JPH08114562A - 液体試料保持装置および液体試料分析装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 容器の影響による測定誤差を解消でき、しか
もランニング費用を低減化できる液体試料保持装置およ
び液体試料分析装置を提供する。 【構成】 試料保持部は、液体試料を保持する試料袋１
０と、試料袋１０を支持する支持筒１１と、試料袋１０
を支持筒１１に固定する押えリング１２と、試料袋１０
を下から押し上げて、液体試料ＳＰの液面を変位させる
ためのピストン１３と、ピストン１３を駆動するピスト
ン駆動部１４などで構成される。液面計測部は、液体試
料ＳＰに向けて光ビームを照射する光源２０と、液体試
料ＳＰによって遮断され得る光ビームを受光する受光素
子２１と、光源２０および受光素子２１を制御し、受光
素子２１からの信号に基づいてピストン駆動部１４を制
御する制御回路２２などで構成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液体試料の成分を定性
分析または定量分析する際に使用される液体試料保持装
置に関し、さらにこれを組み込んだ液体試料分析装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】図８は、従来の液体試料ホルダの一例を
示す構成図である。液体試料ホルダ４は、中空円筒状の
容器５の底に高分子材料から成るフィルム６が張着さ
れ、内部の液体試料ＳＰが漏れないように保たれる。液
体試料ホルダ４は、回転テーブルなどの搬送装置に多数
載置されて連続的に搬送され、所定の測定箇所に搬送さ
れた液体試料ホルダ４ごとに測定が行われる。

【０００３】図８では、測定の一例として蛍光Ｘ線分析
を示しており、Ｘ線発生器１がＸ線を発生して、液体試
料ホルダ４の底に張られたフィルム６を介して液体試料
ＳＰに照射している。液体試料ＳＰにイオウなどの不純
物が含まれると、不純物に応じた蛍光Ｘ線が発生し、フ
ィルム６を介して検出器２に到達する。検出器２は蛍光
Ｘ線のエネルギーに対応した電気信号に変換し、信号処
理部３はエネルギー分散法などを用いて蛍光Ｘ線スペク
トルを作成し、不純物の定性分析や定量分析に利用され
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
液体試料ホルダ４は、容器５の底に張られたフィルム６
を介して分析情報を得ているため、液体試料ＳＰから発
生する蛍光Ｘ線が、フィルム６による散乱や吸収の影響
を受けて、検出器２に到達するＸ線強度が弱くなり、そ
れだけ測定時間が長くなる。たとえば、Ｘ線透過率の比
較的高いポリプロピレンから成る厚さ６．７μｍのフィ
ルムを用いても、Ｎａ−Ｋα線（１．０４１ｋｅＶ）に
おけるＸ線透過率は約３５％に低下してしまう。

【０００５】また、試料に対して低い入射角度で照射し
た場合、フィルムで入射Ｘ線の吸収が発生してしまい、
たとえば全反射測定が不可能になる。さらに、液体試料
ホルダ４の姿勢が変化したり、フィルム６に皺が存在す
ると、試料に対するＸ線の入射角度も変化するため、蛍
光Ｘ線の強度に影響を与える。そのため、フィルムの張
着作業に熟練を要し、ランニング費用の増加をもたら
す。

【０００６】さらに、フィルム６を介して検出している
ため、検出信号の中にフィルム６に含まれる不純物成分
の情報が混入することになる。特に、フィルム６の不純
物による蛍光Ｘ線スペクトルと分析対象元素の蛍光Ｘ線
スペクトルとが重複すると、当該元素の微量検出が不可
能になる。また、分析対象がＮａやＭｇなどの低原子番
号の元素である場合、低エネルギーＸ線が高分子材料か
ら成るフィルム６で吸収されてしまい、低原子番号の元
素の検出が困難になる。

