JPH063446U - 揺動選別籾摺機の操作装置 - Google Patents

揺動選別籾摺機の操作装置

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JPH063446U
JPH063446U JP3762292U JP3762292U JPH063446U JP H063446 U JPH063446 U JP H063446U JP 3762292 U JP3762292 U JP 3762292U JP 3762292 U JP3762292 U JP 3762292U JP H063446 U JPH063446 U JP H063446U
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valve
shaft
supply valve
lever
plate
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JP3762292U
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利彦 佐竹
覺 佐竹
秀春 丸山
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Satake Corp
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Satake Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 運転開始時には必ず供給バルブが半開で、か
つ、切換バルブが機内循環側となるよう、一つの操作レ
バーで操作する。 【構成】 供給バルブ軸の近傍にレバー軸を設け、レバ
ー軸の押圧片とバルブ軸の係合板との係合により供給バ
ルブの全閉・半開・全開を行い、更に、レバー軸と切換
バルブ及び揺動機構とを連動・連結する。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
本考案は、揺動式の籾(もみ)玄米選別装置を備えてなる揺動選別籾摺(すり )機に係り、特に、揺動選別籾摺機の操作装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種の揺動選別籾摺機においては、前記籾・玄米の選別装置に対して 、常に一定流量の籾・玄米の混合米を供給することが必要である。そのため、前 記選別装置の供給部に流量調整用のタンクを設け、運転開始当初、前記タンクか ら供給される混合米が選別装置選別板全体に広がって選別状態が安定するまでは 、籾玄米選別装置の仕上玄米を排出することなく機内へ循環させるように「循環 排出切換バルブ」を循環側にしておき、仕上玄米中に籾の混入のないことを確認 したうえでこのバルブを排出側に切換えている。また、前記タンクを吊タンクと なし、このタンクが混合米の貯留量に応じて上下動する作動に連動して、脱ぷロ ール真上に設けた供給バルブの開度を変更するよう形成し、前記タンク内にほぼ 一定量の混合米を貯留するようにしてあるが、運転開始当初は吊タンクが空であ るため、前記供給バルブがほぼ全開状態になっているので、安全運転の点からこ の供給バルブを半開(定常運転時に近い開度)状態にして原料を投入し、脱ぷ率 や選別板の調整を行う必要がある。
【0003】 そこで、これらの煩わしい操作をできるだけ解消するため、前記選別板の揺動 駆動部に設けた可動テンションプーリを断・続させる遠隔操作レバーに、前記供 給バルブを全閉させる手段を設けるとともに、前記循環排出切換バルブを切換作 動させるためのモータに設けたアームと供給バルブ軸に固着した半開用係止片と を前記モータの駆動に連動して係合・離脱させることによって供給バルブの全開 ・半開を行うようにしたものが、実開平2−147236により知られている。
【0004】
【考案が解決しようとする課題】 ところで、実開平2−147236に開示されたものは、操作レバー操作と循 環・排出バルブ切換操作(モータ)との各々独立した2系列による操作であり、 そのため、運転終了時に循環排出バルブが排出のままになっていると、次回運転 開始時に、供給バルブ全開状態でいきなり原料籾を投入することになり(運転開 始時に必ず「循環」状態にするための特別の手段を要する)、主電動機の過負荷 や機内の穀物流路における詰まり事故などが発生しやすく、加えて、脱ぷ率の調 整・確認においても、定常時よりもはるかに多い流量が脱ぷロール間隙(げき) を通過しているので適切な調整・確認はできない。更に、選別状態が安定しない 初期段階において直ちに仕上玄米が排出されるので、この仕上米には多量の籾が 混入することになる。
