JPH0634100A - シリンダキャビネット - Google Patents
シリンダキャビネットInfo
- Publication number
- JPH0634100A JPH0634100A JP18553492A JP18553492A JPH0634100A JP H0634100 A JPH0634100 A JP H0634100A JP 18553492 A JP18553492 A JP 18553492A JP 18553492 A JP18553492 A JP 18553492A JP H0634100 A JPH0634100 A JP H0634100A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cylinder
- storage space
- bombs
- cylinder cabinet
- cabinet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ボンベを格納スペースの適切な位置に容易に
設置することができるシリンダキャビネットを提供す
る。 【構成】 前記格納スペースに設置したボンベを上下動
させる上下動機構、叉は、前記ボンベを少なくとも前記
格納スペースの出入り口方向に水平動させる水平動機構
の少なくともいずれか一方を有する。
設置することができるシリンダキャビネットを提供す
る。 【構成】 前記格納スペースに設置したボンベを上下動
させる上下動機構、叉は、前記ボンベを少なくとも前記
格納スペースの出入り口方向に水平動させる水平動機構
の少なくともいずれか一方を有する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガスのボンベを立設状
態で格納する格納スペースを有し、格納スペースに格納
したボンベ内のガスを半導体製造装置に供給するシリン
ダキャビネットに関する。
態で格納する格納スペースを有し、格納スペースに格納
したボンベ内のガスを半導体製造装置に供給するシリン
ダキャビネットに関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来、
シリンダキャビネットへのボンベの出し入れは、シリン
ダキャビネットの前に運び込んだボンベを作業者が人力
でシリンダキャビネットの目的の格納スペースに立設状
態に設置する。しかしながら、前記ボンベは１００ｋｇ
程度の重量を有しており、しかも、格納スペース側に作
業者が腕を入れることができる適当な作業スペースを確
保することも困難であるから、人力による格納スペース
への設置は作業者にとって重労働となっていた。また、
ボンベは収納するガスの種類等によりサイズが異なるた
め、底面から口金までの高さが規格外のボンベをセット
する際に、ボンベの口金と、シリンダキャビネットの上
部に設置されているシリンダキャビネット側の配管回路
の口金とを接続する必要性に鑑みて、必要以上に長い接
続配管を取り付けることが原因で、シリンダキャビネッ
トには、ボンベの設置時に前記配管が邪魔になるケース
が生じるほか、配管内のガス滞留部が多くなってシリン
ダキャビネット内部の配管が複雑となり、製造やメンテ
ナンス時の作業性に不満があるといった問題が生じてい
た。
シリンダキャビネットへのボンベの出し入れは、シリン
ダキャビネットの前に運び込んだボンベを作業者が人力
でシリンダキャビネットの目的の格納スペースに立設状
態に設置する。しかしながら、前記ボンベは１００ｋｇ
程度の重量を有しており、しかも、格納スペース側に作
業者が腕を入れることができる適当な作業スペースを確
保することも困難であるから、人力による格納スペース
への設置は作業者にとって重労働となっていた。また、
ボンベは収納するガスの種類等によりサイズが異なるた
め、底面から口金までの高さが規格外のボンベをセット
する際に、ボンベの口金と、シリンダキャビネットの上
部に設置されているシリンダキャビネット側の配管回路
の口金とを接続する必要性に鑑みて、必要以上に長い接
続配管を取り付けることが原因で、シリンダキャビネッ
トには、ボンベの設置時に前記配管が邪魔になるケース
が生じるほか、配管内のガス滞留部が多くなってシリン
