JPH0638113Y2 - 縦形炉におけるｏリングシール部の冷却構造 - Google Patents
縦形炉におけるｏリングシール部の冷却構造Info
- Publication number
- JPH0638113Y2 JPH0638113Y2 JP1988016070U JP1607088U JPH0638113Y2 JP H0638113 Y2 JPH0638113 Y2 JP H0638113Y2 JP 1988016070 U JP1988016070 U JP 1988016070U JP 1607088 U JP1607088 U JP 1607088U JP H0638113 Y2 JPH0638113 Y2 JP H0638113Y2
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- Japan
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- reaction tube
- furnace
- ring
- flange
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Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 半導体デバイスの製造に使用する拡散装置,CVD装置は抵
抗加熱方式の管状炉（ヒータ）を略水平に配置して使用
するいわゆる横形炉が多い。最近、その管状炉を略垂直
に配置して使用する縦形炉が出始めている。
抗加熱方式の管状炉（ヒータ）を略水平に配置して使用
するいわゆる横形炉が多い。最近、その管状炉を略垂直
に配置して使用する縦形炉が出始めている。
本考案は縦形炉におけるＯリングシール部の冷却構造に
関する。
関する。
従来の縦形拡散、CVD装置においては第２図に示すよう
に加熱用の管状炉１内に、反応室11内を気密に保つ石英
外側反応管（アウターチューブ）２を配置し、この反応
管２の炉口側を,Oリング８を介在させて炉口フランジ６
と反応管押え７とで固定してシールし、このＯリング８
を炉口フランジ６内の水冷ジャケット９で冷却する構造
になっている。
に加熱用の管状炉１内に、反応室11内を気密に保つ石英
外側反応管（アウターチューブ）２を配置し、この反応
管２の炉口側を,Oリング８を介在させて炉口フランジ６
と反応管押え７とで固定してシールし、このＯリング８
を炉口フランジ６内の水冷ジャケット９で冷却する構造
になっている。
第２図中３は石英内側反応管（インナーチューブ）、４
はこの反応管３内に挿設された多数のウェーハ５を載置
したボート（ウェーハを保持する治具）、12はクッショ
ン材である。
はこの反応管３内に挿設された多数のウェーハ５を載置
したボート（ウェーハを保持する治具）、12はクッショ
ン材である。
しかしながら上記従来例にあっては、炉口フランジ側水
冷ジャケット９のみによりＯリング８を水冷しているだ
けであるため、Ｏリング８の十分な冷却効果が得られ
ず、反応管２を経て伝わる熱によりＯリング８が短時間
で劣化しシール機能を失うという課題があった。
冷ジャケット９のみによりＯリング８を水冷しているだ
けであるため、Ｏリング８の十分な冷却効果が得られ
ず、反応管２を経て伝わる熱によりＯリング８が短時間
で劣化しシール機能を失うという課題があった。
Ｏリング８の劣化について詳述すると、熱の伝わり方に
は伝導，対流，輻射の３つがあるが、対象とする装置が
減圧CVD装置である場合も考慮すると、炉内は真空なの
で、対流は無視する。
は伝導，対流，輻射の３つがあるが、対象とする装置が
減圧CVD装置である場合も考慮すると、炉内は真空なの
で、対流は無視する。
管状炉上部からＯリング８まで伝わる熱のうち、伝導に
よるものをQA，輻射によるものをQBとすると、従来では
入る熱量と出る熱量は等しいから、Ｏリング８の熱量を
Q0，反応管押え７の方へ出る熱量をq,炉口フランジ側水
冷ジャケット９の方へ出る熱量をQ1とすると、 QA＋QB＝ｑ＋Q0＝ｑ＋Q1…………（１） となり、Ｏリング８は熱のため短時間で劣化し使用不能
となる。
よるものをQA，輻射によるものをQBとすると、従来では
入る熱量と出る熱量は等しいから、Ｏリング８の熱量を
Q0，反応管押え７の方へ出る熱量をq,炉口フランジ側水
冷ジャケット９の方へ出る熱量をQ1とすると、 QA＋QB＝ｑ＋Q0＝ｑ＋Q1…………（１） となり、Ｏリング８は熱のため短時間で劣化し使用不能
