JPH1123495A - 蛍光ｘ線分析用試料支持具およびこれを保持する試料ホルダ - Google Patents
蛍光ｘ線分析用試料支持具およびこれを保持する試料ホルダInfo
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- JPH1123495A JPH1123495A JP9181951A JP18195197A JPH1123495A JP H1123495 A JPH1123495 A JP H1123495A JP 9181951 A JP9181951 A JP 9181951A JP 18195197 A JP18195197 A JP 18195197A JP H1123495 A JPH1123495 A JP H1123495A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 試料の固定が困難である、細いリング形状、
薄い板状および球形状などの試料の蛍光Ｘ線分析におい
て、試料を簡単に設置でき、安定に固定する蛍光Ｘ線分
析用試料支持具およびこれを保持する試料ホルダを提供
する。 【解決手段】 試料ホルダ１が保持する試料支持具６０
は、圧縮かたさ０．３Ｋｇ／ｃｍ3 ないし２．６Ｋｇ／
ｃｍ3 の樹脂材料から形成されているとともに、試料６
を差込むための切り込み６１を有する。
薄い板状および球形状などの試料の蛍光Ｘ線分析におい
て、試料を簡単に設置でき、安定に固定する蛍光Ｘ線分
析用試料支持具およびこれを保持する試料ホルダを提供
する。 【解決手段】 試料ホルダ１が保持する試料支持具６０
は、圧縮かたさ０．３Ｋｇ／ｃｍ3 ないし２．６Ｋｇ／
ｃｍ3 の樹脂材料から形成されているとともに、試料６
を差込むための切り込み６１を有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、試料の固定が困難
である、細いリング形状、薄い板状および球形状などの
試料の蛍光Ｘ線分析において、試料を支持する試料支持
具およびこれを保持する試料ホルダに関するものであ
る。
である、細いリング形状、薄い板状および球形状などの
試料の蛍光Ｘ線分析において、試料を支持する試料支持
具およびこれを保持する試料ホルダに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】蛍光Ｘ線分析装置は、試料にＸ線のよう
な放射線を照射して、試料から発生した蛍光Ｘ線を測定
することにより試料の元素分析を行う装置である。この
ような元素分析において、細いリング形状、薄い板状お
よび球形状などの試料では、試料を固定する必要があ
る。従来これらの試料の固定方法として、図６（ａ）に
示すように、指輪のような試料６を粘土のようなコンパ
ウンド４１を用いて試料ホルダ底板４０に固定する方
法、図６（ｂ）に示すように、同様の試料６をテープ４
５で試料ホルダ底板４０に仮止めする方法などが用いら
れてきた。
な放射線を照射して、試料から発生した蛍光Ｘ線を測定
することにより試料の元素分析を行う装置である。この
ような元素分析において、細いリング形状、薄い板状お
よび球形状などの試料では、試料を固定する必要があ
る。従来これらの試料の固定方法として、図６（ａ）に
示すように、指輪のような試料６を粘土のようなコンパ
ウンド４１を用いて試料ホルダ底板４０に固定する方
法、図６（ｂ）に示すように、同様の試料６をテープ４
５で試料ホルダ底板４０に仮止めする方法などが用いら
れてきた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、コンパウンド
による固定およびテープの仮止めは手間のかかる作業で
あり、試料が換わる度にコンパウンドまたはテープを取
り外して固定をやり換える必要があった。また、これま
では試料に照射する放射線のビーム幅が大きかったた
め、試料中におおよそどのような元素を含んでいるかを
分析する定性分析が求められるだけであったが、放射線
のビーム幅を小さくすることが可能になってきたため、
試料中の１ｍｍ程度の範囲に含まれている元素を分析す
る定量分析が求められるようになった。これに対して、
コンパウンドによる固定およびテープの仮止めのような
方法では、固定が不安定になりやすく位置の再現性が悪
いため、定量分析には対応できなくなった。さらに、複
