JPS61160626A - 制御式アキシヤル磁気軸受装置 - Google Patents
制御式アキシヤル磁気軸受装置Info
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- JPS61160626A JPS61160626A JP60001260A JP126085A JPS61160626A JP S61160626 A JPS61160626 A JP S61160626A JP 60001260 A JP60001260 A JP 60001260A JP 126085 A JP126085 A JP 126085A JP S61160626 A JPS61160626 A JP S61160626A
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- magnetic
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- flange
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0474—Active magnetic bearings for rotary movement
- F16C32/0476—Active magnetic bearings for rotary movement with active support of one degree of freedom, e.g. axial magnetic bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0444—Details of devices to control the actuation of the electromagnets
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
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- Electromagnetism (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野J
この発明は磁気軸受装置に関し、特に回転軸体の軸方向
の位置を制御下において一定に保つための制御式アキシ
ャル磁気軸受装置に関する。
の位置を制御下において一定に保つための制御式アキシ
ャル磁気軸受装置に関する。
近年、制御式磁気軸受装置を用いてスピンドルを3万な
いし4万rpm あるいはそれ以上の高速で回転させ
る工作機械やターボ分子ポンプ等が実用化されてきてい
る。一般に、このような磁気軸受装置は、第2図に示す
ように、スピンドル等の回転軸体1を半径方向所定の位
置に保つためのラジアル磁気軸受2および回転軸体1を
その軸方向所定の位置に保つためのアキシャル磁気軸受
3よりなり、ラジアル磁気軸受2はX軸方向位置センサ
4X、Y軸方向位置センサ4Y等のラジアル位置センサ
の出力と回転軸体1の半径方向のラジアル位置基準を与
えるラジアル位置基準手段5の出力との差にもとすき電
磁石6の電磁吸引力を制御する制御回路7を備えている
。同様に、アキシャル磁気軸受3の電磁石コイル8の励
磁電流もZ軸方向位置センサ9の出力とアキシャル位置
基準手段10の出力との差にもとずき制御回路1)によ
って制御される。仁のようにして、回転軸体1は制御式
磁気軸受装置により半径方向および軸方向に無接触で軸
受支持され、モータ12によって高速で回転駆動される
。
いし4万rpm あるいはそれ以上の高速で回転させ
る工作機械やターボ分子ポンプ等が実用化されてきてい
る。一般に、このような磁気軸受装置は、第2図に示す
ように、スピンドル等の回転軸体1を半径方向所定の位
置に保つためのラジアル磁気軸受2および回転軸体1を
その軸方向所定の位置に保つためのアキシャル磁気軸受
3よりなり、ラジアル磁気軸受2はX軸方向位置センサ
