温度に対応した補正値ΔＮ
を得ている。そして基準値ＮR と加算し第１の計数手段
からの計数値ＮS より減算することによって温度に依存
しない距離情報Ｎｄを得ている。又請求項５の発明で
は、このデータＮｄを変位算出処理部によって直線化処
理している。
【００１１】
【実施例】図１は本発明の一実施例による変位検出セン
サの全体構成を示すブロック図である。本図においてこ
の変位検出センサはセンサ部１とその他の電子回路部２
から構成される。センサ部１には図示のように発振コイ
ル３を有する第１の発振回路４と温度検出素子、例えば
サーミスタ５が設けられる。ここでセンサ部１はその前
面に発振コイル３を有しており、物体が近接したときに
物体までの距離によって発振周波数ｆS が変化するもの
とする。
サの全体構成を示すブロック図である。本図においてこ
の変位検出センサはセンサ部１とその他の電子回路部２
から構成される。センサ部１には図示のように発振コイ
ル３を有する第１の発振回路４と温度検出素子、例えば
サーミスタ５が設けられる。ここでセンサ部１はその前
面に発振コイル３を有しており、物体が近接したときに
物体までの距離によって発振周波数ｆS が変化するもの
とする。
【００１２】さて電子回路部２にはサーミスタ５を１つ
の抵抗とする第２のＣＲ発振回路６が設けられている。
このＣＲ発振回路６の発振周波数をｆT とする。これら
の発振回路４及びＣＲ発振回路６の出力は夫々分周回路
７，８に与えられる。分周回路７，８は夫々発振周波数
を１／Ｋｓ、１／Ｋｔ分周するもので、この分周値Ｋ
ｓ，Ｋｔは設定できるものとする。そして分周出力は夫
々カウンタ９及び１０に与えられる。又電子回路部２内
には、一定の周波数、例えば１０ＭHz及び4000Hzのクロ
ック周波数を有する基準クロック発振器１１を有してお
り、夫々のクロック信号はカウンタ９及び１０に与えら
れる。カウンタ９及び１０は分周出力をゲート信号とし
てこの基準クロック発振器１１のクロック数を計数する
カウンタであり、分周回路７，８及び基準クロック発振
器１１と共に夫々第１，第２の計数手段を構成してい
る。ここでカウンタ９の計数値をＮS とし、カウンタ１
０の計数値をＮT とし、これらの出力はマイクロコンピ
ュータ１２に与えられる。マイクロコンピュータ１２に
は後述する補正用のテーブルである温度補正テーブルメ
モリ１３，リニア補正テーブルメモリ１４が接続され
る。これらのメモリ１３，１４は例えばＥ2 ＰＲＯＭに
よって構成される。マイクロコンピュータ１２はこの温
度補正用テーブルによって温度補正処理を行い、変位デ
ータに変換すると共に、リニア補正テーブルによってこ
れを直線化する。そして設定部１５によって設定された
位置データとの比較を行い、表示部１６によって表示す
ると共に出力部１７より出力するものである。
の抵抗とする第２のＣＲ発振回路６が設けられている。
このＣＲ発振回路６の発振周波数をｆT とする。これら
の発振回路４及びＣＲ発振回路６の出力は夫々分周回路
７，８に与えられる。分周回路７，８は夫々発振周波数
を１／Ｋｓ、１／Ｋｔ分周するもので、この分周値Ｋ
ｓ，Ｋｔは設定できるものとする。そして分周出力は夫
々カウンタ９及び１０に与えられる。又電子回路部２内
には、一定の周波数、例えば１０ＭHz及び4000Hzのクロ
ック周波数を有する基準クロック発振器１１を有してお
り、夫々のクロック信号はカウンタ９及び１０に与えら
れる。カウンタ９及び１０は分周出力をゲート信号とし
てこの基準クロック発振器１１のクロック数を計数する
カウンタであり、分周回路７，８及び基準クロック発振
器１１と共に夫々第１，第２の計数手段を構成してい
る。ここでカウンタ９の計数値をＮS とし、カウンタ１
０の計数値をＮT とし、これらの出力はマイクロコンピ
ュータ１２に与えられる。マイクロコンピュータ１２に
は後述する補正用のテーブルである温度補正テーブルメ
モリ１３，リニア補正テーブルメモリ１４が接続され
る。これらのメモリ１３，１４は例えばＥ2 ＰＲＯＭに
よって構成される。マイクロコンピュータ１２はこの温
度補正用テーブルによって温度補正処理を行い、変位デ
ータに変換すると共に、リニア補正テーブルによってこ
れを直線化する。そして設定部１５によって設定された
位置データとの比較を行い、表示部１６によって表示す
ると共に出力部１７より出力するものである。
【００１３】次にマイクロコンピュータ１２内の詳細な
機能ブロックについて図２を参照しつつ説明する。マイ
クロコンピュータ１２内には、カウンタ１０からの計数
値ＭT を補正する温度補正テーブルメモリ１３に基づい
て、基準温度に対する現在の温度のパルス数での補正値
ΔＮを算出する温度補正処理部２１が設けられる。又パ
ルス数の基準値ＮR を出力する基準値出力部２２が設け
