JPH0637888B2 - 多カップ式負圧吸着装置 - Google Patents

多カップ式負圧吸着装置

Info

Publication number
JPH0637888B2
JPH0637888B2 JP61057087A JP5708786A JPH0637888B2 JP H0637888 B2 JPH0637888 B2 JP H0637888B2 JP 61057087 A JP61057087 A JP 61057087A JP 5708786 A JP5708786 A JP 5708786A JP H0637888 B2 JPH0637888 B2 JP H0637888B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
suction
negative pressure
control valve
cup
opening
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP61057087A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS62215116A (ja
Inventor
茂男 広瀬
Original Assignee
新技術事業団
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 新技術事業団 filed Critical 新技術事業団
Priority to JP61057087A priority Critical patent/JPH0637888B2/ja
Publication of JPS62215116A publication Critical patent/JPS62215116A/ja
Publication of JPH0637888B2 publication Critical patent/JPH0637888B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Manipulator (AREA)
  • Hooks, Suction Cups, And Attachment By Adhesive Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、垂直壁など壁面に吸着支持され、その壁面に
沿って移動する壁面移動ロボットや、不定形物資を負圧
吸着して搬送する吸着搬送装置等に用いられる負圧吸着
装置に関するもので、特に、複数個の吸着カップを備え
た多カップ式負圧吸着装置に関するものである。
(従来の技術) 負圧吸着装置は、気密に形成された吸着カップの開放端
面を壁面や搬送物等の被吸着面に密着させ、真空ポンプ
等の負圧発生装置によってその吸着カップの内部を負圧
化することにより、その吸着カップに荷重支持力を発揮
させるようにしたものである。壁面移動ロボットの場合
には、そのような負圧吸着装置が複数個、スライド可能
に設けられる。そして、その負圧吸着装置の一部によっ
てロボット本体を支持させておき、残りの負圧吸着装置
を壁面に沿って前方にスライドさせた後、その移動させ
た負圧吸着装置によってロボット本体を支持させ、次い
で、最初に壁面に吸着していた負圧吸着装置を前方にス
ライドさせる、という手順を繰り返すことによってロボ
ット本体を前方に移動させるようにする。また、吸着搬
送装置の場合には、そのような負圧吸着装置が搬送アー
ムの先端に取り付けられる。そして、その負圧吸着装置
を搬送物に吸着させ、搬送アームを移動させることによ
ってその搬送物を搬送する。
通常、そのような負圧吸着装置は単一の吸着カップを有
するものとされる。しかしながら、そのように吸着カッ
プを1個しか備えていない負圧吸着装置では、その吸着
カップが凹凸や溝等のある壁面等の被吸着面に面したと
き、その吸着カップと被吸着面との間にすきまが生じて
吸着カップ内に外気が流入するので、その負圧吸着装置
による吸着力を発揮させることができなくなってしま
う。
このようなことから、例えば特開昭49-21553号公報に示
されているように、各負圧吸着装置にそれぞれ複数個の
吸着カップを設けることが考えられている。
その負圧吸着装置においては、複数個の開口を有する支
持板の表面側に隔壁を取り付けることによって、各開口
ごとに独立した吸着カップが形成されるようになってい
る。そして、その支持板の裏面側に設けられている共通
の真空室内を真空ポンプ等によって真空吸引することに
より、その開口を介して各吸着カップの内部が同時に負
圧化されるようになっている。各吸着カップの内部に
は、その吸着カップの内部から開口に向けて流れる空気
によってその開口を開閉する制御弁がそれぞれ設けられ
ている。その制御弁としては、支持板に対して上下動す
