JP3271207B2 - 基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被処理物となる基板を
搬送する際に用いられる基板搬送装置に関するものであ
る。
搬送する際に用いられる基板搬送装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の基板搬送装置の中には、半導体プ
ロセスのマルチチャンバーシステムなどで見られるよう
に、基板に所定の処理（例えば成膜処理や洗浄処理）を
施すための処理室に基板（ウエハ）を供給したり、反対
に処理室から基板を取り出したりする動作機能を備えた
ものがある。
ロセスのマルチチャンバーシステムなどで見られるよう
に、基板に所定の処理（例えば成膜処理や洗浄処理）を
施すための処理室に基板（ウエハ）を供給したり、反対
に処理室から基板を取り出したりする動作機能を備えた
ものがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の基
板搬送装置では、例えば上述した半導体プロセスのマル
チチャンバーシステムの場合、システム装置全体のクリ
ーン度を高める手段は講じられているが、最も重要であ
る基板の保持部やこれに保持される基板表面の塵埃を局
部的に除去する手段が講じられていないため、装置の摺
動部分などから発生した塵埃（微粒子）が基板保持部や
基板表面に付着した状態で基板の搬送が行われるという
問題があった。
板搬送装置では、例えば上述した半導体プロセスのマル
チチャンバーシステムの場合、システム装置全体のクリ
ーン度を高める手段は講じられているが、最も重要であ
る基板の保持部やこれに保持される基板表面の塵埃を局
部的に除去する手段が講じられていないため、装置の摺
動部分などから発生した塵埃（微粒子）が基板保持部や
基板表面に付着した状態で基板の搬送が行われるという
問題があった。
【０００４】本発明は、上記問題を解決するためになさ
れたもので、被処理物となる基板を常にクリーンな状態
で搬送することができる基板搬送装置を提供することを
目的とする。
れたもので、被処理物となる基板を常にクリーンな状態
で搬送することができる基板搬送装置を提供することを
目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するためになされたもので、基板を保持するための基
板保持部と、その基板に所定の処理を施す処理室に対し
て基板の供給及び取り出しを行うために基板保持部を所
定の搬送経路に沿って進退移動させる基板搬送手段とを
備えた基板搬送装置において、前記基板搬送手段による
前記基板保持部の前記搬送経路上に、集塵面を有する微
粒子コレクターを設けるとともに、この微粒子コレクタ
ーの集塵面を、搬送経路上で基板保持部と近接する状態
に配置し、かつ搬送経路上で微粒子コレクターと基板保
持部の近接状態における離間距離を調整する調整手段を
備えるものである。
成するためになされたもので、基板を保持するための基
板保持部と、その基板に所定の処理を施す処理室に対し
て基板の供給及び取り出しを行うために基板保持部を所
定の搬送経路に沿って進退移動させる基板搬送手段とを
備えた基板搬送装置において、前記基板搬送手段による
前記基板保持部の前記搬送経路上に、集塵面を有する微
粒子コレクターを設けるとともに、この微粒子コレクタ
ーの集塵面を、搬送経路上で基板保持部と近接する状態
に配置し、かつ搬送経路上で微粒子コレクターと基板保
持部の近接状態における離間距離を調整する調整手段を
備えるものである。
【０００６】
【作用】本発明の基板搬送装置においては、基板搬送手
段による基板保持部の搬送経路上に、集塵面を有する微
粒子コレクターを設けるとともに、この微粒子コレクタ
ーの集塵面を、搬送経路上で基板保持部と近接する状態
に配置した構成となっているため、基板搬送手段による
搬送経路上で基板保持部が微粒子コレクターの配設位置
を通過する度に、基板保持部に付着した微粒子や当該基
板保持部に保持された基板の表面に付着した微粒子が微
粒子コレクターの集塵面で吸着される。また、搬送経路
上で微粒子コレクターと基板保持部の近接状態における