ダキャビネット内部の配管が複雑となり、製造やメンテ
ナンス時の作業性に不満があるといった問題が生じてい
た。
【０００３】本発明は、前述の課題に鑑みてなされたも
ので、ボンベを格納スペースの適切な位置に容易に設置
することができるシリンダキャビネットを提供すること
を目的とするものである。
ので、ボンベを格納スペースの適切な位置に容易に設置
することができるシリンダキャビネットを提供すること
を目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記請求項１記載のシリ
ンダキャビネットでは、前記格納スペースに設置したボ
ンベを上下動させる上下動機構を有することを特徴とす
るシリンダキャビネットを前記課題の解決手段とした。
前記請求項２記載のシリンダキャビネットでは、前記請
求項１記載のシリンダキャビネットであって、前記格納
スペースに設置したボンベを、少なくとも前記格納スペ
ースの出入り口方向に水平動させる水平動機構を有する
ことを特徴とするシリンダキャビネットを前記課題の解
決手段とした。
ンダキャビネットでは、前記格納スペースに設置したボ
ンベを上下動させる上下動機構を有することを特徴とす
るシリンダキャビネットを前記課題の解決手段とした。
前記請求項２記載のシリンダキャビネットでは、前記請
求項１記載のシリンダキャビネットであって、前記格納
スペースに設置したボンベを、少なくとも前記格納スペ
ースの出入り口方向に水平動させる水平動機構を有する
ことを特徴とするシリンダキャビネットを前記課題の解
決手段とした。
【０００５】
【作用】前記請求項１記載のシリンダキャビネットによ
れば、格納スペースに設置したボンベを上下動機構で上
下動させて、接続に有利な位置に位置させる。前記請求
項２記載のシリンダキャビネットによれば、水平動機構
が、格納スペースの外側で受けたボンベを立設状態で格
納スペースに引き込み、目的の設置位置に位置させる。
れば、格納スペースに設置したボンベを上下動機構で上
下動させて、接続に有利な位置に位置させる。前記請求
項２記載のシリンダキャビネットによれば、水平動機構
が、格納スペースの外側で受けたボンベを立設状態で格
納スペースに引き込み、目的の設置位置に位置させる。
【０００６】
【実施例】以下本発明の一実施例を、図１及び図２を参
照して説明する。図中符号１０は本実施例のシリンダキ
ャビネット、２０は上下動機構、３０はレール（水平動
機構）、４０はボンベ受け台、５０はボンベである。図
１及び図２に示すように、シリンダキャビネット１０
は、中央部が前後方向（図１左右方向）に貫通する格納
スペース１１を有する細長い枠体の格納ケーシング１２
と、前記上下動機構２０及びレール３０とで構成されて
いる。格納ケーシング１２は、立設状態に配設され、前
記ボンベ５０を格納スペース１１に立設状態として格納
する構成となっている。格納ケーシング１２の底部に
は、前記レール３０が前後方向に沿って配設されてい
る。また、格納スペース１１には、上下動機構２０が、
レール３０上を格納スペース１１の前後方向に移動可能
として設置されている。格納ケーシング１２の天井部分
には、半導体製造装置へボンベ５０のガスを供給するた
めの配管回路が内蔵されている配管回路接続部１３が取
り付けられている。
照して説明する。図中符号１０は本実施例のシリンダキ
ャビネット、２０は上下動機構、３０はレール（水平動
機構）、４０はボンベ受け台、５０はボンベである。図
１及び図２に示すように、シリンダキャビネット１０
は、中央部が前後方向（図１左右方向）に貫通する格納
スペース１１を有する細長い枠体の格納ケーシング１２
と、前記上下動機構２０及びレール３０とで構成されて
いる。格納ケーシング１２は、立設状態に配設され、前
記ボンベ５０を格納スペース１１に立設状態として格納
する構成となっている。格納ケーシング１２の底部に
は、前記レール３０が前後方向に沿って配設されてい
る。また、格納スペース１１には、上下動機構２０が、
レール３０上を格納スペース１１の前後方向に移動可能
として設置されている。格納ケーシング１２の天井部分
には、半導体製造装置へボンベ５０のガスを供給するた
めの配管回路が内蔵されている配管回路接続部１３が取
り付けられている。
