JPH0635958U - 蛍光ｘ線分析用の試料ホルダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 粉状、粒状の試料の精度の高い蛍光Ｘ線分析
を可能とする試料ホルダを提供する。 【構成】 薄膜３の上に試料６、防塵フィルタ７、クッ
ション材８を載せ、これら６，７，８を押え具９により
ホルダ本体２に固定する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、粉状、粒状やチップ状の試料の分析に適した蛍光Ｘ線分析用の試 料ホルダに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

蛍光Ｘ線分析装置は、試料に一次Ｘ線のような放射線を照射して、試料から発 生した蛍光Ｘ線を測定することにより、試料の元素分析を行う装置である。この 分析装置によって、試料を分析する場合には、一次Ｘ線の照射位置に試料を正し くセットするために、試料ホルダを用いる。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

ところで、試料が高分子粒、金属の切り粉またはフライアッシュなどのように 加圧成形しにくい形状である場合には、粒状または粉状等の状態のままで分析を 行う。しかし、試料が粉状等である場合には、試料から粉状の成分が飛散し、そ のため、真空雰囲気に保たれた分析装置内が試料によって汚染されるので、分析 精度の低下を招く。

【０００４】 この考案は、上記従来の問題に鑑みてなされたもので、その目的は、粉末の試 料の飛散を防止して分析精度の低下を防止し得る試料ホルダを提供することであ る。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するために、この考案は、試料の表面側を覆いＸ線を通過させ る薄膜と、試料の裏面側に設けられ試料の一部が分析装置内に逸散するのを防止 する防塵フィルタと、試料および防塵フィルタを上記薄膜側に押し付けて筒状の ホルダ本体に固定する押え具とを備えている。

【０００６】

【作用】

この考案によれば、試料の裏面側に防塵フィルタを設けたので、粉状の試料が 分析装置内に逸散するのを防止し得る。

【０００７】

【実施例】

以下、この考案の一実施例を図１〜図３にしたがって説明する。 試料ホルダ１の説明に先だって、まず、蛍光Ｘ線分析装置の一例について説明 する。 図３において、Ｘ線管（放射線源）１０は、一次Ｘ線（放射線）Ｂ１を出射し て、試料６に一次Ｘ線Ｂ１を照射する。上記試料６に照射された一次Ｘ線Ｂ１は 、試料６の原子を励起して、その元素固有の蛍光Ｘ線Ｂ２を発生させる。試料６ からの蛍光Ｘ線Ｂ２は、視野制限スリット１１および第１のソーラスリット１２ を通過し、分光結晶１３に入射角θで入射し、ブラッグの式を満足する所定の波 長の蛍光Ｘ線Ｂ２のみが、入射角θと同一の回折角θで回折される。回折された 蛍光Ｘ線Ｂ２は、第２のソーラスリット１４を通過した後、Ｘ線検出器１５に入 射して検出される。この検出値に基づいて試料６の元素分析がなされる。

【０００８】 つぎに、試料ホルダ１について説明する。 図１において、試料ホルダ１は、ほぼ円筒状のホルダ本体２の下面にポリプロ ピレンやポリエステルのような樹脂の薄膜３を有している。この薄膜３は、たと えば、ホルダ本体２の外周に嵌着する薄膜固定リング４により張設されている。 上記薄膜３の上には、粉状、粒状の試料６が載置されている。つまり、この薄膜 ３は、試料６の表面を覆い一次Ｘ線Ｂ１および蛍光Ｘ線Ｂ２を通過させる。

【０００９】 上記試料６の上方、つまり裏面側には、防塵フィルタ７およびクッション材８ が設けられている。上記防塵フィルタ７は、粉状などの試料６の一部が分析装置 内に逸散するのを防止するものである。上記クッション材８は、押え具９からの 押圧力を受けて試料６および防塵フィルタ７を薄膜３側に弾性的に押し付けるも のである。

【００１０】 上記押え具９は、クッション材８のばね力を利用して、試料６、防塵フィルタ ７およびクッション材８をホルダ本体２に固定するものである。押え具９は、た とえば、図２のように、３つの突起９ａを有しており、この突起９ａが、ホルダ 本体２に形成した縦溝２ａから挿入され、その後、横溝２ｂ内に嵌合されて、ホ ルダ本体２に固定される。上記押え具９には、空気逃がし用孔９ｂが設けられて いる。なお、図１の試料６には、ベリリウムのような窓材を介して、一次Ｘ線Ｂ １が照射される。

【００１１】 上記構成においては、試料６の裏面側に防塵フィルタ７を設けたので、粉状な どの試料６が真空雰囲気の分析装置内に逸散するおそれがない。したがって、分 析装置が試料によって汚染されるおそれがないので、分析精度が向上する。

【００１２】 ところで、上記実施例では、試料６に対し下方から一次Ｘ線Ｂ１を照射する下 面照射方式により、分析を行ったが、分析装置によっては、試料６の上方から一 次Ｘ線Ｂ１を照射する上面照射方式を利用している。ここで、この試料ホルダ１ によれば、試料６、防塵フィルタ７およびクッション材８を押え具９により、ホ ルダ本体２に固定している。したがって、薄膜３を上方に向けても、試料６が下 方に落下しないから、下面照射方式だけでなく上面照射方式によっても、Ｘ線分 析を行うことができる。

【００１３】 なお、上記実施例では、図２のように、押え具９の突起９ａをホルダ本体２の 横溝２ｂに嵌め込んで、押え具９をホルダ本体２に固定したが、この考案では、 押え具９をねじなどによりホルダ本体２に固定してもよい。

【００１４】 また、上記実施例では、図１の防塵フィルタ７を試料６に接触させて設けたが 、この考案では、クッション材８を試料６に接触させて設け、その上に防塵フィ ルタ７を設けてもよい。さらに、防塵フィルタとクッション材とを一体のもので 構成してもよい。

【００１５】

【考案の効果】

以上説明したように、この考案によれば、蛍光Ｘ線分析装置において、粉末の 試料の逸散を防塵フィルタで防止して、試料による分析装置の汚染を防止できる から、分析精度が向上する。また、押え具により試料および防塵フィルタをホル ダ本体に固定しているから、下面照射方式だけでなく、上面照射方式によっても 分析が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の一実施例を示す試料ホルダの断面図
である。

【図２】押え具およびホルダ本体の分解斜視図である。

【図３】一般的な蛍光Ｘ線分析装置の概略構成図であ
る。

【符号の説明】

１…試料ホルダ、２…ホルダ本体、３…薄膜、６…試
料、７…防塵フィルタ、９…押え具、Ｂ１…一次Ｘ線、
Ｂ２…蛍光Ｘ線。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 試料に放射線を照射して試料から発生し
   た蛍光Ｘ線に基づいて試料の分析を行う蛍光Ｘ線分析用
   の試料ホルダであって、 上記試料の表面側を覆いＸ線を通過させる薄膜と、 上記試料の裏面側に設けられ上記試料の一部が分析装置
   内に逸散するのを防止する防塵フィルタと、 上記試料および防塵フィルタを上記薄膜側に押し付けて
   筒状のホルダ本体に固定する押え具とを備えている蛍光
   Ｘ線分析用の試料ホルダ。