る極めて軽量な球体あるいは箔状の薄板が用いられてい
る。
そのような多カップ式負圧吸着装置によれば、吸着カッ
プが被吸着面によって密閉されているときには、その吸
着カップの内部から支持板の開口へと向かう空気流がほ
とんど生じないので、制御弁はその開口を開放状態に保
つ下方位置で保持される。したがって、真空室内の負圧
が吸着カップに伝えられ、その吸着カップによって負圧
吸着力が発揮される。一方、いずれかの吸着カップが溝
等に面してその内部に外気が流入すると、その空気が支
持板の開口へと向かって流れるので、その空気の流れに
伴って制御弁が上昇し、その制御弁によって開口が閉塞
される。したがって、その吸着カップから真空室内に流
入する空気が遮られ、他の吸着カップに影響を及ぼすこ
とが防止される。
このようにして、一部の吸着カップが開放状態となった
としても、他の吸着カップによって吸着力が確実に発揮
されるようになるので、凹凸や溝等が存在する被吸着面
にも吸着させることが可能となる。
(発明が解決しようとする問題点) しかしながら、そのような多カップ式負圧吸着装置で
は、その制御弁として特殊なものを用いることが必要と
なるばかりでなく、その制御弁を下方位置で支持するた
めの特別の手段が必要となる。また、その制御弁や支持
板の開口等の設計も精密に行うことが求められる。その
ために、高価になるという問題がある。
更に、制御弁によって支持板の開口が一旦閉塞される
と、その後はその制御弁に作用する圧力差によってその
状態のまま保持される。そのために、その吸着カップに
は吸着力を発揮させることができなくなってしまう。と
ころが、前述したように、壁面移動ロボットの場合に
は、負圧吸着装置を壁面に沿ってスライドさせるので、
溝等に面して大気に開放されていた吸着カップも、その
スライドに伴って溝等から離れることになる。また、吸
着搬送装置の場合にも、搬送物が傾いて負圧吸着装置に
対してスライドすることがある。そのような場合、一旦
大気に開放された吸着カップによる吸着力が得られなく
なってしまうとすると、それだけ負圧吸着装置の吸着力
が低下することになる。
そのような問題に対処するために、上記公報に記載され
ている多カップ式負圧吸着装置においては、球状の制御
弁を用いる場合、その制御弁によって閉塞される支持板
の開口の周囲に溝を設け、その開口が部分的に閉塞され
るようにしているが、そのような溝は、大きすぎると空
気の流入を遮ることができなくなるし、小さすぎるとそ
の溝による効果が得られなくなるので、その設定が難し
い。
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、そ
の目的は、大気に開放された吸着カップも、それが密閉
されたときには吸着力を発揮させるようにすることので
きる、設定が容易で安価な多カップ式負圧吸着装置を得
ることである。
(問題点を解決するための手段) この目的を達成するために、本発明では、支持フレーム
の吸着作用面に取り付けられる複数個の吸着カップを単
一の負圧発生装置に個々に連通させる連通路に設けら
れ、その連通路をそれぞれ開閉する制御弁として、基端
がその連通路の吸着カップ内開口の一側に固着され、そ
の開口を開放する方向に弾力付勢される弾性板を用いる
とともに、その開口の他側部に、その制御弁が開口を閉
じる方向に回動するとき当接してその制御弁と支持フレ
ームの吸着作用面との間に小さなすきまを形成する突起
を設けるようにしている。
(作用) このように構成することにより、制御弁としてはゴムや
プラスチック、あるいは金属などのごく普通の薄板が用
いられるようになり、しかも、その制御弁は一端が支持
フレームに固着されるので、その設置も容易となる。ま
た、その制御弁によって連通路が完全に閉塞されないよ
うにするためには、連通路の開口の他側部に一つの突起
を設けるのみでよい。そのような突起は形成が容易であ
り、その高さの調整も容易である。そして、その突起の
高さを調整するのみで、制御弁が閉じているときに連通
路を流れる空気の流量などを調整することができる。
したがって、多カップ式負圧吸着装置を全体として安価
なものとすることが可能となる。
(実施例) 以下、図面を用いて本発明の実施例を説明する。
図中、第1図及び第2図は本発明による負圧吸着装置の
一実施例を示すもので、第1図はその全体構造を示す縦
断面図であり、第2図はその要部の拡大図である。
第1図から明らかなように、この負圧吸着装置1は複数
個の吸着カップ21,22,23を備えている。それらの
吸着カップ21〜23はゴム等の弾性材料からなる円筒状
のもので、その基端が中空箱状の支持フレーム3の吸着
作用面3aに気密に取り付けられている。したがって、
各吸着カップ21〜23の内部には、その吸着カップ21
〜23と支持フレーム3の吸着作用面3aとによって囲
