JPH0644144U - 搬送機構における帯電防止装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 帯電を防止する。 【構成】 搬送機構のワーク保持部の上方に静電気除去
装置を設けた搬送機構における帯電防止装置。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案はウエット処理装置等に用いる搬送機構における帯電防止装置に関する ものである。

【０００２】

【従来の技術】

半導体等のワークを各種薬液、純水によるウエット処理に際し、ワークを搬送 する途中において空気との摩擦により静電気が発生する欠点があった。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

前記のように静電気が発生してワークに帯電すると、クリーンな部屋で移動し ていても塵埃が付着しやすくなるという問題があった。 そこで、本考案においては搬送中に静電気を中和させて塵埃の付着を防止する ことができる装置を提供しようとするものである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

本考案は上記課題を解決するために、搬送機構のワーク保持部の上方に静電気 除去装置を設けた搬送機構における帯電防止装置を構成させたものである。

【０００５】

【作用】

本考案は前記のように構成したもので、静電気除去装置から発生する高圧電界 により空気をイオン化させて帯電極性と逆の極性のイオンをワーク表面に付着さ せて帯電を中和させる。

【０００６】

【実施例】

本考案の実施例を図１，２に基いて詳細に説明する。 搬送機構である自走ロボット１の本体２に連結部材３を軸４で昇降及び回転で きるように取付けている。この連結部材３には水平方向に２本のワーク保持棒５ ，５´を固定し、ワーク保持棒５，５´に下側に向かって夫々ワーク保持部６， ６´を取付け、Ｓｉウエハ等のワーク７を収納したカセット８を保持している。

【０００７】 そして、前記両ワーク保持棒５，５´に静電気除去装置９をボルト等で固定し 、除電電極１０を下側に位置させている。 尚、図中１１は各種の薬液は純水で処理を行う処理槽である。

【０００８】 本実施例は前記のように構成したもので、処理槽１１に向かって自走ロボット １を走行させる途中において、静電気除去装置９の除電電極１０に高圧を印加す ると、アース極（図示省略）と除電電極１０との間に高圧電界ができ、空気がイ オン化される。そして、交流電界のため（＋）と（−）の両方のイオンができ、 Ｓｉウエハ又はカセット等のワーク７とカセット８の帯電極性と逆の極性のイオ ンが引きつけられてワーク等の表面に付着し、帯電を中和する。 尚、搬送機構は自走ロボットに限定されるものではなく、各種の機構を用いる ことができる。

【０００９】

【考案の効果】

本考案は前記のような構成、作用を有するから、ワーク等を搬送する途中にお いて帯電を中和させるので、搬送中に発生した静電気によりパーティクルが再付 着するようなことがない。

【００１０】

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係る搬送機構における帯電防止装置の
一実施例の正面図。

【図２】その側面図。

【符号の説明】

１ 自走ロボット１ ２ 本体 ３ 連結部材 ４ 軸 ５ ワーク保持棒 ５´ ワーク保持棒 ６ ワーク保持部 ６´ ワーク保持部 ７ ワーク ８ カセット ９ 静電気除去装置 １０ 除電電極 １１ 処理槽

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 搬送機構のワーク保持部の上方に静電気
   除去装置を設けたことを特徴とする搬送機構における帯
   電防止装置。