JPH0648009B2 - 制御式アキシヤル磁気軸受装置 - Google Patents
制御式アキシヤル磁気軸受装置Info
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- JPH0648009B2 JPH0648009B2 JP60001260A JP126085A JPH0648009B2 JP H0648009 B2 JPH0648009 B2 JP H0648009B2 JP 60001260 A JP60001260 A JP 60001260A JP 126085 A JP126085 A JP 126085A JP H0648009 B2 JPH0648009 B2 JP H0648009B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は磁気軸受装置に関し、特に回転軸体の軸方向
の位置を制御下において一定に保つための制御式アキシ
ヤル磁気軸受装置に関する。
の位置を制御下において一定に保つための制御式アキシ
ヤル磁気軸受装置に関する。
近年、制御式磁気軸受装置を用いてスピンドルを３万な
いし４万rpm あるいはそれ以上の高速で回転させる工作
機械やターボ分子ポンプ等が実用化されてきている。一
般に、このような磁気軸受装置は、第２図に示すよう
に、スピンドル等の回転軸体１を半径方向所定の位置に
保つためのラジアル磁気軸受２および回転軸体１をその
軸方向所定の位置に保つためのアキシヤル磁気軸受３よ
りなり、ラジアル磁気軸受２はＸ軸方向位置センサ４
Ｘ，Ｙ軸方向位置センサ４Ｙ等のラジアル位置センサの
出力と回転軸体１の半径方向のラジアル位置基準を与え
るラジアル位置基準手段５の出力との差にもとずき電磁
石６の電磁吸引力を制御する制御回路７を備えている。
同様に、アキシヤル磁気軸受３の電磁石コイル８の励磁
電流もＺ軸方向位置センサ９の出力とアキシヤル位置基
準手段１０の出力との差にもとずき制御回路１１によつ
て制御される。このようにして、回転軸体１は制御式磁
気軸受装置により半径方向および軸方向に無接触で軸受
支持され、モータ１２によつて高速で回転駆動される。
いし４万rpm あるいはそれ以上の高速で回転させる工作
機械やターボ分子ポンプ等が実用化されてきている。一
般に、このような磁気軸受装置は、第２図に示すよう
に、スピンドル等の回転軸体１を半径方向所定の位置に
保つためのラジアル磁気軸受２および回転軸体１をその
軸方向所定の位置に保つためのアキシヤル磁気軸受３よ
りなり、ラジアル磁気軸受２はＸ軸方向位置センサ４
Ｘ，Ｙ軸方向位置センサ４Ｙ等のラジアル位置センサの
出力と回転軸体１の半径方向のラジアル位置基準を与え
るラジアル位置基準手段５の出力との差にもとずき電磁
石６の電磁吸引力を制御する制御回路７を備えている。
同様に、アキシヤル磁気軸受３の電磁石コイル８の励磁
電流もＺ軸方向位置センサ９の出力とアキシヤル位置基
準手段１０の出力との差にもとずき制御回路１１によつ
て制御される。このようにして、回転軸体１は制御式磁
気軸受装置により半径方向および軸方向に無接触で軸受
支持され、モータ１２によつて高速で回転駆動される。
このような制御式磁気軸受装置において、アキシヤル磁
気軸受３は、一般に、第３図に詳細に示すように、ハウ
ジング１３に固定された鉄芯１５に巻かれた一対のバイ
アスコイル１６Ｂ、１７Ｂと一対の制御コイル１６Ｃ、
１７Ｃを有する電磁石Ｍと、これらのコイル１６Ｂ、Ｃ
と１７Ｂ、Ｃとの間に配置され、回転軸体１と一体をな
すかまたはこれに圧入された高透磁率材料製の軸フラン
ジ１４とよりなり、この軸フランジ１４に、たとえば破
線の矢印で示す向きの磁気回路の磁束を及ぼして、回転
軸体１の軸線方向に互いに逆向きの磁気吸引力Ｆ1、Ｆ2
を作用させ、これを位置センサ９の出力に応じて制御コ
イル１６ｃ、１７ｃによつて一方側を強め、反対側を弱
めるように加減することにより、回転軸体１を軸方向所
定の位置に保持するようになつている。
気軸受３は、一般に、第３図に詳細に示すように、ハウ
ジング１３に固定された鉄芯１５に巻かれた一対のバイ
