JPH0645676A - 放電管用電源 - Google Patents
放電管用電源Info
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- JPH0645676A JPH0645676A JP19557792A JP19557792A JPH0645676A JP H0645676 A JPH0645676 A JP H0645676A JP 19557792 A JP19557792 A JP 19557792A JP 19557792 A JP19557792 A JP 19557792A JP H0645676 A JPH0645676 A JP H0645676A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＣＯ2レーザ用の複数の放電管に同一の放電
電流を流し、その構成を簡略化すること。 【構成】 商用交流電源の電圧をコンバータで直流化
し、次にインバータで、たとえば２０ｋＨｚの交流波形
を得、そのインバータ出力を、１次巻線が直列に接続さ
れる複数の昇圧トランスに与え、この昇圧トランスでた
とえば１５ｋＶの高電圧を発生して、整流回路で整流
し、各放電管に個別的に与える。さらにこの放電電流を
検出して、インバータからの電流出力を予め定める値に
保つ。
電流を流し、その構成を簡略化すること。 【構成】 商用交流電源の電圧をコンバータで直流化
し、次にインバータで、たとえば２０ｋＨｚの交流波形
を得、そのインバータ出力を、１次巻線が直列に接続さ
れる複数の昇圧トランスに与え、この昇圧トランスでた
とえば１５ｋＶの高電圧を発生して、整流回路で整流
し、各放電管に個別的に与える。さらにこの放電電流を
検出して、インバータからの電流出力を予め定める値に
保つ。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＣＯ2レーザ光を発生
するためなどに用いられる複数本の放電管を好適に駆動
するためなどに用いられる放電管用電源に関する。
するためなどに用いられる複数本の放電管を好適に駆動
するためなどに用いられる放電管用電源に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、ＣＯ2レーザ光を発生する複
数本の放電管は、直列に配置され、その一方端部には全
反射鏡が配置され、他方端部には半透過鏡が配置され、
レーザ光が半透過鏡から外部に放射され、そのレーザ光
を用いて加工などを行うことができる。このように複数
本、直列に配置される各放電管には、効率のよいレーザ
発振を得るために、各放電管の特性のばらつきにかかわ
らず、同一の電流を流す必要がある。ところが従来で
は、その複数の放電管は、共通の電源に電気的に並列に
接続されて駆動され、したがって放電管の特性のばらつ
きによって、各放電管毎に異なった電流が流れ、レーザ
発振の効率が低下することになる。
数本の放電管は、直列に配置され、その一方端部には全
反射鏡が配置され、他方端部には半透過鏡が配置され、
レーザ光が半透過鏡から外部に放射され、そのレーザ光
を用いて加工などを行うことができる。このように複数
本、直列に配置される各放電管には、効率のよいレーザ
発振を得るために、各放電管の特性のばらつきにかかわ
らず、同一の電流を流す必要がある。ところが従来で
は、その複数の放電管は、共通の電源に電気的に並列に
接続されて駆動され、したがって放電管の特性のばらつ
きによって、各放電管毎に異なった電流が流れ、レーザ
発振の効率が低下することになる。
【０００３】この問題を解決するために、各放電管毎
に、その放電管を個別的に駆動する電源を設け、放電電
流を各放電管に共通な同一値に保つようにすればよいけ
れども、そのようにすると、構成が明らかに大形化し、
