JPH0717153Y2 - 静電チャック装置 - Google Patents
静電チャック装置Info
- Publication number
- JPH0717153Y2 JPH0717153Y2 JP1988093775U JP9377588U JPH0717153Y2 JP H0717153 Y2 JPH0717153 Y2 JP H0717153Y2 JP 1988093775 U JP1988093775 U JP 1988093775U JP 9377588 U JP9377588 U JP 9377588U JP H0717153 Y2 JPH0717153 Y2 JP H0717153Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrostatic chuck
- electrode
- wafer
- chuck device
- ground potential
- Prior art date
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- Wire Bonding (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、静電チャック用電極からの電界が半導体ウエ
ハの如き材料上に照射される荷電粒子ビームに影響を与
えない様にした静電チャック装置に関する。
ハの如き材料上に照射される荷電粒子ビームに影響を与
えない様にした静電チャック装置に関する。
［従来の技術］ 半導体ウエハ等の材料上に電子ビームやイオンビーム等
の荷電粒子ビームでパターンの描画等の加工を行なった
り、既にパターンが描画された半導体ウエハの如き材料
上を荷電粒子ビームで走査してパターン幅測長等の測定
を行なう様な荷電粒子ビーム装置において、静電チャッ
ク装置を使用して半導体ウエハの如き材料をホールドす
る事がある。
の荷電粒子ビームでパターンの描画等の加工を行なった
り、既にパターンが描画された半導体ウエハの如き材料
上を荷電粒子ビームで走査してパターン幅測長等の測定
を行なう様な荷電粒子ビーム装置において、静電チャッ
ク装置を使用して半導体ウエハの如き材料をホールドす
る事がある。
第３図（ａ）は静電チャック装置の一例を示した平面
図、同図（ｂ）はそのＡ−Ａ断面図である。図中１は絶
縁部材、２は該絶縁部材中に設けられた静電チャック用
電極で、ウエハ３の形状に合わせて、例えば、円形状金
属板から成る。４は該静電チャック用電極と大地間に電
圧を印加する為の電源である。この様な装置において、
電源４から、静電チャック用電極２と大地電位にあるウ
エハ３との間に電圧を印加すると、これらの間に静電気
による吸引力が働き、上記ウエハ３が上記絶縁部材１上
に吸着される。
図、同図（ｂ）はそのＡ−Ａ断面図である。図中１は絶
縁部材、２は該絶縁部材中に設けられた静電チャック用
電極で、ウエハ３の形状に合わせて、例えば、円形状金
属板から成る。４は該静電チャック用電極と大地間に電
圧を印加する為の電源である。この様な装置において、
電源４から、静電チャック用電極２と大地電位にあるウ
エハ３との間に電圧を印加すると、これらの間に静電気
による吸引力が働き、上記ウエハ３が上記絶縁部材１上
に吸着される。
［考案が解決しようとする課題］ さて、静電チャック用電極２と大地電位にあるウエハ３
との間に電圧を印加した時、該静電チャック用電極２の
周囲の等電位分布曲線は、第３図（ａ）の実線で示す様
に、その外側のものが上記ウエハ３のサイド部Ｓから上
面に食出している。
との間に電圧を印加した時、該静電チャック用電極２の
周囲の等電位分布曲線は、第３図（ａ）の実線で示す様
に、その外側のものが上記ウエハ３のサイド部Ｓから上
面に食出している。
従って、等電位分布曲線に垂直な方向に発生する該静電
チャック用電極２からの電界の一部は、該ウエハ表面に
発生している。その為、この様な静電チャック装置を上
記荷電粒子ビーム装置に使用した場合、該ウエハ表面の
中心部から離れた箇所に照射される荷電ビームが該ウエ
ハ表面に張出した電界の影響を受けてしまい、所定箇所
にビームが照射されない事がある。
チャック用電極２からの電界の一部は、該ウエハ表面に
発生している。その為、この様な静電チャック装置を上
記荷電粒子ビーム装置に使用した場合、該ウエハ表面の
中心部から離れた箇所に照射される荷電ビームが該ウエ
ハ表面に張出した電界の影響を受けてしまい、所定箇所
にビームが照射されない事がある。
［課題を解決するための手段］ 本考案はこの様な問題を解決する事を目的としたもので
ある。
ある。
そこで、本考案の静電チャック装置は、絶縁部材を介在
させた静電チャック用の平板電極と大地電位にある材料
との間に電圧を印加して材料を静電的に吸着するように
成した静電チャック装置において、上記静電チャック用