【０００７】また、液体試料ＳＰで汚染された液体試料
ホルダ４は、再使用されることなく廃棄されるため、容
器５が高価になるとランニング費用も高くなる。

【０００８】本発明の目的は、容器の影響による測定誤
差を解消でき、しかもランニング費用を低減化できる液
体試料保持装置および液体試料分析装置を提供すること
である。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、液体試料を保
持するための試料袋と、試料袋を支持する支持部材と、
試料袋を変形させて、液体試料の液面を鉛直方向に変位
させるための液面変位手段と、液体試料の液面高さを計
測するための液面計測手段と、液面計測手段からの信号
に基づいて、液面変位手段を制御するための制御手段と
を備えることを特徴とする液体試料保持装置である。ま
た本発明は、液体試料を保持するための試料袋と、試料
袋を支持する支持部材と、試料袋を変形させて、液体試
料の液面を鉛直方向に変位させるための液面変位手段
と、液体試料の液面高さを計測するための液面計測手段
と、液面計測手段からの信号に基づいて、液面変位手段
を制御するための制御手段と、液体試料の液面に向けて
電磁波または粒子線を照射するための照射手段と、液体
試料から発生する電磁波または粒子線を検出するための
検出手段とを備えることを特徴とする液体試料分析装置
である。また本発明は、前記照射手段は液体試料に対し
てＸ線を照射し、前記検出手段は液体試料から発生する
蛍光Ｘ線を検出することを特徴とする。

【００１０】

【作用】本発明に従えば、液体試料は変形可能な試料袋
に保持され、ピストンなどの液面変位手段が試料袋を変
形させると、液面が鉛直方向に変位する。このとき液面
高さを計測しながら液面変位手段を制御することによっ
て、液面を任意の高さに設定できる。たとえば、試料袋
から液体試料がこぼれる寸前に液面高さを設定すること
によって、測定系から試料液体への接近が容易になる。
また、試料液面を露出した状態で直接測定することが可
能になり、他の誤差要因を排除することができる。ま
た、試料液面は重力によって常に水平状態となるため、
たとえばＸ線等の入射角度を一定に保つことができる。
また、試料で汚染される部分の交換は試料袋だけで済む
ため、ランニング費用を低減化できる。さらに、試料袋
の存在は測定系に影響を与えないため、厚くて丈夫しか
も安価な材料から成る試料袋を使用することができる。

【００１１】また本発明の分析装置に従えば、上述の作
用に加えて、測定用の電磁波または粒子線を試料液面に
対して直接照射することが可能になり、さらに液体試料
での反射、散乱、回折、蛍光などの物理現象に基づいて
発生する電磁波または粒子線を直接検出することが可能
になる。したがって、容器などに起因する誤差要因を排
除することができ、短時間で高精度の分析が可能にな
る。特に、高分子膜などから成るフィルムの影響が解消
され、軽元素の分析が実現する。

【００１２】さらに、液体試料に対してＸ線を照射して
液体試料から発生する蛍光Ｘ線を検出することによっ
て、水、油、有機溶剤などの液体試料中に含まれる微量
元素を短時間で精度良く分析することができる。

【００１３】

【実施例】図１は本発明の第１実施例を示す正面図であ
る。液体試料保持装置は、試料保持部と液面計測部とで
構成される。

【００１４】試料保持部は、液体試料を保持するための
試料袋１０と、試料袋１０を支持するための支持筒１１
と、試料袋１０を支持筒１１に固定するための押えリン
グ１２と、試料袋１０を下から押し上げるように変形さ
せて、液体試料ＳＰの液面を鉛直方向に変位させるため
のピストン１３と、ピストン１３を駆動するためのピス
トン駆動部１４などで構成される。

【００１５】液面計測部は、液体試料ＳＰに向けて水平
方向に光ビームを照射する光源２０と、液体試料ＳＰに
よって遮断され得る光ビームを受光する受光素子２１
と、光源２０および受光素子２１を制御し、受光素子２
１からの信号に基づいてピストン駆動部１４を制御する
ための制御回路２２などで構成される。

【００１６】図２は、図１の試料支持部の部分断面図で
ある。試料袋１０は、ポリエチレンやポリプロピレン等
で例示される高分子材料などの可撓性材料で形成され、
液体試料ＳＰに耐性があって、ランニング費用の低減の
ために安価なものが好ましい。また、Ｘ線に対する透過
性は高くても低くても構わない。