【０００７】上下動機構２０は、シリンダーキャビネッ
ト１０と略等しい長さに形成された概略盤状のユニット
であって、格納ケーシング１２の長さ方向に沿って回転
自在として配設された回転軸２１と、回転軸２１を回転
する回転モータ２２と、前記レール３０上を走行するた
めの車輪２３とで構成されている。回転軸２１は、上下
動機構の長さよりやや短い長さに形成された長尺な螺子
棒であって、上下動機構２０の内部に２基を上下に離間
させて固定してなる一対のブラケット２４、２４に、上
下両端部を回動自在として支持されている。回転モータ
２２は、筐型のケーシングの内部に内蔵された状態で回
転軸２１の直上部に位置し、主軸が回転軸２１に直結さ
れている。車輪２３は、上下動機構２０の下面に左右
（図２左右）両端に対を成して固定されており、上下動
機構２０全体をレール３０に沿って、シリンダキャビネ
ット１０の前後方向に移動可能としている。レール３０
は、格納ケーシング１２の底部において、格納スペース
１１の前後方向に沿って格納スペース１１の幅方向に２
本を平行として配設されている。レール３０の上部に
は、前記上下動機構２０がレール３０の長さ方向に水平
動自在に設置されている。ボンベ受け台４０は、前記レ
ール３０の上に水平に配置されかつ上面がボンベ５０の
底面が載置可能な平面になっている底板４１と、この底
板４１の一側部に垂設されている支持板４２とで構成さ
れている。支持板４２の上部には、底板４１上にセット
したボンベ５０を支持板４２にクランプするクランプ部
材４３が蝶番を介して水平方向に回動自在に取り付けら
れている。なお、クランプ部材４３は、鎖等の他の部材
であってもよい。支持板４２の外側面には、前記回転軸
２１に嵌入可能に形成された上下動ブラケット４４が突
出状態に固定されている。上下動ブラケット４４は、回
転軸２１と螺合可能に形成されている雌螺子であって、
回転軸２１に嵌入した状態で回転軸２１を回転すること
により、回転軸２１の長さ方向に移動する構成になって
いる。そして、前記ボンベ受け台４０は、前記支持板４
２を格納スペース１１の奥側とし、かつ上下動ブラケッ
ト４４を回転軸２１に嵌入状態とすることにより、下動
機構２０に上下動自在に支持されている。そして、前記
シリンダキャビネット１０は、ボンベ受け台４０を上下
動機構２０に上下動自在に支持され、かつ上下動機構２
０をレール３０に格納スペース１１を前後方向に移動可
能に取り付けた結果、ボンベ受け台４０にセットしたボ
ンベ５０を格納スペース１１内において上下前後に自在
に移動可能に構成されている。
ト１０と略等しい長さに形成された概略盤状のユニット
であって、格納ケーシング１２の長さ方向に沿って回転
自在として配設された回転軸２１と、回転軸２１を回転
する回転モータ２２と、前記レール３０上を走行するた
めの車輪２３とで構成されている。回転軸２１は、上下
動機構の長さよりやや短い長さに形成された長尺な螺子
棒であって、上下動機構２０の内部に２基を上下に離間
させて固定してなる一対のブラケット２４、２４に、上
下両端部を回動自在として支持されている。回転モータ
２２は、筐型のケーシングの内部に内蔵された状態で回
転軸２１の直上部に位置し、主軸が回転軸２１に直結さ
れている。車輪２３は、上下動機構２０の下面に左右
（図２左右）両端に対を成して固定されており、上下動
機構２０全体をレール３０に沿って、シリンダキャビネ
ット１０の前後方向に移動可能としている。レール３０
は、格納ケーシング１２の底部において、格納スペース
１１の前後方向に沿って格納スペース１１の幅方向に２
本を平行として配設されている。レール３０の上部に
は、前記上下動機構２０がレール３０の長さ方向に水平
動自在に設置されている。ボンベ受け台４０は、前記レ
ール３０の上に水平に配置されかつ上面がボンベ５０の
底面が載置可能な平面になっている底板４１と、この底
板４１の一側部に垂設されている支持板４２とで構成さ
れている。支持板４２の上部には、底板４１上にセット
したボンベ５０を支持板４２にクランプするクランプ部
材４３が蝶番を介して水平方向に回動自在に取り付けら
れている。なお、クランプ部材４３は、鎖等の他の部材
であってもよい。支持板４２の外側面には、前記回転軸