【0005】 本考案はこれらの問題点にかんがみ、一つの操作手段で操作が行え、しかも、 運転開始時には常に循環排出切換バルブが循環状態で、かつ、供給バルブが半開 状態となる揺動選別籾摺機の操作装置を提供することを技術的課題とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
前記問題点を解決するため本考案の揺動選別籾摺機の操作装置は、一対の脱ぷ ロールと主風選装置とを備えた籾摺部には前記一対の脱ぷロール上方に、バルブ 軸に固着した供給バルブを設ける一方、揺動機構により駆動される揺動選別板を 備えた籾玄米選別部に、前記揺動機構を駆動又は停止させるための可動テンショ ンプーリを設けるとともに、前記揺動選別板の排出口に近接して設けた排出樋内 に、仕上玄米を機内循環又は機外排出させるための切換バルブを設けてなる揺動 選別籾摺機において、 イ.一端をレバーとなしたレバー軸を前記バルブ軸の近傍に設ける。 ロ.前記供給バルブを全閉、半開又は全開位置に切換えるよう、前記バルブ軸に 軸着した係合板に係合する押圧片を前記レバー軸に軸着する。 ハ.更に、供給バルブが全閉時には前記可能テンションプーリを揺動機構停止側 にするとともに前記切換バルブを機内循環側とする。 ニ.前記供給バルブが半開時には前記可動テンションプーリを揺動機構駆動側に するとともに前記切換バルブを機内循環側とする。 ホ.前記供給バルブが全開時には前記可動テンションプーリを揺動機構駆動側に するとともに前記切換バルブを機外排出側とする ヘ.前記ハ〜ホとなるよう、前記可動テンション及び前記切換バルブと前記レバ ー軸とをそれぞれ連結手段により連動・連結する という技術的手段を講じた。
【0007】 そして、上記揺動選別板へ籾・玄米からなる混合米を供給するための吊タンク の下方に形成した二次風選装置の混合米流下路を開閉するバルブを設け、上記供 給バルブが全閉にのみ前記開閉バルブが閉じるよう、該開閉バルブと上記レバー 軸とを連結手段により連動・連結するとよい。
【0008】
【作用】
これにより、レバーを介してレバー軸を回動させると、レバー軸に軸着した押 圧片と、バルブ軸に軸着した係合板とが係合し、供給バルブが全閉〜半開〜全開 位置に回動する。そして、これに伴って、連結手段により、可動テンションプー リと切換バルブとが次のように作動する。すなわち、供給バルブが全閉(運転 停止時)には可動テンションプーリがベルトの緊張を緩めて揺動機構を停止させ るとともに、切換バルブが機内循環側となり、供給バルブが半開時(運転開始 時)には切換バルブは機内循環側のままで可動テンションプーリがベルトを緊張 させて揺動機構を駆動させ、更に、供給バルブを全開にすると(定常運転時) 揺動機構が駆動したまま切換バルブが機外排出側に切換わる。
【0009】 また、前記供給バルブが全閉、つまり、揺動機構が停止時には連結手段によっ て二次風選装置における開閉バルブを閉じることにより、停止した揺動選別板の 供給口部に吊タンク内の混合米が落下してたい積することがない。
【0010】
【実施例】
次に、本考案の好適な実施例を図面に基づいて説明する。図1において符号1 は揺動選別籾摺機の全体を示し、該揺動選別籾摺機1は籾摺部2と籾玄米選別部 3とからなり、以下、順に詳述する。籾摺部2において(図2参照)、張込ホッ パ4の直下に接続して脱ぷケース5を設け、脱ぷケース5の供給部にはバルブ軸 6に固着した供給バルブ7を設けるとともに、供給バルブ7の直下に一対の脱ぷ ロール8,9を内装する。
【0011】 前記脱ぷケース5の下方に振動コンベア10を横設し、振動コンベア10の搬 送終端部を主風選装置11に接続する。すなわち、脱ぷケース5の一側に形成さ れる主風選装置11は、底部に混合米受樋12を、上端部にファン13を各々設 け、この混合米受樋12とファン13の吸引口とを風路14によって連絡し、風 路14にはスクリューコンベア(図示せず)を備えた未熟米受樋15を形成する 。そして、未熟米受樋15の一端は機外へ突設し、混合米受樋12の終端部は混 合米スロワ16に接続する。
