JPH0636231A - 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 磁気記録再生装置において電磁変換を行う薄
膜磁気ヘッドに係り、更に詳しくは磁気ヘッド素子と可
撓性支持体との接続構造及びその製造方法に関し、磁気
ヘッド素子と可撓性支持体との固着強度を強化するとと
もに電気的接続を容易に行うことを目的とする。 【構成】 磁気記録再生装置に使用される薄膜磁気ヘッ
ド及びその製造方法であって、直角Ｌ形の固着面を有す
る磁気ヘッド素子１と、長手方向に延びる信号リード線
2cを備え先端が直角Ｌ形に曲がる細長い平板状の可撓性
支持体２とからなり、前記直角Ｌ形の固着面同士を接続
するよう構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電子計算機システムの
記憶装置として使用される磁気ディスク装置や磁気フレ
キシブルディスク（フロッピィディスク）装置などの磁
気記録再生装置において電磁変換を行う薄膜磁気ヘッド
に係り、更に詳しくは磁気ヘッド素子と可撓性支持体と
の接続構造及びその製造方法に関する。

【０００２】記録媒体接触型で垂直記録再生方式の薄膜
磁気ヘッドは、磁極、コイル、絶層などで薄膜形成した
極小形、軽量の磁気ヘッド素子と、この磁気ヘッド素子
を先端に取り付け媒体記録面に垂直に支持し微小な圧力
で接触させる可撓性支持体とから構成されており、磁気
ヘッド素子を可撓性支持体に機械的に強固に固着すると
ともに電気的接続を安全、確実に行うことが要求されて
いる。

【０００３】

【従来の技術】図６(a),(b) の薄膜磁気ヘッドの斜視図
及びそのＡ−Ａ側断面図に示すように、従来の薄膜磁気
ヘッドは磁気ヘッド素子１と可撓性支持体２とで構成さ
れている。その一方の磁気ヘッド素子１は、 AI₂O₃・Ti
C などのウエハ基板1a上に主磁極1b、コイル1c、絶縁層
1d、リターンヨーク1e、バックヨーク1fなどで薄膜形成
し前面（絶縁層1dの表面）にコイル1cの両端に接続する
２つの配線端子1g、即ち接続端子1g（半田めっきや金な
どの蒸着などによる）を離隔して備え、形状は野球のホ
ームベース形の極小片でその尖端が主磁極位置となって
いる。なお、磁気ヘッド素子１のサイズは、例えば薄膜
形成方向厚さ 0.2ｍｍ×幅 0.5ｍｍ×高さ0.5ｍｍ程度
に極めて小さいものである。

【０００４】他方の可撓性支持体２は、ばね用ステンレ
スシートからなる細長い平板状の支持体ベース2aの片面
（上面）に、絶縁層2bを介し長手方向に延びる２本の信
号リード線2cを薄膜形成し、それぞれの終端に配線端子
2c-1、即ち接続パッドを露出形成している。

【０００５】可撓性支持体への磁気ヘッド素子の取付
は、磁気ヘッド素子１の背面（前面の接続端子1gの反対
面）を可撓性支持体２の先端面に当接し、紫外線硬化型
接着剤３で固着している。なお、可撓性支持体２の先端
面サイズは、幅 0.5ｍｍ×厚さ0.2ｍｍ程度である。

【０００６】磁気ヘッド素子１の接続端子1gと可撓性支
持体２の接続パッド2c-1との電気的接続は金線などのボ
ンディングワイヤ４を用い接続している。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな上記薄膜磁気ヘッドによれば、電気的接続を２本の
ボンディングワイヤによっているが、ボンディング面が
互いに直交しているため、ボンディングマシンに対し作
業性が悪いといった問題があった。

【０００８】上記問題点に鑑み、本発明は磁気ヘッド素
子と可撓性支持体との固着強度を機械的に強化するとと
もに電気的接続を容易に行うことのできる薄膜磁気ヘッ
ド及びその製造方法を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の薄膜磁気ヘッド及びその製造方法において
は、磁気記録再生装置に使用される薄膜磁気ヘッドであ
って、直角Ｌ形の固着面を有する磁気ヘッド素子と、長
手方向に延びる信号リード線を備え先端が直角Ｌ形に曲
がる細長い平板状の可撓性支持体とからなり、前記直角
Ｌ形の固着面同士を接続するように構成する。