られている。この基準値ＮR は本実施例では 25600とす
る。このΔＮとパルス数の基準値ＮR とは加算手段２３
に与えられる。加算手段２３はこれらを加算するもので
あって、その出力は減算手段２４に与えられる。減算手
段２４はカウンタ９の計数値ＮS から加算値ＮR ＋ΔＮ
を減算するものであって、Ｎｄ（＝ＮS −（ＮR ＋Δ
Ｎ））が算出される。そしてこのＮｄが変位情報として
変位算出処理部２５に与えられる。変位算出処理部２５
はこれを直線化するものであって、基準位置からの変位
情報±Δｄが得られる。この±Δｄの変位情報を設定部
１５で設定された設定値ＩＮ１によって減算し、減算手
段２６により減算する。こうすれば設定位置からの変位
情報に変換されることとなって、この値が表示部１６に
表示される。又この設定位置からの変位が入力値ＩＮ２
と比較部２７によって比較され、比較出力が出力部１７
に与えられる。
機能ブロックについて図２を参照しつつ説明する。マイ
クロコンピュータ１２内には、カウンタ１０からの計数
値ＭT を補正する温度補正テーブルメモリ１３に基づい
て、基準温度に対する現在の温度のパルス数での補正値
ΔＮを算出する温度補正処理部２１が設けられる。又パ
ルス数の基準値ＮR を出力する基準値出力部２２が設け
られている。この基準値ＮR は本実施例では 25600とす
る。このΔＮとパルス数の基準値ＮR とは加算手段２３
に与えられる。加算手段２３はこれらを加算するもので
あって、その出力は減算手段２４に与えられる。減算手
段２４はカウンタ９の計数値ＮS から加算値ＮR ＋ΔＮ
を減算するものであって、Ｎｄ（＝ＮS −（ＮR ＋Δ
Ｎ））が算出される。そしてこのＮｄが変位情報として
変位算出処理部２５に与えられる。変位算出処理部２５
はこれを直線化するものであって、基準位置からの変位
情報±Δｄが得られる。この±Δｄの変位情報を設定部
１５で設定された設定値ＩＮ１によって減算し、減算手
段２６により減算する。こうすれば設定位置からの変位
情報に変換されることとなって、この値が表示部１６に
表示される。又この設定位置からの変位が入力値ＩＮ２
と比較部２７によって比較され、比較出力が出力部１７
に与えられる。
【００１４】次に温度補正処理部２１での処理について
詳細に説明する。本実施例ではまずセンサ部１の温度
は、センサ部１内のサーミスタ５によって検出される。
ＣＲ発振回路６はサーミスタ５の抵抗Ｒに対応した発振
周波数で発振することとなる。従って発振周波数からセ
ンサ部１の温度情報を得ることができる。さてサーミス
タ５の任意の温度Ｔでの抵抗値Ｒは、次式によって定ま
る。 Ｒ＝Ｒ0expＢ（１／Ｔ−１／Ｔ0 ） ・・・（１） Ｔ ：任意の温度（°Ｋ） Ｒ ：温度Ｔでの抵抗値 Ｔ0 ：基準温度（°Ｋ） Ｒ0 ：基準温度Ｔ0 における抵抗値 Ｂ ：Ｂ定数
詳細に説明する。本実施例ではまずセンサ部１の温度
は、センサ部１内のサーミスタ５によって検出される。
ＣＲ発振回路６はサーミスタ５の抵抗Ｒに対応した発振
周波数で発振することとなる。従って発振周波数からセ
ンサ部１の温度情報を得ることができる。さてサーミス
タ５の任意の温度Ｔでの抵抗値Ｒは、次式によって定ま
る。 Ｒ＝Ｒ0expＢ（１／Ｔ−１／Ｔ0 ） ・・・（１） Ｔ ：任意の温度（°Ｋ） Ｒ ：温度Ｔでの抵抗値 Ｔ0 ：基準温度（°Ｋ） Ｒ0 ：基準温度Ｔ0 における抵抗値 Ｂ ：Ｂ定数
【００１５】ここで温度補正処理に用いる温度補正テー
ブルの作成について説明する。ＣＲ発振回路６の発振周
波数はサーミスタ５の抵抗値Ｒ、即ち温度及び固有のＢ
定数によって変化する。本実施例ではサーミスタ５の個
別のデータ及び発振コイル３の固有のばらつきによるカ
ウンタ９の計数値をデータとして取込み、これに基づい
て補正を行っている。図３はこれらの個別の素子のデー
タに基づいて温度補正テーブル１３を作成するための補
正テーブル生成装置３０を示すブロック図である。本図
において図１と同一符号の各ブロックは図１と同一のも
のであって、各変位センサ毎に固有の発振コイル３，サ
ーミスタ５を有するセンサ部１自体を恒温槽３１に入れ
る。恒温槽３１の温度は制御部３２によって制御されて
いる。そして所定の温度での発振周波数ｆS ，ｆT に夫
々対応したカウンタ９，１０の計数値ＮS 及びＮT を求
める。そしてカウンタ９，１０からの出力をデータ書込
部３３を介してデータメモリ３４に書込む。データメモ
リ３４はＥ2 ＰＲＯＭによって構成されている。
ブルの作成について説明する。ＣＲ発振回路６の発振周
波数はサーミスタ５の抵抗値Ｒ、即ち温度及び固有のＢ
定数によって変化する。本実施例ではサーミスタ５の個
別のデータ及び発振コイル３の固有のばらつきによるカ
ウンタ９の計数値をデータとして取込み、これに基づい
て補正を行っている。図３はこれらの個別の素子のデー