雑な形状や小型の試料では固定作業そのものがやりづら
いものであった。
による固定およびテープの仮止めは手間のかかる作業で
あり、試料が換わる度にコンパウンドまたはテープを取
り外して固定をやり換える必要があった。また、これま
では試料に照射する放射線のビーム幅が大きかったた
め、試料中におおよそどのような元素を含んでいるかを
分析する定性分析が求められるだけであったが、放射線
のビーム幅を小さくすることが可能になってきたため、
試料中の１ｍｍ程度の範囲に含まれている元素を分析す
る定量分析が求められるようになった。これに対して、
コンパウンドによる固定およびテープの仮止めのような
方法では、固定が不安定になりやすく位置の再現性が悪
いため、定量分析には対応できなくなった。さらに、複
雑な形状や小型の試料では固定作業そのものがやりづら
いものであった。
【０００４】そこで本発明は、試料の固定が困難であ
る、細いリング形状、薄い板状および球形状などの試料
の蛍光Ｘ線分析において、試料を簡単に設置でき、安定
に固定する蛍光Ｘ線分析用試料支持具と、これを保持す
る試料ホルダを提供することを目的とする。
る、細いリング形状、薄い板状および球形状などの試料
の蛍光Ｘ線分析において、試料を簡単に設置でき、安定
に固定する蛍光Ｘ線分析用試料支持具と、これを保持す
る試料ホルダを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の蛍光Ｘ線分析用試料支持具は、圧縮かたさ
０．３Ｋｇ／ｃｍ2 ないし２．６Ｋｇ／ｃｍ2 の樹脂材
料から形成されているとともに、試料を差し込むための
切り込みを有する。
に、本発明の蛍光Ｘ線分析用試料支持具は、圧縮かたさ
０．３Ｋｇ／ｃｍ2 ないし２．６Ｋｇ／ｃｍ2 の樹脂材
料から形成されているとともに、試料を差し込むための
切り込みを有する。
【０００６】本発明の蛍光Ｘ線分析用試料支持具によれ
ば、試料を切り込みに差し込むだけの簡単な操作で試料
を容易に固定でき、取り外しは切り込みから取り外す操
作のみでよい。試料支持具は樹脂材料から形成されてお
り、靭性が大きいため、差し込む操作と取り外す操作の
繰り返しで、何回でも使用することができる。また、試
料支持具は圧縮かたさ２．６Ｋｇ／ｃｍ2 以下の材料か
ら形成され、かた過ぎないため、試料を試料支持具に容
易に差し込むことができ、圧縮かたさ０．３Ｋｇ／ｃｍ
2 以上の材料から形成され、やわらか過ぎないため、位
置が不安定になることなく試料を固定できる。
ば、試料を切り込みに差し込むだけの簡単な操作で試料
を容易に固定でき、取り外しは切り込みから取り外す操
作のみでよい。試料支持具は樹脂材料から形成されてお
り、靭性が大きいため、差し込む操作と取り外す操作の
繰り返しで、何回でも使用することができる。また、試
料支持具は圧縮かたさ２．６Ｋｇ／ｃｍ2 以下の材料か
ら形成され、かた過ぎないため、試料を試料支持具に容
易に差し込むことができ、圧縮かたさ０．３Ｋｇ／ｃｍ
2 以上の材料から形成され、やわらか過ぎないため、位
置が不安定になることなく試料を固定できる。
【０００７】前記樹脂材料は、例えばポリエチレンフォ
ームである。ポリエチレンフォームとは、エチレン単独
重合体、エチレンを主成分とする共重合体、またはそれ
らの混合物から作られた発泡体である。
ームである。ポリエチレンフォームとは、エチレン単独
重合体、エチレンを主成分とする共重合体、またはそれ
らの混合物から作られた発泡体である。
【０００８】本発明の蛍光Ｘ線分析用試料ホルダは、本
発明による蛍光Ｘ線分析用試料支持具を保持する蛍光Ｘ
線分析用試料ホルダであって、前記試料支持具の上面に
裏面が当接するとともに、Ｘ線を通過させて試料に照射
させるＸ線通過孔を有する位置決板と、この位置決板か
ら離間した位置に設けられたベースと、前記位置決板と
前記ベースとの間に設けられたばねと、前記ばねに押さ
れて前記位置決板との間で前記試料支持具を挟んで保持
する試料台とを備えている。
発明による蛍光Ｘ線分析用試料支持具を保持する蛍光Ｘ
線分析用試料ホルダであって、前記試料支持具の上面に
裏面が当接するとともに、Ｘ線を通過させて試料に照射
させるＸ線通過孔を有する位置決板と、この位置決板か
ら離間した位置に設けられたベースと、前記位置決板と
前記ベースとの間に設けられたばねと、前記ばねに押さ
