JPH06345222A - ウエハカセット管理装置及び管理方法 - Google Patents
ウエハカセット管理装置及び管理方法Info
- Publication number
- JPH06345222A JPH06345222A JP13756893A JP13756893A JPH06345222A JP H06345222 A JPH06345222 A JP H06345222A JP 13756893 A JP13756893 A JP 13756893A JP 13756893 A JP13756893 A JP 13756893A JP H06345222 A JPH06345222 A JP H06345222A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- wafer cassette
- cassettes
- cassette
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- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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Abstract
(57)【要約】
【目的】自動ストッカ以外にウエハカセットが収容され
ている場合であっても、直ちにウエハカセットの位置が
わかるウエハカセット管理装置及び管理方法を提供す
る。 【構成】ウエハカセット管理装置１０に、自動ストッカ
１２と、多数のウエハカセットを収容でき作業者自身が
必要なウエハカセットを出し入れする収容棚１４を備え
た。多数のウエハカセット２２にそれぞれ番号を付し
て、それぞれに無線式通信装置を内蔵したタグ２４を取
り付けた。各タグ２４は、ウエハカセットに付された番
号に対応する操作盤１８のボタンを押すことにより、ウ
エハカセットに付された番号に対応して互いに異なる種
類のチャイムを発生する。
ている場合であっても、直ちにウエハカセットの位置が
わかるウエハカセット管理装置及び管理方法を提供す
る。 【構成】ウエハカセット管理装置１０に、自動ストッカ
１２と、多数のウエハカセットを収容でき作業者自身が
必要なウエハカセットを出し入れする収容棚１４を備え
た。多数のウエハカセット２２にそれぞれ番号を付し
て、それぞれに無線式通信装置を内蔵したタグ２４を取
り付けた。各タグ２４は、ウエハカセットに付された番
号に対応する操作盤１８のボタンを押すことにより、ウ
エハカセットに付された番号に対応して互いに異なる種
類のチャイムを発生する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ウエハカセットを管理
するためのウエハカセット管理装置及び管理方法に関す
る。
するためのウエハカセット管理装置及び管理方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置は、ウエハに約３００〜５０
０工程の処理を施すことにより製造される。一つの工程
の処理が終了したウエハには、引き続き次の工程の処理
が施される場合と、ウエハカセットに納められウエハカ
セットごと暫くの間保管される場合がある。このウエハ
カセットを保管し管理するものとして自動ストッカが知
られている。自動ストッカは多数のウエハカセットを収
容でき、自動ストッカ中央管理装置を操作することによ
り、必要なウエハカセットを自動で自在に出し入れでき
るように構成されており、ウエハカセットの管理装置と
しては優れたものである。しかし、この自動ストッカ
は、装置が大掛かりであるためコストが高く広い場所を
占有する。このため、半導体製造工場には、自動ストッ
カの他に、多数のウエハカセットを収容する収容棚が備
えられている。この収容棚には、製造途中のウエハが納
められたウエハカセットの他、各種の製造装置を保守す
るためのウエハカセットも収容されており、これらウエ
ハカセットの出し入れは作業者自身が行っている。収容
棚に収容されたウエハカセットを管理するために、各ウ
エハカセットには紙のタグが貼り付けられている。この
紙のタグにはウエハの履歴に関する情報が書き込まれて
おり、作業者はこの紙のタグを目印にウエハカセットの
出し入れを行っている。
０工程の処理を施すことにより製造される。一つの工程
の処理が終了したウエハには、引き続き次の工程の処理
が施される場合と、ウエハカセットに納められウエハカ
セットごと暫くの間保管される場合がある。このウエハ
カセットを保管し管理するものとして自動ストッカが知
られている。自動ストッカは多数のウエハカセットを収
容でき、自動ストッカ中央管理装置を操作することによ
り、必要なウエハカセットを自動で自在に出し入れでき
るように構成されており、ウエハカセットの管理装置と
しては優れたものである。しかし、この自動ストッカ
は、装置が大掛かりであるためコストが高く広い場所を