離間距離を調整する調整手段を備えたことで、その離間
距離を集塵効率などを考慮して最適寸法に設定すること
が可能となる。
段による基板保持部の搬送経路上に、集塵面を有する微
粒子コレクターを設けるとともに、この微粒子コレクタ
ーの集塵面を、搬送経路上で基板保持部と近接する状態
に配置した構成となっているため、基板搬送手段による
搬送経路上で基板保持部が微粒子コレクターの配設位置
を通過する度に、基板保持部に付着した微粒子や当該基
板保持部に保持された基板の表面に付着した微粒子が微
粒子コレクターの集塵面で吸着される。また、搬送経路
上で微粒子コレクターと基板保持部の近接状態における
離間距離を調整する調整手段を備えたことで、その離間
距離を集塵効率などを考慮して最適寸法に設定すること
が可能となる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら詳細に説明する。図１は、本発明に係わる基板搬
送装置の第１実施例を説明する図であり、図中（ａ）は
装置全体の斜視図、（ｂ）は側面から見た模式図であ
る。図示した基板搬送装置１０の構成において、１１は
装置本体であり、この装置本体１１の内部には、例えば
駆動モータや歯車機構からなる駆動装置が内蔵されてい
る。また、装置本体１１の上部には可動アーム１２が取
り付けられており、この可動アーム１２の一端は互いに
支軸１３によって連結され、上記駆動装置を駆動源とし
てリンク運動するようになっている。
ながら詳細に説明する。図１は、本発明に係わる基板搬
送装置の第１実施例を説明する図であり、図中（ａ）は
装置全体の斜視図、（ｂ）は側面から見た模式図であ
る。図示した基板搬送装置１０の構成において、１１は
装置本体であり、この装置本体１１の内部には、例えば
駆動モータや歯車機構からなる駆動装置が内蔵されてい
る。また、装置本体１１の上部には可動アーム１２が取
り付けられており、この可動アーム１２の一端は互いに
支軸１３によって連結され、上記駆動装置を駆動源とし
てリンク運動するようになっている。
【０００８】さらに、可動アーム１２の先端部分には基
板保持部１４が設けられており、この基板保持部１４に
被処理物となる基板１５が保持されるようになってい
る。また、こうした構成の中で可動アーム１２は、基板
１５に所定の処理（例えば成膜処理や洗浄処理）を施す
ための処理室（不図示）に対して基板保持部１４を進退
可能に支持している。すなわち、図示せぬ駆動装置の駆
動により可動アーム１２をリンク運動させると、その可
動アーム１２の先端部分に取り付けられた基板保持部１
４は図中矢印で示す搬送経路Ｘ上を移動して、図示せぬ
処理室に対して進出したり後退したりするようになって
いる。
板保持部１４が設けられており、この基板保持部１４に
被処理物となる基板１５が保持されるようになってい
る。また、こうした構成の中で可動アーム１２は、基板
１５に所定の処理（例えば成膜処理や洗浄処理）を施す
ための処理室（不図示）に対して基板保持部１４を進退
可能に支持している。すなわち、図示せぬ駆動装置の駆
動により可動アーム１２をリンク運動させると、その可
動アーム１２の先端部分に取り付けられた基板保持部１
４は図中矢印で示す搬送経路Ｘ上を移動して、図示せぬ
処理室に対して進出したり後退したりするようになって
いる。
【０００９】加えて、本第１実施例の基板搬送装置１０
においては、可動アーム１２のリンク運動による基板保
持部１４の搬送経路Ｘ上に、集塵面２１を有する微粒子
コレクター１６が設けられている。微粒子コレクター１
６の集塵面２１は、搬送経路Ｘ上で基板保持部１４と近
接する状態に配置されている。また、微粒子コレクター
１６は、可動アーム１２による基板保持部１４の移動起
点Ｐに配置されている。この移動起点Ｐは、可動アーム
１２のリンク運動によって基板保持部１４を処理室（不
図示）に対し進退動作させる際のホームポジションとな
る。
においては、可動アーム１２のリンク運動による基板保
持部１４の搬送経路Ｘ上に、集塵面２１を有する微粒子
コレクター１６が設けられている。微粒子コレクター１
６の集塵面２１は、搬送経路Ｘ上で基板保持部１４と近
接する状態に配置されている。また、微粒子コレクター
１６は、可動アーム１２による基板保持部１４の移動起