【0012】 前記混合米スロワ16の吐出口16aは、機体背面側上部に設けた吊タンク1 7上方に臨ませ、該吊タンク17は一側をピン18により枢支するとともに、他 側をばね19によって吊り下げた状態に支持してある。吊タンク17下方の混合 米の流下路には棚板及び風路により二次風選装置を形成するとともに、該流下路 を開閉する開閉バルブ20を設ける。前記流下路下端の排出口21は、後述する 揺動選別板22…の均分器(図示せず)上に臨ませてある。
【0013】 次に、籾玄米選別部3について説明する。多段状に重設した複数の揺動選別板 22…は、クランク軸等からなる揺動機構(図示せず)によって揺動自在に支持 され、一側に上述の均分器を備えるとともに他側を排出口となし、この排出口に 近接して排出樋23を形成する。排出樋23内には玄米仕切板24と籾仕切板2 5とを仕切位置変更可能に設け、籾仕切板25の下端は籾流路26の上方に、玄 米仕切板24の下端は混合米流路27の上方に各々位置させ、混合米流路27の 下端は前記混合米受樋12に接続する一方、籾流路26の下端は、張込ホッパ4 に連結した返り籾スロワ28に接続する。更に、前記混合米流路27の傾斜上方 には玄米落下口29を開口するとともに、仕上米スロワ32に接続する玄米流路 30を分岐して設け、玄米落下口29には仕上玄米を機内循環させるか又は機外 排出させるための切換バルブ31を設ける。
【0014】 次に、前記供給バルブ7、開閉バルブ20、切換バルブバルブ31並びに揺動 選別板22…の揺動機構の駆動・停止の操作装置について説明する。供給バルブ 7のバルブ軸6の近傍に平行状にレバー軸33を回動可能に横設する(図2及び 図3参照)。すなわち、籾摺機1の前面側寄りと背面側寄りとに設けた一対の固 定板34,35に前記レバー軸33を遊貫し、レバー軸33の前面端にレバー3 6を背面端に回動板37を各々固着する。そして、回動板37の一側に円弧状の 長孔(あな)38を設け、この長孔38と開閉バルブ20のバルブ軸41に固着 したアーム42とは連結棒43によって連結され、この連結棒43又は前記アー ム42は、ばね44によって上方、つまり開閉弁20を開く方向に付勢される。
【0015】 また、前記回動板37には互いに反対方向へ突設する一対の引張用アーム39 ,40をレバー軸33を挟んで設け、この引張用アーム39,40には各々係止 孔39a,40aを設け、この係止孔39a,40aにワイヤ45,46を各々 挿通し、ワイヤ45又はワイヤ46引張時にはワイヤ45,46の係止端部45 a,46aと係止孔39a,40aとが互いに各々係止するよう形成される。そ して、前記ワイヤ45の他端は、揺動機構のクランク軸に軸着したプーリ47と 駆動プーリ(仕上米スロワ軸に軸着)48とに掛け渡されたVベルト49を緊張 する可動テンションプーリ50の取付体51に連結される。これにより、回動板 37が回動してワイヤ45が、ワイヤ45を被覆する被覆管52内に沿って引張 されると、取付体51が軸53を中心にばね54に抗して回動し、Vベルト49 からテンションプーリ50が引き離され、Vベルト49が緩んで揺動選別板22 …の揺動が停止し、回動板37を反対方向に回動すると、ばね54によってテン ションプーリ50がVベルト49に引き付けられ、Vベルト49が緊張して揺動 選別板22…が揺動するよう形成される。
【0016】 他方、ワイヤ46の他端は、切換バルブ31のバルブ軸57の一端に固着した アーム71に連結される。これにより、回動板37がワイヤ46を引張する方向 に回動すると、被覆管55内に沿ってワイヤ46が引張され、アーム71がばね 56に抗してバルブ軸57を中心に回動し、切換バルブ31が循環状態となり、 回動板37を反対方向へ回動させるとワイヤ46が緩み、ばね56によってアー ム71が反転し、切換バルブ31が玄米落下口29を閉じて循環状態に切換わる 形成される。本実施例においては、籾摺部の側方に設けた籾玄米選別部に前記ワ イヤ45,46を延長して設けるので、前記一対の引張用アーム39,40は、 引張しやすいように傾斜状に設けてある。