占有する。このため、半導体製造工場には、自動ストッ
カの他に、多数のウエハカセットを収容する収容棚が備
えられている。この収容棚には、製造途中のウエハが納
められたウエハカセットの他、各種の製造装置を保守す
るためのウエハカセットも収容されており、これらウエ
ハカセットの出し入れは作業者自身が行っている。収容
棚に収容されたウエハカセットを管理するために、各ウ
エハカセットには紙のタグが貼り付けられている。この
紙のタグにはウエハの履歴に関する情報が書き込まれて
おり、作業者はこの紙のタグを目印にウエハカセットの
出し入れを行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、収容棚内
で、ウエハカセットの収容位置が作業者により変更され
たり、作業者がウエハカセットを収容した位置を忘れた
りすると、ウエハカセットを捜すために非常に時間がか
かり無駄な時間を費やすという問題がある。本発明は、
上記事情に鑑み、自動ストッカ以外にウエハカセットが
収容されている場合であっても、直ちにウエハカセット
の位置がわかるウエハカセット管理装置及び管理方法を
提供することを目的とする。
で、ウエハカセットの収容位置が作業者により変更され
たり、作業者がウエハカセットを収容した位置を忘れた
りすると、ウエハカセットを捜すために非常に時間がか
かり無駄な時間を費やすという問題がある。本発明は、
上記事情に鑑み、自動ストッカ以外にウエハカセットが
収容されている場合であっても、直ちにウエハカセット
の位置がわかるウエハカセット管理装置及び管理方法を
提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明のウエハカセット管理装置は、多数のウエハカ
セットを収容すると共に収容したウエハカセットのうち
の所望のウエハカセットを取り出す自動ストッカを備
え、ウエハカセットを管理するウエハカセット管理装置
において、 （１）前記自動ストッカとは異なる場所に配置された、
多数のウエハカセットを収容する収容棚 （２）それぞれのウエハカセットに取り付けられた、該
ウエハカセットの位置を知らせるタグ （３）タグを作動させる作動手段を備えたことを特徴と
するものである。
の本発明のウエハカセット管理装置は、多数のウエハカ
セットを収容すると共に収容したウエハカセットのうち
の所望のウエハカセットを取り出す自動ストッカを備
え、ウエハカセットを管理するウエハカセット管理装置
において、 （１）前記自動ストッカとは異なる場所に配置された、
多数のウエハカセットを収容する収容棚 （２）それぞれのウエハカセットに取り付けられた、該
ウエハカセットの位置を知らせるタグ （３）タグを作動させる作動手段を備えたことを特徴と
するものである。
【０００５】また、上記目的を達成するための本発明の
ウエハカセット管理方法は、 （４）多数のウエハカセットそれぞれに、多数の該ウエ
ハカセットそれぞれの位置を知らせるタグを取り付け、 （５）多数のウエハカセットを収容する収容棚に収容さ
れたウエハカセットのタグを作動させることにより各ウ
エハカセットの位置を認識させることを特徴とするもの
である。
ウエハカセット管理方法は、 （４）多数のウエハカセットそれぞれに、多数の該ウエ
ハカセットそれぞれの位置を知らせるタグを取り付け、 （５）多数のウエハカセットを収容する収容棚に収容さ
れたウエハカセットのタグを作動させることにより各ウ
エハカセットの位置を認識させることを特徴とするもの
である。
【０００６】ここで、タグとしては、ブザー、チャイ
ム、音声などにより位置を認識させるタイプ、ランプを
点灯させることにより位置を認識させるタイプなどがあ
り、各ウエハカセットに互いに異なるタイプのタグを取
り付けてもよい。
ム、音声などにより位置を認識させるタイプ、ランプを
点灯させることにより位置を認識させるタイプなどがあ
り、各ウエハカセットに互いに異なるタイプのタグを取
り付けてもよい。
【０００７】
【作用】本発明によれば、収容棚に多数のウエハカセッ
トを収容でき、しかも、収容棚に収容されたウエハカセ
ットの位置が変更されたり、ウエハカセットを収容した
位置を忘れたりしても、作動手段を操作することによ
り、タグが作動され、これにより、ウエハカセットの位
置が容易に認識できる。
トを収容でき、しかも、収容棚に収容されたウエハカセ
ットの位置が変更されたり、ウエハカセットを収容した
位置を忘れたりしても、作動手段を操作することによ
り、タグが作動され、これにより、ウエハカセットの位
置が容易に認識できる。
【０００８】ここで、各ウエハカセットに互いに異なる
タイプのタグを取り付けた場合は、同時に複数のウエハ
カセットの位置を認識することができる。
タイプのタグを取り付けた場合は、同時に複数のウエハ
カセットの位置を認識することができる。
【０００９】
【実施例】以下、図１及び図２を参照して本発明のウエ
ハカセット管理装置の一実施例を説明する。図１はウエ
ハカセット管理装置の概略を示す構成図、図２は無線式