【００１７】支持筒１１および押えリング１２はフッ素
樹脂等の高分子材料で形成され、支持筒１１の上端面に
形成された段差部と押えリング１２の内面とは互いに着
脱自在に嵌合する。試料袋１０を支持筒１１に挿入した
後、押えリング１２が試料袋１０の上部を挟むように装
着されると、試料袋１０が固定される。試料袋１０を交
換するときは、押えリング１２を取り外して、別の試料
袋１０を装着してから、同様な作業を行う。

【００１８】図１に戻って、ピストン１３が支持筒１１
の下方から内部に向かって移動して、試料袋１０を下か
ら押し上げるように変形させると、液体試料ＳＰの液面
が上昇する。分析実行時の液面は可及的に上方に位置す
ることが好ましく、たとえば、試料袋１０から液体試料
ＳＰがこぼれる寸前に設定することによって、試料液体
ＳＰへの接近が容易になる。なお、支持筒１１が回転テ
ーブル等に複数載置されて搬送される場合には、支持筒
１１の移動を妨げないようにピストン１３は下方に退避
可能に構成される。

【００１９】支持筒１１の側方にはレーザや発光ダイオ
ードなどの光源２０が設置され、液体試料ＳＰに向けて
光ビームを照射する。ピストン１３の位置制御によっ
て、液体試料ＳＰの液面を支持筒１１の上端面から表面
張力によって凸面状に盛り上がった状態に設定すると、
光源２０からの光ビームは液体試料ＳＰによって遮断さ
れるようになり、この状態で受光素子２１で受光される
光量が減少する。

【００２０】受光素子２１は、フォトダイオードなどで
構成され、液体試料ＳＰを通過した光ビームの光量変化
を検知する。受光素子２１からの信号は制御回路２２に
入力され、受光量が所定レベルより低下したことを検出
することによって、液面高さを計測する。制御回路２２
は、受光素子２１によって検出されたエッジが所定位置
になるように、ピストン駆動部１４を制御する。こうし
て分析実行時の液面を可及的に上方に設定することがで
きる。

【００２１】図１に示す液体試料分析装置は、エネルギ
ー分散型Ｘ線分析を行うものであり、上述のような液体
試料保持装置と、液体試料ＳＰの液面に向けてＸ線ビー
ムＸＢを照射するためのＸ線発生器３０と、液体試料Ｓ
Ｐに含まれる微量元素から発生する蛍光Ｘ線ＸＣを検出
するためのリチウムドリフト型Ｓｉ検出器等のＸ線検出
器４０と、Ｘ線検出器４０から出力される電荷パルスの
時間積分値を波高に持つ階段状の電圧パルスに変換する
前置増幅器４１と、前置増幅器４１から出力される電圧
パルスの立上がり幅に比例した波高を有するパルスに波
形整形する比例増幅器４２と、比例増幅器４２から出力
される各波高値の計数率を測定する波高分析器４３と、
波高分析器４３で測定されたデータを処理して磁気ディ
スクに格納したり、画面表示や印刷を行うためのデータ
処理部４４などで構成される。

【００２２】Ｘ線発生器３１と液体試料ＳＰの間には、
Ｘ線ビームＸＢを整形するためのスリット３１が設けら
れる。Ｘ線発生器４０および前置増幅器４１は、暗電流
や熱雑音の影響を回避するため、液体窒素などの冷却手
段によって室温より極めて低い温度に保たれている。デ
ータ処理部４４と前述の制御回路２２とは互いに連係し
ており、分析開始前または分析終了後におけるピストン
１３の制御タイミングを調整している。

【００２３】次に動作を説明する。試料袋１０が装着さ
れた支持筒１１は、液体試料ＳＰを保持した状態で、回
転テーブル等の搬送装置によって図１のような測定箇所
まで搬送されて停止する。次に、制御回路２２は光源２
０および受光素子２１を動作させるとともに、ピストン
１３を上昇させる。ピストン１３の先端が試料袋１０を
押し上げると、液面が支持筒１１の上端面近くまで上昇
し、受光素子２１からの信号を監視しながら液面を所定
高さに設定する。