タに基づいて温度補正テーブル１３を作成するための補
正テーブル生成装置３０を示すブロック図である。本図
において図１と同一符号の各ブロックは図１と同一のも
のであって、各変位センサ毎に固有の発振コイル３，サ
ーミスタ５を有するセンサ部１自体を恒温槽３１に入れ
る。恒温槽３１の温度は制御部３２によって制御されて
いる。そして所定の温度での発振周波数ｆS ，ｆT に夫
々対応したカウンタ９，１０の計数値ＮS 及びＮT を求
める。そしてカウンタ９，１０からの出力をデータ書込
部３３を介してデータメモリ３４に書込む。データメモ
リ３４はＥ2 ＰＲＯＭによって構成されている。
【００１６】さて恒温槽３１で正確に規定できる温度を
例えば−１０℃及び＋６０℃とすると、ＭT テーブル算
出部３５はこの温度での発振周波数からサーミスタ５の
抵抗値を算出し、これによってＢ定数を算出する。こう
すれば任意の温度でのサーミスタ５の抵抗値を計算によ
って求めることができる。
例えば−１０℃及び＋６０℃とすると、ＭT テーブル算
出部３５はこの温度での発振周波数からサーミスタ５の
抵抗値を算出し、これによってＢ定数を算出する。こう
すれば任意の温度でのサーミスタ５の抵抗値を計算によ
って求めることができる。
【００１７】次にこの変位センサが使用可能な全ての温
度、本実施例では−３０℃〜７８℃までの温度につい
て、例えば２℃刻みでのサーミスタの温度に対する抵抗
値を求める。そして各抵抗値からＣＲ発振回路６の発振
周波数及びこの発振周波数に対応したカウンタ１０の計
数値ＭT を計算によって算出する。そして各温度でのＭ
T 値をデータメモリ３６内のＭT テーブルエリアに書込
む。図４（ａ）はこうして演算によって求められたＭT
値の変化を示す第１の計数テーブルである。ここでＭT
テーブル算出部３５は第２の計数手段から得られる各温
度での演算値を算出する第１の計数テーブル算出手段で
ある。
度、本実施例では−３０℃〜７８℃までの温度につい
て、例えば２℃刻みでのサーミスタの温度に対する抵抗
値を求める。そして各抵抗値からＣＲ発振回路６の発振
周波数及びこの発振周波数に対応したカウンタ１０の計
数値ＭT を計算によって算出する。そして各温度でのＭ
T 値をデータメモリ３６内のＭT テーブルエリアに書込
む。図４（ａ）はこうして演算によって求められたＭT
値の変化を示す第１の計数テーブルである。ここでＭT
テーブル算出部３５は第２の計数手段から得られる各温
度での演算値を算出する第１の計数テーブル算出手段で
ある。
【００１８】さて図３に示すように恒温槽３１にセンサ
部１を実際に入れて制御部３２を動作させ、温度を変化
させる。図６は物体までの距離ｄに対するカウンタ９の
計数値ＮS の変化を示すグラフである。本図に示すよう
に物体までの距離ｄのうち検知領域を 100％として、そ
の１／２までの距離を基準距離ｄR としている。この基
準距離ｄR における基準温度、本実施例では２４℃のＮ
S 値を基準値ＮR とする。ＮR は 25600パルスとなるよ
うに設定する。例えば基準クロック発振器１１の第１の
クロック周波数が１０ＭHzに設定されている場合は、分
周数Ｋｓを変化させて分周回路７の出力パルス幅を2.56
msとする。こうして得られた基準値ＮRを図２に示す基
準値出力部２２から出力できるようにしておく。又この
基準温度でのＭT 値を例えば8000パルスとなるように設
定する。この場合には分周回路８の分周数ＫT を変化さ
せて出力パルス幅を２秒とし、基準クロック発振器１１
の4000Hzの第２のクロック周波数を計数することによっ
て、8000のパルス数を得ている。
部１を実際に入れて制御部３２を動作させ、温度を変化
させる。図６は物体までの距離ｄに対するカウンタ９の
計数値ＮS の変化を示すグラフである。本図に示すよう
に物体までの距離ｄのうち検知領域を 100％として、そ
の１／２までの距離を基準距離ｄR としている。この基
準距離ｄR における基準温度、本実施例では２４℃のＮ
S 値を基準値ＮR とする。ＮR は 25600パルスとなるよ
うに設定する。例えば基準クロック発振器１１の第１の
クロック周波数が１０ＭHzに設定されている場合は、分
周数Ｋｓを変化させて分周回路７の出力パルス幅を2.56
msとする。こうして得られた基準値ＮRを図２に示す基
準値出力部２２から出力できるようにしておく。又この
基準温度でのＭT 値を例えば8000パルスとなるように設
定する。この場合には分周回路８の分周数ＫT を変化さ
せて出力パルス幅を２秒とし、基準クロック発振器１１
の4000Hzの第２のクロック周波数を計数することによっ
て、8000のパルス数を得ている。
【００１９】そして恒温槽３１にセンサ部１を入れた状
態で恒温槽３１の温度を連続して変化させることによっ