【0017】 前記回動板37の回動は、レバー軸33に直結したレバー36により行うので あるが、図4に示すように、レバー36が水平状態の停止位置(A)、レバー3 6が約45°の状態の運転開始位置(B)、レバー36が垂直状態の運転位置( C)の3段階に切換わるよう形成される。そのため、本実施例においては、レバ ー軸33に軸着した谷形咬合盤70と、固定板34に固着した山形咬合盤72と 、両者を咬み合わせるためのばね73とからなる位置決めストッパ手段により、 レバー36を介してレバー軸33及び回動板37が約45°ずつ3段階に回動す るよう形成される。
【0018】 また、供給バルブ7のバルブ軸6の前面側端部には係合板58を固着し、この 係合板58と、つまみ60によって固定板34に回動可能に設けた最大流量規制 用回転盤59の規制ピン61とが係合するよう形成するとともに、レバー軸33 に固着した板ばねからなる押圧片62と前記係合板58とが係合するように形成 される。更に、前記バルブ軸6の他端にアーム63を固着し、アーム63に形成 した円弧状の長孔64と吊タンク17とを連結棒65によって連結する。なお、 前記バルブ軸6は、ばね66により供給バルブ7を開く方向に常時付勢される。
【0019】 以下、上記実施例における具体的作動について説明する。図外のシュートパイ プ等により張込ホッパ4内に原料籾を供給する。このとき、レバー36は図4( A)の位置にあり、押圧片62により係合板58がばね66に抗して押圧され、 バルブ軸6が回動して供給バルブ7が全閉状態である。また、引張用アーム39 により一方のワイヤ45のみが引張され、可動テンションプーリ50がVベルト 49から引き離されているので揺動選別板22…は停止状態であるとともに、切 換バルブ31は、アーム71を介してバルブ軸57がばね56に引っ張られて機 内循環状態(図3において二点鎖線参照)である。更に、回動板37の長孔38 によって連結棒43がばね44に抗して下方へ引き寄せられるため、アーム42 及びバルブ軸41を介して開閉バルブ20が混合米の流下路を閉じているので、 吊タンク17内に残留する混合米が落下して、停止している揺動選別板22…の 供給部(均分器)に滞留することがない。
【0020】 次に、レバー36を上方に回動すると、ばね73に抗して谷形咬合盤70が約 45°回動し、山形咬合盤72と再び咬合して係止され(図4−B参照)、いわ ゆる中立状態となる。このとき、押圧片62が上方へ回動するのに伴い、係合板 58及びバルブ軸6がばね66によって回動し、供給バルブ7を半開状態とし、 張込ホッパ4内の原料籾を徐々に脱ぷロール8,9間に供給して籾摺が開始され る。また、回動板37の回動によりワイヤ45が緩められ、可動テンションプー リ50が取付体51を介してばね54に引っ張られてVベルト49を緊張させ、 揺動機構を駆動させることによって揺動選別板22…が揺動するとともに、開閉 バルブ20がばね44によって開くことにより、吊タンク17内の混合米が二次 風選装置によって風選されながら流下し、均分器を経て各揺動選別板22…に供 給されて選別が行われる。しかし、この際、切換バルブ31は機内循環側のまま であり、玄米仕切板24により分離させられた玄米は、混合米流路27に流下し 、混合米と共に混合米受樋12及び混合米スロワ16により吊タンク17に還流 する。吊タンク17に混合米がたまってくると、ばね19に抗して吊タンク17 が下方へ回動し、一定以上たまった時点で連結棒65の下端がアーム63の長孔 64の下端に係止し、ばね66に抗してアーム63を押し下げ、バルブ軸6を介 して供給バルブ7を閉じる方向に漸次回動させ、ついには全閉状態として張込ホ ッパ4からの原料籾の供給を停止させる(この状態にあっても、揺動選別板22 …で選別された籾は返り籾スロワ28により脱ぷロール8,9間に還流される) 。
【0021】 一方、揺動選別板22…においては、吊タンク17から一定流量の混合米が供 給されて選別状態が安定してくるので、玄米仕切板24によって仕切られた玄米 流層中に籾の混入のないことを確認したうえで、レバー36を直立状態に回動し て定常運転に移行する。これにより(図4−C参照)、押圧片62と係合板58 との係合が解除され、ばね66により付勢された係合板58は規制ピン61に係 止されて供給バルブ7が全開状態となるとともに、ワイヤ46が引張用アーム4 0によって引っ張られ、ばね56に抗してアーム71及びバルブ軸57を回動さ せ、切換バルブ31が機外排出側(図中、実線で示す)に切換えられ、仕上玄米 は玄米落下口29から玄米流路30内へ流入し、仕上米スロワ32により機外に 取出されることになる。なお、このとき、開閉バルブ20の連結棒43並びに可 動テンションプーリ50側のワイヤ45は、共に引っ張られた状態になく、揺動 機構は駆動され、開閉バルブ20は開いたままである。