アスコイル１６Ｂ、１７Ｂと一対の制御コイル１６Ｃ、
１７Ｃを有する電磁石Ｍと、これらのコイル１６Ｂ、Ｃ
と１７Ｂ、Ｃとの間に配置され、回転軸体１と一体をな
すかまたはこれに圧入された高透磁率材料製の軸フラン
ジ１４とよりなり、この軸フランジ１４に、たとえば破
線の矢印で示す向きの磁気回路の磁束を及ぼして、回転
軸体１の軸線方向に互いに逆向きの磁気吸引力Ｆ1、Ｆ2
を作用させ、これを位置センサ９の出力に応じて制御コ
イル１６ｃ、１７ｃによつて一方側を強め、反対側を弱
めるように加減することにより、回転軸体１を軸方向所
定の位置に保持するようになつている。
上記のような従来のアキシヤル磁気軸受においては、電
磁石Ｍのコイル１６，１７の磁束がそれぞれ軸フランジ
１４の端面１８，１９から軸フランジ１４に入り、その
同じ端面を通つて出るようになつているため、軸フラン
ジ１４の外径ｒが大きく、従つてハウジング１３の外径
が大きくなるとともに、軸フランジ１４を回転軸体１と
一体に製造すると、それだけ大きな素材が必要となり、
また加工性の点でも問題がある。
磁石Ｍのコイル１６，１７の磁束がそれぞれ軸フランジ
１４の端面１８，１９から軸フランジ１４に入り、その
同じ端面を通つて出るようになつているため、軸フラン
ジ１４の外径ｒが大きく、従つてハウジング１３の外径
が大きくなるとともに、軸フランジ１４を回転軸体１と
一体に製造すると、それだけ大きな素材が必要となり、
また加工性の点でも問題がある。
これに対して、製造コストの低減や軸フランジ１４の磁
気的性質の向上のために、軸フランジ14を回転軸体１と
は別に磁性材料で製造し、第３図に破線で示すように、
回転軸体１に圧入して固定することも行なわれている
が、この場合は、軸フランジ１４の内周部近傍が回転時
に遠心力によつて降伏し、回転軸体１との間にゆるみを
生じて、軸方向の軸受機能が損われるという問題があ
る。この遠心力は、回転速度が高いほど、また軸フラン
ジ１４の外径が大きいほど強く作用するので、主に高速
回転で使用されるアキシヤル磁気軸受においては、軸フ
ランジ１４の外径ｒをできるだけ小さくして、しかも十
分なアキシヤル軸受力が得られるようにする必要があ
る。
気的性質の向上のために、軸フランジ14を回転軸体１と
は別に磁性材料で製造し、第３図に破線で示すように、
回転軸体１に圧入して固定することも行なわれている
が、この場合は、軸フランジ１４の内周部近傍が回転時
に遠心力によつて降伏し、回転軸体１との間にゆるみを
生じて、軸方向の軸受機能が損われるという問題があ
る。この遠心力は、回転速度が高いほど、また軸フラン
ジ１４の外径が大きいほど強く作用するので、主に高速
回転で使用されるアキシヤル磁気軸受においては、軸フ
ランジ１４の外径ｒをできるだけ小さくして、しかも十
分なアキシヤル軸受力が得られるようにする必要があ
る。
この発明は上記のような事情に鑑みなされたもので、そ
の目的は、軸フランジの外径が小さく、従つてケーシン
グを含む外形寸法を小さくして十分なアキシヤル軸受力
を得ることのできる制御式アキシヤル磁気軸受装置を提
供することにある。
の目的は、軸フランジの外径が小さく、従つてケーシン
グを含む外形寸法を小さくして十分なアキシヤル軸受力
を得ることのできる制御式アキシヤル磁気軸受装置を提
供することにある。
〔問題点を解決するための手段〕 上記の問題点を解決するために、この発明は、回転軸体
に軸フランジを取付け、これに軸方向の電磁力を及ぼす
電磁石を有するアキシャル軸受部と、回転軸体の軸方向
変位を検出するセンサの出力を回転軸体の基準位置信号
と比較しその偏差に応じて電磁力を制御する制御回路と
を備えたアキシャル磁気軸受装置において、上記電磁石
のコイルを軸フランジの両端面に対向して少なくとも一
対互いに対称に設けると共に電磁石コイルの半径領域内
で軸フランジ外周面と電磁石内周面とが向い合う間にエ
アギャップを所定幅で環状に形成し、電磁石コイルの磁
気回路を、その磁束が電磁石コイルに対向する軸フラン
ジ端面と軸フランジ外周面とを通るように形成した制御
式アキシャル磁気軸受装置の構成としたのである。