【００２４】次に、Ｘ線発生器３０からＸ線ビームＸＢ
を発生して、液体試料ＳＰに向けて斜めに照射すると、
試料成分に起因する蛍光Ｘ線ＸＣが放射状に発生する。
液体試料ＳＰの上方に発生した蛍光Ｘ線ＸＣがＸ線検出
器４０に入射すると、Ｘ線光子のエネルギーに応じた電
子・正孔対に変換され、その出力信号の強さは検出した
Ｘ線光子のエネルギーに比例する。そこで、Ｘ線検出器
４０の出力信号の強さを測定することによって、蛍光Ｘ
線ＸＣのエネルギースペクトルを得ることができる。こ
のようにＸ線ビームＸＢが液体試料ＳＰに直接入射し、
さらに蛍光Ｘ線ＸＣを液体試料ＳＰから直接検出してい
るため、液体試料ＳＰからの情報を純粋な形でそのまま
分析することができる。

【００２５】測定が終了すると、ピストン１３が下降し
て液面を下げ、支持筒１１から抜け出た後、搬送装置に
よって別の試料を保持した支持筒が新たに導入され、前
述と同様に、液面操作と分析が実行される。

【００２６】図３は、本発明の第２実施例を示す構成図
である。液体試料保持装置は、試料保持部と液面計測部
とで構成され、図３の試料保持部は図１のものと同様で
あるため重複説明を省略する。また、図１の液面計測部
は透過型の光学系であるが、本実施例の液面計測部は反
射型の光学系を採用している。

【００２７】液面計測部は、液体試料ＳＰに向けて斜め
に光ビームを照射する光源２０と、液体試料ＳＰの液面
によって反射した光ビームを受光する受光素子２１と、
光源２０および受光素子２１を制御し、受光素子２１か
らの信号に基づいてピストン駆動部１４を制御するため
の制御回路２２などで構成される。

【００２８】光源２０はレーザや発光ダイオードなどで
構成され、指向性の良い光ビームを発生する。液体試料
ＳＰの表面では入射した光ビームの一部が反射し、受光
素子２１に入射する。受光素子２１は、フォトダイオー
ドなどで構成され、受光素子２１からの信号は制御回路
２２に入力されて、光ビームの光量変化が検出される。

【００２９】受光素子２１における光ビームの光量は、
液体試料ＳＰの液面高さに応じて変化するため、反射角
および液面と受光素子２１との距離などを用いて液面高
さを算出することができる。制御回路２２は、受光素子
２１によって検出された光ビームの光量が所定レベル、
たとえば最大値になるように、ピストン駆動部１４を制
御する。こうして分析実行時の液面を可及的に上方に設
定することができる。

【００３０】図４は、本発明の第３実施例を示す構成図
である。液体試料保持装置は、試料保持部と液面計測部
とで構成され、図３のものと同様であるため重複説明を
省略する。なお、本実施例は、励起用Ｘ線ビームを試料
表面に対して全反射するように入射する全反射型蛍光Ｘ
線分析装置を示している。

【００３１】この液体試料分析装置は、図３に示す液体
試料保持装置と、回転対陰極３３および電子線を発生す
るヒータ３２等から成るＸ線発生器３０と、Ｘ線発生器
３４から発生するＸ線の中から単色の特性Ｘ線を分離す
るための分光結晶３４と、分光結晶３４によって分離さ
れたＸ線ビームＸＢが液体試料ＳＰに入射して、その液
面で全反射したＸ線強度を計測するためのＸ線カウンタ
４５と、図１で説明したようなＸ線検出器４０、前置増
幅器４１、比例増幅器４２、波高分析器４３およびデー
タ処理部４４などで構成される。