まれ、先端側が開いた空間41,42,43が形成される
ようになっている。それら吸着カップ21〜23の先端は
柔軟なものとされ、壁面等の被吸着面5の平坦部分には
全周を密着させ得るようにされている。
支持フレーム3の内部には負圧室6が設けられている。
その負圧室6と各吸着カップ21〜23の内部空間41
3とは、それぞれフレーム3の吸着作用面3aに開口
する連通路71,72,73によって個々に連通するよう
にされている。その吸着作用面3aには、それらの連通
路71〜73をそれぞれ開閉し得る制御弁81,82,83
が取り付けられている。その制御弁81〜83は弾性板か
らなるもので、基端が支持フレーム3の吸着作用面3a
に固着され、その基端を中心として上下に回動し得るよ
うにされている。そして、通常時にはその先端がフレー
ム3の吸着作用面3aからわずかに離れ、その間のすき
まを通して各吸着カップ21〜23の内部空間41〜43
連通路71〜73とがそれぞれ連通する状態で保持される
ように弾性付勢されている。
支持フレーム3の内部の負圧室6は、連結管9によって
真空ポンプ10に接続され、その負圧室6を通して各吸
着カップ21〜23内の空気を吸引することができるよう
にされている。すなわち、それら負圧室6及び真空ポン
プ10によって、複数個の吸着カップ21〜23の内部空
間41〜43を同時に負圧化することのできる単一の負圧
発生装置が構成されている。
このように構成された負圧吸着装置1を被吸着面5に吸
着させるときには、支持フレーム3によって吸着カップ
1〜23の先端を被吸着面5に押し付け、真空ポンプ1
0を作動させる。すると、各吸着カップ21〜23の内部
空間41〜43内の空気が、制御弁81〜83とフレーム3
の吸着作用面3aとの間のすきまから連通路71〜73
通してフレーム3の負圧室6内へと吸引される。
このとき、第1図に示されているように、吸着カップ2
1及び23が面する被吸着面5は平坦面であり、吸着カッ
プ22が面する被吸着面5の部分には溝11があるとす
る。その場合には、吸着カップ21,23と被吸着面5と
の間は密閉されているので、その吸着カップ21,23
から吸引される空気は、その吸着カップ21,23の内部
空間41,43内の空気のみとなる。すなわち、その空気
量は少なく、制御弁81,83と支持フレーム3の吸着作
用面3aとの間のすきまを流れる空気の流速は小さく抑
えられる。したがって、制御弁81,83は作動せず、連
通路71,73は導通状態のまま保持される。その結果、
吸着カップ21,23内は負圧となり、大きな吸着力が発
生する。
一方、吸着カップ22の内部空間42は被吸着面5の溝1
1を介して外部に開放されているので、支持フレーム3
の負圧室6が負圧となると、外部の空気が溝11を通し
て吸着カップ22の内部空間42へと流入し、大量の空気
が制御弁82とフレーム3の吸着作用面3aとの間のす
きまを通して流れることになる。したがって、そのすき
まを流れる空気の流速が大きくなり、制御弁82がフレ
ーム3の吸着作用面3aに密着する側に向けて、すなわ
ち上方へ回動する。その結果、連通路72が閉じられ
る。そして、その後は制御弁82に作用する圧力差によ
りその状態で保持される。こうして、開放された吸着カ
ップ22からの空気の流入が抑制され、支持フレーム3
の負圧室6内が確実に負圧に保たれる。
このように、この負圧吸着装置1によれば、一部の吸着
カップ22が被吸着面5の溝11等に面する状態になっ
たとしても、他の吸着カップ21,23によって確実に吸
着力を発揮させることができるので、凹凸や溝11等が
存在する被吸着面5にも吸着させることが可能となる。
ところで、このような負圧吸着装置1の場合、制御弁8
1〜83がフレーム3に密着するようにされていると、そ
の制御弁81〜83は、一旦連通路71〜73を閉じた後
は、その連通路71〜73内の負圧と吸着カップ22〜23
の内部空間41〜43内の大気圧との差圧によっていつま
でも閉じたままで保持されることになる。そこで、この
負圧吸着装置1においては、第2図に示されているよう
に、フレーム3の吸着作用面3aに、制御弁81〜83
閉じたときその制御弁81〜83の先端が当接して、その
制御弁81〜83とフレーム3の吸着作用面3aとの間に
小さなすきまを形成する突起12が設けられている。
そのような突起12を設けると、例えば吸着カップ22
が溝11に面して開放されているとき、その吸着カップ
2に連通する連通路72は、完全には閉塞されず、部分
的に閉塞された状態となる。したがって、負圧吸着装置
1が被吸着面5に沿ってスライドされ、その吸着カップ
2が溝11から離れて密閉されたとき、その吸着カッ
プ22の内部空間42内の空気が連通路72を通して吸引
されるようになる。その結果、その内部空間42が負圧
となり、制御弁82が自己の弾力によって開く。こうし