れて前記位置決板との間で前記試料支持具を挟んで保持
する試料台とを備えている。
【０００９】本発明の蛍光Ｘ線分析用試料ホルダによれ
ば、試料ホルダの位置決板と試料台との間に本発明によ
る試料支持具を載置し、ばねで押して保持することがで
きるので、試料支持具が安定して保持される。
ば、試料ホルダの位置決板と試料台との間に本発明によ
る試料支持具を載置し、ばねで押して保持することがで
きるので、試料支持具が安定して保持される。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
したがって説明する。図１ないし図５は、本発明の実施
形態を示す。本発明の要部の説明に先だって、まず、蛍
光Ｘ線分析装置の概略について説明する。
したがって説明する。図１ないし図５は、本発明の実施
形態を示す。本発明の要部の説明に先だって、まず、蛍
光Ｘ線分析装置の概略について説明する。
【００１１】図３において、放射線の一種であるＸ線を
発生するＸ線管１０は、一次Ｘ線Ｂ１を出射して、試料
６の被測定部６ａに一次Ｘ線Ｂ１を照射する。上記試料
６の被測定部６ａに照射された一次Ｘ線Ｂ１は、試料６
の原子を励起して、その元素固有の蛍光Ｘ線Ｂ２を発生
させる。試料６からの蛍光Ｘ線Ｂ２は、視野制限スリッ
ト１１および第１のソーラスリット１２を通過し、分光
結晶１３に入射角θで入射し、ブラッグの式を満足する
所定の波長の蛍光Ｘ線Ｂ２のみが、入射角θと同一の回
折角θで回折される。回折された蛍光Ｘ線Ｂ２は、第２
のソーラスリット１４を通過した後、Ｘ線検出器１５に
入射して検出される。この検出値に基づいて試料６の元
素分析がなされる。
発生するＸ線管１０は、一次Ｘ線Ｂ１を出射して、試料
６の被測定部６ａに一次Ｘ線Ｂ１を照射する。上記試料
６の被測定部６ａに照射された一次Ｘ線Ｂ１は、試料６
の原子を励起して、その元素固有の蛍光Ｘ線Ｂ２を発生
させる。試料６からの蛍光Ｘ線Ｂ２は、視野制限スリッ
ト１１および第１のソーラスリット１２を通過し、分光
結晶１３に入射角θで入射し、ブラッグの式を満足する
所定の波長の蛍光Ｘ線Ｂ２のみが、入射角θと同一の回
折角θで回折される。回折された蛍光Ｘ線Ｂ２は、第２
のソーラスリット１４を通過した後、Ｘ線検出器１５に
入射して検出される。この検出値に基づいて試料６の元
素分析がなされる。
【００１２】上記試料６は細いリング形状、薄い板状お
よび球形状などで、試料支持具６０で固定されており、
この試料支持具６０を試料ホルダ１に装着して蛍光Ｘ線
分析装置における試料室に搬入される。
よび球形状などで、試料支持具６０で固定されており、
この試料支持具６０を試料ホルダ１に装着して蛍光Ｘ線
分析装置における試料室に搬入される。
【００１３】つぎに、本発明の要部である試料支持具６
０について説明する。本発明の実施形態において、試料
支持具６０は、樹脂であるポリエチレンフォーム材料と
して、旭ケミカルス社製のサンペルカＣ−１４００（商
品名）を用いて形成されている。この材料は、圧縮かた
さ０．４０Ｋｇ／ｃｍ2 である。
０について説明する。本発明の実施形態において、試料
支持具６０は、樹脂であるポリエチレンフォーム材料と
して、旭ケミカルス社製のサンペルカＣ−１４００（商
品名）を用いて形成されている。この材料は、圧縮かた
さ０．４０Ｋｇ／ｃｍ2 である。
【００１４】図１（ａ）において、試料支持具６０は、
切り込み６１を有する。切り込み６１は、たとえば試料
支持具６０の上面６２から試料支持具６０の下面６３を
貫通して形成されている。図１（ａ）のｂ−ｂ線断面図
である図１（ｂ）、および図１（ａ）のｃ−ｃ線断面図
である図１（ｃ）に示すように、切り込み６１は試料支
持具６０の上面６２に対してほぼ直交する方向に延びる
狭い空間となるように、カッター等の薄い刃で試料支持
具６０の上面６２または下面６３から切り込んで作成す
る。ただし、切り込み６１は試料支持具６０の下面６３
を貫通しなくてもよい。
切り込み６１を有する。切り込み６１は、たとえば試料
支持具６０の上面６２から試料支持具６０の下面６３を
貫通して形成されている。図１（ａ）のｂ−ｂ線断面図
である図１（ｂ）、および図１（ａ）のｃ−ｃ線断面図
である図１（ｃ）に示すように、切り込み６１は試料支
持具６０の上面６２に対してほぼ直交する方向に延びる
狭い空間となるように、カッター等の薄い刃で試料支持