に軸フランジを取付け、これに軸方向の電磁力を及ぼす
電磁石を有するアキシャル軸受部と、回転軸体の軸方向
変位を検出するセンサの出力を回転軸体の基準位置信号
と比較しその偏差に応じて電磁力を制御する制御回路と
を備えたアキシャル磁気軸受装置において、上記電磁石
のコイルを軸フランジの両端面に対向して少なくとも一
対互いに対称に設けると共に電磁石コイルの半径領域内
で軸フランジ外周面と電磁石内周面とが向い合う間にエ
アギャップを所定幅で環状に形成し、電磁石コイルの磁
気回路を、その磁束が電磁石コイルに対向する軸フラン
ジ端面と軸フランジ外周面とを通るように形成した制御
式アキシャル磁気軸受装置の構成としたのである。
上記の構成を有するこの発明の制御式アキシヤル磁気軸
受装置においては、各電磁石コイルにより形成される磁
気回路の磁束は、軸フランジのそれぞれ対応する端面と
外周面を通つて軸フランジに出入りさせるようにしたた
め、軸フランジは、磁気回路の内側の軸方向磁束が端面
にかかるのに十分な外径があればよく、従つて、軸フラ
ンジの外径を、たとえば第３図に太破線で示すように、
電磁石コイルの外径(R)より小さくすることができ、こ
れに応じて鉄芯およびハウジングも小さくすることがで
きる。また、軸フランジが小さくなる結果、回転軸体と
軸フランジを含む回転系の質量が小さくなり、固有振動
数が高くなるので、回転速度限界をさらに高くすること
ができる。なお、アキシヤル軸受部の外形寸法を小さく
するだけであれば、軸フランジの径を上記のように小さ
くし、第３図に符号ｔで示す鉄芯の肉厚を薄くすればよ
いが、この部分をあまり薄くすると、電磁石系に磁気飽
和が生じ、磁気軸受として十分な磁束を確保することが
できなくなる。従つて、この発明においては、この部分
の肉厚を磁気飽和を防ぐに十分な最小厚さとした上で、
上記のように磁束が軸フランジにその端面と外周面を通
つて出入りするよう、軸フランジの外径を小さくしてあ
る。
受装置においては、各電磁石コイルにより形成される磁
気回路の磁束は、軸フランジのそれぞれ対応する端面と
外周面を通つて軸フランジに出入りさせるようにしたた
め、軸フランジは、磁気回路の内側の軸方向磁束が端面
にかかるのに十分な外径があればよく、従つて、軸フラ
ンジの外径を、たとえば第３図に太破線で示すように、
電磁石コイルの外径(R)より小さくすることができ、こ
れに応じて鉄芯およびハウジングも小さくすることがで
きる。また、軸フランジが小さくなる結果、回転軸体と
軸フランジを含む回転系の質量が小さくなり、固有振動
数が高くなるので、回転速度限界をさらに高くすること
ができる。なお、アキシヤル軸受部の外形寸法を小さく
するだけであれば、軸フランジの径を上記のように小さ
くし、第３図に符号ｔで示す鉄芯の肉厚を薄くすればよ
いが、この部分をあまり薄くすると、電磁石系に磁気飽
和が生じ、磁気軸受として十分な磁束を確保することが
できなくなる。従つて、この発明においては、この部分
の肉厚を磁気飽和を防ぐに十分な最小厚さとした上で、
上記のように磁束が軸フランジにその端面と外周面を通
つて出入りするよう、軸フランジの外径を小さくしてあ
る。
この場合、上記磁束は軸フランジの端面を通る部分にお
いて軸方向の電磁力を軸フランジに作用させ、外周面を
通る部分は半径方向の電磁力を作用させるが、このうち
軸方向の電磁力が回転軸体に対しアキシヤル軸受力とし
て作用する。半径方向の電磁力は、もちろんアキシヤル
軸受力として作用しないが、軸フランジの外周面全体で
つり合つており、しかもラジアル磁気軸受のラジアル軸
受力より小さいので、何ら不都合を生じるものではな
く、むしろラジアル磁気軸受により調節される回転軸体
の半径方向の位置を保持しようとする作用によつて、ラ
ジアル磁気軸受の機能を助長する。
いて軸方向の電磁力を軸フランジに作用させ、外周面を
通る部分は半径方向の電磁力を作用させるが、このうち
軸方向の電磁力が回転軸体に対しアキシヤル軸受力とし
て作用する。半径方向の電磁力は、もちろんアキシヤル
軸受力として作用しないが、軸フランジの外周面全体で
