JPH06307823A - 三次元測定装置 - Google Patents
三次元測定装置Info
- Publication number
- JPH06307823A JPH06307823A JP9795393A JP9795393A JPH06307823A JP H06307823 A JPH06307823 A JP H06307823A JP 9795393 A JP9795393 A JP 9795393A JP 9795393 A JP9795393 A JP 9795393A JP H06307823 A JPH06307823 A JP H06307823A
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- JP
- Japan
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- light
- measured
- measuring
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 測定ヘッドの位置を変化させることなく被測
定物の形状変化に的確に対応して検査できるようにす
る。 【構成】 レーザ光等の測定光Ｉを投光レンズ３を介し
て被測定物Ｃに照射する投光手段１と、前記被測定物Ｃ
からの反射光Ｉ′を受光レンズ４を介して受光する受光
手段２とを有する測定ヘッドＢを備え、該受光手段２へ
の反射光Ｉ′の受光位置によって被測定物Ｃまでの距離
を検出するように構成された三次元測定装置において、
前記受光手段２への反射光Ｉ′の結像が適正であること
を判定する判定手段７１と、該判定手段７１により適正
結像と判定されるように前記投光手段１から照射される
測定光Ｉの周波数を変化させる周波数変更手段７２とを
付設するようにしている。
定物の形状変化に的確に対応して検査できるようにす
る。 【構成】 レーザ光等の測定光Ｉを投光レンズ３を介し
て被測定物Ｃに照射する投光手段１と、前記被測定物Ｃ
からの反射光Ｉ′を受光レンズ４を介して受光する受光
手段２とを有する測定ヘッドＢを備え、該受光手段２へ
の反射光Ｉ′の受光位置によって被測定物Ｃまでの距離
を検出するように構成された三次元測定装置において、
前記受光手段２への反射光Ｉ′の結像が適正であること
を判定する判定手段７１と、該判定手段７１により適正
結像と判定されるように前記投光手段１から照射される
測定光Ｉの周波数を変化させる周波数変更手段７２とを
付設するようにしている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本願発明は、レーザ光等の測定光
を被測定物に照射し、被測定物からの反射光の受光位置
により被測定物までの距離を検出する三次元測定装置に
関するものである。
を被測定物に照射し、被測定物からの反射光の受光位置
により被測定物までの距離を検出する三次元測定装置に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】レーザ光等の測定光を被測定物に照射
し、被測定物からの反射光の受光位置により被測定物ま
での距離を検出する三次元測定装置は、特開平４ー１３
９０８号公報にも開示されているように従来公知であ
る。
し、被測定物からの反射光の受光位置により被測定物ま
での距離を検出する三次元測定装置は、特開平４ー１３
９０８号公報にも開示されているように従来公知であ
る。
【０００３】この三次元測定装置は、例えば、ＣＡＤデ
ータに基づいて成形された製品がデータ通りに正確に成
形されているか否か等を検査する際に用いられるもので
あって、図４および図５に示すように、直交３軸ロボッ
トＡにより移動される測定ヘッドＢの投光手段１として
作用するレーザ発振素子からレーザ光等の測定光Ｉを製
品(即ち、被測定物)Ｃに照射し、該被測定物Ｃからの反
射光Ｉ′の受光手段２における受光位置によって被測定
物Ｃまでの距離を測定するようにしたものがある。符号
Ｄは被測定物Ｃを位置決めする固定治具、Ｅは固定治具
Ｄを固定する定盤、Ｆはロボットコントローラ、３は測
定光Ｉを集束させるための投光レンズ、４は反射光Ｉ′
を集束させるための受光レンズである。
ータに基づいて成形された製品がデータ通りに正確に成