て、連通路72が導通し、他の密閉された吸着カップ
1,23と同様な状態に自動的に復帰する。
一方、密閉されていた吸着カップ、例えば23が、負圧
吸着装置1のスライドに伴って溝11に面する位置にま
で達すると、その吸着カップ23の内部空間43には外気
が流れ込む。その結果、制御弁83とフレーム3の吸着
作用面3aとの間のすきまを通して流れる空気の流速が
大きくなり、その制御弁83が閉じて、連通路73が部分
的に閉塞される。そして、その空気の流れによって、制
御弁83はその状態で保持される。
このようにしても、制御弁81〜83が閉じたときには、
その制御弁81〜83とフレーム3の吸着作用面3aと間
のすきまが極めて小さくなるので、そのすきまからフレ
ーム3の負圧室6内に流入する空気量は比較的少なく抑
えられる。したがって、真空ポンプ10を常時作動させ
ておくようにすれば、負圧室6内の負圧度は十分に高く
保つことができる。
このように、この負圧吸着装置1によれば、凹凸や溝1
1等に面して開放されていた吸着カップ22がその溝1
1等から離れて被吸着面5に密着する状態となると、そ
の吸着カップ22による吸着力が自動的に発揮されるよ
うになるので、負圧吸着装置1を被吸着面5に沿ってス
ライドさせるようにすれば、常に吸着状態に保つことが
可能となる。
第3図は本発明による負圧吸着装置の異なる実施例を示
す縦断面図である。
この図から明らかなように、吸着カップ21 〜23 は、
ベローズ131 ,132 ,133 のような伸縮自在の筒
状支持部材を介してフレーム3の吸着作用面3aに気密
に取り付けられている。そのベローズ131 〜133
は、比較的弱いスプリング等によって伸長方向に弾性付
勢されている。そして、吸着カップ21 〜23 内を負圧
化することによって収縮するようにされている。また、
フレーム3の周辺部には、その吸着作用面3aから突出
する剛性のスカート14が設けられている。
このように構成された負圧吸着装置1においては、被吸
着面5から離れているとき、吸着カップ21 〜23 はベ
ローズ131 〜133 の弾性付勢力によってフレーム3
の主作用面3aから大きく突出した状態に保たれる。し
たがって、図示されているように被吸着面5が凹湾曲し
ている場合にも、その被吸着面5にフレーム3を近付け
ることによって、各吸着カップ21 〜23 をその被吸着
面5に密着させることができる。そして、その状態で、
連通路71 〜73 を通して吸着カップ21 〜23 側の空
気を吸引すると、ベローズ131 〜133 から吸着カッ
プ21 〜23 にまで連なる内部空間41 〜43 がそれぞ
れ負圧化される。その場合、被吸着面5の湾曲が深く、
例えば中央の吸着カップ22 が被吸着面5に接していな
かったとすると、その吸着カップ22 の内部空間42 と
負圧室6とを結ぶ連通路72 が制御弁82 によって閉じ
られる。したがって、その吸着カップ22 から負圧室6
に外気が流入するようなことは防止され、両側の吸着カ
ップ21 ,23 による吸着力は確保される。
そして、このように吸着カップ21 〜22 側の空気を吸
引すると、ベローズ131 〜133 はその内部の負圧に
よって収縮する。したがって、フレーム3が被吸着面5
側に引き寄せられ、その両端のスカート14が引吸着面
5に圧接される。その結果、フレーム3はそのスカート
14を介して被吸着面5に摩擦接触することになり、そ
の位置で固定支持されるようになる。
なお、図示されていないが、この場合にも、フレーム3
の吸着作用面3aに第2図の突起12と同様の突起が設
けられ、連通路71 〜73 が部分的に閉塞されるように
されている。したがって、中央の吸着カップ22 が被吸
着面5に接したとき、その吸着カップ22 によっても吸
着力が発揮されるようになる。こうして、より大きな吸
着力を得ることが可能となる。
また、第4図に示されているように、被吸着面5に段差
15があり、負圧吸着装置1の中央の吸着カップ22 が
その段差15に当接する状態になったとすると、その吸
着カップ22 は開放状態となるが、その吸着カップ22
に連通する連通路72 は制御弁82 によって閉塞され
る。したがって、両側の吸着カップ21 ,23 による吸
着力は確保される。そして、それら両側の吸着カップ2
1 ,23 が被吸着面5の平坦部分に密着し、その内部の
負圧によってベローズ131 ,133 が収縮する。それ
によって、フレーム3は、そのスカート14が被吸着面
5に接する安定状態で支持される。
このように、この多カップ式負圧吸着装置1によれば、
被吸着面5の形状に対する適応性が著しく良好となる。
しかも、フレーム3に加わる荷重はそのフレーム3自体
のスカート14によって支持されるようになり、ベロー
ズ131 〜133 にその荷重が加わることは防止され
る。したがって、空気の漏れの少ない、安定した負圧吸