つり合つており、しかもラジアル磁気軸受のラジアル軸
受力より小さいので、何ら不都合を生じるものではな
く、むしろラジアル磁気軸受により調節される回転軸体
の半径方向の位置を保持しようとする作用によつて、ラ
ジアル磁気軸受の機能を助長する。
以下、この発明の制御式ラジアル磁気軸受装置の一実施
例について第１図を参照しつつ説明する。
例について第１図を参照しつつ説明する。
第１図は、この実施例のアキシヤル軸受部２０の軸断面
を示し、このアキシヤル軸受部２０は、回転軸体１に圧
入により固定された高透磁率材料製の軸フランジ２１
と、回転軸体１の回わりに軸フランジ２１を取囲むよう
ハウジング２２に固定して配設された鉄芯２３、および
軸フランジ21の軸方向の両側に互いに対称状に回転軸体
１を中心として鉄芯２３に巻かれた電磁石、すなわち一
対のバイアスコイル２４Ｂ，２５Ｂおよび一対の制御コ
イル２４Ｃ，２５Ｃを有する電磁石２６とで構成されて
いる。また、軸フランジ２１の両端面２７，２８とこれ
にそれぞれ対面する電磁石２６の鉄芯２３の内端面２
９，３０との間、および軸フランジ２１の外周面３１と
鉄芯２３の内周面３２との間には、それぞれ適宜の小さ
な端面エアギヤツプ３３，３４および周面エアギヤツプ
３５が設けられている。
を示し、このアキシヤル軸受部２０は、回転軸体１に圧
入により固定された高透磁率材料製の軸フランジ２１
と、回転軸体１の回わりに軸フランジ２１を取囲むよう
ハウジング２２に固定して配設された鉄芯２３、および
軸フランジ21の軸方向の両側に互いに対称状に回転軸体
１を中心として鉄芯２３に巻かれた電磁石、すなわち一
対のバイアスコイル２４Ｂ，２５Ｂおよび一対の制御コ
イル２４Ｃ，２５Ｃを有する電磁石２６とで構成されて
いる。また、軸フランジ２１の両端面２７，２８とこれ
にそれぞれ対面する電磁石２６の鉄芯２３の内端面２
９，３０との間、および軸フランジ２１の外周面３１と
鉄芯２３の内周面３２との間には、それぞれ適宜の小さ
な端面エアギヤツプ３３，３４および周面エアギヤツプ
３５が設けられている。
上記のバイアスコイル２４Ｂ，２５Ｂは互いに直列また
は並列に直流電源Ｓに接続されており、一定のバイアス
電流ＩＢより励磁されて、それぞれ一定のバイアス磁束
を発生する（第２図参照）。一方、制御コイル２４Ｃ，
２５Ｃも互いに直列または並列に接続されて、第２図に
示すような制御回路１１の出力、すなわち制御電流ＩＣ
により励磁され、Ｚ軸方向（回転軸体１の軸心方向）セ
ンサ９の出力に応動して変化する制御磁場をそれぞれ作
り出す。この制御磁場は、バイアスコイル２４Ｂ，２５
Ｂが作り出す一定のバソアス磁場に対して、回転軸体１
の軸方向変位、すなわちセンサ９の出力により、軸フラ
ンジ２１の軸方向の一方側ではバイアス磁束と同じ向き
に作用し、反対側ではバイアス磁束と逆向きに作用し
て、回転軸体１の軸方向変位をゼロに保とうとする。
は並列に直流電源Ｓに接続されており、一定のバイアス
電流ＩＢより励磁されて、それぞれ一定のバイアス磁束
を発生する（第２図参照）。一方、制御コイル２４Ｃ，
２５Ｃも互いに直列または並列に接続されて、第２図に
示すような制御回路１１の出力、すなわち制御電流ＩＣ
により励磁され、Ｚ軸方向（回転軸体１の軸心方向）セ
ンサ９の出力に応動して変化する制御磁場をそれぞれ作
り出す。この制御磁場は、バイアスコイル２４Ｂ，２５
Ｂが作り出す一定のバソアス磁場に対して、回転軸体１
の軸方向変位、すなわちセンサ９の出力により、軸フラ
ンジ２１の軸方向の一方側ではバイアス磁束と同じ向き
に作用し、反対側ではバイアス磁束と逆向きに作用し
て、回転軸体１の軸方向変位をゼロに保とうとする。
上記の電磁石２６のコイル２４(Ｂ、Ｃ)および２５
（Ｂ、Ｃ）は、上記のバイアス磁場と制御磁場の合成と
して、それぞれ符号B1およびＢ２で示す磁束よりなる磁
気回路を各コイルの全周にわたつて形成する。コイル２
４の磁束B1は、鉄心２３の内端面２９より端面エアギヤ
ツプ３３を通つて軸フランジ２１の端面２７に入り、そ
の外周面31に回わり込んで、そこから周面エアギヤツプ
３５を通り鉄芯２３の内周面３２に入り、鉄芯２３中を