4X、Y軸方向位置センサ4Y等のラジアル位置センサ
の出力と回転軸体1の半径方向のラジアル位置基準を与
えるラジアル位置基準手段5の出力との差にもとすき電
磁石6の電磁吸引力を制御する制御回路7を備えている
。同様に、アキシャル磁気軸受3の電磁石コイル8の励
磁電流もZ軸方向位置センサ9の出力とアキシャル位置
基準手段10の出力との差にもとずき制御回路1)によ
って制御される。仁のようにして、回転軸体1は制御式
磁気軸受装置により半径方向および軸方向に無接触で軸
受支持され、モータ12によって高速で回転駆動される
。
このような制御式磁気軸受装置において、アキシャル磁
気軸受3は、一般に、第3図に詳細に示すように、ハウ
ジング13に固定された鉄芯15に巻かれた一対のバイ
アスコイル16B、17Bと一対の制御コイル16C1
)7Gを有する電磁石Mと、これらのコイル16B、C
と17B、Cとの間に配置され、回転軸体1と一体をな
すかまたはこれに圧入された高透磁率材料製の軸フラン
ジ14とよりなり、この軸フランジ14に、たとえば破
線の矢印で示す向き1°の磁気回路の磁束を及ぼして、
回転軸体1の軸線方向に互いに逆向きの磁気吸引力Fi
%F、を作用させ、これを位置センサ9の出力に応じて
制御コイル16C,17Cによって一方側を強め、反対
側を弱めるように加減することにより、回転軸体1を軸
方向所定の位置に保持するようになっている。
気軸受3は、一般に、第3図に詳細に示すように、ハウ
ジング13に固定された鉄芯15に巻かれた一対のバイ
アスコイル16B、17Bと一対の制御コイル16C1
)7Gを有する電磁石Mと、これらのコイル16B、C
と17B、Cとの間に配置され、回転軸体1と一体をな
すかまたはこれに圧入された高透磁率材料製の軸フラン
ジ14とよりなり、この軸フランジ14に、たとえば破
線の矢印で示す向き1°の磁気回路の磁束を及ぼして、
回転軸体1の軸線方向に互いに逆向きの磁気吸引力Fi
%F、を作用させ、これを位置センサ9の出力に応じて
制御コイル16C,17Cによって一方側を強め、反対
側を弱めるように加減することにより、回転軸体1を軸
方向所定の位置に保持するようになっている。
上記のような従来のアキシャル磁気軸受においては、電
磁石Mのコイル16.17の磁束がそれぞれ軸フランジ
14の端面18.19から軸フランジ14に入り、その
同じ端面を通って出るようになっているため、軸フラン
ジ14の外径rが大きく、従ってハウジング13の外径
が大きくなるとともに、軸フランジ14を回転軸体1と
一体に製造すると、それだけ大きな素材が必要となり、
また加工性の点でも問題がある。
磁石Mのコイル16.17の磁束がそれぞれ軸フランジ
14の端面18.19から軸フランジ14に入り、その
同じ端面を通って出るようになっているため、軸フラン
ジ14の外径rが大きく、従ってハウジング13の外径
が大きくなるとともに、軸フランジ14を回転軸体1と
一体に製造すると、それだけ大きな素材が必要となり、
また加工性の点でも問題がある。
コレに対して、製造コストの低減や軸フランジ14の磁
気的性質の向上のために、軸フランジ14を回転軸体1
とは別に磁性材料で製造し、第3図1ζ破線で示すよう
に、回転軸体1に圧入して固定することも行なわれてい
るが、この場合は、軸フランジ14の内周部近傍が回転
時に遠心六番ζよって降伏し、回転軸体1との間にゆる
みを生じて、軸方向の軸受機能が損われるという問題が
ある。
気的性質の向上のために、軸フランジ14を回転軸体1
とは別に磁性材料で製造し、第3図1ζ破線で示すよう
に、回転軸体1に圧入して固定することも行なわれてい
るが、この場合は、軸フランジ14の内周部近傍が回転
時に遠心六番ζよって降伏し、回転軸体1との間にゆる
みを生じて、軸方向の軸受機能が損われるという問題が
ある。
この遠心力は、回転速度が高いほど、また軸フランジ1
4の外径が大きいほど強く作用するので、主に高速回転
で使用されるアキシャル磁気軸受においては、軸フラン
ジ14の外径rをできるだけ小さくして、しかも十分な