具６０の上面６２または下面６３から切り込んで作成す
る。ただし、切り込み６１は試料支持具６０の下面６３
を貫通しなくてもよい。
【００１５】試料支持具６０における細いリング形状の
試料の支持方法を説明する。図２（ａ）において、切り
込み６１に細いリング形状の試料６を差し込む。切り込
み６１が試料支持具６０を上下に貫通している場合、試
料６は試料支持具６０の下面６３から切り込み６１に差
し込み、図２（ａ）のｂ−ｂ線断面図である図２（ｂ）
に示すように、試料６の頂部の被測定部６ａのみが試料
支持具６０の上面６２より上に出るように試料６の位置
を調節する。この状態で、図２（ａ）のｃ−ｃ線断面図
である図２（ｃ）に示すように、試料６は試料支持具６
０内に埋設された形で支持される。切り込み６１が試料
支持具６０から内部にまで延びるが、下面６３を貫通し
ていない場合は、試料６は試料支持具６０の上面６２か
ら切り込み６１に差し込み、試料６の被測定部６ａのみ
が試料支持具６０の上面６２より上に出るように試料６
の位置を調節する。
試料の支持方法を説明する。図２（ａ）において、切り
込み６１に細いリング形状の試料６を差し込む。切り込
み６１が試料支持具６０を上下に貫通している場合、試
料６は試料支持具６０の下面６３から切り込み６１に差
し込み、図２（ａ）のｂ−ｂ線断面図である図２（ｂ）
に示すように、試料６の頂部の被測定部６ａのみが試料
支持具６０の上面６２より上に出るように試料６の位置
を調節する。この状態で、図２（ａ）のｃ−ｃ線断面図
である図２（ｃ）に示すように、試料６は試料支持具６
０内に埋設された形で支持される。切り込み６１が試料
支持具６０から内部にまで延びるが、下面６３を貫通し
ていない場合は、試料６は試料支持具６０の上面６２か
ら切り込み６１に差し込み、試料６の被測定部６ａのみ
が試料支持具６０の上面６２より上に出るように試料６
の位置を調節する。
【００１６】試料支持具６０は圧縮かたさが０．４０Ｋ
ｇ／ｃｍ2 であり、かた過ぎないため、容易に試料６を
差し込むことができる。また、やわらか過ぎないため、
試料６の位置の調節後は、試料６が試料支持具６０に固
定されて、ずれることはない。試料支持具６０は、圧縮
かたさが０．３Ｋｇ／ｃｍ2 ないし２．６Ｋｇ／ｃｍ 2
の範囲のものを使用できる。圧縮かたさが２．６Ｋｇ／
ｃｍ2 を越えると、かたすぎて試料６の差し込み困難で
あり、０．３Ｋｇ／ｃｍ2 未満であると、試料６を安定
して保持できない。圧縮かたさは、好ましくは０．３Ｋ
ｇ／ｃｍ2 ないし１．６Ｋｇ／ｃｍ2 であり、さらに好
ましくは０．３Ｋｇ／ｃｍ2 ないし０．６Ｋｇ／ｃｍ2
である。なお、上記の圧縮かたさは、試験方法ＪＩＳ
Ｋ−６７６７による。
ｇ／ｃｍ2 であり、かた過ぎないため、容易に試料６を
差し込むことができる。また、やわらか過ぎないため、
試料６の位置の調節後は、試料６が試料支持具６０に固
定されて、ずれることはない。試料支持具６０は、圧縮
かたさが０．３Ｋｇ／ｃｍ2 ないし２．６Ｋｇ／ｃｍ 2
の範囲のものを使用できる。圧縮かたさが２．６Ｋｇ／
ｃｍ2 を越えると、かたすぎて試料６の差し込み困難で
あり、０．３Ｋｇ／ｃｍ2 未満であると、試料６を安定
して保持できない。圧縮かたさは、好ましくは０．３Ｋ
ｇ／ｃｍ2 ないし１．６Ｋｇ／ｃｍ2 であり、さらに好
ましくは０．３Ｋｇ／ｃｍ2 ないし０．６Ｋｇ／ｃｍ2
である。なお、上記の圧縮かたさは、試験方法ＪＩＳ
Ｋ−６７６７による。
【００１７】試料６が薄い板状である場合も同様であ
り、図２（ｄ）に示すように、切り込み６１に薄い板状
の試料６を差し込む。図２（ｄ）のｅ−ｅ線に沿った断
面図である図２（ｅ）に示すように、差し込んだ試料６
の上部のみを切り込み６１から露出させる。試料６が真
珠のような球状である場合も同様に支持される。
り、図２（ｄ）に示すように、切り込み６１に薄い板状
の試料６を差し込む。図２（ｄ）のｅ−ｅ線に沿った断
面図である図２（ｅ）に示すように、差し込んだ試料６
の上部のみを切り込み６１から露出させる。試料６が真
珠のような球状である場合も同様に支持される。
【００１８】試料支持具６０から試料６を外す方法は、
試料６を切り込み６１から取り外すのみでよい。試料支
持具は樹脂であるポリエチレンフォーム材料から形成さ
れており、靭性が大きいため、差し込む操作と取り外す
操作の繰り返しで、何回でも使用することができる。
