JPH06330296A - スパッタ用ターゲット - Google Patents
スパッタ用ターゲットInfo
- Publication number
- JPH06330296A JPH06330296A JP11745793A JP11745793A JPH06330296A JP H06330296 A JPH06330296 A JP H06330296A JP 11745793 A JP11745793 A JP 11745793A JP 11745793 A JP11745793 A JP 11745793A JP H06330296 A JPH06330296 A JP H06330296A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- target
- sputtering
- golden
- weight
- color
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 金属アレルギーを引き起こさず、しかも優れ
た金色の色調と耐摩耗性とを有する金色装飾品を製造す
るための、スパッタ用ターゲットを得る。 【構成】 スパッタ用ターゲットが、Ａｕ９０〜９９重
量％、Ｐｄ０．２〜２．０重量％、およびＦｅ０．８〜
８．０重量％からなる。
た金色の色調と耐摩耗性とを有する金色装飾品を製造す
るための、スパッタ用ターゲットを得る。 【構成】 スパッタ用ターゲットが、Ａｕ９０〜９９重
量％、Ｐｄ０．２〜２．０重量％、およびＦｅ０．８〜
８．０重量％からなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、金色加飾するためのス
パッタ用ターゲット、およびこれを用いて製造された腕
時計ケース、腕時計バンド、装身具などの金色装飾品に
関する。
パッタ用ターゲット、およびこれを用いて製造された腕
時計ケース、腕時計バンド、装身具などの金色装飾品に
関する。
【０００２】
【従来の技術】腕時計ケース、腕時計バンド、装身具な
どの金色装飾品を製造するに際して、ステンレス鋼製な
どの基材上にスパッタによって金色の被膜を形成するこ
とが行われている。このようなスパッタによる金色装飾
品の製造にあたっては、従来、スパッタ用ターゲットと
して、Ａｕ９７．５重量％、Ｎｉ２．０重量％、Ｉｎ
０．５重量％からなる合金が用いられている。この合金
は、ＮｉがＡｕとの相容性がよく、かつ金色被膜の硬度
を高める効果があるので、ターゲット材として多用され
ている。
どの金色装飾品を製造するに際して、ステンレス鋼製な
どの基材上にスパッタによって金色の被膜を形成するこ
とが行われている。このようなスパッタによる金色装飾
品の製造にあたっては、従来、スパッタ用ターゲットと
して、Ａｕ９７．５重量％、Ｎｉ２．０重量％、Ｉｎ
０．５重量％からなる合金が用いられている。この合金
は、ＮｉがＡｕとの相容性がよく、かつ金色被膜の硬度
を高める効果があるので、ターゲット材として多用され
ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが近時、金属ア
レルギー防止の観点から、人体に接触する可能性のある
装飾品などには、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｃｒなどが含まれていな
いことが必要とされるようになってきた。したがって、
上記のターゲットを用いて製造された装飾品は早晩販売
できないことになる。一方、従来から、金色でかつ硬質
な被膜として窒化チタンが知られている。しかし、この
被膜は金色といっても暗緑金色であって、純金色とは色
調に大差があり、高級感がないので好んで用いられるも
のではない。本発明は上記の課題を解決するためになさ
れたものであり、その目的は、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｃｒなど、
金属アレルギーを引き起こす元素を含まずに、色調が純
金色に近似し、かつ硬くて耐摩耗性に優れた被膜を形成
し得るスパッタ用ターゲット、およびそれを用いて製造
した金色装飾品を提供することにある。
レルギー防止の観点から、人体に接触する可能性のある
装飾品などには、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｃｒなどが含まれていな
いことが必要とされるようになってきた。したがって、
上記のターゲットを用いて製造された装飾品は早晩販売
できないことになる。一方、従来から、金色でかつ硬質
な被膜として窒化チタンが知られている。しかし、この