形されているか否か等を検査する際に用いられるもので
あって、図４および図５に示すように、直交３軸ロボッ
トＡにより移動される測定ヘッドＢの投光手段１として
作用するレーザ発振素子からレーザ光等の測定光Ｉを製
品(即ち、被測定物)Ｃに照射し、該被測定物Ｃからの反
射光Ｉ′の受光手段２における受光位置によって被測定
物Ｃまでの距離を測定するようにしたものがある。符号
Ｄは被測定物Ｃを位置決めする固定治具、Ｅは固定治具
Ｄを固定する定盤、Ｆはロボットコントローラ、３は測
定光Ｉを集束させるための投光レンズ、４は反射光Ｉ′
を集束させるための受光レンズである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
な構成の三次元測定装置では、受光手段２として、図６
に示すように、多数の画素５,５・・に区分された受光
面を有するものを用い、これらの画素５,５・・のうち
のいずれに反射光Ｉ′が結像するかを検出し、検出位置
のずれにより被測定物Ｃまでの距離Ｌが検出できること
となっている。
な構成の三次元測定装置では、受光手段２として、図６
に示すように、多数の画素５,５・・に区分された受光
面を有するものを用い、これらの画素５,５・・のうち
のいずれに反射光Ｉ′が結像するかを検出し、検出位置
のずれにより被測定物Ｃまでの距離Ｌが検出できること
となっている。
【０００５】ところが、複雑な外形形状を有する被測定
物Ｃを検査する場合、測定ヘッドＢと被測定物Ｃとの距
離Ｌが変化するところから、測定ヘッドＢの高さ位置を
固定すると、投光手段１における投光レンズ３の焦点距
離Ｆと被測定物Ｃまでの距離Ｌとが一致しない場合が生
じ、受光手段２上の結像がぼやけてしまい、前記画素
５,５・・による結像位置判定が難しくなる場合があ
る。そこで、受光手段２上に適正な結像が得られるよう
に(換言すれば、被測定物Ｃまでの距離Ｌと投光レンズ
３の焦点距離Ｆとが等しくなるように)、その都度測定
ヘッドＢを上下に移動させなければならず、検査のため
の作業が極めて面倒であった。
物Ｃを検査する場合、測定ヘッドＢと被測定物Ｃとの距
離Ｌが変化するところから、測定ヘッドＢの高さ位置を
固定すると、投光手段１における投光レンズ３の焦点距
離Ｆと被測定物Ｃまでの距離Ｌとが一致しない場合が生
じ、受光手段２上の結像がぼやけてしまい、前記画素
５,５・・による結像位置判定が難しくなる場合があ
る。そこで、受光手段２上に適正な結像が得られるよう
に(換言すれば、被測定物Ｃまでの距離Ｌと投光レンズ
３の焦点距離Ｆとが等しくなるように)、その都度測定
ヘッドＢを上下に移動させなければならず、検査のため
の作業が極めて面倒であった。
【０００６】本願発明は、上記の点に鑑みてなされたも
ので、測定ヘッドの位置を変化させることなく被測定物
の形状変化に的確に対応して検査できるようにすること
を目的とするものである。
ので、測定ヘッドの位置を変化させることなく被測定物
の形状変化に的確に対応して検査できるようにすること
を目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本願発明は、上記課題を
解決するための手段として、レーザ光等の測定光を投光
レンズを介して被測定物に照射する投光手段と、前記被
測定物からの反射光を受光レンズを介して受光する受光
手段とを有する測定ヘッドを備え、該受光手段への反射
光の受光位置によって被測定物までの距離を検出するよ
うに構成された三次元測定装置において、前記受光手段
への反射光の結像が適正であることを判定する判定手段
と、該判定手段により適正結像と判定されるように前記
投光手段から照射される測定光の周波数を変化させる周
波数変更手段とを付設するようにしている。
解決するための手段として、レーザ光等の測定光を投光
レンズを介して被測定物に照射する投光手段と、前記被
測定物からの反射光を受光レンズを介して受光する受光
手段とを有する測定ヘッドを備え、該受光手段への反射
光の受光位置によって被測定物までの距離を検出するよ
うに構成された三次元測定装置において、前記受光手段
への反射光の結像が適正であることを判定する判定手段
と、該判定手段により適正結像と判定されるように前記
投光手段から照射される測定光の周波数を変化させる周
波数変更手段とを付設するようにしている。