【００３２】Ｘ線発生器３１と液体試料ＳＰとの間や液
体試料ＳＰとＸ線カウンタ４５との間には、Ｘ線ビーム
ＸＢを整形するためのスリット３１が設けられる。分光
結晶３４は、ＬｉＦ、黄玉石、Ｓｉ、ＮａＣｌ、方解
石、Ｇｅ、α−石英、黒鉛、ＩｎＳｂ、ペンタエリトー
ル、ＳｉＷ人工累積膜などが用いられ、Ｘ線の入射方向
と特定の結晶面配向を選択することによって、特定の波
長を持つＸ線だけを一定方向に回折または反射させる機
能を有する。データ処理部４４と前述の制御回路２２と
は互いに連係しており、分析開始前または分析終了後に
おけるピストン１３の制御タイミングを調整している。

【００３３】次に動作を説明する。試料袋１０が装着さ
れた支持筒１１は、液体試料ＳＰを保持した状態で、所
定の測定箇所まで搬送されて停止する。次に、制御回路
２２は光源２０および受光素子２１を動作させるととも
に、ピストン１３を上昇させる。ピストン１３の先端が
試料袋１０を押し上げると、液面が支持筒１１の上端面
近くまで上昇し、受光素子２１からの信号を監視しなが
ら液面を所定高さに設定する。

【００３４】次に、Ｘ線発生器３０からＸ線ビームＸＢ
を発生して、液体試料ＳＰに向けて極めて低い角度で照
射すると、Ｘ線は液面近傍にだけ進入して内部深くまで
到達せずに全反射する。液面で反射したＸ線はＸ線カウ
ンタ４５に入射して強度測定が行われ、Ｘ線カウンタ４
５と接続された制御回路２２は、Ｘ線強度が最大になる
ようにピストン１３によって液面高さを微調整する。こ
うしてＸ線ビームＸＢの入射角度が正確に全反射角にな
るように設定できる。なお、試料が液体であると試料表
面の角度は常に水平に維持されるため、角度調整機構を
省略できる。

【００３５】一方、試料表面近傍からは、試料成分に起
因する蛍光Ｘ線ＸＣが放射状に発生する。蛍光Ｘ線ＸＣ
がＸ線検出器４０に入射すると、Ｘ線光子のエネルギー
に比例した信号が得られ、Ｘ線検出器４０の出力信号の
強さを測定することによって、蛍光Ｘ線ＸＣのエネルギ
ースペクトルを得ることができる。このようにＸ線ビー
ムＸＢおよび蛍光Ｘ線ＸＣが直に液体試料ＳＰと相互作
用するため、液体試料ＳＰからの情報を純粋な形でその
まま分析することができる。

【００３６】測定が終了すると、ピストン１３が下降し
た後、新たな支持筒が導入されると、液面操作と分析が
繰返し実行される。

【００３７】図５は、本発明の第４実施例を示す構成図
である。液体試料保持装置は、試料保持部と液面計測部
とで構成され、図１のものと同様であるため重複説明を
省略する。なお本実施例は、液体試料ＳＰから発生する
蛍光Ｘ線ＸＣを波長分散型でＸ線スペクトル分析を行う
例を示している。

【００３８】この液体試料分析装置は、図１に示す液体
試料保持装置と、液体試料ＳＰの液面に向けてＸ線ビー
ムＸＢを照射するためのＸ線発生器３０と、液体試料Ｓ
Ｐにから発生する蛍光Ｘ線ＸＣのうち平行ビームを取り
出すためのソーラースリット４６と、コリメートされた
Ｘ線ビームを所定結晶面で回折させるための分光結晶４
７と、分光結晶４７で回折したＸ線のうち所定方向だけ
を取り出すためのソーラースリット４８と、ソーラース
リット４８を通過したＸ線の強度を検出するシンチレー
ションカウンタ等のＸ線検出器４９と、Ｘ線検出器４９
からの信号を処理するための信号処理部５０などで構成
される。