【0022】 こうして定常運転が続行されるが、原料籾の性状の変化等によって脱ぷロール 8,9への繰込量が増加した場合は、吊タンク17の貯留量の増加にともなう下 方への回動により、連結棒65の下端がアーム63の長孔64の下端を押下げ、 供給バルブ7を閉方向に回動させて繰込量を減少させて吊タンク17のオーバー フロー等のトラブルを防止し、ほぼ一定量の混合米が吊タンク17に貯留される ことになる。
【0023】 次に、図5及び図6を参照して、本考案の別の実施例につき説明する(先の実 施例と同じ部材については同じ符号を用いた)。バルブ軸6に近く、かつ平行に 、一対の固定板34,35によって回動可能にレバー軸80を横架し、該レバー 軸80の一端にレバー36を、他端に回動板81を各々軸着する。前記回動板8 1には、上端を開閉バルブ20のアーム42に連結した連結棒43の下端と係合 する長孔38を設けるとともに係合うピン85を固着する。一方、前記レバー軸 80の近傍で、かつ、レバー軸80と平行に従動軸82を横設する。この従動軸 82は一対の固定壁83,83間に横架され、一端に引張板84を軸着する。引 張板84には前記係合ピン85を遊嵌する長孔86を設けるとともに、従動軸8 2を挟んで円弧状の一対の長孔87,88を設ける。そして、一方の長孔87に は切換バルブ31を作動させるためのワイヤ46の係止端部46aを遊嵌し、他 方の長孔88には可動テンションプーリ50を作動させるためのワイヤ45の係 止端部45aを遊嵌する。
【0024】 この実施例の場合は、レバー36によりレバー軸80及び回動板81を回動さ せ、係合ピン85が長孔86に沿って摺(しゅう)動することにより、従動軸8 2を中心に引張板84を回動させる。すなわち、図6において、レバー36を実 線で示す運転開始位置から垂直側へ回動させると(運転位置)、係合ピン85が 長孔86の下縁を押し下げながら摺動することにより引張板84が図中右側へ回 動し、一方のワイヤ46がばね56に抗して引っ張られ、切換バルブ31が機外 排出側に切換わる。逆に、実線で示す位置から水平側へ回動させると(停止位置 )、係合ピン85が長孔86の上縁を押し上ながら摺動することにより引張板8 4が図中左側へ回動し、他方のワイヤ45がばね54に抗して引っ張られ、可動 テンションプーリ50によるVベルト49の緊張が解除されて揺動選別板22… の揺動が停止する。このように、本実施例においては前記係合ピン85が長孔8 6の一端部から他端部に移動することにより位置決めストッパ手段となした。そ の他の部材の作用は先の実施例と同様であるので説明を省略する。なお、係合ピ ン85の摺動を滑らかにしてレバー36の操作性を円滑にするため、長孔86の 中ほどをややふくらませてだ円形に形成するとよい。
【0025】
【考案の効果】
以上述べたように本考案によれば、一つのレバーにより、運転停止時には供給 バルブを全閉とし、切換バルブを機内循環側とし、揺動選別板を停止させ、運転 開始時には供給バルブを半開とし、切換バルブを機内循環側とするとともに揺動 選別板を駆動させ、更に、定常運転時には供給バルブを全開とし、揺動選別板を 駆動させるとともに切換バルブを機外排出側とするので、運転開始時には必ず切 換バルブが機内循環側になるとともに、このとき供給バルブが半開状態であり、 吊タンクが空であっても多量の原料籾が急激に脱ぷロール間に供給されることに よるトラブルが防げ、加えて、揺動選別板の選別状態が安定しない間に玄米が機 外へ排出されることがない。 また、供給バルブが全閉時、つまり揺動選別板の 停止時には、吊タンク下方の混合米流下路を閉じるので、吊タンクに混合米が貯 留されたまま運転を停止しても、吊タンク内の混合米が揺動選別板の供給部にた い積されることがなく、運転再開を円滑に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案の一実施例を示す揺動選別籾摺機の正面
図である。
【図2】同上の要部拡大断面図である。
【図3】同上の要部拡大斜視図である。
【図4】同上の動作説明図である。
【図5】別の実施例を示す要部断面図である。
【図6】同上の正面図である。
【符号の説明】