試料６を切り込み６１から取り外すのみでよい。試料支
持具は樹脂であるポリエチレンフォーム材料から形成さ
れており、靭性が大きいため、差し込む操作と取り外す
操作の繰り返しで、何回でも使用することができる。
【００１９】上記試料支持具６０は、図４に示す試料ホ
ルダ１に取り付けられる。試料ホルダ１は、筒状のケー
ス本体８と、このケース本体８に螺合するキャップ本体
７と、このキャップ本体７に取り付けられた位置決板２
と、この位置決板２から離間した位置に設けられたベー
ス３３と、これら位置決板２とベース３３との間に配置
された試料台４を有している。試料台４は、下方から円
錐ばね５により押されて、上記位置決板２との間で試料
支持具６０を挟んで保持する。位置決板２は、試料支持
具の上面６２に裏面２１が当接しているとともに、一次
Ｘ線Ｂ１を通過させるＸ線通過孔２２を有しており、試
料の被測定部６ａを露出させるものである。位置決板２
が固定されているキャップ本体７は、ケース本体８にね
じ９により螺合して固定されている。
ルダ１に取り付けられる。試料ホルダ１は、筒状のケー
ス本体８と、このケース本体８に螺合するキャップ本体
７と、このキャップ本体７に取り付けられた位置決板２
と、この位置決板２から離間した位置に設けられたベー
ス３３と、これら位置決板２とベース３３との間に配置
された試料台４を有している。試料台４は、下方から円
錐ばね５により押されて、上記位置決板２との間で試料
支持具６０を挟んで保持する。位置決板２は、試料支持
具の上面６２に裏面２１が当接しているとともに、一次
Ｘ線Ｂ１を通過させるＸ線通過孔２２を有しており、試
料の被測定部６ａを露出させるものである。位置決板２
が固定されているキャップ本体７は、ケース本体８にね
じ９により螺合して固定されている。
【００２０】上記ケース本体８の下部には、Ｃリング３
１が固定されている。Ｃリング３１の上方には、周方向
に回転するベアリング３２を介して、前記ベース３３が
前記ばね５のばね力に抗して支持されている。
１が固定されている。Ｃリング３１の上方には、周方向
に回転するベアリング３２を介して、前記ベース３３が
前記ばね５のばね力に抗して支持されている。
【００２１】図５に示すように、位置決板２は、Ｘ線通
過孔２２が形成された環状の中央板２３と、外方に向っ
て延びる複数の固定板２４とで構成されている。上記固
定板２４は、ビス２５を介して、位置決板２をキャップ
本体７の上面の周囲で固定している。固定板２４と固定
板２４の間には、試料支持具６０の外周部を露出させる
切欠部２６が形成されている。上記固定板２４の先端部
２４ａは、キャップ本体７の外周よりも若干内方へ退避
しており、図４に二点鎖線で示す分析装置の環状の位置
決め部１６に嵌合する。
過孔２２が形成された環状の中央板２３と、外方に向っ
て延びる複数の固定板２４とで構成されている。上記固
定板２４は、ビス２５を介して、位置決板２をキャップ
本体７の上面の周囲で固定している。固定板２４と固定
板２４の間には、試料支持具６０の外周部を露出させる
切欠部２６が形成されている。上記固定板２４の先端部
２４ａは、キャップ本体７の外周よりも若干内方へ退避
しており、図４に二点鎖線で示す分析装置の環状の位置
決め部１６に嵌合する。
【００２２】試料支持具６０を試料ホルダ１に装着する
には、まず、キャップ本体７をケース本体８から取り外
す。ついで、試料支持具６０を試料被測定部６ａがＸ線
通過孔２２に対応するように、試料台４の上の適当な位
置に置く。つづいて、キャップ本体７をケース本体８に
ねじ込んで固定し、ばね力により試料支持具６０を位置
決板２と試料台４との間で挟む。その後、図５の切欠部
２６から指Ｆで試料支持具６０を若干移動させ、試料支
持具６０の位置を再度調節する。このように、この試料
ホルダ１は、試料６の被測定部６ａを正確かつ容易に位
置決めすることができる。
には、まず、キャップ本体７をケース本体８から取り外
す。ついで、試料支持具６０を試料被測定部６ａがＸ線
通過孔２２に対応するように、試料台４の上の適当な位
置に置く。つづいて、キャップ本体７をケース本体８に
ねじ込んで固定し、ばね力により試料支持具６０を位置
決板２と試料台４との間で挟む。その後、図５の切欠部
２６から指Ｆで試料支持具６０を若干移動させ、試料支
持具６０の位置を再度調節する。このように、この試料