【００１０】

【作用】この発明の薄膜磁気ヘッドは、上記のように構
成することにより、磁気ヘッド素子と可撓性支持体との
固着が、直角Ｌ形の２面で固着面を大きく取ることがで
き、しかも直交する２面で固着することができるため、
機械的に強固に接続することができるとともに電気的接
続を容易に行うことができる。

【００１１】

【実施例】以下、添付図面に示した実施例に基づいて本
発明の要旨を詳細に説明する。図１は薄膜磁気ヘッドの
第１の実施例の斜視図である。なお、以下の図面中、従
来と同一部分には同じ符号が付してある。

【００１２】図示するように、第１の実施例の薄膜磁気
ヘッドは、従来と同じ構成の、磁気ヘッド素子１と可撓
性支持体２とで構成するが、一方の磁気ヘッド素子１
は、直角Ｌ形でその直交する内面２面を固着面とし、直
角Ｌ形部の一方の外面、即ち媒体対向面に対し垂直な前
面（薄膜形成面側）に２つの配線端子、即ち接続端子1g
（内部の図示しないコイルに接続されている）を離隔し
て備える。

【００１３】他方の可撓性支持体２は、その先端部を直
角Ｌ形に折り曲げ、その直交Ｌ形部の直交する外面２面
を固着面とする。上面に成膜され長手方向に延びる２本
の配線、即ち信号リード線2cは磁気ヘッド素子１との固
着面の近くまで延び終端に２つの配線端子、即ち接続パ
ッド2c-1を離隔し備える。

【００１４】磁気ヘッド素子１と可撓性支持体２との固
着は、磁気ヘッド素子１の直角Ｌ形部の内面を可撓性支
持体２の直角Ｌ形部の外面に上から被せ、紫外線硬化形
接着剤３で固着する。

【００１５】磁気ヘッド素子１の接続端子1gと可撓性支
持体２の接続パッド2c-1との電気的接続はボンディング
ワイヤ４で接続する。このように構成することにより、
固着面を大きく取ることができ、しかも直交する２面で
接続（固着）することができて従来より固着強度を格段
に強化することができる。

【００１６】つぎの図２は第２の実施例である。この第
２の実施例の磁気ヘッド素子１と可撓性支持体２との固
着構成は図示するように、可撓性支持体２の直角Ｌ形部
の外面に磁気ヘッド素子１の直角Ｌ形部の内面に被せる
ように固着構成しても同様の作用、効果を奏する。な
お、電気的接続は図１と同じボンディングワイヤ４によ
る。

【００１７】つぎの図３は第３の実施例である。この第
３の実施例の磁気ヘッド素子１と可撓性支持体２との固
着構成は上記第２の実施例と同じであるが、ボンディン
グワイヤで接続せずに電気的接続を行う点が異なる。即
ち、互いの固着面、即ち一方の磁気ヘッド素子１は薄膜
形成面に直交する固着面（上面）に形成する接続端子1g
と、他方の可撓性支持体２はその接続端子1gに対応し下
面に形成する接続パッド2c-1（この場合の信号リード線
2cは同じ下面に形成する。この点、上記第１、第２の実
施例の上面とは異なる）をそれぞれ備え半田バンプ５に
より加熱圧着するとともに、媒体対向面に垂直な固着面
同士は紫外線硬化形接着剤３で固着し構成する。

【００１８】このように構成することにより、上記実施
例と同様に機械的接続強度を強化することができるとと
もに、半田バンプによる接合により電気的接続をも同時
に行うことができ、作業性の悪いワイヤボンディング工
程を省略することができる。