1 揺動選別籾摺機 2 籾摺部 3 籾玄米選別部 4 張込ホッパ 5 脱ぷケース 6 バルブ軸 7 供給バルブ 8 脱ぷロール 9 脱ぷロール 10 振動コンベア 11 主風選装置 12 混合米受樋 13 ファン 14 風路 15 未熟米受樋 16 混合米スロワ 17 吊タンク 18 ピン 19 ばね 20 開閉バルブ 21 排出口 22 揺動選別板 23 排出樋 24 玄米仕切板 25 籾仕切板 26 籾流路 27 混合米流路 28 返り籾スロワ 29 玄米落下口 30 玄米流路 31 切換バルブ 32 仕切米スロワ 33 レバー軸 34 固定板 35 固定板 36 レバー 37 回動板 38 長孔 39 引張用アーム 40 引張用アーム 41 バルブ軸 42 アーム 43 連結棒 44 ばね 45 ワイヤ 46 ワイヤ 47 プーリ 48 駆動プーリ 49 Vベルト 50 可動テンションプーリ 51 取付体 52 被覆管 53 軸 54 ばね 55 被覆管 56 ばね 57 バルブ軸 58 係合板 59 最大流量規制用回転盤 60 つまみ 61 規制ピン 62 押圧片 63 アーム 64 長孔 65 連結棒 66 ばね 70 谷形咬合盤 71 アーム 72 山形咬合盤 73 ばね 80 レバー軸 81 回動盤 82 従動軸 83 固定壁 84 引張板 85 係合ピン 86 長孔

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一対の脱ぷロールと主風選装置とを備え
    た籾摺部には前記一対の脱ぷロール上方に、バルブ軸に
    固着した供給バルブを設ける一方、揺動機構により駆動
    される揺動選別板を備えた籾玄米選別部に、前記揺動機
    構を駆動又は停止させるための可動テンションプーリを
    設けるとともに、前記揺動選別板の排出口に近接して設
    けた排出樋内に、仕上玄米を機内循環又は機外排出させ
    るための切換バルブを設けてなる揺動選別籾摺機におい
    て、一端をレバーとなしたレバー軸を前記バルブ軸の近
    傍に設け、前記供給バルブを全閉、半開又は全開位置に
    切換えるよう、前記バルブ軸に軸着した係合板に係合す
    る押圧片を前記レバー軸に軸着し、更に、供給バルブが
    全閉時には前記可動テンションプーリを揺動機構停止側
    にするとともに前記切換バルブを機内循環側とし、前記
    供給バルブが半開時には前記可動テンションプーリを揺
    動機構駆動側にするとともに前記切換バルブを機内循環
    側とし、前記供給バルブが全開時には前記可動テンショ
    ンプーリを揺動機構駆動側にするとともに前記切換バル
    ブを機外排出側とするよう、前記可動テンション及び前
    記切換バルブと前記レバー軸とをそれぞれ連結手段によ
    り連動・連結したことを特徴とする揺動選別籾摺機の操
    作装置。
  2. 【請求項2】 上記揺動選別板へ混合米を供給するため
    の吊タンクの下方に形成した二次風選装置の混合米流下
    路を開閉するバルブを設け、上記供給バルブが全閉時に
    のみ前記開閉バルブが閉じるよう、該開閉バルブと上記
    レバー軸とを連結手段により連動・連結してなる請求項
    1の揺動選別籾摺機の操作装置。
JP3762292U 1992-05-09 1992-05-09 揺動選別籾摺機の操作装置 Pending JPH063446U (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS50153096U (ja) * 1974-05-28 1975-12-19
JPS53146696U (ja) * 1977-04-25 1978-11-18
JPS6083167U (ja) * 1983-11-15 1985-06-08 太田興業株式会社 フランス落し
CN102348828A (zh) * 2009-04-28 2012-02-08 株式会社神户制钢所 电弧式蒸发源和使用它的皮膜的制造方法
CN102933738A (zh) * 2010-06-23 2013-02-13 株式会社神户制钢所 成膜速度快的电弧式蒸发源、使用该电弧式蒸发源的皮膜的制造方法及成膜装置

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