て、−３０℃〜７８℃までの各温度で例えば２℃刻みで
ＭT値及びＮS 値を得る。そしてこのデータを図５
（ａ）及び（ｂ）に示すようにデータメモリ３４に書込
む。尚このときの温度は厳密に規定しておらず、ＭT 値
に対するＮS 値の関係を知るために用いられる。ここで
データ書込部３３は発振回路３の使用範囲の各温度での
第１，第２の計数手段により得られる計数値ＮS ，ＭT
を第２，第３の計数テーブルとして生成する第２の計数
テーブル生成手段を構成している。又こうして得られる
図５（ａ）及び（ｂ）のテーブルは第２，第３のテーブ
ルとなっている。
態で恒温槽３１の温度を連続して変化させることによっ
て、−３０℃〜７８℃までの各温度で例えば２℃刻みで
ＭT値及びＮS 値を得る。そしてこのデータを図５
（ａ）及び（ｂ）に示すようにデータメモリ３４に書込
む。尚このときの温度は厳密に規定しておらず、ＭT 値
に対するＮS 値の関係を知るために用いられる。ここで
データ書込部３３は発振回路３の使用範囲の各温度での
第１，第２の計数手段により得られる計数値ＮS ，ＭT
を第２，第３の計数テーブルとして生成する第２の計数
テーブル生成手段を構成している。又こうして得られる
図５（ａ）及び（ｂ）のテーブルは第２，第３のテーブ
ルとなっている。
【００２０】さてＮS テーブル算出部３７はこうして得
られた図５のＭT 及びＮS のテーブルと図４（ａ）に示
す計算で求めたＭT のテーブルから、各温度でのＮS 値
を算出し、データメモリ３６に書込む。即ち図４（ａ）
のＭT テーブルの各ＭT 値に対応してその前後のＭT 値
を図５（ａ）のテーブルから捜し出す。そして比例演算
によって図４（ａ）の各ＭT 値に対応するＮS 値を図４
（ｂ）に示すように算出する。又ΔＮテーブル算出部３
８はこうして求められた各温度でのＮS 値と基準温度、
ここでは２４℃でのＮS 値（＝ＮR ＝25600)との差から
ΔＮを演算によって求め、これを図４（ｃ）に示すΔＮ
テーブル（第４のテーブル）としてデータメモリ３６に
書込む。ここでＮS テーブル算出部３７は図５（ａ），
（ｂ）に示す計数テーブルのデータを比例配分すること
によって図４（ａ）のテーブルの各温度での演算値に対
応した第１の計数手段より得られるべき演算値を算出す
る第３の計数テーブル算出手段であり、ＮS テーブル算
出部３８はこのテーブルから基準計数値ＮR を減算する
ことによって補正値ΔＮの第４のテーブルを算出するΔ
Ｎテーブル算出手段を構成している。
られた図５のＭT 及びＮS のテーブルと図４（ａ）に示
す計算で求めたＭT のテーブルから、各温度でのＮS 値
を算出し、データメモリ３６に書込む。即ち図４（ａ）
のＭT テーブルの各ＭT 値に対応してその前後のＭT 値
を図５（ａ）のテーブルから捜し出す。そして比例演算
によって図４（ａ）の各ＭT 値に対応するＮS 値を図４
（ｂ）に示すように算出する。又ΔＮテーブル算出部３
８はこうして求められた各温度でのＮS 値と基準温度、
ここでは２４℃でのＮS 値（＝ＮR ＝25600)との差から
ΔＮを演算によって求め、これを図４（ｃ）に示すΔＮ
テーブル（第４のテーブル）としてデータメモリ３６に
書込む。ここでＮS テーブル算出部３７は図５（ａ），
（ｂ）に示す計数テーブルのデータを比例配分すること
によって図４（ａ）のテーブルの各温度での演算値に対
応した第１の計数手段より得られるべき演算値を算出す
る第３の計数テーブル算出手段であり、ＮS テーブル算
出部３８はこのテーブルから基準計数値ＮR を減算する
ことによって補正値ΔＮの第４のテーブルを算出するΔ
Ｎテーブル算出手段を構成している。
【００２１】こうして図４（ａ），（ｃ）に示すように
各温度でのＭT に対応したΔＮ値を書込んだ一対のテー
ブルを、図１，２に示す温度補正テーブルメモリ１３の
Ｅ2ＰＲＯＭにデータを転送して温度補正テーブルとし
て用いる。尚ここでは図４（ｂ）に示すように一旦各温
度に対応したＮS 値を求めてテーブルを形成し、この値
から所定の基準値ＮR を減算して、図４（ｃ）に示すΔ
Ｎのテーブルを生成するようにしているが、比例配分の
後、直接ΔＮのテーブルを生成するようにしてもよいこ
とはいうまでもない。
各温度でのＭT に対応したΔＮ値を書込んだ一対のテー
ブルを、図１，２に示す温度補正テーブルメモリ１３の
Ｅ2ＰＲＯＭにデータを転送して温度補正テーブルとし
て用いる。尚ここでは図４（ｂ）に示すように一旦各温
度に対応したＮS 値を求めてテーブルを形成し、この値
から所定の基準値ＮR を減算して、図４（ｃ）に示すΔ
Ｎのテーブルを生成するようにしているが、比例配分の
後、直接ΔＮのテーブルを生成するようにしてもよいこ
とはいうまでもない。
【００２２】図６において曲線Ａは基準温度での距離ｄ