【０００８】
【作用】本願発明では、上記手段によって次のような作
用が得られる。
用が得られる。
【０００９】即ち、投光手段から照射された測定光が被
測定物により反射され、受光手段上に結像するに際し
て、適正な結像が得られるように前記測定光の周波数が
変更されることとなっている。つまり、被測定物までの
距離と投光レンズの焦点距離とが等しくなるように測定
光の周波数が変更されることとなっているのである。
測定物により反射され、受光手段上に結像するに際し
て、適正な結像が得られるように前記測定光の周波数が
変更されることとなっている。つまり、被測定物までの
距離と投光レンズの焦点距離とが等しくなるように測定
光の周波数が変更されることとなっているのである。
【００１０】
【発明の効果】本願発明によれば、レーザ光等の測定光
を投光レンズを介して被測定物に照射する投光手段と、
前記被測定物からの反射光を受光レンズを介して受光す
る受光手段とを有する測定ヘッドを備え、前記受光手段
への反射光の受光位置によって被測定物までの距離を検
出するように構成された三次元測定装置において、前記
受光手段への反射光の結像が適正であることを判定する
判定手段と、該判定手段により適正結像と判定されるよ
うに前記投光手段から照射される測定光の周波数を変化
させる周波数変更手段とを付設して、被測定物の形状変
化により被測定物までの距離が変化した場合であって
も、測定光の周波数変更によって受光手段上に適正な結
像が得られるようにしたので、測定ヘッドの高さを変化
させなくとも被測定物の形状変化に対応した測定検査が
行えることとなり、測定検査作業の高能率化に大いに寄
与するという優れた効果がある。
を投光レンズを介して被測定物に照射する投光手段と、
前記被測定物からの反射光を受光レンズを介して受光す
る受光手段とを有する測定ヘッドを備え、前記受光手段
への反射光の受光位置によって被測定物までの距離を検
出するように構成された三次元測定装置において、前記
受光手段への反射光の結像が適正であることを判定する
判定手段と、該判定手段により適正結像と判定されるよ
うに前記投光手段から照射される測定光の周波数を変化
させる周波数変更手段とを付設して、被測定物の形状変
化により被測定物までの距離が変化した場合であって
も、測定光の周波数変更によって受光手段上に適正な結
像が得られるようにしたので、測定ヘッドの高さを変化
させなくとも被測定物の形状変化に対応した測定検査が
行えることとなり、測定検査作業の高能率化に大いに寄
与するという優れた効果がある。
【００１１】
【実施例】以下、添付の図面を参照して、本願発明の好
適な実施例を説明する。
適な実施例を説明する。
【００１２】本実施例の三次元測定装置は、従来技術の
項において既に説明したもの(図４ないし図６に示すも
の)とほぼ同構造とされているので詳細な説明を省略す
るが、本実施例の場合、図２に示すように、投光手段１
として作用するレーザ発振素子(例えば、半導体レーザ
発振素子)に印加される電圧を変更する駆動回路６と、
該駆動回路６に対して制御信号を出力する制御回路７
と、受光手段２からの信号を増幅して前記制御回路７へ
入力する信号増幅回路８とを備えて構成されている。な
お、駆動回路６による電圧制御によって投光手段１から
照射される測定光(即ち、レーザ光)Ｉの波長λが制御さ
れることとなっている。
項において既に説明したもの(図４ないし図６に示すも
の)とほぼ同構造とされているので詳細な説明を省略す
るが、本実施例の場合、図２に示すように、投光手段１
として作用するレーザ発振素子(例えば、半導体レーザ
発振素子)に印加される電圧を変更する駆動回路６と、
該駆動回路６に対して制御信号を出力する制御回路７
と、受光手段２からの信号を増幅して前記制御回路７へ
入力する信号増幅回路８とを備えて構成されている。な
お、駆動回路６による電圧制御によって投光手段１から
照射される測定光(即ち、レーザ光)Ｉの波長λが制御さ
れることとなっている。
【００１３】前記制御回路７は、例えばマイクロコンピ
ュータにより構成され、図１に示すように、前記受光手
段２への反射光Ｉ′の結像が適正であることを判定する
判定手段７１と、該判定手段７１により適正結像と判定
されるように前記投光手段１から照射される測定光Ｉの
周波数fを変化させるべく前記駆動回路６に制御信号を
