JPH0638113Y2 - 縦形炉におけるoリングシール部の冷却構造 - Google Patents

縦形炉におけるoリングシール部の冷却構造

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JPH0638113Y2
JPH0638113Y2 JP1988016070U JP1607088U JPH0638113Y2 JP H0638113 Y2 JPH0638113 Y2 JP H0638113Y2 JP 1988016070 U JP1988016070 U JP 1988016070U JP 1607088 U JP1607088 U JP 1607088U JP H0638113 Y2 JPH0638113 Y2 JP H0638113Y2
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reaction tube
furnace
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flange
cooling jacket
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修司 米満
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国際電気株式会社
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Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 半導体デバイスの製造に使用する拡散装置,CVD装置は抵
抗加熱方式の管状炉(ヒータ)を略水平に配置して使用
するいわゆる横形炉が多い。最近、その管状炉を略垂直
に配置して使用する縦形炉が出始めている。
本考案は縦形炉におけるOリングシール部の冷却構造に
関する。
〔従来の技術〕
従来の縦形拡散、CVD装置においては第2図に示すよう
に加熱用の管状炉1内に、反応室11内を気密に保つ石英
外側反応管(アウターチューブ)2を配置し、この反応
管2の炉口側を,Oリング8を介在させて炉口フランジ6
と反応管押え7とで固定してシールし、このOリング8
を炉口フランジ6内の水冷ジャケット9で冷却する構造
になっている。
第2図中3は石英内側反応管(インナーチューブ)、4
はこの反応管3内に挿設された多数のウェーハ5を載置
したボート(ウェーハを保持する治具)、12はクッショ
ン材である。
〔考案が解決しようとする課題〕
しかしながら上記従来例にあっては、炉口フランジ側水
冷ジャケット9のみによりOリング8を水冷しているだ
けであるため、Oリング8の十分な冷却効果が得られ
ず、反応管2を経て伝わる熱によりOリング8が短時間
で劣化しシール機能を失うという課題があった。
Oリング8の劣化について詳述すると、熱の伝わり方に
は伝導,対流,輻射の3つがあるが、対象とする装置が
減圧CVD装置である場合も考慮すると、炉内は真空なの
で、対流は無視する。
管状炉上部からOリング8まで伝わる熱のうち、伝導に
よるものをQA,輻射によるものをQBとすると、従来では
入る熱量と出る熱量は等しいから、Oリング8の熱量を
Q0,反応管押え7の方へ出る熱量をq,炉口フランジ側水
冷ジャケット9の方へ出る熱量をQ1とすると、 QA+QB=q+Q0=q+Q1…………(1) となり、Oリング8は熱のため短時間で劣化し使用不能
となる。
〔課題を解決するための手段〕
本考案構造は上記の課題を解決するため、加熱用の管状
炉1内に、反応室11内を気密に保つ反応管2を配置し、
この反応管2の炉口側ツバ部2aを,Oリング8を介在させ
て炉口フランジ6と反応管押え7とで固定してシール
し、炉口フランジ6内に炉口フランジ側水冷ジャケット
9を設けると共に、反応管押え7内に反応管押え側水冷
ジャケット10を設けてなる構成としたものである。
〔作用〕
このような構成とすることにより、Oリング8は、炉口
フランジ側水冷ジャケット9と反応管押え側水冷ジャケ
ット10に冷却水を流通させることにより冷却されるた
め、Oリング8の熱を従来よりも低下させて十分な冷却
効果を発揮でき、Oリング8の寿命を延長し、そのシー
ル機能を長期間維持することができる。
〔実施例〕
以下図面により本考案の実施例を説明する。
第1図は本考案構造の一実施例を適用した縦形炉を示す
簡略断面図である。1は加熱用の管状炉(ヒータ)、2
はこの管状炉1内に挿設され反応室11を気密に保つ外側
反応管(アウターチューブ)、3はこの外側反応管2内
に挿入された内側反応管(インナーチューブ)、4はこ
の内側反応管3内にに収めたボートで、多数のウェーハ
5が載置されている。
外側反応管2の炉口側ツバ部2aは、Oリング8を介在さ
せて炉口フランジ6と反応管押え7とで固定されてシー
ルされており、炉口フランジ6内と反応管押え7内には
それぞれ炉口フランジ側水冷ジャケット9及び反応管押
え側水冷ジャケット10が設けられている。
上記の構成においてOリング8は、炉口フランジ側水冷
ジャケット9と反応管押え側水冷ジャケット10に冷却水
を流通させることにより冷却されるため、Oリング8の
熱を従来よりも低下させて十分な冷却効果を発揮でき、
Oリング8の寿命を延長し、そのシール機能を長期間維
持することができる。
また、Oリング8の寿命を延長できるので、コストの低
減と装置の連続稼働を可能にできる。
即ち、反応管押え側水冷ジャケット10の方へ出る熱量を
q′,Oリング8の熱量をQ0′とすると、上記(1)式か
ら QA+QB=q′+Q0′=q′+Q1………(2) となり、q′>q,Q0′<Q0であるからOリング8の熱は
従来よりも低くなり、十分な冷却効果をあげることがで
きる。
〔考案の効果〕
上述のように本考案によれば、炉口フランジ側水冷ジャ
ケット9と反応管押え側水冷ジャケット10に冷却水を流
通することによりOリング8を冷却するようにしたの
で、Oリング8の熱を従来よりも低下させて十分な冷却
効果を発揮でき、Oリング8の寿命を延長できるばかり
でなく、そのシール機能を長期間維持することができ、
またOリング8の寿命を延長できるので、コストの低減
と装置の連続稼動を可能にできる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案構造の一実施例を適用した縦形炉を示す
簡略断面図、第2図は従来構造の一例を適用した縦形炉
を示す簡略断面図である。 1……加熱用の管状炉、2……(外側)反応管(アウタ
ーチューブ)、2a……炉口側ツバ部、3……(内側)反
応管(インナーチューブ)、4……ボート、5……ウェ
ーハ、6……炉口フランジ、7……反応管押え、8……
Oリング、9……炉口フランジ側水冷ジャケット、10…
…反応管押え側水冷ジャケット、11……反応室。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】加熱用の管状炉1内に、反応室11内を気密
    に保つ反応管2を配置し、この反応管2の炉口側ツバ部
    2aを、Oリング8を介在させて炉口フランジ6と反応管
    押え7とで固定してシールし、炉口フランジ6内に炉口
    フランジ側水冷ジャケット9を設けると共に、反応管押
    え7内に反応管押え側水冷ジャケット10を設けてなる縦
    形炉におけるOリングシール部の冷却構造。
JP1988016070U 1988-02-08 1988-02-08 縦形炉におけるoリングシール部の冷却構造 Expired - Lifetime JPH0638113Y2 (ja)

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