に対するＮS 値の変化を示すグラフであり、この曲線は
特定のあらかじめ多数の変位センサからのデータによっ
て求めた曲線をそのまま用いるものとする。そしてこの
基準温度より高い温度では距離ｄに対するパルス数ＮS
は例えば曲線Ｂに示すように変化し、低温では曲線Ｃに
示すように変化する。このためΔＮをＮS から減算する
ことによって基準値からの差Ｎｄを算出し、曲線Ａに変
換して修正されたパルス数Ｎｄに基づいて距離のデータ
を得るようにしている。
に対するＮS 値の変化を示すグラフであり、この曲線は
特定のあらかじめ多数の変位センサからのデータによっ
て求めた曲線をそのまま用いるものとする。そしてこの
基準温度より高い温度では距離ｄに対するパルス数ＮS
は例えば曲線Ｂに示すように変化し、低温では曲線Ｃに
示すように変化する。このためΔＮをＮS から減算する
ことによって基準値からの差Ｎｄを算出し、曲線Ａに変
換して修正されたパルス数Ｎｄに基づいて距離のデータ
を得るようにしている。
【００２３】図７は距離ｄに対する温度補正されたパル
ス数Ｎｄの変化を示すグラフである。このグラフは複数
の変位センサのデータに基づいて得られた規定の曲線を
用いて、これにあてはめることによって距離情報ｄを得
るものとする。そしてＮｄの256が１％の変化とし、こ
の距離に応じたデータを図８に示すようにリニア補正テ
ーブル１４内に保持しておく。この補正テーブルは、例
えば曲線の傾きが小さい部分では 0.5％単位で距離デー
タｄ10，ｄ11・・・が順次テーブルＴ１に記録されてい
る。又基準距離ｄR より距離が近い部分では図示のよう
にテーブルＴ２，テーブルＴ３，Ｔ４・・・により順次
距離が記録されている。実際の基準距離ｄR からの距離
Δｄは次式（２）によって求まる。
ス数Ｎｄの変化を示すグラフである。このグラフは複数
の変位センサのデータに基づいて得られた規定の曲線を
用いて、これにあてはめることによって距離情報ｄを得
るものとする。そしてＮｄの256が１％の変化とし、こ
の距離に応じたデータを図８に示すようにリニア補正テ
ーブル１４内に保持しておく。この補正テーブルは、例
えば曲線の傾きが小さい部分では 0.5％単位で距離デー
タｄ10，ｄ11・・・が順次テーブルＴ１に記録されてい
る。又基準距離ｄR より距離が近い部分では図示のよう
にテーブルＴ２，テーブルＴ３，Ｔ４・・・により順次
距離が記録されている。実際の基準距離ｄR からの距離
Δｄは次式（２）によって求まる。
【数１】 ここでＰは基準位置からのデータ数である。式（２）の
第１項はｎが０〜Ｐ−１までの変位の総和であり、第２
項はその変位内でのパルス数Ｎｄに対する距離の比例配
分値を示している。
第１項はｎが０〜Ｐ−１までの変位の総和であり、第２
項はその変位内でのパルス数Ｎｄに対する距離の比例配
分値を示している。
【００２４】こうして得られた±Δｄの値と設定部１５
で設定された値ＩＮ２とを比較部２７によって比較す
る。そしてユーザが設定した位置との関係によって物体
までの検知信号を出力している。
で設定された値ＩＮ２とを比較部２７によって比較す
る。そしてユーザが設定した位置との関係によって物体
までの検知信号を出力している。
【００２５】次に本実施例の動作について説明する。ま
ず変位検出センサのセンサ部１を物体までの測定領域に
配置する。そして発振コイル３に物体が接近した場合に
は、その物体までの距離ｄに対応した発振周波数で発振
回路４が発振することとなる。又このときの温度に対応
した発振周波数ｆT でＣＲ発振回路６が発振する。従っ
てその温度に対応したカウンタ１０の計数値ＭT が求め
られる。このＭT を図４（ａ），（ｃ）に示す温度補正
テーブルメモリ１３によって補正し、ΔＮの比例配分値
を得ることによってセンサ部１のこの温度でのΔＮが得
られる。こうしてΔＮとＮR とを加算手段２３によって
加算し、減算手段２４でＮS との差を求めることによっ
て、温度や各変位センサの素子に依存しない距離ｄだけ
に対応したパルス数Ｎｄが得られる。そしてこの値を図
７，図８に示すように変換テーブルに基づいて変換する
ことによって、直線化された位置情報Δｄが得られる。
このΔｄは変位センサに固有の基準値ｄR からの変位を
示しているため、設定部１５によってユーザが設定した
位置ＩＮ１からの変位に変換する。そしてこの値を表示
部１６によって表示すると共に、ユーザの基準位置から
の変位を比較部２７によって比較し、所定変位までの距
離に対する出力を得るようにしている。
ず変位検出センサのセンサ部１を物体までの測定領域に
配置する。そして発振コイル３に物体が接近した場合に
は、その物体までの距離ｄに対応した発振周波数で発振
回路４が発振することとなる。又このときの温度に対応
した発振周波数ｆT でＣＲ発振回路６が発振する。従っ