出力する周波数変更手段７２とを備えて構成されてい
る。なお、駆動回路６においては、前述したように測定
光Ｉの波長λを制御するように電圧制御がなされるが、
波長λの制御によって測定光Ｉの周波数fの制御が行な
われることは自明であろう。ここで、駆動回路６により
制御される電圧Ｖと測定光Ｉの波長λとの間には比例関
係があり、予め実験により相対関係を求めておくことに
より、適切な波長制御が行えることとなっている。
ュータにより構成され、図１に示すように、前記受光手
段２への反射光Ｉ′の結像が適正であることを判定する
判定手段７１と、該判定手段７１により適正結像と判定
されるように前記投光手段１から照射される測定光Ｉの
周波数fを変化させるべく前記駆動回路６に制御信号を
出力する周波数変更手段７２とを備えて構成されてい
る。なお、駆動回路６においては、前述したように測定
光Ｉの波長λを制御するように電圧制御がなされるが、
波長λの制御によって測定光Ｉの周波数fの制御が行な
われることは自明であろう。ここで、駆動回路６により
制御される電圧Ｖと測定光Ｉの波長λとの間には比例関
係があり、予め実験により相対関係を求めておくことに
より、適切な波長制御が行えることとなっている。
【００１４】ついで、図３に示すフローチャートを参照
して、本実施例にかかる三次元測定装置の作用を説明す
る。
して、本実施例にかかる三次元測定装置の作用を説明す
る。
【００１５】この三次元測定装置では、測定ヘッドＢ
(図４参照)の投光手段１から照射された測定光Ｉが被測
定物Ｃにおいて反射され、該反射光Ｉ′が受光手段２上
に結像した受光位置によって被測定物Ｃまでの距離Ｌが
測定されることとなっている。つまり、図２において被
測定物Ｃが、実線位置にある場合と、点線位置にある場
合とで、反射光Ｉ′の受光手段２上における受光位置が
ＸからＹへ移動することとなり、当該移動量に基づいて
被測定物Ｃの変位量ΔＬが求められることとなっている
が、被測定物Ｃの位置が実線位置から点線位置に変位す
ると、従来技術の項において説明したように、測定ヘッ
ドＢの高さ位置を固定した場合、投光手段１における投
光レンズ３の焦点距離Ｆと被測定物Ｃまでの距離Ｌとが
一致しない場合が生じ(図５参照)、受光手段２上の結像
がぼやけてしまうこととなる。
(図４参照)の投光手段１から照射された測定光Ｉが被測
定物Ｃにおいて反射され、該反射光Ｉ′が受光手段２上
に結像した受光位置によって被測定物Ｃまでの距離Ｌが
測定されることとなっている。つまり、図２において被
測定物Ｃが、実線位置にある場合と、点線位置にある場
合とで、反射光Ｉ′の受光手段２上における受光位置が
ＸからＹへ移動することとなり、当該移動量に基づいて
被測定物Ｃの変位量ΔＬが求められることとなっている
が、被測定物Ｃの位置が実線位置から点線位置に変位す
ると、従来技術の項において説明したように、測定ヘッ
ドＢの高さ位置を固定した場合、投光手段１における投
光レンズ３の焦点距離Ｆと被測定物Ｃまでの距離Ｌとが
一致しない場合が生じ(図５参照)、受光手段２上の結像
がぼやけてしまうこととなる。
【００１６】そこで、本実施例においては、図３のフロ
ーチャートにおけるステップＳ1において投光手段１に
よる測定光Ｉの照射が行なわれ、ステップＳ2において
被測定物Ｃにおいて反射された反射光Ｉ′が受光手段２
上に受光され、ステップＳ3において受光手段２により
受光された受光信号の増幅が信号増幅回路８により行な
われると、ステップＳ4において受光手段２上における
反射光Ｉ′の結像が適正状態にあるか否か(換言すれ
ば、結像がぼやけていないか)が制御回路７における判
定手段７１により判定される。ステップＳ4において肯
定判定(即ち、適正結像と判定)された場合には、周波数
変更の必要がないので、制御回路７による処理はステッ
プＳ1にリターンする。
ーチャートにおけるステップＳ1において投光手段１に
よる測定光Ｉの照射が行なわれ、ステップＳ2において
被測定物Ｃにおいて反射された反射光Ｉ′が受光手段２
上に受光され、ステップＳ3において受光手段２により
受光された受光信号の増幅が信号増幅回路８により行な
われると、ステップＳ4において受光手段２上における
反射光Ｉ′の結像が適正状態にあるか否か(換言すれ
ば、結像がぼやけていないか)が制御回路７における判