ホルダ１は、試料６の被測定部６ａを正確かつ容易に位
置決めすることができる。
【００２３】次に、試料６が３連リングの場合に、本発
明の試料支持具６０および試料ホルダ１を用いた蛍光Ｘ
線分析の結果を示す。図６（ａ）に示すように、３連リ
ングの試料６は白色のリング６０１，黄色のリング６０
２およびピンク色のリング６０３から成り、それぞれの
リングの幅は２〜３ｍｍである。それぞれのリングは分
離され得ないが、接合されてはいない。試料６の測定さ
れる箇所は、白色のリング６０１の被測定部６１１、黄
色のリング６０２の被測定部６１２、およびピンク色の
リング６０３の被測定部６１３である。
明の試料支持具６０および試料ホルダ１を用いた蛍光Ｘ
線分析の結果を示す。図６（ａ）に示すように、３連リ
ングの試料６は白色のリング６０１，黄色のリング６０
２およびピンク色のリング６０３から成り、それぞれの
リングの幅は２〜３ｍｍである。それぞれのリングは分
離され得ないが、接合されてはいない。試料６の測定さ
れる箇所は、白色のリング６０１の被測定部６１１、黄
色のリング６０２の被測定部６１２、およびピンク色の
リング６０３の被測定部６１３である。
【００２４】図６（ｂ）に示すように、試料支持具６０
の切り込み６１に試料６を差し込み、リング６０１の被
測定部６１１のみが試料支持具６０の上面６２より上に
出るように調節する。リング６０２およびリング６０３
は上面６２より下に位置する。試料支持具６０で３連リ
ングの試料６を支持した後に、試料支持具６０を試料ホ
ルダ１（図５）に装着する。試料ホルダ１上で被測定部
６１１を位置決めし、直径１ｍｍのビーム幅を持つ一次
Ｘ線Ｂ１を被測定部６１１に照射し、蛍光Ｘ線Ｂ２（図
３）を検出する。次に、リング６０２の被測定部６１２
のみが試料支持具６０の上面６２より上に出るように調
節し、同様の方法で蛍光Ｘ線Ｂ２を検出する。さらに、
リング６０３の被測定部６１３のみが試料支持具６０の
上面６２より上に出るように調節し、同様の方法で蛍光
Ｘ線Ｂ２を検出する。
の切り込み６１に試料６を差し込み、リング６０１の被
測定部６１１のみが試料支持具６０の上面６２より上に
出るように調節する。リング６０２およびリング６０３
は上面６２より下に位置する。試料支持具６０で３連リ
ングの試料６を支持した後に、試料支持具６０を試料ホ
ルダ１（図５）に装着する。試料ホルダ１上で被測定部
６１１を位置決めし、直径１ｍｍのビーム幅を持つ一次
Ｘ線Ｂ１を被測定部６１１に照射し、蛍光Ｘ線Ｂ２（図
３）を検出する。次に、リング６０２の被測定部６１２
のみが試料支持具６０の上面６２より上に出るように調
節し、同様の方法で蛍光Ｘ線Ｂ２を検出する。さらに、
リング６０３の被測定部６１３のみが試料支持具６０の
上面６２より上に出るように調節し、同様の方法で蛍光
Ｘ線Ｂ２を検出する。
【００２５】分析元素はＡｕ，Ａｇ，Ｚｎ，Ｃｕおよび
Ｎｉである。被測定部６１１，６１２，６１３から検出
したＡｇ−Ｋα線の相対強度（それぞれ曲線１ａ，２
ａ，３ａ）を図７（ａ）に、被測定部６１１，６１２，
６１３から検出したＡｕ−Ｌα線の相対強度（それぞれ
曲線１ｂ，２ｂ，３ｂ）を図７（ｂ）に、測定箇所６１
１，６１２，６１３から検出したＺｎ−Ｋα線およびＡ
ｕ−Ｌｌ線の強度（それぞれ曲線１ｃ，２ｃ，３ｃ）を
図７（ｃ）に、被測定部６１１，６１２，６１３から検
出したＣｕ−Ｋα線の強度（それぞれ曲線１ｄ，２ｄ，
３ｄ）を図７（ｄ）に、被測定部６１１，６１２，６１
３から検出したＮｉ−Ｋα線の強度（それぞれ曲線１
ｅ，２ｅ，３ｅ）を図７（ｅ）に示す。この結果をもと
に、３連リングを構成する白色のリング６０１，黄色の
リング６０２およびピンク色のリング６０３における各
元素の含有率を表１に示す。
Ｎｉである。被測定部６１１，６１２，６１３から検出
したＡｇ−Ｋα線の相対強度（それぞれ曲線１ａ，２
ａ，３ａ）を図７（ａ）に、被測定部６１１，６１２，
６１３から検出したＡｕ−Ｌα線の相対強度（それぞれ
曲線１ｂ，２ｂ，３ｂ）を図７（ｂ）に、測定箇所６１
１，６１２，６１３から検出したＺｎ−Ｋα線およびＡ
ｕ−Ｌｌ線の強度（それぞれ曲線１ｃ，２ｃ，３ｃ）を
図７（ｃ）に、被測定部６１１，６１２，６１３から検
出したＣｕ−Ｋα線の強度（それぞれ曲線１ｄ，２ｄ，
３ｄ）を図７（ｄ）に、被測定部６１１，６１２，６１
３から検出したＮｉ−Ｋα線の強度（それぞれ曲線１