コストアップになる。
に、その放電管を個別的に駆動する電源を設け、放電電
流を各放電管に共通な同一値に保つようにすればよいけ
れども、そのようにすると、構成が明らかに大形化し、
コストアップになる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、構成
を簡略化し、しかも複数の放電管の放電電流を同一の値
にすることができるようにした放電管用電源を提供する
ことである。
を簡略化し、しかも複数の放電管の放電電流を同一の値
にすることができるようにした放電管用電源を提供する
ことである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、交流電源と、
交流電源の出力が与えられ、１次巻線が直列に接続され
る複数の昇圧トランスと、昇圧トランスの２次巻線の各
出力をそれぞれ整流する複数の整流回路と、整流回路の
各整流出力が放電電極間にそれぞれ与えられる複数の放
電管とを含むことを特徴とする放電管用電源である。
交流電源の出力が与えられ、１次巻線が直列に接続され
る複数の昇圧トランスと、昇圧トランスの２次巻線の各
出力をそれぞれ整流する複数の整流回路と、整流回路の
各整流出力が放電電極間にそれぞれ与えられる複数の放
電管とを含むことを特徴とする放電管用電源である。
【０００６】また本発明は、各放電管の放電電流をそれ
ぞれ検出する手段と、放電電流検出手段の出力に応答
し、放電電流の和または平均値が予め定める値となるよ
うに交流電源を制御する手段とを含むことを特徴とす
る。
ぞれ検出する手段と、放電電流検出手段の出力に応答
し、放電電流の和または平均値が予め定める値となるよ
うに交流電源を制御する手段とを含むことを特徴とす
る。
【０００７】
【作用】本発明に従えば、交流電力を発生するインバー
タなどの交流電源からの出力を、放電管毎に個別的に設
けられる複数の昇圧トランスに与え、この昇圧トランス
の１次巻線は、直列に接続されており、各昇圧トランス
の２次巻線の出力を整流回路によって個別的に整流し、
各整流回路の出力を各放電管毎の対を成す放電電極間に
それぞれ与える。昇圧トランスの１次巻線は上述のよう
に直列に接続されているので、各１次巻線に流れる電流
は等しく、したがってその昇圧トランスの２次巻線に流
れる電流は、昇圧トランスの巻線比をａとするとき、１
次巻線に流れる電流のａ倍であり、したがって昇圧トラ
ンスの２次電流は、それらのトランスの構成が同一であ
るとき、等しく、したがって放電管の放電電流は全て同
一値となる。
タなどの交流電源からの出力を、放電管毎に個別的に設
けられる複数の昇圧トランスに与え、この昇圧トランス
の１次巻線は、直列に接続されており、各昇圧トランス
の２次巻線の出力を整流回路によって個別的に整流し、
各整流回路の出力を各放電管毎の対を成す放電電極間に
それぞれ与える。昇圧トランスの１次巻線は上述のよう
に直列に接続されているので、各１次巻線に流れる電流
は等しく、したがってその昇圧トランスの２次巻線に流
れる電流は、昇圧トランスの巻線比をａとするとき、１
次巻線に流れる電流のａ倍であり、したがって昇圧トラ
ンスの２次電流は、それらのトランスの構成が同一であ
るとき、等しく、したがって放電管の放電電流は全て同
一値となる。
【０００８】この昇圧トランスは、２次出力電圧が高
く、したがって前述の巻線比ａは小さい。放電管のイン
ピーダンスは、１次巻線側から見るとａ2倍となり、し
たがって放電管の特性、すなわちインピーダンスのばら
つきが存在しても、各昇圧トランスの１次側から見たイ
ンピーダンスはほぼ等しい値となり、こうして放電管の
特性のばらつきにかかわらず、各放電管の放電電流を同
一値とすることができる。
く、したがって前述の巻線比ａは小さい。放電管のイン