となる。
本考案構造は上記の課題を解決するため、加熱用の管状
炉１内に、反応室11内を気密に保つ反応管２を配置し、
この反応管２の炉口側ツバ部2aを,Oリング８を介在させ
て炉口フランジ６と反応管押え７とで固定してシール
し、炉口フランジ６内に炉口フランジ側水冷ジャケット
９を設けると共に、反応管押え７内に反応管押え側水冷
ジャケット10を設けてなる構成としたものである。
炉１内に、反応室11内を気密に保つ反応管２を配置し、
この反応管２の炉口側ツバ部2aを,Oリング８を介在させ
て炉口フランジ６と反応管押え７とで固定してシール
し、炉口フランジ６内に炉口フランジ側水冷ジャケット
９を設けると共に、反応管押え７内に反応管押え側水冷
ジャケット10を設けてなる構成としたものである。
このような構成とすることにより、Ｏリング８は、炉口
フランジ側水冷ジャケット９と反応管押え側水冷ジャケ
ット10に冷却水を流通させることにより冷却されるた
め、Ｏリング８の熱を従来よりも低下させて十分な冷却
効果を発揮でき、Ｏリング８の寿命を延長し、そのシー
ル機能を長期間維持することができる。
フランジ側水冷ジャケット９と反応管押え側水冷ジャケ
ット10に冷却水を流通させることにより冷却されるた
め、Ｏリング８の熱を従来よりも低下させて十分な冷却
効果を発揮でき、Ｏリング８の寿命を延長し、そのシー
ル機能を長期間維持することができる。
以下図面により本考案の実施例を説明する。
第１図は本考案構造の一実施例を適用した縦形炉を示す
簡略断面図である。１は加熱用の管状炉（ヒータ）、２
はこの管状炉１内に挿設され反応室11を気密に保つ外側
反応管（アウターチューブ）、３はこの外側反応管２内
に挿入された内側反応管（インナーチューブ）、４はこ
の内側反応管３内にに収めたボートで、多数のウェーハ
５が載置されている。
簡略断面図である。１は加熱用の管状炉（ヒータ）、２
はこの管状炉１内に挿設され反応室11を気密に保つ外側
反応管（アウターチューブ）、３はこの外側反応管２内
に挿入された内側反応管（インナーチューブ）、４はこ
の内側反応管３内にに収めたボートで、多数のウェーハ
５が載置されている。
外側反応管２の炉口側ツバ部2aは、Ｏリング８を介在さ
せて炉口フランジ６と反応管押え７とで固定されてシー
ルされており、炉口フランジ６内と反応管押え７内には
それぞれ炉口フランジ側水冷ジャケット９及び反応管押
え側水冷ジャケット10が設けられている。
せて炉口フランジ６と反応管押え７とで固定されてシー
ルされており、炉口フランジ６内と反応管押え７内には
それぞれ炉口フランジ側水冷ジャケット９及び反応管押
え側水冷ジャケット10が設けられている。
上記の構成においてＯリング８は、炉口フランジ側水冷
ジャケット９と反応管押え側水冷ジャケット10に冷却水
を流通させることにより冷却されるため、Ｏリング８の
熱を従来よりも低下させて十分な冷却効果を発揮でき、
Ｏリング８の寿命を延長し、そのシール機能を長期間維
持することができる。
ジャケット９と反応管押え側水冷ジャケット10に冷却水
を流通させることにより冷却されるため、Ｏリング８の
熱を従来よりも低下させて十分な冷却効果を発揮でき、
Ｏリング８の寿命を延長し、そのシール機能を長期間維
持することができる。
また、Ｏリング８の寿命を延長できるので、コストの低
減と装置の連続稼働を可能にできる。
減と装置の連続稼働を可能にできる。
即ち、反応管押え側水冷ジャケット10の方へ出る熱量を
ｑ′,Oリング８の熱量をQ0′とすると、上記（１）式か
ら QA＋QB＝ｑ′＋Q0′＝ｑ′＋Q1………（２） となり、ｑ′＞q,Q0′＜Q0であるからＯリング８の熱は
従来よりも低くなり、十分な冷却効果をあげることがで
きる。
ｑ′,Oリング８の熱量をQ0′とすると、上記（１）式か
ら QA＋QB＝ｑ′＋Q0′＝ｑ′＋Q1………（２） となり、ｑ′＞q,Q0′＜Q0であるからＯリング８の熱は
従来よりも低くなり、十分な冷却効果をあげることがで
きる。
上述のように本考案によれば、炉口フランジ側水冷ジャ
ケット９と反応管押え側水冷ジャケット10に冷却水を流
通することによりＯリング８を冷却するようにしたの
で、Ｏリング８の熱を従来よりも低下させて十分な冷却
効果を発揮でき、Ｏリング８の寿命を延長できるばかり
でなく、そのシール機能を長期間維持することができ、
またＯリング８の寿命を延長できるので、コストの低減
と装置の連続稼動を可能にできる。
ケット９と反応管押え側水冷ジャケット10に冷却水を流