２１に嵌入可能に形成された上下動ブラケット４４が突
出状態に固定されている。上下動ブラケット４４は、回
転軸２１と螺合可能に形成されている雌螺子であって、
回転軸２１に嵌入した状態で回転軸２１を回転すること
により、回転軸２１の長さ方向に移動する構成になって
いる。そして、前記ボンベ受け台４０は、前記支持板４
２を格納スペース１１の奥側とし、かつ上下動ブラケッ
ト４４を回転軸２１に嵌入状態とすることにより、下動
機構２０に上下動自在に支持されている。そして、前記
シリンダキャビネット１０は、ボンベ受け台４０を上下
動機構２０に上下動自在に支持され、かつ上下動機構２
０をレール３０に格納スペース１１を前後方向に移動可
能に取り付けた結果、ボンベ受け台４０にセットしたボ
ンベ５０を格納スペース１１内において上下前後に自在
に移動可能に構成されている。
【０００８】以下、本実施例の作用及び効果を説明す
る。前記シリンダキャビネット１０は、回転モータ２２
を回転駆動させれば、回転軸２１の回転に伴って回転軸
２１に螺合している上下動ブラケット４４を介してボン
ベ受け台４０が上下方向へ移動する。また、シリンダキ
ャビネット１０は、上下動機構２０が、レール３０上に
格納スペース１１の前後方向に移動自在であるから、上
下動機構２０を格納スペース１１の前後方向に移動させ
れば、ボンベ受け台４０が上下動機構２０と一体に水平
移動する。
る。前記シリンダキャビネット１０は、回転モータ２２
を回転駆動させれば、回転軸２１の回転に伴って回転軸
２１に螺合している上下動ブラケット４４を介してボン
ベ受け台４０が上下方向へ移動する。また、シリンダキ
ャビネット１０は、上下動機構２０が、レール３０上に
格納スペース１１の前後方向に移動自在であるから、上
下動機構２０を格納スペース１１の前後方向に移動させ
れば、ボンベ受け台４０が上下動機構２０と一体に水平
移動する。
【０００９】したがって、本実施例のシリンダキャビネ
ット１０によれば、ボンベ受け台４０が上下動と水平動
がともに自在で、しかも、上下動は回転モータ２２の駆
動力を利用し、水平動はレール３０と車輪２３の組み合
わせにより、それぞれの方向への移動作業が容易かつ安
定であるから、多様なサイズのボンベ５０を容易かつ正
確に格納スペース１１内の目的の位置にセットすること
ができ、作業者を重労働から開放するとともに、ボンベ
５０と配管回路接続部１３とを接続する配管等を減少し
てボンベ５０の格納スペース１１へのセット作業を簡便
にすることができる。
ット１０によれば、ボンベ受け台４０が上下動と水平動
がともに自在で、しかも、上下動は回転モータ２２の駆
動力を利用し、水平動はレール３０と車輪２３の組み合
わせにより、それぞれの方向への移動作業が容易かつ安
定であるから、多様なサイズのボンベ５０を容易かつ正
確に格納スペース１１内の目的の位置にセットすること
ができ、作業者を重労働から開放するとともに、ボンベ
５０と配管回路接続部１３とを接続する配管等を減少し
てボンベ５０の格納スペース１１へのセット作業を簡便
にすることができる。
【００１０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のシリンダ
キャビネットによれば、前記格納スペースに設置したボ
ンベを上下動させる上下動機構を有すること、ならびに
前記格納スペースに設置したボンベを、少なくとも前記
格納スペースの出入り口方向に水平動させる水平動機構
を有することを特徴とするから、ボンベの格納作業が容
易かつ安定で、しかも多様なサイズのボンベを容易かつ
正確に格納スペース内の目的の位置にセットすることが
でき、作業者を重労働から開放するとともに、ボンベと
シリンダキャビネットに導かれている配管回路の接続部
とを接続する配管等を減少してボンベの格納スペースへ
のセット作業を確実に行うことができるといったすぐれ
た効果を奏する。
キャビネットによれば、前記格納スペースに設置したボ
ンベを上下動させる上下動機構を有すること、ならびに
前記格納スペースに設置したボンベを、少なくとも前記
格納スペースの出入り口方向に水平動させる水平動機構
を有することを特徴とするから、ボンベの格納作業が容
易かつ安定で、しかも多様なサイズのボンベを容易かつ