ｅ，２ｅ，３ｅ）を図７（ｅ）に示す。この結果をもと
に、３連リングを構成する白色のリング６０１，黄色の
リング６０２およびピンク色のリング６０３における各
元素の含有率を表１に示す。
【表１】 表１から明らかなように、各リングにおける各元素の含
有率の差は明確に出ており、３連リングを構成する各リ
ングの精度のよい定量分析が可能であることがわかる。
有率の差は明確に出ており、３連リングを構成する各リ
ングの精度のよい定量分析が可能であることがわかる。
【００２６】
【発明の効果】本発明の蛍光Ｘ線分析用試料支持具によ
れば、試料を差し込むための切り込みを有しているので
試料の設置が容易であり、樹脂材料から形成されて靭性
が大きいため、差し込む操作と取り外す操作の繰り返し
で、何回でも使用することができる。また、かた過ぎな
いので試料を試料支持具に容易に差し込むことができ、
やわらか過ぎないので試料の位置が不安定になることな
く確実に固定することができる。
れば、試料を差し込むための切り込みを有しているので
試料の設置が容易であり、樹脂材料から形成されて靭性
が大きいため、差し込む操作と取り外す操作の繰り返し
で、何回でも使用することができる。また、かた過ぎな
いので試料を試料支持具に容易に差し込むことができ、
やわらか過ぎないので試料の位置が不安定になることな
く確実に固定することができる。
【００２７】本発明の蛍光Ｘ線分析用試料ホルダによれ
ば、試料ホルダの位置決板と試料台との間に本発明によ
る試料支持具を載置し、ばねで押して保持することがで
きるので、試料支持具が安定して保持される。これによ
り、細いリング形状、薄い板状および球形状などの試料
を精度よく定量分析できるようになった。
ば、試料ホルダの位置決板と試料台との間に本発明によ
る試料支持具を載置し、ばねで押して保持することがで
きるので、試料支持具が安定して保持される。これによ
り、細いリング形状、薄い板状および球形状などの試料
を精度よく定量分析できるようになった。
【００２８】
【図１】（ａ）は本発明の実施形態にかかる試料支持具
の斜視図、（ｂ）は（ａ）のｂ−ｂ線断面図、（ｃ）は
（ａ）のｃ−ｃ線断面図である。
の斜視図、（ｂ）は（ａ）のｂ−ｂ線断面図、（ｃ）は
（ａ）のｃ−ｃ線断面図である。
【図２】（ａ），（ｄ）は本発明の実施形態にかかる試
料支持具、および試料の一例の斜視図、（ｂ）は（ａ）
のｂ−ｂ線断面図、（ｃ）は（ａ）のｃ−ｃ線断面図、
（ｅ）は（ｄ）のｅ−ｅ線断面図である。
料支持具、および試料の一例の斜視図、（ｂ）は（ａ）
のｂ−ｂ線断面図、（ｃ）は（ａ）のｃ−ｃ線断面図、
（ｅ）は（ｄ）のｅ−ｅ線断面図である。
【図３】一般的な蛍光Ｘ線分析装置の概略構成図であ
る。
る。
【図４】本発明の実施形態にかかる試料ホルダの断面図
である。
である。
【図５】同斜視図である。
【図６】（ａ）は試料の一例の斜視図であり、（ｂ）は
本発明の実施形態にかかる試料支持具および（ａ）の試
料の斜視図である。
本発明の実施形態にかかる試料支持具および（ａ）の試
料の斜視図である。
【図７】（ａ）〜（ｅ）は図８の試料支持具および試料
を用いた蛍光Ｘ線分析による相対Ｘ線強度を示す図であ
る。
を用いた蛍光Ｘ線分析による相対Ｘ線強度を示す図であ
る。
【図８】従来の試料の固定方法を示す概略図である。
１…試料ホルダ、２…位置決板、４…試料台、５…ば
ね、６…試料、７…キャップ本体（試料ホルダ本体）、
２１…裏面、２２…Ｘ線通過孔、３３…ベース、６０…
試料支持具、６１…切り込み、６２…上面、Ｂ１…一次
Ｘ線（放射線）、Ｂ２…蛍光Ｘ線。
ね、６…試料、７…キャップ本体（試料ホルダ本体）、
２１…裏面、２２…Ｘ線通過孔、３３…ベース、６０…
試料支持具、６１…切り込み、６２…上面、Ｂ１…一次
Ｘ線（放射線）、Ｂ２…蛍光Ｘ線。
Claims (3)
- 【請求項１】 試料に放射線を照射して試料から発生し
た蛍光Ｘ線に基づいて試料の分析を行う蛍光Ｘ線分析に
使用される試料支持具において、 圧縮かたさ０．３Ｋｇ／ｃｍ2 ないし２．６Ｋｇ／ｃｍ
2 の樹脂材料から形成されているとともに、試料を差し
込むための切り込みを有することを特徴とする蛍光Ｘ線
分析用試料支持具。 - 【請求項２】 請求項１において、前記樹脂材料はポリ
エチレンフォームである蛍光Ｘ線分析用試料支持具。 - 【請求項３】 請求項１または２に記載の蛍光Ｘ線分析