通信装置を内蔵したタグが取り付けられたウエハカセッ
トの概略構成を示す斜視図である。
ハカセット管理装置の一実施例を説明する。図１はウエ
ハカセット管理装置の概略を示す構成図、図２は無線式
通信装置を内蔵したタグが取り付けられたウエハカセッ
トの概略構成を示す斜視図である。
【００１０】先ず、ウエハカセット管理装置の構成につ
いて説明する。ウエハカセット管理装置１０には、多数
のウエハカセットを収容でき移載機（図示せず）により
ウエハカセットを自動で自在に出し入れできる自動スト
ッカ１２と、多数のウエハカセットを収容でき作業者自
身がウエハカセットを出し入れする収容棚１４が備えら
れている。自動ストッカ１２はストッカ制御装置１６に
より制御され、このストッカ制御装置１６は、操作盤１
８を操作することにより中央集中制御装置２０を介して
制御される。この自動ストッカ１２を操作する構成は周
知のものである。多数のウエハカセット２２にはそれぞ
れ番号が付され、それぞれ無線式通信装置を内蔵したタ
グ２４が取り付けられている。各タグ２４は、付された
番号に対応する操作盤１８のボタン（図示せず）を押す
ことにより無線機２６を介し、付された番号に対応して
互いに異なる種類のチャイムを発生するように構成され
ている。また、表示装置２８には、ウエハカセット２２
に収められているウエハ３０の履歴に関する情報などが
表示されるように構成されている。
いて説明する。ウエハカセット管理装置１０には、多数
のウエハカセットを収容でき移載機（図示せず）により
ウエハカセットを自動で自在に出し入れできる自動スト
ッカ１２と、多数のウエハカセットを収容でき作業者自
身がウエハカセットを出し入れする収容棚１４が備えら
れている。自動ストッカ１２はストッカ制御装置１６に
より制御され、このストッカ制御装置１６は、操作盤１
８を操作することにより中央集中制御装置２０を介して
制御される。この自動ストッカ１２を操作する構成は周
知のものである。多数のウエハカセット２２にはそれぞ
れ番号が付され、それぞれ無線式通信装置を内蔵したタ
グ２４が取り付けられている。各タグ２４は、付された
番号に対応する操作盤１８のボタン（図示せず）を押す
ことにより無線機２６を介し、付された番号に対応して
互いに異なる種類のチャイムを発生するように構成され
ている。また、表示装置２８には、ウエハカセット２２
に収められているウエハ３０の履歴に関する情報などが
表示されるように構成されている。
【００１１】次に、ウエハカセット管理装置１０により
ウエハカセットを管理する一例を説明する。自動ストッ
カ１２及び収容棚１４には、製造途中のウエハが納めら
れたウエハカセットや、各種の製造装置を保守するため
のウエハカセットが収容されている。自動ストッカ１２
に収容された多数のウエハカセットのうちの必要なウエ
ハカセットは、操作盤１８を操作することにより直ちに
取り出される。一方、収容棚１４に収容された多数のウ
エハカセットの位置は、ウエハカセットに付された番号
に対応する操作盤１８のボタンを押しこの番号に対応す
るチャイムをタグが発生することにより、収容棚１４の
どこにあるかが直ちにわかる。また、ウエハカセットに
付された番号に対応して互いに異なる種類のチャイムを
タグが発生するため、複数のウエハカセットを同時に見
つけ出すことができる。これにより、作業者がウエハカ
セットが収容された位置を変更したりウエハカセットを
収容した位置を忘れたりしても、ウエハカセットを捜す
ための無駄な時間を節約できる。また、ウエハカセット
の配置状態によらず直ちにウエハカセットを見つけ出す
ことができるため、ウエハカセットを近接させて配置で
き、従来より多くのウエハカセットを収容できる。従っ
て、保管エリアの節約になり、ウエハカセット管理装置
が配置されたクリーンルームを有効に使用できる。
ウエハカセットを管理する一例を説明する。自動ストッ
カ１２及び収容棚１４には、製造途中のウエハが納めら
れたウエハカセットや、各種の製造装置を保守するため
のウエハカセットが収容されている。自動ストッカ１２
に収容された多数のウエハカセットのうちの必要なウエ
ハカセットは、操作盤１８を操作することにより直ちに
取り出される。一方、収容棚１４に収容された多数のウ
エハカセットの位置は、ウエハカセットに付された番号
に対応する操作盤１８のボタンを押しこの番号に対応す
るチャイムをタグが発生することにより、収容棚１４の
どこにあるかが直ちにわかる。また、ウエハカセットに
付された番号に対応して互いに異なる種類のチャイムを
タグが発生するため、複数のウエハカセットを同時に見
つけ出すことができる。これにより、作業者がウエハカ
セットが収容された位置を変更したりウエハカセットを
収容した位置を忘れたりしても、ウエハカセットを捜す
ための無駄な時間を節約できる。また、ウエハカセット
の配置状態によらず直ちにウエハカセットを見つけ出す
ことができるため、ウエハカセットを近接させて配置で
き、従来より多くのウエハカセットを収容できる。従っ