アキシャル軸受力が得られるようにする必要がある。
4の外径が大きいほど強く作用するので、主に高速回転
で使用されるアキシャル磁気軸受においては、軸フラン
ジ14の外径rをできるだけ小さくして、しかも十分な
アキシャル軸受力が得られるようにする必要がある。
この発明は上記のような事情に鑑みなされたもので、そ
の目的は、軸フランジの外径が小さく、従ってケーシン
グを含む外形寸法を小さくして十分なアキシャル軸受力
を得ることのできる制御式アキシャル磁気軸受装置を提
供することにある。
の目的は、軸フランジの外径が小さく、従ってケーシン
グを含む外形寸法を小さくして十分なアキシャル軸受力
を得ることのできる制御式アキシャル磁気軸受装置を提
供することにある。
上記の問題点を解決するために、仁の発明は、回転軸体
の軸フランジ自よびこの軸フランジの軸方向の両側から
これに互いに対称状に電磁力を及ぼす電磁石コイルを有
するアキシャル軸受部と、回転軸体の軸方向変位を検出
するセンサと、上記回転軸体の所定の基°重位置を示す
基準電圧と上記センナの出力との偏差に応動して上記ア
キシャル軸受部の電磁石コイルの電磁力を制御する制御
部とよりなる制御式アキシャル磁気軸受装置において、
上記各電磁石コイルの磁気回路が、その磁束が各電磁石
コイルに対応する上記軸フランジの端面と軸フランジ外
周面とを通るように形成されている〔とを特徴とする制
御式アキシャル磁気軸受装置を提供するものである。
の軸フランジ自よびこの軸フランジの軸方向の両側から
これに互いに対称状に電磁力を及ぼす電磁石コイルを有
するアキシャル軸受部と、回転軸体の軸方向変位を検出
するセンサと、上記回転軸体の所定の基°重位置を示す
基準電圧と上記センナの出力との偏差に応動して上記ア
キシャル軸受部の電磁石コイルの電磁力を制御する制御
部とよりなる制御式アキシャル磁気軸受装置において、
上記各電磁石コイルの磁気回路が、その磁束が各電磁石
コイルに対応する上記軸フランジの端面と軸フランジ外
周面とを通るように形成されている〔とを特徴とする制
御式アキシャル磁気軸受装置を提供するものである。
上記の構成を有するこの発明の制御式アキシャル磁気軸
受装直置ζおいては、各電磁石コイルにより形成される
磁気回路の磁束は、軸フランジのそれぞれ対応する端面
と外周面を通って軸フランジに出入りさせるようにした
ため、軸フランジは、磁気回路の内側の軸方向磁束が端
面にかかるのにイルの外径(R)より小さくすることが
でき、これに応じて鉄芯およびハウジングも小さくする
ことができる。また、軸フランジが小さく、なる結果、
回転軸体と軸フランジを含む回転系の質量が小さくなり
、固有振動数が高くなるので、回転速度限界をさらに高
くすることができる。なお、アキシャル軸受部の外形寸
法を小さくするだけであれば、軸フランジの径を上記の
ように小さくシ、第3図に符号(で示す鉄芯の肉厚を薄
くすればよいが、この部分をあまり薄くすると、電磁石
系に磁気飽和が生じ、磁気軸受として十分な磁束を確保
することができなくなる。従って、この発明においては
、この部分の肉厚を磁気飽和を防ぐに十分な最小厚さと
した上で、上記のように磁束が軸フランジにその端面と
外周面を通って出入りするよう、軸フランジの外径を小
さくしである。
受装直置ζおいては、各電磁石コイルにより形成される
磁気回路の磁束は、軸フランジのそれぞれ対応する端面
と外周面を通って軸フランジに出入りさせるようにした
ため、軸フランジは、磁気回路の内側の軸方向磁束が端
面にかかるのにイルの外径(R)より小さくすることが
でき、これに応じて鉄芯およびハウジングも小さくする
ことができる。また、軸フランジが小さく、なる結果、
回転軸体と軸フランジを含む回転系の質量が小さくなり
、固有振動数が高くなるので、回転速度限界をさらに高
くすることができる。なお、アキシャル軸受部の外形寸
法を小さくするだけであれば、軸フランジの径を上記の
ように小さくシ、第3図に符号(で示す鉄芯の肉厚を薄
くすればよいが、この部分をあまり薄くすると、電磁石