ピーダンスは、１次巻線側から見るとａ2倍となり、し
たがって放電管の特性、すなわちインピーダンスのばら
つきが存在しても、各昇圧トランスの１次側から見たイ
ンピーダンスはほぼ等しい値となり、こうして放電管の
特性のばらつきにかかわらず、各放電管の放電電流を同
一値とすることができる。
【０００９】さらに本発明に従えば、各放電管の放電電
流を検出手段によって検出して、その放電電流の和、ま
たは平均値が、予め定める値となるように交流電源を制
御し、こうして直列接続された１次巻線に流れる電流を
一定の値に正確に保つことが可能になる。
流を検出手段によって検出して、その放電電流の和、ま
たは平均値が、予め定める値となるように交流電源を制
御し、こうして直列接続された１次巻線に流れる電流を
一定の値に正確に保つことが可能になる。
【００１０】
【実施例】図１は、本発明の一実施例の電気回路図であ
る。ＣＯ2レーザを発生するために放電管Ｌ１１〜Ｌ１
４が一直線上に図２に示されるように配置され、放電管
Ｌ１１〜Ｌ１４内には、Ｈｅ，Ｎ2およびＣＯ2の混合ガ
スが充填され、軸線方向に循環して流される。また同様
にして参照符Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５で示されるように
して、４本の放電管を直列に配置する。放電管Ｌ１１〜
Ｌ１４を総括的に参照符Ｌ１で示すことにする。放電管
Ｌ１〜Ｌ５間には全反射鏡Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４が配
置され、またこれらの放電管Ｌ１〜Ｌ５の列の一方の端
部には、全反射鏡Ｍ０が配置され、他方端部には半透過
鏡Ｍ５が配置される。こうしてレーザ発振が行われ、レ
ーザ光１が発生されて、加工などに用いられる。
る。ＣＯ2レーザを発生するために放電管Ｌ１１〜Ｌ１
４が一直線上に図２に示されるように配置され、放電管
Ｌ１１〜Ｌ１４内には、Ｈｅ，Ｎ2およびＣＯ2の混合ガ
スが充填され、軸線方向に循環して流される。また同様
にして参照符Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５で示されるように
して、４本の放電管を直列に配置する。放電管Ｌ１１〜
Ｌ１４を総括的に参照符Ｌ１で示すことにする。放電管
Ｌ１〜Ｌ５間には全反射鏡Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４が配
置され、またこれらの放電管Ｌ１〜Ｌ５の列の一方の端
部には、全反射鏡Ｍ０が配置され、他方端部には半透過
鏡Ｍ５が配置される。こうしてレーザ発振が行われ、レ
ーザ光１が発生されて、加工などに用いられる。
【００１１】再び図１を参照して、商用三相交流電源２
からのたとえば２２０Ｖの電力は、コンバータ３に与え
られて直流電圧を得、ライン４，５から、その直流電力
が導出され、インバータ６に与えられる。インバータ６
は、ライン７，８間に、たとえば２０ｋＨｚ、３００Ｖ
の交流波形を導出し、交流電源として働く。
からのたとえば２２０Ｖの電力は、コンバータ３に与え
られて直流電圧を得、ライン４，５から、その直流電力
が導出され、インバータ６に与えられる。インバータ６
は、ライン７，８間に、たとえば２０ｋＨｚ、３００Ｖ
の交流波形を導出し、交流電源として働く。
【００１２】放電管Ｌ１１〜Ｌ１４毎に個別的に、同一
構成を有する昇圧トランスＴ１１〜Ｔ１４が設けられ、
これらの１次巻線９〜１２は、直列に接続されて、イン
バータ６の出力ライン７，８に接続される。トランスＴ
１１の２次巻線１３の出力電圧は、たとえば１５ｋＶで
あり、１次巻線９の巻数Ｎ１と２次巻線１３の巻数Ｎ２
との巻数比ａ（＝Ｎ１／Ｎ２）は、たとえば１／２００
である。トランスＴ１１〜Ｔ１４の２次巻線１３〜１６
の２次出力は、４つのダイオードから成る全波整流回路