の平板電極と上記材料との間に、上記静電チャック用の
平板電極の上面及び側面を取囲み、上記上面に対向する
部分に該上面の大きさに近い大きさの穴が形成された逆
カップ状の大地電位にある電極を配置した。
させた静電チャック用の平板電極と大地電位にある材料
との間に電圧を印加して材料を静電的に吸着するように
成した静電チャック装置において、上記静電チャック用
の平板電極と上記材料との間に、上記静電チャック用の
平板電極の上面及び側面を取囲み、上記上面に対向する
部分に該上面の大きさに近い大きさの穴が形成された逆
カップ状の大地電位にある電極を配置した。
［実施例］ 第１図（ａ），（ｂ）は夫々本考案の一実施例を示した
静電チャック装置の平面図、Ａ−Ａ断面図であるもの
で、上記第３図にて使用した番号と同一番号の付された
ものは同一構成要素を示す。
静電チャック装置の平面図、Ａ−Ａ断面図であるもの
で、上記第３図にて使用した番号と同一番号の付された
ものは同一構成要素を示す。
図中５は、絶縁部材１中で、静電チャック用電極２とウ
エハ３の間に設けられ、大地接続された金属製の大地電
極で、上記静電チャック用の平板電極２の上面及び側面
を取囲み、上記上面に対向する部分に該上面の大きさに
近い大きさの穴が形成された逆カップ形状を有してい
る。即ち、該大地電極の、上記ウエハ３の表面に垂直な
方向の断面は逆Ｌ字状である。
エハ３の間に設けられ、大地接続された金属製の大地電
極で、上記静電チャック用の平板電極２の上面及び側面
を取囲み、上記上面に対向する部分に該上面の大きさに
近い大きさの穴が形成された逆カップ形状を有してい
る。即ち、該大地電極の、上記ウエハ３の表面に垂直な
方向の断面は逆Ｌ字状である。
この様な装置において、電源４から、静電チャック用電
極２と大地電位にあるウエハ３との間に電圧を印加する
と、これらの間に静電気による吸引力が働き、上記ウエ
ハ３が上記絶縁部材１上に吸着される。
極２と大地電位にあるウエハ３との間に電圧を印加する
と、これらの間に静電気による吸引力が働き、上記ウエ
ハ３が上記絶縁部材１上に吸着される。
さて、静電チャック用電極２と大地電位にあるウエハ３
との間に電圧を印加した時、該静電チャック用電極２の
周囲の等電位分布曲線は、上記大地電位にある大地電極
５と静電チャック用電極２との間で形成される為に、第
１図（ａ）の実線で示す様に、該大地電極５を越えてウ
エハのエッジ部分Ｅの方向に形成されない。その為、該
等電位分布曲線に垂直な方向に発生する該静電チャック
用電極２からの電界の中に該ウエハ表面に張出すものは
全く無い。その為、この様な静電チャック装置を上記荷
電粒子ビーム装置に使用しても、該ウエハ表面の中心分
から離れた箇所に照射される荷電ビームが該静電チャッ
ク電極からの電界の影響を受ける事は全くない。
との間に電圧を印加した時、該静電チャック用電極２の
周囲の等電位分布曲線は、上記大地電位にある大地電極
５と静電チャック用電極２との間で形成される為に、第
１図（ａ）の実線で示す様に、該大地電極５を越えてウ
エハのエッジ部分Ｅの方向に形成されない。その為、該
等電位分布曲線に垂直な方向に発生する該静電チャック
用電極２からの電界の中に該ウエハ表面に張出すものは
全く無い。その為、この様な静電チャック装置を上記荷
電粒子ビーム装置に使用しても、該ウエハ表面の中心分
から離れた箇所に照射される荷電ビームが該静電チャッ
ク電極からの電界の影響を受ける事は全くない。
尚、第２図に示す様に、大地電極５を絶縁部材１の外に
出し、その上面が該絶縁部材の上面と同一高さに成るよ
うに配置しても良い。この場合には、わざわざウエハ３
を大地に繋ぐ作業を行う必要はなく、該ウエハが絶縁材
料１上に吸着されたときに大地電極５にも密着するの
で、このときに大地電位となる。
出し、その上面が該絶縁部材の上面と同一高さに成るよ
うに配置しても良い。この場合には、わざわざウエハ３
を大地に繋ぐ作業を行う必要はなく、該ウエハが絶縁材
料１上に吸着されたときに大地電極５にも密着するの
で、このときに大地電位となる。
又、上記実施例では静電チャック用電極に正の電圧を印
加する様にしたが負の電圧を印加する様にしても良い。
加する様にしたが負の電圧を印加する様にしても良い。
更に、上記実施例では本考案を１枚の静電チャック様電
極を用いた静電チャック装置に応用したものを例に上げ
たが、同一平面上に半円状の２枚の静電チャック用電極
を設け、該２枚の電極に同極の電圧を印加する装置若し
くは、該２枚の電極に互いに異極の電圧を印加する装置
にも同じ様に応用出来る。
極を用いた静電チャック装置に応用したものを例に上げ
たが、同一平面上に半円状の２枚の静電チャック用電極
を設け、該２枚の電極に同極の電圧を印加する装置若し
くは、該２枚の電極に互いに異極の電圧を印加する装置
にも同じ様に応用出来る。
更に又、上記実施例では大地電極５として．ウエハ３の
表面に垂直な方向の断面が逆Ｌ字状のものを用いたが、