被膜は金色といっても暗緑金色であって、純金色とは色
調に大差があり、高級感がないので好んで用いられるも
のではない。本発明は上記の課題を解決するためになさ
れたものであり、その目的は、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｃｒなど、
金属アレルギーを引き起こす元素を含まずに、色調が純
金色に近似し、かつ硬くて耐摩耗性に優れた被膜を形成
し得るスパッタ用ターゲット、およびそれを用いて製造
した金色装飾品を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記の課題は、請求項１
において、Ａｕ９０〜９９重量％、Ｐｄ０．２〜２．０
重量％、およびＦｅ０．８〜８．０重量％からなる、金
色加飾のためのスパッタ用ターゲットを提供することに
よって解決できる。特にこのスパッタ用ターゲットは、
Ａｕ９８重量％、Ｐｄ０．５重量％、およびＦｅ１．５
重量％からなるものであることが好ましい。また、上記
の課題は、請求項２において、請求項１記載のスパッタ
用ターゲットを用いてスパッタした金色装飾品を提供す
ることによって解決できる。
において、Ａｕ９０〜９９重量％、Ｐｄ０．２〜２．０
重量％、およびＦｅ０．８〜８．０重量％からなる、金
色加飾のためのスパッタ用ターゲットを提供することに
よって解決できる。特にこのスパッタ用ターゲットは、
Ａｕ９８重量％、Ｐｄ０．５重量％、およびＦｅ１．５
重量％からなるものであることが好ましい。また、上記
の課題は、請求項２において、請求項１記載のスパッタ
用ターゲットを用いてスパッタした金色装飾品を提供す
ることによって解決できる。
【０００５】請求項１のスパッタ用ターゲットは、Ａｕ
９０〜９９重量％、Ｐｄ０．２〜２．０重量％、および
Ｆｅ０．８〜８．０重量％からなるものである。この元
素の組合せとその配合割合の範囲は、アレルギーが報告
されていない、かつ入手の容易な各種元素を組合せてタ
ーゲットを試作し、このときの各元素の相互溶解性、ま
た、得られたターゲットを用いてスパッタしたときの基
材に対する密着性、被膜の色調、硬さ、などを試験し
て、実験的に決定されたものである。特に、Ａｕ９８重
量％、Ｐｄ０．５重量％、およびＦｅ１．５重量％の配
合割合のときに、最適のスパッタ用ターゲットが得られ
る。
９０〜９９重量％、Ｐｄ０．２〜２．０重量％、および
Ｆｅ０．８〜８．０重量％からなるものである。この元
素の組合せとその配合割合の範囲は、アレルギーが報告
されていない、かつ入手の容易な各種元素を組合せてタ
ーゲットを試作し、このときの各元素の相互溶解性、ま
た、得られたターゲットを用いてスパッタしたときの基
材に対する密着性、被膜の色調、硬さ、などを試験し
て、実験的に決定されたものである。特に、Ａｕ９８重
量％、Ｐｄ０．５重量％、およびＦｅ１．５重量％の配
合割合のときに、最適のスパッタ用ターゲットが得られ
る。
【０００６】上記の元素の組合せにおいて、Ａｕが９０
重量％未満であると、金色発色せず白色系となって好ま
しくない。Ｐｄは、０．２重量％未満であると緑系金色
となり、２．０重量％を越えると赤味系金色となる。ま
たＦｅは、０．８重量％未満であると黒く暗色となり、
８．０重量％を越えると緑色系となって好ましくない。
重量％未満であると、金色発色せず白色系となって好ま
しくない。Ｐｄは、０．２重量％未満であると緑系金色
となり、２．０重量％を越えると赤味系金色となる。ま
たＦｅは、０．８重量％未満であると黒く暗色となり、
８．０重量％を越えると緑色系となって好ましくない。
【０００７】請求項１のスパッタ用ターゲットは、上記
重量割合の各元素をルツボなどで均一に溶解し、得られ
たインゴットから成形することによって容易に製造する
ことができる。得られたスパッタ用ターゲットは、通常
のスパッタ装置の所定位置に装着し、加飾されるステン
レス鋼製などの基材に対して、適当な条件でスパッタを
行うと、基材上に金色の被膜が形成され、請求項２の金
色装飾品が得られる。
重量割合の各元素をルツボなどで均一に溶解し、得られ
たインゴットから成形することによって容易に製造する
ことができる。得られたスパッタ用ターゲットは、通常
のスパッタ装置の所定位置に装着し、加飾されるステン
レス鋼製などの基材に対して、適当な条件でスパッタを
行うと、基材上に金色の被膜が形成され、請求項２の金
色装飾品が得られる。
【０００８】
【実施例】次に、本発明の実施例を示す。 （実施例１）Ａｕ９８重量％、Ｐｄ０．５重量％、およ
びＦｅ１．５重量％の混合物をルツボ中で１１００℃に
加熱溶融し、均一に溶解させてインゴットを得た。この