着装置とすることができる。
(発明の効果) 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、一つ
の負圧吸着装置に複数個の吸着カップを設け、各吸着カ
ップの単一の負圧発生装置に個々に連通させる連通路
を、対応する吸着カップが密閉されているときには導通
させるとともに、開放されているときには閉塞させるよ
うにしているので、吸着カップの一部が被吸着面に密着
しないときにも、残りの吸着カップによって十分な吸着
力を発揮させ、その被吸着面に確実に吸着させることが
可能となる。
また、その連通路を開閉する制御弁を、一端が支持フレ
ームの吸着作用面に固着される弾性板によって構成する
ようにしているので、その制御弁が極めて簡単となり、
安価に得ることができる。そして、その吸着作用面に突
起を設け、その制御弁が吸着作用面に完全には密着しな
いようにしているので、すべての吸着カップに吸着力を
発揮させることができる。したがって、効率のよい負圧
吸着装置とすることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明による多カップ式負圧吸着装置の一実
施例を示す縦断面図、 第2図は、その多カップ式負圧吸着装置の要部の拡大
図、 第3図は、本発明による多カップ式負圧吸着装置の他の
実施例を示す縦断面図、 第4図は、第3図の負圧吸着装置が段差のある被吸着面
に吸着している状態を示す側面図である。 1……負圧吸着装置 21 ,22 ,23 ……吸着カップ 3……支持フレーム、3a……吸着作用面 5……被吸着面 6……負圧室(負圧発生装置) 71 ,72 ,73 ……連通路 81 ,82 ,83 ……制御弁 10……真空ポンプ(負圧発生装置)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】被吸着面に負圧吸着する吸着作用面を有
    し、その吸着によって荷重を支持する支持フレームと、 単一の負圧発生装置と、 前記支持フレームの吸着作用面に気密に取り付けられ、
    前記被吸着面に密着する複数個の吸着カップと、 一端が前記支持フレームの吸着作用面において前記吸着
    カップの内部にそれぞれ開口し、その各吸着カップを前
    記負圧発生装置に個々に連通させる複数の連通路と、 その連通路の各々に設けられ、その連通路を流れる空気
    によって開閉作動される制御弁と、を備えた多カップ式
    負圧吸着装置において; 前記制御弁が、基端が前記連通路の開口の一側に固着さ
    れ、通常はその弾力により前記開口を開放した状態に保
    持するが、前記吸着カップの内部から前記負圧発生装置
    に向けて空気が流れるときにはその空気の流れによって
    前記開口を閉じる方向に回動する弾性板によって構成さ
    れており、 前記連通路の開口の他側部に、前記制御弁がその開口を
    閉じる方向に回動するとき当接してその制御弁と前記支
    持フレームの吸着作用面との間に小さなすきまを形成す
    る突起が設けられていることを特徴とする、 多カップ式負圧吸着装置。
JP61057087A 1986-03-17 1986-03-17 多カップ式負圧吸着装置 Expired - Lifetime JPH0637888B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61057087A JPH0637888B2 (ja) 1986-03-17 1986-03-17 多カップ式負圧吸着装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61057087A JPH0637888B2 (ja) 1986-03-17 1986-03-17 多カップ式負圧吸着装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS62215116A JPS62215116A (ja) 1987-09-21
JPH0637888B2 true JPH0637888B2 (ja) 1994-05-18

Family

ID=13045709

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61057087A Expired - Lifetime JPH0637888B2 (ja) 1986-03-17 1986-03-17 多カップ式負圧吸着装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0637888B2 (ja)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07171782A (ja) * 1991-07-16 1995-07-11 Haruo Konagai 真空吸着装置