系に磁気飽和が生じ、磁気軸受として十分な磁束を確保
することができなくなる。従って、この発明においては
、この部分の肉厚を磁気飽和を防ぐに十分な最小厚さと
した上で、上記のように磁束が軸フランジにその端面と
外周面を通って出入りするよう、軸フランジの外径を小
さくしである。
この場合、上記磁束は軸フランジの端面を通る部分にセ
いて軸方向の電磁力を軸フランジに作用させ、外周面を
通る部分は半径方向の電磁力を作用させるが、このうち
軸方向の電磁力が回転軸体に対しアキシャル軸受力とし
て作用する。半径方向の電磁力は、もちろんアキシャル
軸受力とじて作用しないが、軸フランジの外周面全体で
つり合っており、しかもラジアル磁気軸受のラジアル軸
受力より小さいので、何ら不都合を生じるものではなく
、むしろラジアル磁気軸受により調節される回転軸体の
半径方向の位置を保持しようとする作用によって、ラジ
アル磁気軸受の機能を助長する。
いて軸方向の電磁力を軸フランジに作用させ、外周面を
通る部分は半径方向の電磁力を作用させるが、このうち
軸方向の電磁力が回転軸体に対しアキシャル軸受力とし
て作用する。半径方向の電磁力は、もちろんアキシャル
軸受力とじて作用しないが、軸フランジの外周面全体で
つり合っており、しかもラジアル磁気軸受のラジアル軸
受力より小さいので、何ら不都合を生じるものではなく
、むしろラジアル磁気軸受により調節される回転軸体の
半径方向の位置を保持しようとする作用によって、ラジ
アル磁気軸受の機能を助長する。
以下、この発明の制御式ラジアル磁気軸受装置の一実施
例について第1図を参照しつつ説明する。
例について第1図を参照しつつ説明する。
第1図は、この実施例のアキシャル軸受部20の軸断面
を示し、このアキシャル軸受部20は、回転軸体1に圧
入により固定された高透磁率材料製の軸フランジ21と
、回転軸体1の回わりに軸フランジ21を取囲むよう/
%ウジング22に固定して配設された鉄芯23、および
軸フランジz1の軸方向の両側に互いに対称状に回転軸
体1を中心として鉄芯23に巻かれた電磁石、すなわち
一対のバイアスコイル24B、25Bおよび一対の制御
コイル240.25Gを有する電磁石26とで構成され
ている。また、軸フランジ21の両端面27.28とこ
れにそれぞれ対面する電磁石26の鉄芯23の内端面2
9.30との間、勿よび軸フランジ21の外周面31と
鉄芯23の内周面32との間には、それぞれ適宜の小さ
な端面エアギャップ33.34によび周面エアギャップ
35が設けられている。
を示し、このアキシャル軸受部20は、回転軸体1に圧
入により固定された高透磁率材料製の軸フランジ21と
、回転軸体1の回わりに軸フランジ21を取囲むよう/
%ウジング22に固定して配設された鉄芯23、および
軸フランジz1の軸方向の両側に互いに対称状に回転軸
体1を中心として鉄芯23に巻かれた電磁石、すなわち
一対のバイアスコイル24B、25Bおよび一対の制御
コイル240.25Gを有する電磁石26とで構成され
ている。また、軸フランジ21の両端面27.28とこ
れにそれぞれ対面する電磁石26の鉄芯23の内端面2
9.30との間、勿よび軸フランジ21の外周面31と
鉄芯23の内周面32との間には、それぞれ適宜の小さ
な端面エアギャップ33.34によび周面エアギャップ
35が設けられている。
上記のバイアスコイル24B 、25Bは互いに直列ま
たは並列に直流電源Sに接続されており、一定のバイア
ス電流IBより励磁されて、それぞれ一定のバイアス磁
束を発生する(第2図参照)。一方、制御コイル24G
、25Gも互いに直列または並列番こ接続されて、第
2図に示すような制御回路1)の出力、すなわち制御電
流lcにより励磁され、Z軸方向(回転軸体1の軸心方
向)センサ9の出力に応動して変化する制御磁場をそれ
ぞれ作り出す。この制御磁場は、バイアスコイ ゛ル2
4B 、25Bが作り出す一定のバイアスコイに対して
、回転軸体1の軸方向変位、すなわちセンサ9の出力に
より、軸フランジ21の軸方向の一方側ではバイアス磁