上記内端面２９まで回わり込んで閉じられる。同様に、
コイル２５が発生する磁束B2は、鉄芯23の内端面３０→
端面エアギヤツプ３４→軸フランジ21の端面２８→外周
面３１→周面エアギヤツプ３５→鉄芯２３の内周面３２
→内端面３０の閉回路を形成する。
（Ｂ、Ｃ）は、上記のバイアス磁場と制御磁場の合成と
して、それぞれ符号B1およびＢ２で示す磁束よりなる磁
気回路を各コイルの全周にわたつて形成する。コイル２
４の磁束B1は、鉄心２３の内端面２９より端面エアギヤ
ツプ３３を通つて軸フランジ２１の端面２７に入り、そ
の外周面31に回わり込んで、そこから周面エアギヤツプ
３５を通り鉄芯２３の内周面３２に入り、鉄芯２３中を
上記内端面２９まで回わり込んで閉じられる。同様に、
コイル２５が発生する磁束B2は、鉄芯23の内端面３０→
端面エアギヤツプ３４→軸フランジ21の端面２８→外周
面３１→周面エアギヤツプ３５→鉄芯２３の内周面３２
→内端面３０の閉回路を形成する。
上記の磁束B1は、軸フランジ２１に対して軸方向吸引力
Ｆ1と半径方向磁気吸引力Ｆ1′を軸フランジ２１の全周
にわたって及ぼし、同様に、磁束Ｂ２も軸方向磁気吸引
力Ｆ2と半径方向磁気吸引力Ｆ2′を及ぼす。これらの磁
気吸引力のうち、軸フランジ２１に互いに軸方向逆向き
に作用する軸方向吸引力Ｆ1，Ｆ2がアキシヤル軸受力と
して用いられ、前述したように、回転軸体１は、バイア
スコイル２４Ｂ，２５Ｂによる一定のバイアス磁場に対
して、制御コイル２４Ｃ，２５Ｃによる制御磁場をＺ軸
方向位置センサ９の出力に応動して変化させ、これらの
軸方向吸引力Ｆ1，Ｆ2を加減することにより軸方向の所
定の基準位置に保たれる。磁束B1、Ｂ2による半径方向
磁気吸引力F1′，F2′は、制御コイル２４の出力に応じ
て変化するものの、その変化は上記外周面３１の全周に
わたつてつり合うため、何ら支障はない。
Ｆ1と半径方向磁気吸引力Ｆ1′を軸フランジ２１の全周
にわたって及ぼし、同様に、磁束Ｂ２も軸方向磁気吸引
力Ｆ2と半径方向磁気吸引力Ｆ2′を及ぼす。これらの磁
気吸引力のうち、軸フランジ２１に互いに軸方向逆向き
に作用する軸方向吸引力Ｆ1，Ｆ2がアキシヤル軸受力と
して用いられ、前述したように、回転軸体１は、バイア
スコイル２４Ｂ，２５Ｂによる一定のバイアス磁場に対
して、制御コイル２４Ｃ，２５Ｃによる制御磁場をＺ軸
方向位置センサ９の出力に応動して変化させ、これらの
軸方向吸引力Ｆ1，Ｆ2を加減することにより軸方向の所
定の基準位置に保たれる。磁束B1、Ｂ2による半径方向
磁気吸引力F1′，F2′は、制御コイル２４の出力に応じ
て変化するものの、その変化は上記外周面３１の全周に
わたつてつり合うため、何ら支障はない。
上記の周面エアギヤツプ３５は、小さ過ぎると、回転軸
体１のわずかな半径方向変位によつて上記の半径方向磁
気吸引力F1′，F2′の上記外周面全体でのつり合いが失
なわれ、大き過ぎると、磁気抵抗が大きくなつて、磁束
が減少し、十分なアキシヤル軸受力が得られなくなるの
で、その最適値は０．２なし０．６ミリメートルの範囲
内にあるということが実験的に確かめられている。
体１のわずかな半径方向変位によつて上記の半径方向磁
気吸引力F1′，F2′の上記外周面全体でのつり合いが失
なわれ、大き過ぎると、磁気抵抗が大きくなつて、磁束
が減少し、十分なアキシヤル軸受力が得られなくなるの
で、その最適値は０．２なし０．６ミリメートルの範囲
内にあるということが実験的に確かめられている。
以上、詳細に説明したように、この発明によれば、制御
式アキシヤル磁気軸受装置において、十分なアキシヤル
軸受力を確保しつつ軸フランジの外径を小さくすること
ができ、従つてケーシングを含む外形寸法を小さくする
ことができるとともに、磁気軸受を用いた工作機スピン
ドル等の回転速度限界を高めることができる。
式アキシヤル磁気軸受装置において、十分なアキシヤル
軸受力を確保しつつ軸フランジの外径を小さくすること
ができ、従つてケーシングを含む外形寸法を小さくする
ことができるとともに、磁気軸受を用いた工作機スピン
ドル等の回転速度限界を高めることができる。