１７〜２０によって整流される。整流回路１７の直流出
力は、ライン２１，２２を経て放電管Ｌ１１の放電電極
２３，２４に与えられ、放電管Ｌ１１が放電する。ライ
ン２２には電流検出のための抵抗Ｒ１１が介在される。
同様にして放電管Ｌ１２〜Ｌ１４の放電電流を検出する
ために抵抗Ｒ１２〜Ｒ１４が設けられ、こうして検出さ
れた各放電管Ｌ１１〜Ｌ１４毎の放電電流を表す信号
は、制御回路２５に与えられる。
構成を有する昇圧トランスＴ１１〜Ｔ１４が設けられ、
これらの１次巻線９〜１２は、直列に接続されて、イン
バータ６の出力ライン７，８に接続される。トランスＴ
１１の２次巻線１３の出力電圧は、たとえば１５ｋＶで
あり、１次巻線９の巻数Ｎ１と２次巻線１３の巻数Ｎ２
との巻数比ａ（＝Ｎ１／Ｎ２）は、たとえば１／２００
である。トランスＴ１１〜Ｔ１４の２次巻線１３〜１６
の２次出力は、４つのダイオードから成る全波整流回路
１７〜２０によって整流される。整流回路１７の直流出
力は、ライン２１，２２を経て放電管Ｌ１１の放電電極
２３，２４に与えられ、放電管Ｌ１１が放電する。ライ
ン２２には電流検出のための抵抗Ｒ１１が介在される。
同様にして放電管Ｌ１２〜Ｌ１４の放電電流を検出する
ために抵抗Ｒ１２〜Ｒ１４が設けられ、こうして検出さ
れた各放電管Ｌ１１〜Ｌ１４毎の放電電流を表す信号
は、制御回路２５に与えられる。
【００１３】制御回路２５の具体的な構成は、図３に示
されている。放電管Ｌ１１〜Ｌ１４の放電電流は、参照
符Ｉ１〜Ｉ４で示されており、これらの放電電流Ｉ１〜
Ｉ４は、加算回路２６において加算されて和（＝Ｉ１＋
Ｉ２＋Ｉ３＋Ｉ４）が求められ、さらに平均値演算回路
２７において、それらの和の１／４の値である平均値Ｉ
ａが求められる。
されている。放電管Ｌ１１〜Ｌ１４の放電電流は、参照
符Ｉ１〜Ｉ４で示されており、これらの放電電流Ｉ１〜
Ｉ４は、加算回路２６において加算されて和（＝Ｉ１＋
Ｉ２＋Ｉ３＋Ｉ４）が求められ、さらに平均値演算回路
２７において、それらの和の１／４の値である平均値Ｉ
ａが求められる。
【００１４】
【数１】
【００１５】この平均値演算回路２７の出力は減算回路
２８に与えられ、また放電管電流設定回路２９からの予
め定める各放電管Ｌ１１〜Ｌ１４毎の設定値Ｉｓを表す
信号も減算回路２８に与えられる。この減算回路２８
は、差（＝Ｉｓ−Ｉａ）を表す信号を導出し、比例器３
０で予め定める定数ｋを掛算し、インバータ６にライン
３１を介して信号を与える。
２８に与えられ、また放電管電流設定回路２９からの予
め定める各放電管Ｌ１１〜Ｌ１４毎の設定値Ｉｓを表す
信号も減算回路２８に与えられる。この減算回路２８
は、差（＝Ｉｓ−Ｉａ）を表す信号を導出し、比例器３
０で予め定める定数ｋを掛算し、インバータ６にライン
３１を介して信号を与える。
【００１６】図４は、インバータ６の具体的な構成を示
す電気回路図である。このインバータ６では、コンバー
タ３からライン４，５を介する直流電力を導通／遮断す
るスイッチングトランジスタＱ１〜Ｑ４が設けられ、こ
れらのスイッチングトランジスタＱ１〜Ｑ４は、それら
のベースには、パルス幅を制御するパルス幅制御回路３
３からの制御信号が与えられる。トランジスタＱ１〜Ｑ
４の出力は、ライン７，８を介して前述のようにトラン
スＴ１１〜Ｔ１４の１次巻線９〜１２に与えられる。ラ
イン７，８から交流電力が発生されるようにするため
に、トランジスタＱ１〜Ｑ４が導通し、かつスイッチン
グトランジスタＱ２，Ｑ３が遮断する第１半周期と、ト
ランジスタＱ１，Ｑ４が遮断し、トランジスタＱ２，Ｑ
３が導通する第２半周期とが交互に繰返されて、交流波
形が得られる。
す電気回路図である。このインバータ６では、コンバー
タ３からライン４，５を介する直流電力を導通／遮断す
るスイッチングトランジスタＱ１〜Ｑ４が設けられ、こ