【００３９】分光結晶４６は、図４の分光結晶３４と同
様なものであり、Ｘ線の入射方向と特定の結晶面配向を
選択することによって、特定の波長を持つＸ線だけを一
定方向に回折または反射させる機能を有する。したがっ
て、分光結晶４６をゴニオメータ等の回転走査装置に搭
載して、分光結晶４６を回転走査することによって、ブ
ラッグ条件を満たすＸ線波長を走査することができる。
分光結晶４６の回転角は電気信号として信号処理部５０
に入力され、Ｘ線検出器４９からの信号変化との対応付
けによって、蛍光Ｘ線のスペクトルを得ることができ
る。ソーラースリット４６、４８は、Ｘ線遮蔽性の薄い
金属板を所定ピッチで複数平行に配置したものであり、
金属板と平行に進行するＸ線だけを通過させる。

【００４０】次に動作を説明する。液体試料ＳＰを保持
した支持筒１１が位置決めされると、制御回路２２は光
源２０および受光素子２１を動作させ、ピストン１３を
上昇させる。ピストン１３は試料袋１０を押し上げ、液
面を所定高さに設定する。

【００４１】次に、Ｘ線発生器３０からＸ線ビームＸＢ
を液体試料ＳＰに向けて照射すると、試料成分に起因す
る蛍光Ｘ線ＸＣが放射状に発生する。蛍光Ｘ線ＸＣはソ
ーラースリット４６でコリメートされ、分光結晶４７に
よって分光され、さらにソーラースリット４８でコリメ
ートされ、Ｘ線検出器４９に入射する。分光結晶４７を
回転走査しながら検出信号の強度変化を検出することに
よって、蛍光Ｘ線スペクトルが得られる。このようにＸ
線ビームＸＢおよび蛍光Ｘ線ＸＣが直に液体試料ＳＰと
相互作用するため、液体試料ＳＰからの情報を純粋な形
で取り出せる。図６は、本発明の第５実施例を示す構成
図である。液体試料保持装置は、試料保持部と液面計測
部とで構成され、図１のものと同様であるため重複説明
を省略する。なお本実施例は、液体試料ＳＰに単色のレ
ーザ光を照射して、ラマン散乱によって発生する波長シ
フトを分光器を用いてスペクトル分析する例を示してい
る。

【００４２】この液体試料分析装置は、図１に示す液体
試料保持装置と、液体試料ＳＰの液面に向けて単色の光
ビームＬＢを照射するためのレーザ３５と、液体試料Ｓ
Ｐにから発生するラマン光を分光するための分光器５１
と、分光器５１を制御し、検出信号を処理するための信
号処理部５０などで構成される。

【００４３】次に動作を説明する。液体試料ＳＰを保持
した支持筒１１が位置決めされると、制御回路２２は光
源２０および受光素子２１を動作させ、ピストン１３を
上昇させ、液面を所定高さに設定する。

【００４４】次に、レーザ３５から光ビームＬＢを液体
試料ＳＰに向けて照射すると、試料成分に起因して波長
シフトしたラマン光が発生する。ラマン光は分光器５１
によって分光され、分光波長を走査しながら検出信号の
強度変化を検出することによって、ラマンスペクトルが
得られる。このように光ビームＬＢおよびラマン光が直
に液体試料ＳＰと相互作用するため、液体試料ＳＰから
の情報を純粋な形で取り出せる。

【００４５】図７は、本発明の第６実施例を示す構成図
である。液体試料保持装置は、試料保持部と液面計測部
とで構成され、図１のものと同様であるため重複説明を
省略する。なお本実施例は、液体試料ＳＰに放射線を照
射して励起し、発生する蛍光Ｘ線をスペクトル分析する
例を示している。

【００４６】この液体試料分析装置は、図１に示す液体
試料保持装置と、液体試料ＳＰの液面に向けて放射線を
照射するための放射線源３６と、液体試料ＳＰで発生す
る蛍光Ｘ線を検出するためのＸ線検出器４０と、図１に
示すような前置増幅器、波高分析器、データ処理部等か
ら成る信号処理回路５２などで構成される。

【００４７】放射線源３６は、放射線遮蔽性の金属シー
ルドに放射性元素が収納され、下方に向いた開口部から
α線、β線、γ線等の放射線を発生する。なお、放射線
の照射効率を上げるため、放射線源３６はＸ線検出器４
０の検出面の回りに一体的に配置される。