用試料支持具を保持する蛍光Ｘ線分析用試料ホルダであ
って、 前記試料支持具の上面に裏面が当接するとともに、Ｘ線
を通過させて試料に照射させるＸ線通過孔を有する位置
決板と、この位置決板から離間した位置に設けられたベ
ースと、前記位置決板と前記ベースとの間に設けられた
ばねと、前記ばねに押されて前記位置決板との間で前記
試料支持具を挟んで保持する試料台とを備えた蛍光Ｘ線
分析用試料ホルダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9181951A JPH1123495A (ja) | 1997-07-08 | 1997-07-08 | 蛍光ｘ線分析用試料支持具およびこれを保持する試料ホルダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9181951A JPH1123495A (ja) | 1997-07-08 | 1997-07-08 | 蛍光ｘ線分析用試料支持具およびこれを保持する試料ホルダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1123495A true JPH1123495A (ja) | 1999-01-29 |
Family
ID=16109734
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9181951A Pending JPH1123495A (ja) | 1997-07-08 | 1997-07-08 | 蛍光ｘ線分析用試料支持具およびこれを保持する試料ホルダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1123495A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008058300A (ja) * | 2006-07-05 | 2008-03-13 | Rigaku Industrial Co | 試料ホルダおよびそれを備えた斜入射蛍光ｘ線分析装置 |
| KR100882143B1 (ko) * | 1999-04-12 | 2009-02-06 | 소니 가부시끼 가이샤 | 정보 처리 장치 및 방법, 및 제공 매체 |
| JP2009300291A (ja) * | 2008-06-16 | 2009-12-24 | Nikon Corp | 試料ホルダ及びこれに用いられる樹脂フィルム |
| CN106908377A (zh) * | 2017-04-18 | 2017-06-30 | 沈阳航空航天大学 | 一种预腐蚀试验用试样支架 |
| WO2018100873A1 (ja) * | 2016-12-01 | 2018-06-07 | 株式会社リガク | 蛍光ｘ線分析装置 |
-
1997
- 1997-07-08 JP JP9181951A patent/JPH1123495A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100882143B1 (ko) * | 1999-04-12 | 2009-02-06 | 소니 가부시끼 가이샤 | 정보 처리 장치 및 방법, 및 제공 매체 |
| JP2008058300A (ja) * | 2006-07-05 | 2008-03-13 | Rigaku Industrial Co | 試料ホルダおよびそれを備えた斜入射蛍光ｘ線分析装置 |
| JP2009300291A (ja) * | 2008-06-16 | 2009-12-24 | Nikon Corp | 試料ホルダ及びこれに用いられる樹脂フィルム |
| WO2018100873A1 (ja) * | 2016-12-01 | 2018-06-07 | 株式会社リガク | 蛍光ｘ線分析装置 |
| CN106908377A (zh) * | 2017-04-18 | 2017-06-30 | 沈阳航空航天大学 | 一种预腐蚀试验用试样支架 |
| CN106908377B (zh) * | 2017-04-18 | 2023-09-26 | 沈阳航空航天大学 | 一种预腐蚀试验用试样支架 |
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