点Ｐに配置されている。この移動起点Ｐは、可動アーム
１２のリンク運動によって基板保持部１４を処理室（不
図示）に対し進退動作させる際のホームポジションとな
る。
【００１０】ここで、微粒子コレクター１６の構造につ
いて説明すると、これは大きくは装置本体１１の上面に
固定された支持アーム１７と、この支持アーム１７の先
端に一体形成された幅広部１８とから構成されている。
そして図１（ｂ）に示すように、幅広部１８の下面側に
は、上下一対の絶縁膜１９で薄板状の電極２０をサンド
イッチ状に挟み込むことにより集塵面２１が形成されて
いる。さらに、絶縁膜１９の間に配置された電極２０に
は電源ライン２２が接続されており、この電源ライン２
２を通して電極２０に所定の電圧を印加することで集塵
面２１に静電吸着力が発生するようになっている。
いて説明すると、これは大きくは装置本体１１の上面に
固定された支持アーム１７と、この支持アーム１７の先
端に一体形成された幅広部１８とから構成されている。
そして図１（ｂ）に示すように、幅広部１８の下面側に
は、上下一対の絶縁膜１９で薄板状の電極２０をサンド
イッチ状に挟み込むことにより集塵面２１が形成されて
いる。さらに、絶縁膜１９の間に配置された電極２０に
は電源ライン２２が接続されており、この電源ライン２
２を通して電極２０に所定の電圧を印加することで集塵
面２１に静電吸着力が発生するようになっている。
【００１１】続いて、本第１実施例の基板搬送装置１０
の動作の一例を説明する。先ず、未処理の基板１５を処
理室（不図示）に供給する場合は、可動アーム１２を収
縮方向にリンク運動させて、基板保持部１４を移動起点
Ｐつまり微粒子コレクター１６の真下に配置し、この状
態で基板保持部１４に付着している微粒子（塵埃）を集
塵面２１に静電吸着させる。
の動作の一例を説明する。先ず、未処理の基板１５を処
理室（不図示）に供給する場合は、可動アーム１２を収
縮方向にリンク運動させて、基板保持部１４を移動起点
Ｐつまり微粒子コレクター１６の真下に配置し、この状
態で基板保持部１４に付着している微粒子（塵埃）を集
塵面２１に静電吸着させる。
【００１２】次に、可動アーム１２を伸張方向にリンク
運動させて、図示せぬ基板搬送ケースの中から基板１５
を取り出し、これを基板保持部１４で保持する。そし
て、一旦可動アーム１２を収縮方向にリンク運動させて
基板保持部１４を移動起点Ｐに配置し、この状態で基板
１５の表面に付着している微粒子（塵埃）を集塵面２１
に静電吸着させる。
運動させて、図示せぬ基板搬送ケースの中から基板１５
を取り出し、これを基板保持部１４で保持する。そし
て、一旦可動アーム１２を収縮方向にリンク運動させて
基板保持部１４を移動起点Ｐに配置し、この状態で基板
１５の表面に付着している微粒子（塵埃）を集塵面２１
に静電吸着させる。
【００１３】続いて、装置本体１１の回転角を可変して
基板保持部１４の搬送経路Ｘの向きを規定の方向に設定
し、さらに可動アーム１２を伸張方向にリンク運動させ
て図示せぬ処理室に対し基板保持部１４を進出させると
ともに、そこに設けられた基板出入口を通して基板１５
を処理室に供給する。
基板保持部１４の搬送経路Ｘの向きを規定の方向に設定
し、さらに可動アーム１２を伸張方向にリンク運動させ
て図示せぬ処理室に対し基板保持部１４を進出させると
ともに、そこに設けられた基板出入口を通して基板１５
を処理室に供給する。
【００１４】一方、処理済の基板１５を処理室から取り
出す場合は、微粒子コレクター１６の真下に待機させた
基板保持部１４を可動アーム１２のリンク運動により処
理室に向けて進出させる。そして、処理室の基板出入口
を通して処理済の基板１５を取り出し、その後一旦、基
板保持部１４を微粒子コレクター１６の真下に配置し
て、基板１５表面の微粒子を集塵面２１で静電吸着して
から、装置本体１１の回転角を可変して、基板保持部１
４に保持された基板１５を図示せぬ基板搬送ケースに収
納する。
出す場合は、微粒子コレクター１６の真下に待機させた
基板保持部１４を可動アーム１２のリンク運動により処
理室に向けて進出させる。そして、処理室の基板出入口
を通して処理済の基板１５を取り出し、その後一旦、基
板保持部１４を微粒子コレクター１６の真下に配置し
て、基板１５表面の微粒子を集塵面２１で静電吸着して
から、装置本体１１の回転角を可変して、基板保持部１
４に保持された基板１５を図示せぬ基板搬送ケースに収
納する。
【００１５】このように本第１実施例の基板搬送装置１
０においては、基板保持部１４の搬送経路Ｘ上に近接し
て微粒子コレクター１６が配置されているので、この微
粒子コレクター１６の真下に基板保持部１４を配置し
て、基板保持部１４やこれに保持される基板１５表面の
微粒子を集塵面２１で静電吸着させることにより、被処
理物となる基板１５を常にクリーンな状態で搬送するこ
とが可能となる。
０においては、基板保持部１４の搬送経路Ｘ上に近接し
て微粒子コレクター１６が配置されているので、この微
粒子コレクター１６の真下に基板保持部１４を配置し
て、基板保持部１４やこれに保持される基板１５表面の
微粒子を集塵面２１で静電吸着させることにより、被処
理物となる基板１５を常にクリーンな状態で搬送するこ
とが可能となる。
【００１６】また、本第１実施例の基板搬送装置１０で
は、装置本体１１に内蔵された駆動装置（不図示）の駆
動力伝達機能により基板保持部１４を上下方向に移動可
能とするか、或いは図示はしないが微粒子コレクター１
６に上下駆動機構を設けることにより、搬送経路Ｘ上で
微粒子コレクター１６と基板保持部１４の近接状態にお
ける離間距離を調整し得るものとなる。これにより、微
粒子コレクター１６への印加電圧による基板１５のダメ
ージや、集塵対象となる微粒子の大きさに対応した集塵
効率を考慮して、微粒子コレクター１６と基板保持部１
４の離間距離を最適寸法に設定することが可能となる。
は、装置本体１１に内蔵された駆動装置（不図示）の駆
動力伝達機能により基板保持部１４を上下方向に移動可
能とするか、或いは図示はしないが微粒子コレクター１
６に上下駆動機構を設けることにより、搬送経路Ｘ上で
微粒子コレクター１６と基板保持部１４の近接状態にお
ける離間距離を調整し得るものとなる。これにより、微
粒子コレクター１６への印加電圧による基板１５のダメ
ージや、集塵対象となる微粒子の大きさに対応した集塵
効率を考慮して、微粒子コレクター１６と基板保持部１
４の離間距離を最適寸法に設定することが可能となる。
【００１７】続いて、本発明の第２実施例について説明
する。図２は、本発明に係わる基板搬送装置の第２実施
例を説明する図であり、図中（ａ）は装置全体の斜視
図、（ｂ）は側面から見た模式図である。図示した基板
搬送装置３０の構成において、３１は装置本体、３２は
可動アーム、３３は基板保持部であり、これらの基本的
な構成については上記第１実施例の場合とほとんど同様
であるため説明を省略する。
する。図２は、本発明に係わる基板搬送装置の第２実施
例を説明する図であり、図中（ａ）は装置全体の斜視
図、（ｂ）は側面から見た模式図である。図示した基板
搬送装置３０の構成において、３１は装置本体、３２は
可動アーム、３３は基板保持部であり、これらの基本的
な構成については上記第１実施例の場合とほとんど同様
であるため説明を省略する。
【００１８】また、本第２実施例においても上記第１実
施例と同様に、可動アーム３２のリンク運動による基板
保持部３３の搬送経路Ｘ上に、集塵面４１を有する微粒
子コレクター３４が設けられ、この微粒子コレクター３
４の集塵面４１が、搬送経路Ｘ上で基板保持部３３と近
接する状態に配置されている。ただし、本例では被処理
物となる基板３５に所定の処理を施すための処理室３６
の基板出入口３７に微粒子コレクター３４が配置されて
いる。すなわち、処理室３６の入口部分には仕切機能を
備えたゲートバルブ３８が取り付けられており、このゲ
ートバルブ２８に連結したかたちで微粒子コレクター３
４が設けられている。
施例と同様に、可動アーム３２のリンク運動による基板
保持部３３の搬送経路Ｘ上に、集塵面４１を有する微粒
子コレクター３４が設けられ、この微粒子コレクター３
４の集塵面４１が、搬送経路Ｘ上で基板保持部３３と近
接する状態に配置されている。ただし、本例では被処理
物となる基板３５に所定の処理を施すための処理室３６
の基板出入口３７に微粒子コレクター３４が配置されて
いる。すなわち、処理室３６の入口部分には仕切機能を
備えたゲートバルブ３８が取り付けられており、このゲ
ートバルブ２８に連結したかたちで微粒子コレクター３
４が設けられている。
【００１９】ここで第２実施例における微粒子コレクタ
ー３４の構造について説明すると、これは全体的には四
角い筒型をなしており、その内壁上面には図２（ｂ）に
示すように、上下一対の絶縁膜３９で薄板状の電極４０
をサンドイッチ状に挟み込むことで集塵面４１が形成さ
れている。さらに、絶縁膜３９の間に配置された電極４
０には電源ライン４２が接続されており、この電源ライ
ン４２を通して電極４０に所定の電圧を印加することで
集塵面４１に静電吸着力が発生するようになっている。
ー３４の構造について説明すると、これは全体的には四
角い筒型をなしており、その内壁上面には図２（ｂ）に
示すように、上下一対の絶縁膜３９で薄板状の電極４０
をサンドイッチ状に挟み込むことで集塵面４１が形成さ
れている。さらに、絶縁膜３９の間に配置された電極４
０には電源ライン４２が接続されており、この電源ライ
ン４２を通して電極４０に所定の電圧を印加することで
集塵面４１に静電吸着力が発生するようになっている。
【００２０】上記構成からなる本第２実施例の基板搬送
装置３０においては、未処理の基板３５を処理室３６に
供給する場合や、反対に処理済の基板３５を処理室３６
から取り出す場合、図２（ｂ）に示すように可動アーム
３２の先端部分に取り付けられた基板保持部３３が、基
板出入口３７に配置された微粒子コレクター３４の中を
必ず通過するようになる。したがって、基板保持部３３
が微粒子コレクター３４の中を通過する度に基板保持部
３３やこれに保持される基板３５表面の微粒子（塵埃）
は微粒子コレクター３４の集塵面４１に静電吸着される
ことになり、これによって被処理物となる基板３５を常
にクリーンな状態で搬送することが可能となる。
装置３０においては、未処理の基板３５を処理室３６に
供給する場合や、反対に処理済の基板３５を処理室３６
から取り出す場合、図２（ｂ）に示すように可動アーム
３２の先端部分に取り付けられた基板保持部３３が、基
板出入口３７に配置された微粒子コレクター３４の中を
必ず通過するようになる。したがって、基板保持部３３
が微粒子コレクター３４の中を通過する度に基板保持部
３３やこれに保持される基板３５表面の微粒子（塵埃）
は微粒子コレクター３４の集塵面４１に静電吸着される
ことになり、これによって被処理物となる基板３５を常
にクリーンな状態で搬送することが可能となる。
【００２１】図３は上記第２実施例の他の態様を示す要
部斜視図であり、この場合は処理室３６の入口部分に取
り付けられたゲートバルブ３８に微粒子コレクター３４
が組み込まれている。すなわち、ゲートバルブ３８の開
孔部、つまり基板出入口４３の上面には、微粒子コレク
ター３４を構成する上下一対の絶縁膜３９とこれに挟み
込まれた薄板状の電極４０とが設けられ、これにより集
塵面４１が形成されている。
部斜視図であり、この場合は処理室３６の入口部分に取
り付けられたゲートバルブ３８に微粒子コレクター３４
が組み込まれている。すなわち、ゲートバルブ３８の開
孔部、つまり基板出入口４３の上面には、微粒子コレク
ター３４を構成する上下一対の絶縁膜３９とこれに挟み
込まれた薄板状の電極４０とが設けられ、これにより集
塵面４１が形成されている。
【００２２】この場合も上記同様に基板保持部３３が微
粒子コレクター３４の下を通過する度に基板保持部３３
やこれに保持される基板３５表面の微粒子（塵埃）は微
粒子コレクター３４の集塵面４１に静電吸着されること
になり、これによって被処理物となる基板３５を常にク
リーンな状態で搬送することが可能となる。
粒子コレクター３４の下を通過する度に基板保持部３３
やこれに保持される基板３５表面の微粒子（塵埃）は微
粒子コレクター３４の集塵面４１に静電吸着されること
になり、これによって被処理物となる基板３５を常にク
リーンな状態で搬送することが可能となる。
【００２３】なお、本第２実施例においても、装置本体
３１に内蔵された駆動装置（不図示）の駆動力伝達機能
により基板保持部３３を上下方向に移動可能とすること
により、上記第１実施例の場合と同様に微粒子コレクタ
ー３４と基板保持部３３の離間距離を最適寸法に設定す
ることが可能となる。
３１に内蔵された駆動装置（不図示）の駆動力伝達機能
により基板保持部３３を上下方向に移動可能とすること
により、上記第１実施例の場合と同様に微粒子コレクタ
ー３４と基板保持部３３の離間距離を最適寸法に設定す
ることが可能となる。
【００２４】
【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
基板搬送手段による基板保持部の搬送経路上に、集塵面
を有する微粒子コレクターを設けるとともに、この微粒
子コレクターの集塵面を、搬送経路上で基板保持部と近
接する状態に配置した構成を採用することにより、基板
搬送手段による搬送経路上で基板保持部が微粒子コレク
ターの配設位置を通過する度に、基板保持部に付着した
微粒子や当該基板保持部に保持された基板の表面に付着
した微粒子が微粒子コレクターの集塵面で吸着されるよ
うになる。そのため、処理室に対する基板の供給及び取
り出しに際して、基板保持部やこれに保持される基板を
クリーンな状態に維持することができる。その結果、常
にクリーンな状態で基板を搬送することが可能となり、
これによって微粒子の付着に伴う基板処理不良の発生が
低減されて、基板処理プロセスにおける歩留まりの向上
が図られる。また、搬送経路上で微粒子コレクターと基
板保持部の近接状態における離間距離を調整する調整手
段を備えたことで、その離間距離を集塵効率などを考慮
して最適寸法に設定することができる。
基板搬送手段による基板保持部の搬送経路上に、集塵面
を有する微粒子コレクターを設けるとともに、この微粒
子コレクターの集塵面を、搬送経路上で基板保持部と近
接する状態に配置した構成を採用することにより、基板
搬送手段による搬送経路上で基板保持部が微粒子コレク
ターの配設位置を通過する度に、基板保持部に付着した
微粒子や当該基板保持部に保持された基板の表面に付着
した微粒子が微粒子コレクターの集塵面で吸着されるよ
うになる。そのため、処理室に対する基板の供給及び取
り出しに際して、基板保持部やこれに保持される基板を
クリーンな状態に維持することができる。その結果、常
にクリーンな状態で基板を搬送することが可能となり、
これによって微粒子の付着に伴う基板処理不良の発生が
低減されて、基板処理プロセスにおける歩留まりの向上
が図られる。また、搬送経路上で微粒子コレクターと基
板保持部の近接状態における離間距離を調整する調整手
段を備えたことで、その離間距離を集塵効率などを考慮
して最適寸法に設定することができる。
【図１】本発明に係わる基板搬送装置の第１実施例を説
明する図である。
明する図である。
【図２】本発明に係わる基板搬送装置の第２実施例を説
明する図である。
明する図である。
【図３】第２実施例の他の態様を示す要部斜視図であ
る。
る。
１０、３０ 基板搬送装置 １２、３２ 可動アーム １４、３３ 基板保持部 １５、３５ 基板 １６、３４ 微粒子コレクター ２１、４１ 集塵面 ３７、４３ 基板出入口 Ｐ 移動起点 Ｘ 搬送経路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭58−53829（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−167628（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/68 B08B 6/00 B25J 19/00
Claims (1)
- 【請求項１】 基板を保持するための基板保持部と、前
記基板に所定の処理を施す処理室に対して前記基板の供
給及び取り出しを行うために前記基板保持部を所定の搬
送経路に沿って進退移動させる基板搬送手段とを備えた
基板搬送装置において、 前記基板搬送手段による前記基板保持部の前記搬送経路
上に、集塵面を有する微粒子コレクターを設けるととも
に、この微粒子コレクターの集塵面を、前記搬送経路上
で前記基板保持部と近接する状態に配置し、かつ前記搬
送経路上で前記微粒子コレクターと前記基板保持部の近
接状態における離間距離を調整する調整手段を備えるこ