インゴットを用いて実施例１のスパッタ用ターゲットを
作製した。
びＦｅ１．５重量％の混合物をルツボ中で１１００℃に
加熱溶融し、均一に溶解させてインゴットを得た。この
インゴットを用いて実施例１のスパッタ用ターゲットを
作製した。
【０００９】（実施例２）高周波スパッタ装置を用い、
そのターゲット電極に実施例１のスパッタ用ターゲット
を装着し、またホルダーにはステンレス鋼製の腕時計ケ
ース基材を設置した。このスパッタ装置を５×１０-7Ｔ
ｏｒｒに減圧し、Ａｒガスと少量の酸素を導入して１０
-3Ｔｏｒｒに調整し、７００Ｖの高周波電圧を印加して
スパッタを行い、腕時計ケース基材上に０．５μｍの被
膜を形成させ、金色の腕時計ケースを得た。この被膜は
２２ｋ金メッキと同等の色調を有し、基材とよく密着
し、硬度が高く、耐摩耗性に優れていた。
そのターゲット電極に実施例１のスパッタ用ターゲット
を装着し、またホルダーにはステンレス鋼製の腕時計ケ
ース基材を設置した。このスパッタ装置を５×１０-7Ｔ
ｏｒｒに減圧し、Ａｒガスと少量の酸素を導入して１０
-3Ｔｏｒｒに調整し、７００Ｖの高周波電圧を印加して
スパッタを行い、腕時計ケース基材上に０．５μｍの被
膜を形成させ、金色の腕時計ケースを得た。この被膜は
２２ｋ金メッキと同等の色調を有し、基材とよく密着
し、硬度が高く、耐摩耗性に優れていた。
【００１０】上記の結果から、実施例１で得られたスパ
ッタ用ターゲットを用い、実施例２の方法でスパッタし
て得られた金色装飾品は、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｃｒなどを含ま
ず、優れた金色の色調と耐摩耗性と耐久性とを有してい
ることがわかる。
ッタ用ターゲットを用い、実施例２の方法でスパッタし
て得られた金色装飾品は、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｃｒなどを含ま
ず、優れた金色の色調と耐摩耗性と耐久性とを有してい
ることがわかる。
【００１１】
【発明の効果】請求項１記載のスパッタ用ターゲット
は、Ａｕ９０〜９９重量％、Ｐｄ０．２なみ２．０重量
％、およびＦｅ０．８なみ８．０重量％からなるもので
あるので、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｃｒなどの金属アレルギーを引
き起こす元素を含まず、したがって人体に接触する可能
性のある装飾品の金色加飾のために使用することができ
る。請求項２の金色装飾品は、請求項１記載のスパッタ
用ターゲットを用いてスパッタして得られたものである
ので、優れた金色の色調と耐摩耗性と耐久性とを有し、
しかも人体に、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｃｒなどによる金属アレル
ギーを引き起こすことがない。したがってこの金色装飾
品は、腕時計ケース、腕時計バンド、ブレスレット、指
輪、イヤリングなど各種装身具、筆記具などの文具類、
スポーツ用具部材、家具調度などの金具、その他の装飾
品などとしてきわめて有用である。
は、Ａｕ９０〜９９重量％、Ｐｄ０．２なみ２．０重量
％、およびＦｅ０．８なみ８．０重量％からなるもので
あるので、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｃｒなどの金属アレルギーを引
き起こす元素を含まず、したがって人体に接触する可能
性のある装飾品の金色加飾のために使用することができ
る。請求項２の金色装飾品は、請求項１記載のスパッタ
用ターゲットを用いてスパッタして得られたものである
ので、優れた金色の色調と耐摩耗性と耐久性とを有し、
しかも人体に、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｃｒなどによる金属アレル
ギーを引き起こすことがない。したがってこの金色装飾
品は、腕時計ケース、腕時計バンド、ブレスレット、指
輪、イヤリングなど各種装身具、筆記具などの文具類、
スポーツ用具部材、家具調度などの金具、その他の装飾
品などとしてきわめて有用である。
Claims (2)
- 【請求項１】 Ａｕ９０〜９９重量％、Ｐｄ０．２〜
２．０重量％、およびＦｅ０．８〜８．０重量％からな
る、金色加飾のためのスパッタ用ターゲット。 - 【請求項２】 請求項１記載のスパッタ用ターゲットを