れらのスイッチングトランジスタＱ１〜Ｑ４は、それら
のベースには、パルス幅を制御するパルス幅制御回路３
３からの制御信号が与えられる。トランジスタＱ１〜Ｑ
４の出力は、ライン７，８を介して前述のようにトラン
スＴ１１〜Ｔ１４の１次巻線９〜１２に与えられる。ラ
イン７，８から交流電力が発生されるようにするため
に、トランジスタＱ１〜Ｑ４が導通し、かつスイッチン
グトランジスタＱ２，Ｑ３が遮断する第１半周期と、ト
ランジスタＱ１，Ｑ４が遮断し、トランジスタＱ２，Ｑ
３が導通する第２半周期とが交互に繰返されて、交流波
形が得られる。
【００１７】放電管Ｌ１１〜Ｌ１４の放電電流がたとえ
ば減少したときには、減算回路２８の偏差が大きくな
り、その偏差が零となるようにパルス幅制御回路３３
は、スイッチングトランジスタＱ１〜Ｑ４の導通／遮断
の各期間であるパルス幅を大きくし、これによって放電
電流が大きくなるように制御する。
ば減少したときには、減算回路２８の偏差が大きくな
り、その偏差が零となるようにパルス幅制御回路３３
は、スイッチングトランジスタＱ１〜Ｑ４の導通／遮断
の各期間であるパルス幅を大きくし、これによって放電
電流が大きくなるように制御する。
【００１８】上述の実施例によれば、トランスＴ１１〜
Ｔ１４の１次巻線９〜１２は、直列に接続されているの
で、それらの１次電流Ｉ１は全て等しい。２次巻線１３
〜１６の２次電流Ｉ２は、巻線比ａを用いて表すと、数
２のとおりとなる。
Ｔ１４の１次巻線９〜１２は、直列に接続されているの
で、それらの１次電流Ｉ１は全て等しい。２次巻線１３
〜１６の２次電流Ｉ２は、巻線比ａを用いて表すと、数
２のとおりとなる。
【００１９】
【数２】Ｉ２＝ａ・Ｉ１ したがって２次電流は、換言すると放電管Ｌ１１〜Ｌ１
４に流れる放電電流は、等しくなる。
４に流れる放電電流は、等しくなる。
【００２０】また放電管Ｌ１１〜Ｌ１４に流れる放電電
流が等しくなる理由は、図５の等価回路を用いて説明す
ることも可能である。この図５は、トランスＴ１１の１
次巻線９側から見たトランスＴ１１、整流回路１７、放
電電流検出用抵抗Ｒ１１、および放電管Ｌ１１を示す等
価回路図である。ここでｒ１はトランスＴ１１の１次巻
線９の抵抗、ｘ１は、その１次巻線９の漏洩リアクタン
ス、ｒ２は、２次巻線１３の抵抗、ｘ２は、その２次巻
線１３の漏洩リアクタンス、ｚは、放電管Ｌ１１のイン
ピーダンスを示す。整流回路１７のインピーダンスと抵
抗Ｒ１１の抵抗値は小さいので図５では、省略する。１
次側から見て、放電管Ｌ１１のインピーダンスは、ａ2
Ｚとなる。放電管Ｌ１２，Ｌ１３，Ｌ１４のインピーダ
ンスをＺ１，Ｚ２，Ｚ３とするとき、各トランスＴ１２
〜Ｔ１４は、前記トランスＴ１１と同一構成を有すると
き、それらの１次側から見た放電管Ｌ１２〜Ｌ１４のイ
ンピーダンスは、ａ2Ｚ１，ａ2Ｚ２，ａ2Ｚ３である。
ライン７，８間に与えられる電圧Ｖ１１は、各トランス
Ｔ１１〜Ｔ１４毎の電圧Ｖ１〜Ｖ４の和であり、これら
の電圧Ｖ１〜Ｖ４は、一般的には、相互に異なってい
る。巻線比ａが小さくなくても、電流Ｉ１は図５の等価
回路において共通に流れるので、各放電管Ｌ１〜Ｌ４の
インピーダンスＺ，Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３が等しくなくて
も、２次電流は等しくなる。したがって同一構成を有す
るトランジスタＴ１１〜Ｔ１４の１次巻線９〜１２から
見た各インピーダンスは全てほぼ等しく、そのため放電
管Ｌ１１〜Ｌ１４に上述のようにばらつきがあっても、
それによる放電電流のばらつきを防ぐことができ、放電
電流を等しくすることができる。
流が等しくなる理由は、図５の等価回路を用いて説明す
ることも可能である。この図５は、トランスＴ１１の１
次巻線９側から見たトランスＴ１１、整流回路１７、放