てその温度に対応したカウンタ１０の計数値ＭT が求め
られる。このＭT を図４（ａ），（ｃ）に示す温度補正
テーブルメモリ１３によって補正し、ΔＮの比例配分値
を得ることによってセンサ部１のこの温度でのΔＮが得
られる。こうしてΔＮとＮR とを加算手段２３によって
加算し、減算手段２４でＮS との差を求めることによっ
て、温度や各変位センサの素子に依存しない距離ｄだけ
に対応したパルス数Ｎｄが得られる。そしてこの値を図
７，図８に示すように変換テーブルに基づいて変換する
ことによって、直線化された位置情報Δｄが得られる。
このΔｄは変位センサに固有の基準値ｄR からの変位を
示しているため、設定部１５によってユーザが設定した
位置ＩＮ１からの変位に変換する。そしてこの値を表示
部１６によって表示すると共に、ユーザの基準位置から
の変位を比較部２７によって比較し、所定変位までの距
離に対する出力を得るようにしている。
【００２６】図９（ａ）は使用者が設定した基準位置Ｉ
Ｎ１からの変位がＩＮ２を越えているか否かによって、
図示のような一対の出力ＯＵＴ１，ＯＵＴ２を出力する
ようにしたものである。この場合には比較部２７はＩＮ
１からの変位の絶対値がＩＮ２を越えているかどうかを
識別する。又図９（ｂ）に示すように基準位置ＩＮ１、
及びこれより遠い位置ＩＮ２を設定し、これによって一
対の出力ＯＵＴ１，ＯＵＴ２を出力するようにしてもよ
い。
Ｎ１からの変位がＩＮ２を越えているか否かによって、
図示のような一対の出力ＯＵＴ１，ＯＵＴ２を出力する
ようにしたものである。この場合には比較部２７はＩＮ
１からの変位の絶対値がＩＮ２を越えているかどうかを
識別する。又図９（ｂ）に示すように基準位置ＩＮ１、
及びこれより遠い位置ＩＮ２を設定し、これによって一
対の出力ＯＵＴ１，ＯＵＴ２を出力するようにしてもよ
い。
【００２７】尚本実施例では第２の発振回路に接続され
る温度センサとしてサーミスタを用いているが、サーミ
スタに限らず種々の温度センサを用いることができるこ
とはいうまでもない。
る温度センサとしてサーミスタを用いているが、サーミ
スタに限らず種々の温度センサを用いることができるこ
とはいうまでもない。
【００２８】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本願の請求項
４又は５の発明によれば、温度の補償を各変位センサに
固有の温度検出手段と発振コイルの温度に対する変化を
含めた補正テーブルメモリを作成し、このデータに基づ
いて補正を行っている。従って発振コイルや温度センサ
のばらつきによる温度補償の誤差がなく、正確に物体の
変位を測定することができる。又請求項１〜３の発明で
は、この温度補正に必要な補正テーブルを作成すること
ができる。
４又は５の発明によれば、温度の補償を各変位センサに
固有の温度検出手段と発振コイルの温度に対する変化を
含めた補正テーブルメモリを作成し、このデータに基づ
いて補正を行っている。従って発振コイルや温度センサ
のばらつきによる温度補償の誤差がなく、正確に物体の
変位を測定することができる。又請求項１〜３の発明で
は、この温度補正に必要な補正テーブルを作成すること
ができる。
【図１】本発明の一実施例による変位検出センサの全体
構成を示すブロック図である。
構成を示すブロック図である。
【図２】本実施例のマイクロコンピュータの機能ブロッ
クを示すブロック図である。
クを示すブロック図である。
【図３】本実施例による補正テーブルメモリ１３を作成
するための補正テーブル生成装置の構成を示すブロック
図である。
するための補正テーブル生成装置の構成を示すブロック
図である。
【図４】（ａ）は本実施例によって演算に求めたＭT テ
ーブル、（ｂ）はこれに対応するパルス数Ｎｄ、（ｃ）
は補正値ΔＮを示すテーブルである。
ーブル、（ｂ）はこれに対応するパルス数Ｎｄ、（ｃ）
は補正値ΔＮを示すテーブルである。
【図５】（ａ）はこの変位検出センサの使用温度範囲で
の恒温槽にセンサ部を挿入したときに得られる各温度で
のＭT 値を示すテーブル、（ｂ）はその場合のＮT 値を
示すテーブルである。
の恒温槽にセンサ部を挿入したときに得られる各温度で
のＭT 値を示すテーブル、（ｂ）はその場合のＮT 値を
示すテーブルである。
【図６】本実施例の距離に対するパルス数ＮS の変化を
示すグラフである。
示すグラフである。
【図７】本実施例の距離ｄに対する温度補償されたＮｄ
値の変化を示すグラフである。
値の変化を示すグラフである。
【図８】本実施例のＮｄに対するリニアライズするため
の変換テーブルを示す図である。
の変換テーブルを示す図である。
【図９】本実施例の距離に対する出力の対応を示す図で
ある。
ある。
【図１０】従来の高周波発振型近接スイッチの構成を示
すブロック図である。
すブロック図である。