用いてスパッタした金色装飾品。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11745793A JPH06330296A (ja) | 1993-05-19 | 1993-05-19 | スパッタ用ターゲット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11745793A JPH06330296A (ja) | 1993-05-19 | 1993-05-19 | スパッタ用ターゲット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06330296A true JPH06330296A (ja) | 1994-11-29 |
Family
ID=14712147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11745793A Withdrawn JPH06330296A (ja) | 1993-05-19 | 1993-05-19 | スパッタ用ターゲット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06330296A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103938174A (zh) * | 2014-05-14 | 2014-07-23 | 沈阳东创贵金属材料有限公司 | 一种用于真空磁控溅射粉红色金靶材及其制备方法 |
-
1993
- 1993-05-19 JP JP11745793A patent/JPH06330296A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103938174A (zh) * | 2014-05-14 | 2014-07-23 | 沈阳东创贵金属材料有限公司 | 一种用于真空磁控溅射粉红色金靶材及其制备方法 |
| CN103938174B (zh) * | 2014-05-14 | 2016-04-13 | 沈阳东创贵金属材料有限公司 | 一种用于真空磁控溅射粉红色金靶材及其制备方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP2289696B1 (en) | Decorative part and process for producing the same | |
| JPS6137960A (ja) | 金属表面加工方法 | |
| JP2780611B2 (ja) | 少量成分の合金化で硬質化した金装飾品材 | |
| JP2007248398A (ja) | 装飾品および時計 | |
| US20120291929A1 (en) | Composite article and method | |
| JPH06330296A (ja) | スパッタ用ターゲット | |
| JP4504059B2 (ja) | 金色被膜を有する装飾品 | |
| JPH0770670A (ja) | 少量成分の合金化で硬質化した金装飾品材 | |
| US6187119B1 (en) | Process for the preparation of an alloy of gold and the alloy produced by the process | |
| JPH0774428B2 (ja) | 外装品 | |
| JPH0913132A (ja) | 金合金 | |
| JP3244952B2 (ja) | 金色装飾品 | |
| JP3221217B2 (ja) | 純金装飾品の止め金具 | |
| JPH06299334A (ja) | 金色装飾部品およびその製造方法 | |
| JPH01275726A (ja) | 銀合金 | |
| JP3020985B2 (ja) | 金色層を有する外装品 | |
| JP2009226804A (ja) | 装飾品およびその製造方法 | |
| JPH0723529B2 (ja) | 表面硬化層を有する装飾用Ａｕ合金部材 | |
| JPS604259B2 (ja) | 硬質時計用外装部品 | |
| MXPA97005001A (en) | An alloy of | |
| JPH01244705A (ja) | 人工ダイヤモンドコートの金合金製装飾品 | |
| JPH0757905B2 (ja) | 金色装飾品 | |
| JPH08157984A (ja) | 硬質でＡｕ含有率の高い装飾用Ａｕ合金 | |
| JPH0625772A (ja) | 装飾用金合金の製造方法 | |
| JPH03247309A (ja) | 貴金属およびその合金製表面硬化装飾品 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000801 |