電電流検出用抵抗Ｒ１１、および放電管Ｌ１１を示す等
価回路図である。ここでｒ１はトランスＴ１１の１次巻
線９の抵抗、ｘ１は、その１次巻線９の漏洩リアクタン
ス、ｒ２は、２次巻線１３の抵抗、ｘ２は、その２次巻
線１３の漏洩リアクタンス、ｚは、放電管Ｌ１１のイン
ピーダンスを示す。整流回路１７のインピーダンスと抵
抗Ｒ１１の抵抗値は小さいので図５では、省略する。１
次側から見て、放電管Ｌ１１のインピーダンスは、ａ2
Ｚとなる。放電管Ｌ１２，Ｌ１３，Ｌ１４のインピーダ
ンスをＺ１，Ｚ２，Ｚ３とするとき、各トランスＴ１２
〜Ｔ１４は、前記トランスＴ１１と同一構成を有すると
き、それらの１次側から見た放電管Ｌ１２〜Ｌ１４のイ
ンピーダンスは、ａ2Ｚ１，ａ2Ｚ２，ａ2Ｚ３である。
ライン７，８間に与えられる電圧Ｖ１１は、各トランス
Ｔ１１〜Ｔ１４毎の電圧Ｖ１〜Ｖ４の和であり、これら
の電圧Ｖ１〜Ｖ４は、一般的には、相互に異なってい
る。巻線比ａが小さくなくても、電流Ｉ１は図５の等価
回路において共通に流れるので、各放電管Ｌ１〜Ｌ４の
インピーダンスＺ，Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３が等しくなくて
も、２次電流は等しくなる。したがって同一構成を有す
るトランジスタＴ１１〜Ｔ１４の１次巻線９〜１２から
見た各インピーダンスは全てほぼ等しく、そのため放電
管Ｌ１１〜Ｌ１４に上述のようにばらつきがあっても、
それによる放電電流のばらつきを防ぐことができ、放電
電流を等しくすることができる。
【００２１】残余の放電管Ｌ２〜Ｌ５を駆動するための
電力は、共通のコンバータ３からライン４，５を経て、
ライン３４を介して、放電管Ｌ１１〜Ｌ１４と同様な構
成によって、供給される。
電力は、共通のコンバータ３からライン４，５を経て、
ライン３４を介して、放電管Ｌ１１〜Ｌ１４と同様な構
成によって、供給される。
【００２２】図６は、本発明のさらに他の実施例の電気
回路図である。この実施例は前述の図１〜図５に示され
る実施例に類似し、対応する部分には同一の参照符を付
す。注目すべきはこの実施例では、放電管の数が増大し
たときなどに、それらの放電管Ｌ１１〜Ｌ１４に直列に
バラスト抵抗３７〜４０が接続され、これによって放電
管Ｌ１１〜Ｌ１４のインピーダンスのばらつきによる負
荷電流がばらつくことを防いでおり、各放電管Ｌ１１〜
Ｌ１４とバラスト抵抗３７〜４０とから成る４つの直列
回路が、並列に接続され、さらに、これらの放電管Ｌ１
１〜Ｌ１４には、放電電流の検出を行うための抵抗Ｒ１
１が共通に設けられる。整流回路１７、放電管Ｌ１１〜
Ｌ１４、バラスト抵抗３７〜４０および電流検出用抵抗
Ｒ１１から成る回路４１と同様にして、またトランスＴ
１２〜Ｔ１４に関しても、回路４２〜４４が設けられ
る。その他の構成は前述の実施例と同様である。
回路図である。この実施例は前述の図１〜図５に示され
る実施例に類似し、対応する部分には同一の参照符を付
す。注目すべきはこの実施例では、放電管の数が増大し
たときなどに、それらの放電管Ｌ１１〜Ｌ１４に直列に
バラスト抵抗３７〜４０が接続され、これによって放電
管Ｌ１１〜Ｌ１４のインピーダンスのばらつきによる負
荷電流がばらつくことを防いでおり、各放電管Ｌ１１〜
Ｌ１４とバラスト抵抗３７〜４０とから成る４つの直列
回路が、並列に接続され、さらに、これらの放電管Ｌ１
１〜Ｌ１４には、放電電流の検出を行うための抵抗Ｒ１
１が共通に設けられる。整流回路１７、放電管Ｌ１１〜
Ｌ１４、バラスト抵抗３７〜４０および電流検出用抵抗
Ｒ１１から成る回路４１と同様にして、またトランスＴ
１２〜Ｔ１４に関しても、回路４２〜４４が設けられ
る。その他の構成は前述の実施例と同様である。
【００２３】本発明の他の実施例として、平均値演算回