１ センサ部 ２ 電子回路部 ３ 発振コイル ４ 発振回路 ５ サーミスタ ６ ＣＲ発振回路 ７，８ 分周回路 ９，１０ カウンタ １１ 基準クロック発振器 １２ マイクロコンピュータ １３ 温度補正テーブルメモリ １４ リニア補正テーブルメモリ １５ 設定部 １６ 表示部 １７ 出力部 ２１ 温度補正処理部 ２２ 加算手段 ２３ 基準値出力部 ２４，２６ 減算手段 ２５ 変位算出処理部 ２７ 比較部 ３０ 補正テーブル生成装置 ３１ 恒温槽 ３２ 制御部 ３３ データ書込部 ３４，３６ データメモリ ３５ ＭT テーブル算出部 ３７ ＮS テーブル算出部 ３８ ΔＮテーブル算出部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大槻 秀智 京都府京都市右京区花園土堂町10番地 オ ムロン株式会社内 (72)発明者 木谷 敏樹 京都府京都市右京区花園土堂町10番地 オ ムロン株式会社内
Claims (5)
- 【請求項１】 発振コイルを有し該発振コイルへの被検
出物体の接近によって発振周波数が変化する第１の発振
回路と、 前記第１の発振回路の温度の変化によって発振周波数が
変化する第２の発振回路と、 前記第１，第２の発振回路の発振周波数を計数する第
１，第２の計数手段と、を有する変位検出センサに用い
られる補正テーブルを生成する補正テーブル生成方法で
あって、 使用温度範囲での前記第１の発振回路の各温度に対応し
た前記第２の計数手段より得られるべき演算値を算出し
て第１の計数テーブルを生成する第１のステップと、 使用温度範囲での前記第１の発振回路の各温度に対応し
て前記第１，第２の計数手段より得られる計数値を夫々
第２，第３の計数テーブルとして生成する第２のステッ
プと、 前記第２及び第３の計数テーブルのデータを比例配分す
ることによって前記第１のテーブルの各温度での演算値
に対応した前記第１の計数手段より得られるべき演算値
を算出する第３のステップと、 前記第３のステップの各演算値から前記第１の計数手段
の基準計数値ＮR を減算することによって各温度での補
正値ΔＮの第４の計数テーブルを算出する第４のステッ
プと、を具備し、 前記第１，第４の計数テーブルを補正テーブルデータと
することを特徴とする補正テーブル生成方法。 - 【請求項２】 発振コイルを有し該発振コイルへの被検
出物体の接近によって発振周波数が変化する第１の発振
回路と、 前記第１の発振回路の温度の変化によって発振周波数が
変化する第２の発振回路と、 前記第１，第２の発振回路の発振周波数を計数する第
１，第２の計数手段と、を有する変位検出センサに用い
られる補正テーブルを生成する補正テーブル生成装置で
あって、 使用温度範囲での前記第１の発振回路の各温度に対応し
た前記第２の計数手段より得られるべき演算値を算出し
て第１の計数テーブルを生成する第１の計数テーブル算
出手段と、 使用温度範囲での前記第１の発振回路の各温度に対応し
て前記第１，第２の計数手段より得られる計数値を夫々
第２，第３の計数テーブルとして生成する第２の計数テ
ーブル生成手段と、 前記第２及び第３の計数テーブルのデータを比例配分す
ることによって前記第１のテーブルの各温度での演算値
に対応した前記第１の計数手段より得られるべき演算値
を算出し、前記第１の計数手段の基準計数値ＮR を減算
することによって各温度での補正値ΔＮの第４のテーブ
ルを算出するΔＮテーブル算出手段と、を具備すること
を特徴とする補正テーブル生成装置。 - 【請求項３】 前記ΔＮテーブル算出手段は、前記第２
及び第３の計数テーブルのデータを比例配分することに
よって前記第１のテーブルの各温度での演算値に対応し
た前記第１の計数手段より得られるべき演算値を算出す
る第３の計数テーブル生成部と、前記第３の計数テーブ
ル生成部の各演算値から第１の計数手段の基準計数値Ｎ
R を夫々減算することによって各温度での補正値ΔＮの
第４のテーブルを算出するΔＮテーブル算出部と、を具
備することを特徴とする請求項２記載の補正テーブル生
成装置。 - 【請求項４】 発振コイルを有し該発振コイルへの被検
出物体の接近によって発振周波数が変化する第１の発振
回路と、 前記第１の発振回路の温度の変化によって発振周波数が
変化する第２の発振回路と、 前記第１，第２の発振回路の発振周波数を計数し、夫々
計数値ＮS ，ＭT を得る第１，第２の計数手段と、 請求項１によって生成された補正テーブルによって前記
第２の計数手段の計数値ＭT に対応する補正値ΔＮを比
例配分によって算出する温度補正処理部と、 前記温度補正処理部より得られる補正値ΔＮと基準値Ｎ
R とを加算する加算手段と、 前記第１の計数手段の計数値Ｎｓから前記加算手段の加
算値（ΔＮ＋ＮR ）を減算する減算手段と、を具備する