同方向の断面がくの字状やコの字状ものを用いても同様
な作用効果が得られる。
表面に垂直な方向の断面が逆Ｌ字状のものを用いたが、
同方向の断面がくの字状やコの字状ものを用いても同様
な作用効果が得られる。
［考案の効果］ 本考案によれば、静電チャック用電極からの電界の中に
半導体ウエハの如き材料の表面に張出すものは全く無い
ので、この様な静電チャック装置を荷電粒子ビーム装置
に使用しても、該材料表面の中心分から離れた箇所に照
射される荷電ビームが該静電チャック電極からの電界の
影響を受ける事は全くない。その為、該電界の影響によ
り所定箇所にビームが照射されない事態が発生しない。
半導体ウエハの如き材料の表面に張出すものは全く無い
ので、この様な静電チャック装置を荷電粒子ビーム装置
に使用しても、該材料表面の中心分から離れた箇所に照
射される荷電ビームが該静電チャック電極からの電界の
影響を受ける事は全くない。その為、該電界の影響によ
り所定箇所にビームが照射されない事態が発生しない。
第１図（ａ），（ｂ）は夫々本考案の一実施例を示した
静電チャック装置の平面図、Ａ−Ａ断面図、第２図は本
考案の他の実施例を示したもの、第３図（ａ）は従来の
静電チャック装置の一例を示した平面図、同図（ｂ）は
そのＡ−Ａ断面図である。 1:絶縁部材、2:静電チャック用電極 3:ウエハ、4:電源、5:大地電極
静電チャック装置の平面図、Ａ−Ａ断面図、第２図は本
考案の他の実施例を示したもの、第３図（ａ）は従来の
静電チャック装置の一例を示した平面図、同図（ｂ）は
そのＡ−Ａ断面図である。 1:絶縁部材、2:静電チャック用電極 3:ウエハ、4:電源、5:大地電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０２Ｎ 13/00 Ｄ 8525−5Ｈ
Claims (1)
- 【請求項１】絶縁部材を介在させた静電チャック用の平
板電極と大地電位にある材料との間に電圧を印加して材
料を静電的に吸着するように成した静電チャック装置に
おいて、上記静電チャック用の平板電極と上記材料との
間に、上記静電チャック用の平板電極の上面及び側面を
取囲み、上記上面に対向する部分に該上面の大きさに近
い大きさの穴が形成された逆カップ状の大地電位にある
電極を配置した静電チャック装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988093775U JPH0717153Y2 (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | 静電チャック装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988093775U JPH0717153Y2 (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | 静電チャック装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0215735U JPH0215735U (ja) | 1990-01-31 |
| JPH0717153Y2 true JPH0717153Y2 (ja) | 1995-04-19 |
Family
ID=31318250
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988093775U Expired - Lifetime JPH0717153Y2 (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | 静電チャック装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0717153Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5796076B2 (ja) * | 2010-09-08 | 2015-10-21 | インテグリス・インコーポレーテッド | 高導電性静電チャック |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63142654A (ja) * | 1986-12-04 | 1988-06-15 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 静電吸着装置 |
-
1988
- 1988-07-15 JP JP1988093775U patent/JPH0717153Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0215735U (ja) | 1990-01-31 |
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