て、保管エリアの節約になり、ウエハカセット管理装置
が配置されたクリーンルームを有効に使用できる。
【００１２】本実施例では、タグは互いに異なる種類の
チャイムを発生するものとしたが、互いに異なる種類の
ランプを点灯させるものとしてもよく、また、チャイム
を発生するものやランプを点灯するものを混ぜても良
い。もちろん一種類のチャイムまたはランプとしてもよ
い。
チャイムを発生するものとしたが、互いに異なる種類の
ランプを点灯させるものとしてもよく、また、チャイム
を発生するものやランプを点灯するものを混ぜても良
い。もちろん一種類のチャイムまたはランプとしてもよ
い。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、タ
グをウエハカセットに取り付けて直ちにウエハカセット
の位置がわかるようにしたため、ウエハカセットの管理
が容易になる。
グをウエハカセットに取り付けて直ちにウエハカセット
の位置がわかるようにしたため、ウエハカセットの管理
が容易になる。
【図１】ウエハカセット管理装置の概略を示す構成図で
ある。
ある。
【図２】無線式通信装置を内蔵したタグが取り付けられ
たウエハカセットの概略構成を示す斜視図である。
たウエハカセットの概略構成を示す斜視図である。
１０ ウエハカセット管理装置 １２ 自動ストッカ １４ 収容棚 １６ ストッカ制御装置 １８ 操作盤 ２０ 中央集中制御装置 ２２ ウエハカセット ２４ タグ ２６ 無線機 ２８ 表示装置 ３０ ウエハ
Claims (2)
- 【請求項１】 多数のウエハカセットを収容すると共に
収容したウエハカセットのうちの所望のウエハカセット
を取り出す自動ストッカを備え、ウエハカセットを管理
するウエハカセット管理装置において、 前記自動ストッカとは異なる場所に配置された、多数の
ウエハカセットを収容する収容棚と、 それぞれのウエハカセットに取り付けられた、該ウエハ
カセットの位置を知らせるタグと、 該タグを作動させる作動手段とを備えたことを特徴とす
るウエハカセット管理装置。 - 【請求項２】 多数のウエハカセットそれぞれに、多数
の該ウエハカセットそれぞれの位置を知らせるタグを取
り付け、 多数のウエハカセットを収容する収容棚に収容されたウ
エハカセットのタグを作動させることにより各ウエハカ
セットの位置を認識させることを特徴とするウエハカセ
ット管理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13756893A JPH06345222A (ja) | 1993-06-08 | 1993-06-08 | ウエハカセット管理装置及び管理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13756893A JPH06345222A (ja) | 1993-06-08 | 1993-06-08 | ウエハカセット管理装置及び管理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06345222A true JPH06345222A (ja) | 1994-12-20 |
Family
ID=15201763
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13756893A Withdrawn JPH06345222A (ja) | 1993-06-08 | 1993-06-08 | ウエハカセット管理装置及び管理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06345222A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004527899A (ja) * | 2001-01-10 | 2004-09-09 | エンテグリス カイマン リミテッド | 内部環境モニタを含む可搬式コンテナ |
| WO2023142653A1 (zh) * | 2022-01-28 | 2023-08-03 | 弥费科技(上海)股份有限公司 | 分区管理方法、装置、计算机设备和存储介质 |
-
1993
- 1993-06-08 JP JP13756893A patent/JPH06345222A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004527899A (ja) * | 2001-01-10 | 2004-09-09 | エンテグリス カイマン リミテッド | 内部環境モニタを含む可搬式コンテナ |
| WO2023142653A1 (zh) * | 2022-01-28 | 2023-08-03 | 弥费科技(上海)股份有限公司 | 分区管理方法、装置、计算机设备和存储介质 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000905 |