【００４８】次に動作を説明する。液体試料ＳＰを保持
した支持筒１１が位置決めされると、制御回路２２は光
源２０および受光素子２１を動作させ、ピストン１３を
上昇させ、液面を所定高さに設定する。

【００４９】次に、放射線源３６から放射線を液体試料
ＳＰに向けて照射すると、試料成分に起因する蛍光Ｘ線
が放射状に発生する。液体試料ＳＰの上方に発生した蛍
光Ｘ線はＸ線検出器４０で検出され、エネルギー分散型
Ｘ線分析を用いて蛍光Ｘ線のエネルギースペクトルが得
られる。このように放射線および蛍光Ｘ線が直に液体試
料ＳＰと相互作用するため、液体試料ＳＰからの情報を
純粋な形で取り出せる。

【００５０】以上の各実施例において、液体試料と相互
作用するエネルギー線がＸ線、レーザ光、放射線である
例を示したが、可視光、赤外光、マイクロ波、荷電粒子
線、電子線等であっても構わない。

【００５１】また、試料の分析内容として、蛍光Ｘ線分
析やラマン散乱だけでなく、Ｘ線回折、ＥＸＡＦＳ、Ｘ
線以外の蛍光分析、赤外吸収分析などでも本発明は適用
可能である。

【００５２】また、Ｘ線検出器として、半導体検出器、
プロポーショナルカウンタ、シンチレーションカウンタ
等が使用可能である。

【００５３】さらに、測定雰囲気として、大気中でもよ
く、軽元素分析のためにヘリウムガス雰囲気であっても
構わない。

【００５４】

【発明の効果】以上詳説したように本発明によれば、液
面高さを任意に設定でき、しかも試料液面を露出した状
態で直接測定が可能になり、他の誤差要因を排除でき
る。また、測定環境や測定条件を一定に保つことができ
るため、測定精度が向上する。さらに、試料袋の交換だ
けで済むため、ランニング費用を削減できる。

【００５５】また、液体試料と電磁波または粒子線との
相互作用が直接行われるため、容器などに起因する影響
を回避でき、短時間で高精度の測定が可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例を示す正面図である。

【図２】図１の試料支持部の部分断面図である。

【図３】本発明の第２実施例を示す構成図である。

【図４】本発明の第３実施例を示す構成図である。

【図５】本発明の第４実施例を示す構成図である。

【図６】本発明の第５実施例を示す構成図である。

【図７】本発明の第６実施例を示す構成図である。

【図８】従来の液体試料ホルダの一例を示す構成図であ
る。

【符号の説明】

１０ 試料袋 １１ 支持筒 １２ 押えリング １３ ピストン １４ ピストン駆動部 ２０ 光源 ２１ 受光素子 ２２ 制御回路 ３０ Ｘ線発生器 ３１ スリット ３４、４７ 分光結晶 ３６ 放射線源 ４０ Ｘ線検出器 ４１ 前置増幅器 ４６、４８ ソーラースリット

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液体試料を保持するための試料袋と、 試料袋を支持する支持部材と、 試料袋を変形させて、液体試料の液面を鉛直方向に変位
   させるための液面変位手段と、 液体試料の液面高さを計測するための液面計測手段と、 液面計測手段からの信号に基づいて、液面変位手段を制
   御するための制御手段とを備えることを特徴とする液体
   試料保持装置。
2. 【請求項２】 液体試料を保持するための試料袋と、 試料袋を支持する支持部材と、 試料袋を変形させて、液体試料の液面を鉛直方向に変位
   させるための液面変位手段と、 液体試料の液面高さを計測するための液面計測手段と、 液面計測手段からの信号に基づいて、液面変位手段を制
   御するための制御手段と、 液体試料の液面に向けて電磁波または粒子線を照射する
   ための照射手段と、 液体試料から発生する電磁波または粒子線を検出するた
   めの検出手段とを備えることを特徴とする液体試料分析
   装置。
3. 【請求項３】 前記照射手段は液体試料に対してＸ線を
   照射し、前記検出手段は液体試料から発生する蛍光Ｘ線
   を検出することを特徴とする請求項２記載の液体試料分
   析装置。