定手段７１により判定される。ステップＳ4において肯
定判定(即ち、適正結像と判定)された場合には、周波数
変更の必要がないので、制御回路７による処理はステッ
プＳ1にリターンする。
【００１７】一方、ステップＳ4において否定判定(即
ち、不適正結像と判定)された場合には、例えば被測定
物Ｃが実線位置(符号Ｃで示す)から点線位置(符号Ｃ′
で示す)に変位したため、被測定物までの距離がＬから
Ｌ′に変化し、測定光Ｉによる投光レンズ３の焦点距離
Ｆと被測定物Ｃ′までの距離Ｌ′とが一致していないこ
とを表しているので、制御回路７における周波数変更手
段７２により後述する周波数変更処理がなされる。
ち、不適正結像と判定)された場合には、例えば被測定
物Ｃが実線位置(符号Ｃで示す)から点線位置(符号Ｃ′
で示す)に変位したため、被測定物までの距離がＬから
Ｌ′に変化し、測定光Ｉによる投光レンズ３の焦点距離
Ｆと被測定物Ｃ′までの距離Ｌ′とが一致していないこ
とを表しているので、制御回路７における周波数変更手
段７２により後述する周波数変更処理がなされる。
【００１８】即ち、ステップＳ5において駆動回路６に
よる電圧変更範囲が設定レベル内にあるか否かの判定
(換言すれば、可変電圧レベルチェック)がなされる。こ
の処理は、被測定物Ｃの変位量が大き過ぎて周波数変更
では対応しきれない場合があるためなされる。従って、
ステップＳ5において否定判定された場合には、ステッ
プＳ6においてロボットＡにおける測定ヘッドＢの位置
を上昇させる制御が行なわれる。ステップＳ5において
肯定判定された場合には、ステップＳ7において制御回
路７における周波数変更手段７２からの制御信号を受け
た駆動回路６によって投光手段１に印加される電圧が変
更される。この場合、被測定物Ｃまでの距離がＬから
Ｌ′(Ｌ＞Ｌ′)に変化するのであるから、焦点距離Ｆが
短くなるように(換言すれば、測定光Ｉの周波数fが大き
くなるように)、測定光Ｉの波長λを小さくなす(換言す
れば、印加電圧を低める)こととなる。しかして、ステ
ップＳ1にリターンして、前記と同様な処理を行い、ス
テップＳ4において肯定判定されるまで繰り返される。
この時、測定光Ｉの焦点距離Ｆ′と被測定物Ｃ′までの
距離Ｌ′とが一致することとなる。なお、焦点距離Ｆを
長くする場合には、測定光Ｉの波長λを大きく(換言す
れば、周波数fを小さく)するような電圧制御が行なわれ
る。
よる電圧変更範囲が設定レベル内にあるか否かの判定
(換言すれば、可変電圧レベルチェック)がなされる。こ
の処理は、被測定物Ｃの変位量が大き過ぎて周波数変更
では対応しきれない場合があるためなされる。従って、
ステップＳ5において否定判定された場合には、ステッ
プＳ6においてロボットＡにおける測定ヘッドＢの位置
を上昇させる制御が行なわれる。ステップＳ5において
肯定判定された場合には、ステップＳ7において制御回
路７における周波数変更手段７２からの制御信号を受け
た駆動回路６によって投光手段１に印加される電圧が変
更される。この場合、被測定物Ｃまでの距離がＬから
Ｌ′(Ｌ＞Ｌ′)に変化するのであるから、焦点距離Ｆが
短くなるように(換言すれば、測定光Ｉの周波数fが大き
くなるように)、測定光Ｉの波長λを小さくなす(換言す
れば、印加電圧を低める)こととなる。しかして、ステ
ップＳ1にリターンして、前記と同様な処理を行い、ス
テップＳ4において肯定判定されるまで繰り返される。
この時、測定光Ｉの焦点距離Ｆ′と被測定物Ｃ′までの
距離Ｌ′とが一致することとなる。なお、焦点距離Ｆを
長くする場合には、測定光Ｉの波長λを大きく(換言す
れば、周波数fを小さく)するような電圧制御が行なわれ
る。
【００１９】上記したように、本実施例によれば、被測
定物Ｃの形状変化により被測定物Ｃまでの距離が変化し
た場合であっても、測定光Ｉの周波数変更によって受光
手段２上に適正な結像が得られるようにしているため、
測定ヘッドＢの高さを変化させなくとも被測定物Ｃの形
状変化に対応した測定検査が行えることとなり、測定検
査作業の高能率化に大いに寄与することとなる。
定物Ｃの形状変化により被測定物Ｃまでの距離が変化し
た場合であっても、測定光Ｉの周波数変更によって受光
手段２上に適正な結像が得られるようにしているため、
測定ヘッドＢの高さを変化させなくとも被測定物Ｃの形