第１図は、この発明の制御式アキシヤル磁気軸受装置の
アキシヤル軸受部の構造を示す軸線断面図、第２図は、
制御式磁気軸受装置を有する回転軸体の一例を示す一部
を断面図およびブロック図とした斜視図、第３図は、従
来の制御式アキシヤル磁気軸受装置のアキシヤル軸受部
の一例の構造を示す軸線断面図である。 １……回転軸体、９……センサ、１１……制御部（制御
回路）、２０……アキシヤル軸受部、２１……軸フラン
ジ、２４，２５……電磁石コイル、２７，２８……軸フ
ランジの端面、３１……軸フランジ外周面、Ｂ1、Ｂ2…
…磁束
アキシヤル軸受部の構造を示す軸線断面図、第２図は、
制御式磁気軸受装置を有する回転軸体の一例を示す一部
を断面図およびブロック図とした斜視図、第３図は、従
来の制御式アキシヤル磁気軸受装置のアキシヤル軸受部
の一例の構造を示す軸線断面図である。 １……回転軸体、９……センサ、１１……制御部（制御
回路）、２０……アキシヤル軸受部、２１……軸フラン
ジ、２４，２５……電磁石コイル、２７，２８……軸フ
ランジの端面、３１……軸フランジ外周面、Ｂ1、Ｂ2…
…磁束
Claims (1)
- 【請求項１】回転軸体に軸フランジを取付け、これに軸
方向の電磁力を及ぼす電磁石を有するアキシャル軸受部
と、回転軸体の軸方向変移を検出するセンサの出力を回
転軸体の基準位置信号と比較しその偏差に応じて電磁力
を制御する制御回路とを備えたアキシャル磁気軸受装置
において、上記電磁石のコイルを軸フランジの両端面に
対向して少なくとも一対互いに対称に設けると共に電磁
石コイルの半径領域内で軸フランジ外周面と電磁石内周
面とが向い合う間にエアギャップを所定幅で環状に形成
し、電磁石コイルの磁気回路を、その磁束が電磁石コイ
ルに対向する軸フランジ端面と軸フランジ外周面とを通
るように形成したことを特徴とする制御式アキシャル磁
気軸受装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60001260A JPH0648009B2 (ja) | 1985-01-07 | 1985-01-07 | 制御式アキシヤル磁気軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60001260A JPH0648009B2 (ja) | 1985-01-07 | 1985-01-07 | 制御式アキシヤル磁気軸受装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61160626A JPS61160626A (ja) | 1986-07-21 |
| JPH0648009B2 true JPH0648009B2 (ja) | 1994-06-22 |
Family
ID=11496483
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60001260A Expired - Fee Related JPH0648009B2 (ja) | 1985-01-07 | 1985-01-07 | 制御式アキシヤル磁気軸受装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0648009B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS5761814A (en) * | 1980-09-29 | 1982-04-14 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Control system of magnetic bearing |
-
1985
- 1985-01-07 JP JP60001260A patent/JPH0648009B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61160626A (ja) | 1986-07-21 |
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