束と同じ向きに作用し、反対側ではバイアス磁束と逆向
きに作用して、回転軸体1の軸方向変位をゼロに保とう
とする。
たは並列に直流電源Sに接続されており、一定のバイア
ス電流IBより励磁されて、それぞれ一定のバイアス磁
束を発生する(第2図参照)。一方、制御コイル24G
、25Gも互いに直列または並列番こ接続されて、第
2図に示すような制御回路1)の出力、すなわち制御電
流lcにより励磁され、Z軸方向(回転軸体1の軸心方
向)センサ9の出力に応動して変化する制御磁場をそれ
ぞれ作り出す。この制御磁場は、バイアスコイ ゛ル2
4B 、25Bが作り出す一定のバイアスコイに対して
、回転軸体1の軸方向変位、すなわちセンサ9の出力に
より、軸フランジ21の軸方向の一方側ではバイアス磁
束と同じ向きに作用し、反対側ではバイアス磁束と逆向
きに作用して、回転軸体1の軸方向変位をゼロに保とう
とする。
上記の電磁石26のコイル24(B、C)および25C
B、C)’は、上記のバイアス磁場と制御磁場の合成と
して、それぞれ符号B、およびB2で示す磁束よりなる
磁気回路を各コイルの全周にわたって形成する。コイル
24の磁束B1は、鉄芯23の内端面゛29より端面エ
アギャップ33を通って軸フランジ21の端面27に入
り、その外周面31に回わり込んで、そこから局面エア
ギャップ35を通り鉄芯23の内周面32に入り、鉄芯
23中を上記内端面29まで回わり込んで閉じられる。
B、C)’は、上記のバイアス磁場と制御磁場の合成と
して、それぞれ符号B、およびB2で示す磁束よりなる
磁気回路を各コイルの全周にわたって形成する。コイル
24の磁束B1は、鉄芯23の内端面゛29より端面エ
アギャップ33を通って軸フランジ21の端面27に入
り、その外周面31に回わり込んで、そこから局面エア
ギャップ35を通り鉄芯23の内周面32に入り、鉄芯
23中を上記内端面29まで回わり込んで閉じられる。
芯23の内周面32→内端面30の閉回路を形成する。
上記の磁束Blは、軸フランジ21に対して軸方向吸引
力F、と半径方向磁気吸引力F、′を軸フランジ21の
全周にわたって及ぼし、同様に、磁束B2も軸方向磁気
吸引力F2と半径方向磁気吸引力F2′を及ぼす。これ
らの磁気吸引力のうち、軸フランジ21に互いに軸方向
逆向きに作用する軸方向吸引力F、 、 F、がアキシ
ャル軸受力として用いられ、前述したように、回転軸体
1は、バイアスコイル24IS 、25Bによる一定の
バイアス磁場に対して、制御コイル24C,25Gによ
る制御磁場を2軸方向位置センサ9の出力に応動して変
化させ、これらの軸方向吸引力F、、F2を加減するこ
とにより軸方向の所定の基準位置に保たれる。磁束Bl
。
力F、と半径方向磁気吸引力F、′を軸フランジ21の
全周にわたって及ぼし、同様に、磁束B2も軸方向磁気
吸引力F2と半径方向磁気吸引力F2′を及ぼす。これ
らの磁気吸引力のうち、軸フランジ21に互いに軸方向
逆向きに作用する軸方向吸引力F、 、 F、がアキシ
ャル軸受力として用いられ、前述したように、回転軸体
1は、バイアスコイル24IS 、25Bによる一定の
バイアス磁場に対して、制御コイル24C,25Gによ
る制御磁場を2軸方向位置センサ9の出力に応動して変
化させ、これらの軸方向吸引力F、、F2を加減するこ
とにより軸方向の所定の基準位置に保たれる。磁束Bl
。
B2による半径方向磁気吸引力F、’、F2’は、制御
コイル24の出力に応じて変化するものの、その変化は
上記外周面31の全周にわたってつり合うため、何ら支
障はない。
コイル24の出力に応じて変化するものの、その変化は
上記外周面31の全周にわたってつり合うため、何ら支
障はない。
上記の周面エアギャップ35は、小さ過ぎると、回転軸
体1のわずかの半径方向変位によって上記の半径方向磁
気吸引力F、’、F2’の上記外周面全体でのつり合い
が失なわれ、大き過ぎると、磁気抵抗が大きくなって、
磁束が減少し、十分なアキシャル軸受力が得られなくな
るので、その最適値は0.2ないし0.6ミリメートル