JPH05187430A (ja) * 1992-01-16 1993-07-27 Hiroshi Sakuraba 吸着構造と吸着盤
JPH104104A (ja) * 1996-06-17 1998-01-06 Dainippon Printing Co Ltd 吸着搬送装置の吸着部
DE102015200812A1 (de) * 2014-02-21 2015-08-27 Heidelberger Druckmaschinen Ag Hubsauger mit einem pneumatisch steuerbaren Saugnapf
JP2018034274A (ja) * 2016-09-01 2018-03-08 株式会社タカゾノテクノロジー 吸着装置
WO2018135229A1 (ja) * 2017-01-18 2018-07-26 パナソニックIpマネジメント株式会社 壁面吸着走行装置
CN107336761B (zh) * 2017-08-09 2023-11-28 内蒙古大学 一种基于定轴轮系的机器人吸盘足结构
CN108820404B (zh) * 2018-06-29 2023-11-14 山东钢铁股份有限公司 一种平板式渐动负压吸盘装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5132027B2 (ja) * 1972-03-08 1976-09-10
DE2237943A1 (de) * 1972-05-10 1973-11-22 Laessig Foerdertech Hamburg Vorrichtung zum umlagern von foerdergut unter verwendung eines mit einem vakuumerzeuger verbundenen saugkopfes
JPS50117576U (ja) * 1974-03-07 1975-09-25
JPS52102567U (ja) * 1976-02-01 1977-08-04
JPS5836091U (ja) * 1981-08-31 1983-03-09 ナショナル住宅産業株式会社 バキユ−ムホイストのキヤツプ

Also Published As

Publication number Publication date
JPS62215116A (ja) 1987-09-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6113695A (en) Coating unit
US5177857A (en) Method for holding an object to a surface using valve controlled vacuum force
JPH0637888B2 (ja) 多カップ式負圧吸着装置
NL2018243B1 (en) Suction apparatus for an end effector, end effector for holding substrates and method of producing an end effector
JP4216470B2 (ja) 流体回路用のダイアフラム弁
TW202345226A (zh) 基板研磨裝置、基板研磨方法、從被研磨晶圓之頂面去除液體的方法、用以按壓晶圓於研磨墊的彈性膜、基板放開方法及定量氣體供給裝置
WO2003071599A1 (fr) Dispositif d'aspiration de substrat
KR20190058589A (ko) 접합장치
US11318625B2 (en) Ring frame holding mechanism
US6554241B1 (en) Vacuum cup
JP2021044445A (ja) リングフレームの保持機構
JPH08229866A (ja) 吸着パッド
JPH081464A (ja) ユニバーサルチャック機構の自動切換装置
JPH09181156A (ja) 真空チャック
JP2004058202A (ja) 吸着装置
JPS62215117A (ja) 負圧吸着装置
JP3963805B2 (ja) 微動装置
JPH0662225B2 (ja) 真空吸着装置
JPS6110939Y2 (ja)
JP2002280439A (ja) 搬送装置
JPS6320553Y2 (ja)
JP2812866B2 (ja) 吸着パッド
JP2536337Y2 (ja) 電子部品吸着装置
JPH04176580A (ja) 搬送装置
JP3350718B2 (ja) 基板保持装置および基板保持方法

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term