正確に格納スペース内の目的の位置にセットすることが
でき、作業者を重労働から開放するとともに、ボンベと
シリンダキャビネットに導かれている配管回路の接続部
とを接続する配管等を減少してボンベの格納スペースへ
のセット作業を確実に行うことができるといったすぐれ
た効果を奏する。
【図１】本発明の一実施例を示す側面図である。
【図２】前記正面図である。
１０ シリンダキャビネット １１ 格納スペース ２０ 上下動機構 ３０ レール ５０ ボンベ
Claims (2)
- 【請求項１】 ガスのボンベを立設状態で格納する格納
スペースを有し、格納スペースに格納したボンベ内のガ
スを半導体製造装置に供給するシリンダキャビネットで
あって、前記格納スペースに設置したボンベを上下動さ
せる上下動機構を有することを特徴とするシリンダキャ
ビネット。 - 【請求項２】 前記請求項１記載のシリンダキャビネッ
トであって、前記格納スペースに設置したボンベを、少
なくとも前記格納スペースの出入り口方向に水平動させ
る水平動機構を有することを特徴とするシリンダキャビ
ネット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18553492A JPH0634100A (ja) | 1992-07-13 | 1992-07-13 | シリンダキャビネット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18553492A JPH0634100A (ja) | 1992-07-13 | 1992-07-13 | シリンダキャビネット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0634100A true JPH0634100A (ja) | 1994-02-08 |
Family
ID=16172490
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18553492A Withdrawn JPH0634100A (ja) | 1992-07-13 | 1992-07-13 | シリンダキャビネット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0634100A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016075326A (ja) * | 2014-10-03 | 2016-05-12 | 大陽日酸株式会社 | シリンダーキャビネット |
| JP2016095217A (ja) * | 2014-11-14 | 2016-05-26 | 日立Ｇｅニュークリア・エナジー株式会社 | 水圧制御ユニット |
| CN109298141A (zh) * | 2018-11-16 | 2019-02-01 | 徐州江煤科技有限公司 | 一种甲烷传感器用校验装置 |
| CN112432051A (zh) * | 2020-11-26 | 2021-03-02 | 黎川县鸿达气体有限公司 | 一种氧气生产装置的氧气储存罐 |
-
1992
- 1992-07-13 JP JP18553492A patent/JPH0634100A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016075326A (ja) * | 2014-10-03 | 2016-05-12 | 大陽日酸株式会社 | シリンダーキャビネット |
| JP2016095217A (ja) * | 2014-11-14 | 2016-05-26 | 日立Ｇｅニュークリア・エナジー株式会社 | 水圧制御ユニット |
| CN109298141A (zh) * | 2018-11-16 | 2019-02-01 | 徐州江煤科技有限公司 | 一种甲烷传感器用校验装置 |
| CN112432051A (zh) * | 2020-11-26 | 2021-03-02 | 黎川县鸿达气体有限公司 | 一种氧气生产装置的氧气储存罐 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991005 |