状変化に対応した測定検査が行えることとなり、測定検
査作業の高能率化に大いに寄与することとなる。
【００２０】本願発明は、上記実施例の構成に限定され
るものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲において
適宜設計変更可能なことは勿論である。
るものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲において
適宜設計変更可能なことは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願発明のクレーム対応図である。
【図２】本願発明の実施例にかかる三次元測定装置にお
ける測定ヘッドの概略構成図である。
ける測定ヘッドの概略構成図である。
【図３】本願発明の実施例にかかる三次元測定装置の作
用を説明するためのフローチャートである。
用を説明するためのフローチャートである。
【図４】一般の三次元測定装置の概略構成図である。
【図５】一般の三次元測定装置における測定ヘッドの概
略構成図である。
略構成図である。
【図６】測定ヘッドにおける受光手段の概略構成図であ
る。
る。
１は投光手段、２は受光手段、３は投光レンズ、４は受
光レンズ、６は駆動回路、７は制御回路、８は信号増幅
回路、７１は判定手段、７２は周波数変更手段、Ｂは測
定ヘッド、Ｃは被測定物、Ｉは測定光、Ｉ′は反射光。
光レンズ、６は駆動回路、７は制御回路、８は信号増幅
回路、７１は判定手段、７２は周波数変更手段、Ｂは測
定ヘッド、Ｃは被測定物、Ｉは測定光、Ｉ′は反射光。
Claims (1)
- 【請求項１】 レーザ光等の測定光を投光レンズを介し
て被測定物に照射する投光手段と、前記被測定物からの
反射光を受光レンズを介して受光する受光手段とを有す
る測定ヘッドを備え、該受光手段への反射光の受光位置
によって被測定物までの距離を検出するように構成され
た三次元測定装置であって、前記受光手段への反射光の
結像が適正であることを判定する判定手段と、該判定手
段により適正結像と判定されるように前記投光手段から
照射される測定光の周波数を変化させる周波数変更手段
とが付設されていることを特徴とする三次元測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9795393A JPH06307823A (ja) | 1993-04-23 | 1993-04-23 | 三次元測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9795393A JPH06307823A (ja) | 1993-04-23 | 1993-04-23 | 三次元測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06307823A true JPH06307823A (ja) | 1994-11-04 |
Family
ID=14206042
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9795393A Pending JPH06307823A (ja) | 1993-04-23 | 1993-04-23 | 三次元測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06307823A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100490940B1 (ko) * | 2001-12-24 | 2005-05-23 | 학교법인조선대학교 | 변형 형상 동시 계측용 휴대용 비접촉 비파괴 레이저계측기 |
-
1993
- 1993-04-23 JP JP9795393A patent/JPH06307823A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100490940B1 (ko) * | 2001-12-24 | 2005-05-23 | 학교법인조선대학교 | 변형 형상 동시 계측용 휴대용 비접촉 비파괴 레이저계측기 |
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