路２７を省略し、加算回路２６の出力を減算回路２８に
与えるとともに、放電管電流設定回路２９からは、これ
らの放電管Ｌ１１〜Ｌ１４の放電電流の加算値である設
定値を与えるようにしてもよい。
路２７を省略し、加算回路２６の出力を減算回路２８に
与えるとともに、放電管電流設定回路２９からは、これ
らの放電管Ｌ１１〜Ｌ１４の放電電流の加算値である設
定値を与えるようにしてもよい。
【００２４】本発明は、ＣＯ2レーザの発生のための放
電管に関連して実施されるだけでなく、その他の構成に
関してもまた、実施することができる。
電管に関連して実施されるだけでなく、その他の構成に
関してもまた、実施することができる。
【００２５】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、インバー
タなどの交流電源からの出力を、複数の昇圧トランスの
直列接続された１次巻線に与え、この昇圧トランスの２
次巻線の各出力を整流回路で整流して放電管の放電電極
間にそれぞれ与えるようにしたので、交流電源を複数の
放電管に共通に設ければよく、構成が簡略化されるとと
もに、１次巻線に流れる電流、したがって放電管の放電
電流を同一値にすることができ、したがってこのような
放電管が、ＣＯ2レーザ光の放電管であるときには、レ
ーザ発振の効率を良好にし、レーザ光の品質の向上を図
ることができる。
タなどの交流電源からの出力を、複数の昇圧トランスの
直列接続された１次巻線に与え、この昇圧トランスの２
次巻線の各出力を整流回路で整流して放電管の放電電極
間にそれぞれ与えるようにしたので、交流電源を複数の
放電管に共通に設ければよく、構成が簡略化されるとと
もに、１次巻線に流れる電流、したがって放電管の放電
電流を同一値にすることができ、したがってこのような
放電管が、ＣＯ2レーザ光の放電管であるときには、レ
ーザ発振の効率を良好にし、レーザ光の品質の向上を図
ることができる。
【００２６】さらに各放電管の放電電流を検出手段で検
出して、放電電流の和または平均値が予め定める値とな
るように交流電源を制御することによって、放電電流を
正確に前記予め定める値に保つことが可能である。
出して、放電電流の和または平均値が予め定める値とな
るように交流電源を制御することによって、放電電流を
正確に前記予め定める値に保つことが可能である。
【図１】本発明の一実施例の全体の電気回路図である。
【図２】ＣＯ2レーザ発生を行う全体の構成を示す図で
ある。
ある。
【図３】制御回路２５の具体的な構成を示す電気回路図
である。
である。
【図４】インバータ６の具体的な構成を説明する電気回
路図である。
路図である。
【図５】トランスＴ１１の１次巻線９側から見た等価回
路図である。
路図である。
【図６】本発明の他の実施例の電気的構成を示す図であ
る。
る。
２ 商用交流電源 ３ コンバータ ６ インバータ ９〜１２ １次巻線 １３〜１６ ２次巻線 １７〜２０ 全波整流回路 ２３，２４ 放電電極 ２５ 制御回路 ２６ 加算回路 ２７ 平均値演算回路 ２８ 減算器 ２９ 放電管電流設定回路 ３０ 比例器 ３３ パルス幅制御回路
Claims (2)
- 【請求項１】 交流電源と、 交流電源の出力が与えられ、１次巻線が直列に接続され
る複数の昇圧トランスと、 昇圧トランスの２次巻線の各出力をそれぞれ整流する複
数の整流回路と、 整流回路の各整流出力が放電電極間にそれぞれ与えられ
る複数の放電管とを含むことを特徴とする放電管用電
源。 - 【請求項２】 各放電管の放電電流をそれぞれ検出する
手段と、 放電電流検出手段の出力に応答し、放電電流の和または
平均値が予め定める値となるように交流電源を制御する
手段とを含むことを特徴とする請求項１記載の放電管用