の範囲内にあるということが実験的に確かめられている
。
体1のわずかの半径方向変位によって上記の半径方向磁
気吸引力F、’、F2’の上記外周面全体でのつり合い
が失なわれ、大き過ぎると、磁気抵抗が大きくなって、
磁束が減少し、十分なアキシャル軸受力が得られなくな
るので、その最適値は0.2ないし0.6ミリメートル
の範囲内にあるということが実験的に確かめられている
。
〔発明の効果J
以上、詳細に説明したように、この発明によれば、制御
式アキシャル磁気軸受装置において、十分なアキシャル
軸受力を確保しつつ軸フランジの外径を小さくすること
ができ、従ってケーシングを含む外形寸法を小さくする
ことができるとともに、磁気軸受を用いた工作機スピン
ドル等の回転速度限界を高めることができる。
式アキシャル磁気軸受装置において、十分なアキシャル
軸受力を確保しつつ軸フランジの外径を小さくすること
ができ、従ってケーシングを含む外形寸法を小さくする
ことができるとともに、磁気軸受を用いた工作機スピン
ドル等の回転速度限界を高めることができる。
第1図は、この発明の制御式アキシャル磁気軸受装置の
アキシャル軸受部の構造を示す軸線断面図、第2図は、
制御式磁気軸受装置を有する回転軸体の一例を示す一部
を断面図およびブロック図とした斜視図、第3図は、従
来の制御式アキシャル磁気軸受装置のアキシャル軸受部
の一例の構造を示す軸線断面図である。 1・・・回転軸体、9・・・センサ、1)・・・制御部
(制御回路)、20・・・アキシャル軸受部、21・・
・軸フランジ、24.25・・・電磁石コイル、27
、28・・・軸フランジの端面、31・・・軸フランジ
外周面、B1、B2 ・・・磁束
アキシャル軸受部の構造を示す軸線断面図、第2図は、
制御式磁気軸受装置を有する回転軸体の一例を示す一部
を断面図およびブロック図とした斜視図、第3図は、従
来の制御式アキシャル磁気軸受装置のアキシャル軸受部
の一例の構造を示す軸線断面図である。 1・・・回転軸体、9・・・センサ、1)・・・制御部
(制御回路)、20・・・アキシャル軸受部、21・・
・軸フランジ、24.25・・・電磁石コイル、27
、28・・・軸フランジの端面、31・・・軸フランジ
外周面、B1、B2 ・・・磁束
Claims (2)
- (1)回転軸体の軸フランジ、およびこの軸フランジの
軸方向の両側からこれに互いに対称状に電磁力を及ぼす
電磁石コイルを備えた電磁石を有するアキシヤル軸受部
と、回転軸体の軸方向変位を検出するセンサと、上記回
転軸体の所定の基準位置を示す基準電圧と上記センサの
出力との偏差に応動して上記アキシヤル軸受部の電磁石
コイルの電磁力を制御する制御部とよりなる制御式アキ
シヤル磁気軸受装置において、上記各電磁石コイルの磁
気回路が、その磁束が各電磁石コイルに対応する上記軸
フランジの端面と軸フランジ外周面とを通るように形成
されていることを特徴とする制御式アキシヤル磁気軸受
装置。 - (2)前記軸フランジ外周面と電磁石の内周面との間に
形成されるエアギャップの大きさが0.2ないし0.6
ミリメートルであることを特徴とする特許請求の範囲第
1項記載の制御式アキシヤル磁気軸受装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60001260A JPH0648009B2 (ja) | 1985-01-07 | 1985-01-07 | 制御式アキシヤル磁気軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60001260A JPH0648009B2 (ja) | 1985-01-07 | 1985-01-07 | 制御式アキシヤル磁気軸受装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61160626A true JPS61160626A (ja) | 1986-07-21 |
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