JPH0641869U - 液体塗布用ノズル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 粘度の高い液体を基板全面に均一厚に且つ液
体を無駄なく効率よく塗布すること。 【構成】 液体を流出させて基板１に塗布する液体塗布
用ノズル２であり、同ノズル２に、液体を供給する給液
口３と、同給液口３と連通し且つ同ノズル２の幅方向に
横長とした流路４と、同流路４と連通し且つ同流路４の
幅方向に均一間隔で多数形成された液体分流溝５と、同
液体分流溝５内の液体が流出する流出口６とを形成し
た。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は液体、特にポリイミド等の高粘度の液体をフレキシブルプリント基板 、セラミックス基板、ガラス基板等に塗布して薄膜を形成するのに使用される液 体塗布用ノズルに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

図８のように加圧タンクＡ内に窒素ガス（Ｎ₂ ガス）を供給して、容器Ｂ内の ポリイミド等の高粘度の液体を加圧して流動路Ｃに送り出し、その液体をサック バック装置Ｆを介してノズルＤから吐出させて、フレキシブルプリント基板、セ ラミックス基板、ガラス基板、半導体ウエハなどの基板Ｅに均一に塗布する装置 は従来からある。図８のサックバック装置ＦはノズルＤから液体の吐出を停止さ せるときに、液切れをよくしてノズルＤから液体が垂れ落ちないようにするため のものである。

【０００３】 この液体塗布方法としては、従来は図５〜図７に示すような方法があった。 図５に示す液体塗布方法はスピンコータ方式と呼ばれるものであり、基板Ｅの 上にストリームノズルＨから液体を滴下した後に、同基板ＥをモータＧで高速回 転させて遠心力でその液体を広げて基板Ｅの全面に塗布させるものである。

【０００４】 図６の液体塗布方法はロールコータ方式と呼ばれるものであり、基板Ｅを下の 回転送りドラムＩと上の回転転写ドラムＪとで矢印Ｘ方向に移送しながら、同回 転転写ドラムＪと補助ドラムＫとの間にストリームノズルＨから液体を滴下して 、同た液体を回転転写ドラムＪに均一に付着させ、その液体を回転転写ドラムＪ から基板Ｅの上面に転写するものである。

【０００５】 図７の液体塗布方法はスキージコータ方式と呼ばれるものであり、基板Ｅの上 方に間隔を設けてメッシュ板Ｌを配置し、同メッシュ板Ｌの上に載せた液体をロ ーラＭで押し伸ばしてメッシュ板Ｌから滴下させて基板Ｅの上面に塗布するもの である。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら図５〜図７の液体塗布方法には下記のような問題があった。 図５のスピンコータ方式では液体を滴下した基板Ｅを高速回転させるため 、液体の一部が飛散してしまい無駄が生じる。特にポリイミドのような高価な液 体の場合にはコストＵＰの要因にもなる。また粘度が高いと液体が広がりにくく 、あえて広げるためには基板Ｅをより一層高速回転させなければならず、そのよ うにすると飛散する液体も多くなり、不経済である。 図６のスピンコータ方式では、液体を長尺なシート状の基板に塗布する場 合は特に問題はないが、小さな基板Ｅを１枚づつ入れ替えて塗布する場合は入れ 替える度に上の回転転写ドラムＪから下の回転送りドラムＩに液体が付着するた め、この回転送りドラムＩの液体が基板Ｅの裏面に付着して汚れてしまうという 問題があった。 図７の液体塗布方法は量産機としてのシステム構築が難しかった。

【０００７】 本考案の目的は液体、特に粘性抵抗が大きい液体を基板全面に均一厚に且つ液 体を無駄なく効率よく塗布することができる液体塗布用ノズルを提供することに ある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

本考案の液体塗布用ノズルは、図１に示すように、液体を流出させて半導体ウ エハやプリント基板等の基板１に塗布する液体塗布用ノズル２であり、同ノズル ２には液体を供給する給液口３と、同給液口３と連通し且つ同ノズル２の幅方向 に横長とした流路４と、同流路４と連通し且つ同流路４の幅方向に均一間隔で多 数形成された液体分流溝５と、同液体分流溝５内の液体が流出する流出口６とが 形成されてなるものである。

【０００９】

【作用】

本考案の液体塗布用ノズルでは、給液口３に連通し且つノズル２の幅方向に横 長な流路４が形成されているので、給液口３に供給された液体は流路４内でノズ ル２の幅方向に広がる。また、流路４に連通する液体分流溝５が同流路４の幅方 向に均一間隔で多数形成されているので、流路４内に広がった液体が液体分流溝 ５に分流し、液体分流溝５に連通する流出口６から液体が基板１の上に均一量で 流出する。

【００１０】

【実施例】

図１は本考案の液体塗布用ノズルの一実施例を示したものであり、同ノズル２ はノズル本体１０と板状の蓋１３とからなり、ノズル本体１０の正面の締結面１ １にねじ１２で蓋１３を締結する構造となっている。

【００１１】 前記ノズル本体１０は軽量で且つ耐腐食性に優れたダイフロンなどの樹脂を加 工して図３（ａ）〜（ｃ）に示すような横長台形状に製作してある。このノズル 本体１０の後面にはタンクから液体を供給するための給液口３が設けられている 。また、同ノズル本体１０の締結面１１の中央にはその幅方向に細長の流路４が 形成され、同流路４は給液口３と通孔１４で連通されている。

【００１２】 流路４内で且つ給液口３の出口１５の真下には図３（ａ）に示すように横長の 邪魔板１６を突設して、給液口３より通孔１４に入る液体が同邪魔板１６に邪魔 されて流路４の横方向に分流するようにしてある。また、前記流路４の下方には それと連通するＶ字状の液体分流溝５が流路４の幅方向に均一間隔で多数形成さ れている。

【００１３】 そして、このノズル本体１０に蓋１３を被せて、同本体１０の締結面１１の上 部に開けられているねじ穴１６にねじ１２を螺合すると、同本体１０の前記流路 ４及びノズル本体１０が閉塞されるが、液体分流溝５の下端部と蓋１３との間に 隙間（流出口６）が形成されるようにしてある。

【００１４】 前記蓋１３は耐腐食性に優れたＳＵＳで板状に形成されており、その下縁１７ を先鋭形状にし、その上部にねじ１２を挿入する孔１８を開けてある。そしてこ の蓋１３は図４に示したようにその下縁１７がノズル本体１０の液体分流溝５の 下縁１９よりも少し下方に突出させてノズル本体１０にねじ１２で締結して、図 ４の矢印方向にノズル２を移動させたとき、流出口６より流出する液体が蓋１３ の下縁１７で押されて拡げられながら基板１に塗布されるようにしてある。

【００１５】 本考案の液体塗布用ノズル２は使用に当たっては、図２に示すように矢印Ｘ− Ｘ方向に移動可能な可動アーム２０の先端に取り付けられ、給液口３に螺合した 連結パイプ１９に給液ホース２１が取り付けられる。そして、給液口３に供給さ れた液体は通孔１４を通って流路４に流れ、そのとき液体は邪魔板１６に邪魔さ れて流路４の横方向に広がって流路４全体に充満し、更に流路４から夫々の液体 分流溝５に流れ込み、流出口６より流出して基板１の上面に塗布される。

【００１６】 図２の基板１は受皿２４内の回転台２２の上に乗せられて吸引チャック２３で 吸引固定されており、基板１に液体が塗布された後に回転台２２を高速回転させ ると、基板１の周縁部に表面張力で盛り上がっている液体が遠心力で飛散されて 、基板１の上の基板１が均一厚になるようにしてある。

【００１７】

【考案の効果】

本考案の液体塗布用ノズルは、液体が流出する流出口６の上流に多数の液体分 流溝５が均一間隔で形成されているため液体が高粘度のものであっても、また流 出口６の幅が横長でも（広くても）全幅に亙って均等に液体が流出し、基板１の 全面に均一厚に塗布することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の液体塗布用ノズルの一実施例を示す分
解斜視図。

【図２】同液体塗布用ノズルの使用状態を示した斜視
図。

【図３】（ａ）は本考案の液体塗布用ノズルのノズル本
体を示す図３（ｂ）のＢ−Ｂ断面図、（ｂ）は図１の液
体塗布用ノズルにおけるノズル本体の正面図、（ｃ）は
図３（ｂ）のＣ−Ｃ断面図。

【図４】本考案の液体塗布用ノズルから基板に液体を塗
布する状態を示した縦断面図。

【図５】従来の液体塗布方法の第１の例を示した側面
図。

【図６】従来の液体塗布方法の第２の例を示した側面
図。

【図７】従来の液体塗布方法の第３の例を示した側面
図。

【図８】従来の液体塗布装置の概略説明図。

【符号の説明】

１ 基板 ２ 液体塗布用ノズル ３ 給液口 ４ 流路 ５ 液体分流溝 ６ 流出口

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 液体を流出させて半導体ウエハやプリン
   ト基板等の基板１に塗布する液体塗布用ノズル２であ
   り、同ノズル２に、液体を供給する給液口３と、同給液
   口３と連通し且つ同ノズル２の幅方向に横長とした流路
   ４と、同流路４と連通し且つ同流路４の幅方向に均一間
   隔で多数形成された液体分流溝５と、同液体分流溝５内
   の液体が流出する流出口６とが形成されてなることを特
   徴とする液体塗布用ノズル。