電源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19557792A JP2971255B2 (ja) | 1992-07-22 | 1992-07-22 | Ｃｏ２レーザ光発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19557792A JP2971255B2 (ja) | 1992-07-22 | 1992-07-22 | Ｃｏ２レーザ光発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0645676A true JPH0645676A (ja) | 1994-02-18 |
| JP2971255B2 JP2971255B2 (ja) | 1999-11-02 |
Family
ID=16343452
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19557792A Expired - Fee Related JP2971255B2 (ja) | 1992-07-22 | 1992-07-22 | Ｃｏ２レーザ光発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2971255B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03115325A (ja) * | 1989-09-28 | 1991-05-16 | Sekisui Chem Co Ltd | ポリエステルエラストマーの薄板状成形体 |
| JPH06172507A (ja) * | 1990-06-14 | 1994-06-21 | Sekisui Chem Co Ltd | ポリエステル共重合体及びポリエステル共重合体組成物 |
| US5754580A (en) * | 1996-10-10 | 1998-05-19 | Daihen Corporation | Carbon dioxide gas laser oscillation apparatus |
| JP2005236030A (ja) * | 2004-02-19 | 2005-09-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ光出射方法とその装置 |
-
1992
- 1992-07-22 JP JP19557792A patent/JP2971255B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03115325A (ja) * | 1989-09-28 | 1991-05-16 | Sekisui Chem Co Ltd | ポリエステルエラストマーの薄板状成形体 |
| JPH06172507A (ja) * | 1990-06-14 | 1994-06-21 | Sekisui Chem Co Ltd | ポリエステル共重合体及びポリエステル共重合体組成物 |
| US5754580A (en) * | 1996-10-10 | 1998-05-19 | Daihen Corporation | Carbon dioxide gas laser oscillation apparatus |
| JP2005236030A (ja) * | 2004-02-19 | 2005-09-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ光出射方法とその装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2971255B2 (ja) | 1999-11-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |