JPH0633236A - 基体保持装置 - Google Patents
基体保持装置Info
- Publication number
- JPH0633236A JPH0633236A JP21092492A JP21092492A JPH0633236A JP H0633236 A JPH0633236 A JP H0633236A JP 21092492 A JP21092492 A JP 21092492A JP 21092492 A JP21092492 A JP 21092492A JP H0633236 A JPH0633236 A JP H0633236A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- elastic body
- cooling
- holder
- base body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 基体と弾性体との密着性を改善し、基体の冷
却効率を向上する。 【構成】 冷却用ホルダ１に弾性体４を介して基体５を
保持した基体保持装置において、弾性体４の少なくとも
基体３と接する面に複数の凸部５を形成する。
却効率を向上する。 【構成】 冷却用ホルダ１に弾性体４を介して基体５を
保持した基体保持装置において、弾性体４の少なくとも
基体３と接する面に複数の凸部５を形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、イオンビームスパッタ
リング装置，イオン蒸着薄膜形成装置，イオンビームミ
リング装置などを用いたプロセスにおいて、基体の冷却
を効率よく行うようにした基体保持装置に関する。
リング装置，イオン蒸着薄膜形成装置，イオンビームミ
リング装置などを用いたプロセスにおいて、基体の冷却
を効率よく行うようにした基体保持装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、基体を冷却用ホルダに保持するに
際し、冷却用ホルダの保持平面に直接基体を取り付けた
り、図８に示すように、冷却用ホルダ１に円板状のラバ
ーなどの弾性体２を介して基体３を重合し、基体３の周
縁部に環状の押え体を当てがい、複数本のボルトにより
基体３をホルダ１に取り付け、弾性体２により基体３と
ホルダ１間の熱伝導の向上をはかっている。
際し、冷却用ホルダの保持平面に直接基体を取り付けた
り、図８に示すように、冷却用ホルダ１に円板状のラバ
ーなどの弾性体２を介して基体３を重合し、基体３の周
縁部に環状の押え体を当てがい、複数本のボルトにより
基体３をホルダ１に取り付け、弾性体２により基体３と
ホルダ１間の熱伝導の向上をはかっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の前記基体を直接
ホルダに取り付けた場合、取り付けの際のボルトによる
締め付けやプロセス中の熱等により基体の中央部が浮き
上り、その基体の変形により基体とホルダとの接合が充
分でなく、基体の全面を充分に冷却することができな
い。また、図８に示すように、ホルダ１と基体３との間
に円板状の弾性体２を介在させた場合、弾性体２を介在
させない場合より熱伝導はよくなるが、基体３の中央部
付近の接触圧が低く、前記変形に対して冷却効率が充分
でないという問題点がある。本発明は、前記の点に留意
し、基体と弾性体との密着性を改善し、基体の冷却効率
を向上させた基体保持装置を提供することを目的とす
る。
ホルダに取り付けた場合、取り付けの際のボルトによる
締め付けやプロセス中の熱等により基体の中央部が浮き
上り、その基体の変形により基体とホルダとの接合が充
分でなく、基体の全面を充分に冷却することができな
い。また、図８に示すように、ホルダ１と基体３との間
に円板状の弾性体２を介在させた場合、弾性体２を介在
させない場合より熱伝導はよくなるが、基体３の中央部
付近の接触圧が低く、前記変形に対して冷却効率が充分
でないという問題点がある。本発明は、前記の点に留意
し、基体と弾性体との密着性を改善し、基体の冷却効率
を向上させた基体保持装置を提供することを目的とす
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明の基体保持装置は、冷却用ホルダと基体との
間に介在した弾性体の少なくとも基体と接する面に複数
の凸部を形成したものである。
に、本発明の基体保持装置は、冷却用ホルダと基体との
間に介在した弾性体の少なくとも基体と接する面に複数
の凸部を形成したものである。
【０００５】
【作用】前記のように構成された本発明の基体保持装置
は、冷却用ホルダと基体との間に弾性体が介在し、その
弾性体の少なくとも基体と接する面に複数の凸部が形成
されているため、基体の取り付け時の締め付けやプロセ
ス中の熱等により基体に変形が生じても、その基体の変
形に応じて弾性体の凸部が変形し、基体の全面と弾性体
との間に常に充分な密着性が保たれ、基体全面を均一に
冷却でき、冷却効率が向上する。
は、冷却用ホルダと基体との間に弾性体が介在し、その
弾性体の少なくとも基体と接する面に複数の凸部が形成
されているため、基体の取り付け時の締め付けやプロセ
ス中の熱等により基体に変形が生じても、その基体の変
形に応じて弾性体の凸部が変形し、基体の全面と弾性体
との間に常に充分な密着性が保たれ、基体全面を均一に
冷却でき、冷却効率が向上する。
【０００６】
【実施例】１実施例について図１及び図２を参照して説
明する。それらの図において、４は冷却用ホルダ１と基
体３との間に介在した弾性体であり、シリコンラバー，
ゴム等からなる。５は弾性体４の基体３と接する面に形
成された複数の凸部、６は凸部５と凸部５との間に形成
された微小の空間であり、基体３の取り付けの際のボル
トによる締め付けやプロセス中の熱等による基体３の変
形に応じ、各凸部５が変形し、基体３と弾性体４との間
の密着性が保たれ、冷却効率が向上する。
明する。それらの図において、４は冷却用ホルダ１と基
体３との間に介在した弾性体であり、シリコンラバー，
ゴム等からなる。５は弾性体４の基体３と接する面に形
成された複数の凸部、６は凸部５と凸部５との間に形成
された微小の空間であり、基体３の取り付けの際のボル
トによる締め付けやプロセス中の熱等による基体３の変
形に応じ、各凸部５が変形し、基体３と弾性体４との間
の密着性が保たれ、冷却効率が向上する。
【０００７】図３は他の例の弾性体４を示し、弾性体４
の両面に複数の凸部５を形成したものである。なお、弾
性体４の材質は、真空中でガス放出が少なく、使用温度
で可変性をもつものであれば、特に制限されない。
の両面に複数の凸部５を形成したものである。なお、弾
性体４の材質は、真空中でガス放出が少なく、使用温度
で可変性をもつものであれば、特に制限されない。
【０００８】つぎに、密着度合の実験結果を図４ないし
図７について説明する。図４に示す形状のＳＵＳを基体
７として用い、弾性体４として図５に示すものを用い、
図６に示すように、ホルダ８に弾性体４を接着し、その
弾性体４上に、圧力の加わった部分が着色される圧力測
定用シート９と基体７を重ね、基体７の周縁部に環状の
押え体１０を重合し、６本のボルト１１により基体７を
ホルダ８に押し付けた。
図７について説明する。図４に示す形状のＳＵＳを基体
７として用い、弾性体４として図５に示すものを用い、
図６に示すように、ホルダ８に弾性体４を接着し、その
弾性体４上に、圧力の加わった部分が着色される圧力測
定用シート９と基体７を重ね、基体７の周縁部に環状の
押え体１０を重合し、６本のボルト１１により基体７を
ホルダ８に押し付けた。
【０００９】その結果、図７のＡに示すように、基体７
の中心近く迄圧力測定用シート９に着色が認められ、弾
性体４による密着度合の効果が確認できた。一方、図６
の弾性体４に代え、図８の基体との接面が平面な弾性体
２を用い、同様の実験を行った結果、図７のＢに示すよ
うに、ボルト１１の周辺のみに着色が認められ、密着度
合の低いことが確認された。
の中心近く迄圧力測定用シート９に着色が認められ、弾
性体４による密着度合の効果が確認できた。一方、図６
の弾性体４に代え、図８の基体との接面が平面な弾性体
２を用い、同様の実験を行った結果、図７のＢに示すよ
うに、ボルト１１の周辺のみに着色が認められ、密着度
合の低いことが確認された。
【００１０】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載する効果を奏する。本発明の基
体保持装置は、冷却用ホルダ１と基体３との間に介在し
た弾性体４の少なくとも基体３と接する面に複数の凸部
５が形成されているため、基体３の取り付け時の締め付
けやプロセス中の熱等により基体３に変形が生じても、
その基体３の変形に応じて弾性体４の凸部５が変形し、
基体３の全面と弾性体４との間に常に充分な密着性を得
ることができ、基体３全面を均一に冷却でき、冷却効率
を向上することができる。
ているので、以下に記載する効果を奏する。本発明の基
体保持装置は、冷却用ホルダ１と基体３との間に介在し
た弾性体４の少なくとも基体３と接する面に複数の凸部
５が形成されているため、基体３の取り付け時の締め付
けやプロセス中の熱等により基体３に変形が生じても、
その基体３の変形に応じて弾性体４の凸部５が変形し、
基体３の全面と弾性体４との間に常に充分な密着性を得
ることができ、基体３全面を均一に冷却でき、冷却効率
を向上することができる。
【図１】本発明の１実施例の切断側面図である。
【図２】Ａ，Ｂは図１の弾性体の正面図，切断側面図で
ある。
ある。
【図３】Ａ，Ｂは本発明の弾性体の他の例の正面図，切
断側面図である。
断側面図である。
【図４】Ａ，Ｂは実験時の基体の正面図，切断側面図で
ある。
ある。
【図５】Ａ，Ｂ，Ｃは実験時の弾性体の正面図，一部の
拡大図，一部の切断側面図である。
拡大図，一部の切断側面図である。
【図６】実験時の一部の切断側面図である。
【図７】Ａ，Ｂは実験結果図である。
【図８】従来例の側面図である。
１ 冷却用ホルダ ３ 基体 ４ 弾性体 ５ 凸部
Claims (1)
- 【請求項１】 冷却用ホルダに弾性体を介して基体を保
持した基体保持装置において、前記弾性体の少なくとも
前記基体と接する面に複数の凸部を形成した基体保持装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21092492A JPH0633236A (ja) | 1992-07-14 | 1992-07-14 | 基体保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21092492A JPH0633236A (ja) | 1992-07-14 | 1992-07-14 | 基体保持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0633236A true JPH0633236A (ja) | 1994-02-08 |
Family
ID=16597334
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21092492A Pending JPH0633236A (ja) | 1992-07-14 | 1992-07-14 | 基体保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0633236A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003511856A (ja) * | 1999-10-01 | 2003-03-25 | バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド | 表面構造およびその製造方法，ならびに表面構造を組み込む，静電ウエハクランプ |
-
1992
- 1992-07-14 JP JP21092492A patent/JPH0633236A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003511856A (ja) * | 1999-10-01 | 2003-03-25 | バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド | 表面構造およびその製造方法，ならびに表面構造を組み込む，静電ウエハクランプ |
| JP4854056B2 (ja) * | 1999-10-01 | 2012-01-11 | バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド | 冷却装置及びクランピング装置 |
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