通することによりＯリング８を冷却するようにしたの
で、Ｏリング８の熱を従来よりも低下させて十分な冷却
効果を発揮でき、Ｏリング８の寿命を延長できるばかり
でなく、そのシール機能を長期間維持することができ、
またＯリング８の寿命を延長できるので、コストの低減
と装置の連続稼動を可能にできる。
第１図は本考案構造の一実施例を適用した縦形炉を示す
簡略断面図、第２図は従来構造の一例を適用した縦形炉
を示す簡略断面図である。 １……加熱用の管状炉、２……（外側）反応管（アウタ
ーチューブ）、2a……炉口側ツバ部、３……（内側）反
応管（インナーチューブ）、４……ボート、５……ウェ
ーハ、６……炉口フランジ、７……反応管押え、８……
Ｏリング、９……炉口フランジ側水冷ジャケット、10…
…反応管押え側水冷ジャケット、11……反応室。
簡略断面図、第２図は従来構造の一例を適用した縦形炉
を示す簡略断面図である。 １……加熱用の管状炉、２……（外側）反応管（アウタ
ーチューブ）、2a……炉口側ツバ部、３……（内側）反
応管（インナーチューブ）、４……ボート、５……ウェ
ーハ、６……炉口フランジ、７……反応管押え、８……
Ｏリング、９……炉口フランジ側水冷ジャケット、10…
…反応管押え側水冷ジャケット、11……反応室。
Claims (1)
- 【請求項１】加熱用の管状炉１内に、反応室11内を気密
に保つ反応管２を配置し、この反応管２の炉口側ツバ部
2aを、Ｏリング８を介在させて炉口フランジ６と反応管
押え７とで固定してシールし、炉口フランジ６内に炉口
フランジ側水冷ジャケット９を設けると共に、反応管押
え７内に反応管押え側水冷ジャケット10を設けてなる縦
形炉におけるＯリングシール部の冷却構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988016070U JPH0638113Y2 (ja) | 1988-02-08 | 1988-02-08 | 縦形炉におけるｏリングシール部の冷却構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988016070U JPH0638113Y2 (ja) | 1988-02-08 | 1988-02-08 | 縦形炉におけるｏリングシール部の冷却構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01122064U JPH01122064U (ja) | 1989-08-18 |
| JPH0638113Y2 true JPH0638113Y2 (ja) | 1994-10-05 |
Family
ID=31228676
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988016070U Expired - Lifetime JPH0638113Y2 (ja) | 1988-02-08 | 1988-02-08 | 縦形炉におけるｏリングシール部の冷却構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0638113Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6317663B2 (ja) * | 2014-11-06 | 2018-04-25 | 助川電気工業株式会社 | 鋳造用金型 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4539933A (en) * | 1983-08-31 | 1985-09-10 | Anicon, Inc. | Chemical vapor deposition apparatus |
| JPH0217019Y2 (ja) * | 1985-02-26 | 1990-05-11 | ||
| JPS6256232A (ja) * | 1985-09-02 | 1987-03-11 | Canon Inc | 紙搬送装置 |
-
1988
- 1988-02-08 JP JP1988016070U patent/JPH0638113Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01122064U (ja) | 1989-08-18 |
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