とを特徴とする基板搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8564093A JP3271207B2 (ja) | 1993-03-18 | 1993-03-18 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8564093A JP3271207B2 (ja) | 1993-03-18 | 1993-03-18 | 基板搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06275702A JPH06275702A (ja) | 1994-09-30 |
| JP3271207B2 true JP3271207B2 (ja) | 2002-04-02 |
Family
ID=13864431
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8564093A Expired - Fee Related JP3271207B2 (ja) | 1993-03-18 | 1993-03-18 | 基板搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3271207B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2298076A1 (de) | 1998-06-10 | 2011-03-23 | Bayer CropScience AG | Mittel zur Bekämpfung von Pflanzenschädlingen |
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| JP2018190783A (ja) * | 2017-04-28 | 2018-11-29 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送装置及び搬送方法 |
-
1993
- 1993-03-18 JP JP8564093A patent/JP3271207B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| EP2298077A1 (de) | 1998-06-10 | 2011-03-23 | Bayer CropScience AG | Mittel zur Bekämpfung von Pflanzenschädlingen |
| EP2301353A1 (de) | 1998-06-10 | 2011-03-30 | Bayer CropScience AG | Mittel zur Bekämpfung von Pflanzenschädlingen |
| EP2305031A1 (de) | 1998-06-10 | 2011-04-06 | Bayer CropScience AG | Mittel zur Bekämpfung von Pflanzenschädlingen |
| EP2305034A1 (de) | 1998-06-10 | 2011-04-06 | Bayer CropScience AG | Mittel zur Bekämpfung von Pflanzenschädlingen |
| EP2305035A1 (de) | 1998-06-10 | 2011-04-06 | Bayer CropScience AG | Mittel zur Bekämpfung von Pflanzenschädlingen |
| EP2319314A1 (de) | 1998-06-10 | 2011-05-11 | Bayer CropScience AG | Mittel zur Bekämpfung von Pflanzenschädlingen |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06275702A (ja) | 1994-09-30 |
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