【００１９】つぎの図４は第４の実施例である。この第
４の実施例の磁気ヘッド素子１と可撓性支持体２との固
着構成は上記第３の実施例と同じであるが、半田バンプ
による接合でなく紫外線硬化形接着剤３による固着後に
薄膜導体６を形成し電気的接続を行う点が異なる。即
ち、可撓性支持体２の既に形成されている接続端子1g
(あるいは信号リード線2cの終端でもよい) と磁気ヘッ
ド素子１の接続端子1gとを固着時に接触させ、薄膜形成
法、例えば電解めっき法により信号リード線2c及び接続
端子1gを一方の電極にしてその接触部に薄膜導体６を形
成成長させることによって電気的に接続する。なお、接
触部に形成する薄膜導体６はその他の金属蒸着法やスパ
ッタリング法などによってもよい。

【００２０】このように構成することにより、薄膜導体
は信号リード線の終端と磁気ヘッド素子の接続端子との
接触部を確実に導通接続することができるとともに、磁
気ヘッド素子と可撓性支持体との固着部分に跨がり、両
者の固着強度を一層強化することができる。

【００２１】つぎの図５は第５の実施例である。この第
５の実施例の磁気ヘッド素子１と可撓性支持体２との固
着構成は上記第３の実施例と同じであるが、半田バンプ
による接合でなく紫外線硬化形接着剤３による固着後に
ボンディングワイヤ４で電気的接続を行う点が異なる。
即ち、可撓性支持体２の既に形成されている信号リード
線2cの接続パッド2c-1と磁気ヘッド素子１の接続端子1g
とをボンディングワイヤ４で接続する。

【００２２】このように構成することにより、第１の実
施例のようにボンディング面が直交して２方向からワイ
ヤボンディングするのでなく、ボンディング面が平面視
同一面にあるため一方向からのワイヤボンディングでき
ることでその作業を容易に行うことができる。

【００２３】

【発明の効果】以上、詳述したように本発明によれば、
磁気ヘッド素子と可撓性支持体との固着強度を強化する
とともに電気的接続を容易に行うことができるといった
産業上極めて有用な効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明による薄膜磁気ヘッドの第１の実施例
の斜視図

【図２】 本発明による第２の実施例の斜視図

【図３】 本発明による第３の実施例の側面図

【図４】 本発明による第４の実施例の側面図

【図５】 本発明による第５の実施例の側面図

【図６】 従来技術による薄膜磁気ヘッドの斜視図及び
そのＡ−Ａ側断面図

【符号の説明】

１は磁気ヘッド素子 1gは接続端子（配線端子） ２は可撓性支持体 2cは信号リード線 2c-1は接続パッド（配線端子） ３は紫外線硬化型接着剤 ４はボンディングワイヤ ５は半田バンプ ６は薄膜導体

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 磁気記録再生装置に使用される薄膜磁気
   ヘッドであって、直角Ｌ形の固着面を有する磁気ヘッド
   素子(1) と、長手方向に延びる信号リード線(2c)を備え
   先端が直角Ｌ形に曲がる細長い平板状の可撓性支持体
   (2) とからなり、前記直角Ｌ形の固着面同士を接続して
   なることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
2. 【請求項２】 請求項１記載の相互の固着面に互いに対
   応する配線端子(1g,2c-1) を備え、半田バンプ(5) で接
   合することを特徴とする薄膜磁気ヘッドの製造方法。
3. 【請求項３】 請求項１記載の磁気ヘッド素子(1) と可
   撓性支持体(2) はそれぞれの表面に配線端子(1g,2c-1)
   を露出して形成し、該両配線端子(1g,2c-1)を固着時に
   互いに接触させ、その接触部に薄膜形成法により薄膜導
   体(6) を形成成長させ当該接触部を電気的に接続するこ
   とを特徴とする薄膜磁気ヘッドの製造方法。
4. 【請求項４】 請求項３記載の磁気ヘッド素子(1) と可
   撓性支持体(2) のそれぞれの配線端子(1g,2c-1) を平面
   視同一面に形成し、該両配線端子(1g,2c-1)を一方向か
   らのボンディングワイヤ(4) で接続することを特徴とす
   る薄膜磁気ヘッドの製造方法。