ことを特徴とする変位検出センサ。 - 【請求項５】 前記減算手段より得られる出力Ｎｄを前
記発振コイルから物体までの距離ｄに対して直線化する
変位算出処理部と、を具備することを特徴とする請求項
４記載の変位検出センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22500292A JPH0653804A (ja) | 1992-07-31 | 1992-07-31 | 補正テーブル生成方法、補正テーブル生成装置及び変位検出センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22500292A JPH0653804A (ja) | 1992-07-31 | 1992-07-31 | 補正テーブル生成方法、補正テーブル生成装置及び変位検出センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0653804A true JPH0653804A (ja) | 1994-02-25 |
Family
ID=16822546
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22500292A Pending JPH0653804A (ja) | 1992-07-31 | 1992-07-31 | 補正テーブル生成方法、補正テーブル生成装置及び変位検出センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0653804A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015055553A (ja) * | 2013-09-12 | 2015-03-23 | 株式会社日進製作所 | 高周波発振式非接触変位センサ |
| CN109557876A (zh) * | 2017-09-25 | 2019-04-02 | 欧姆龙株式会社 | 接近传感器的制造方法及接近传感器的制造系统 |
| JP2019062268A (ja) * | 2017-09-25 | 2019-04-18 | オムロン株式会社 | 近接センサ |
| JP2019121845A (ja) * | 2017-12-28 | 2019-07-22 | アズビル株式会社 | 近接スイッチ及びクランプシステム |
| CN110297804A (zh) * | 2019-07-18 | 2019-10-01 | 上海朗瀚机电科技有限公司 | 一种离散型信号的两次设定采集及数值插补修正系统 |
| KR20200042865A (ko) * | 2018-10-16 | 2020-04-24 | 나부테스코 가부시키가이샤 | 변위 센서 |
-
1992
- 1992-07-31 JP JP22500292A patent/JPH0653804A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015055553A (ja) * | 2013-09-12 | 2015-03-23 | 株式会社日進製作所 | 高周波発振式非接触変位センサ |
| CN109557876A (zh) * | 2017-09-25 | 2019-04-02 | 欧姆龙株式会社 | 接近传感器的制造方法及接近传感器的制造系统 |
| JP2019062269A (ja) * | 2017-09-25 | 2019-04-18 | オムロン株式会社 | 近接センサの製造方法および近接センサの製造システム |
| JP2019062268A (ja) * | 2017-09-25 | 2019-04-18 | オムロン株式会社 | 近接センサ |
| US10508930B2 (en) | 2017-09-25 | 2019-12-17 | Omron Corporation | Method of manufacturing proximity sensor and manufacturing system for proximity sensor |
| JP2019121845A (ja) * | 2017-12-28 | 2019-07-22 | アズビル株式会社 | 近接スイッチ及びクランプシステム |
| KR20200042865A (ko) * | 2018-10-16 | 2020-04-24 | 나부테스코 가부시키가이샤 | 변위 센서 |
| CN110297804A (zh) * | 2019-07-18 | 2019-10-01 | 上海朗瀚机电科技有限公司 | 一种离散型信号的两次设定采集及数值插补修正系统 |
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