JPH06302966A - 多層基板 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡単にかつ正確にコンデンサの静電容量を調
整することができる多層基板を得る。 【構成】 多層基板１０は、誘電体材料で形成されたベ
ース１２を含む。ベース１２内には、交互に積層された
コンデンサ用電極１４，１６を形成する。コンデンサ用
電極１４，１６は、それぞれビアホール１８，２２を介
して、パターン電極２０，２４に接続する。さらに、ベ
ース１２内に、コンデンサ用電極１４，１６と間隔を隔
てて、シールド電極２６を形成する。複数のコンデンサ
用電極のうち、最外層のコンデンサ用電極１４を除くコ
ンデンサ用電極を、静電容量調整用として用いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は多層基板に関し、特に
たとえば、内部において対向するコンデンサ用電極によ
って形成されたコンデンサを含む多層基板に関する。

【０００２】

【従来の技術】図３は従来の多層基板の一部分を示す断
面図である。多層基板１は、たとえば誘電体材料で形成
されたベース２を含む。ベース２内には、交互に積層さ
れた複数のコンデンサ用電極３，４が形成される。コン
デンサ用電極３は、ビアホール５を介してベース２の表
面に形成されたパターン電極６に接続される。同様に、
コンデンサ用電極４は、ビアホール７を介してベース２
の表面に形成されたパターン電極８に接続される。さら
に、ベース２内部には、シールドパターン９が形成され
る。したがって、この多層基板１では、パターン電極６
とパターン電極８との間に、静電容量が形成される。こ
の多層基板１の他の部分には、配線導体や抵抗，インダ
クタンスなどが形成され、それらが接続されて所定の回
路が形成されている。

【０００３】このような多層基板１では、ベース２の原
料となるセラミック材料のロットによる誘電率のばらつ
きや、回路の設計変更などにより、静電容量の補正を要
する場合がある。このような場合、シミュレーションな
どによって、最外層のコンデンサ用電極の面積を調整す
ることにより、静電容量を調整していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、シール
ド電極，他の内蔵電極またはベース表面のパターン電極
などとコンデンサ用電極との間には、浮遊容量が発生す
る。たとえば、シールド電極とコンデンサ用電極との間
の浮遊容量を考えると、図３および図４に示すように、
コンデンサ用電極で形成されたコンデンサＣとシールド
電極との間に、浮遊容量Ｃａ，Ｃｂが発生する。内層の
コンデンサ用電極間の電気力線は閉じ込められるため、
浮遊容量は主としてシールド電極とそれに対向するコン
デンサ用電極との間に発生すると考えられる。シールド
電極に対向するコンデンサ用電極としては、図３に示す
ように、調整用として用いられる最外層のコンデンサ用
電極と、それに隣接するコンデンサ用電極とが考えられ
る。

【０００５】そのため、内層のコンデンサ用電極の面積
をＳ，調整用のコンデンサ用電極の面積をＳ’とする
と、図５に示すように、調整用のコンデンサ用電極の面
積Ｓ’が大きくなるにしたがって、内層側のコンデンサ
用電極とシールド電極との間の浮遊容量Ｃａは減少し、
最外層のコンデンサ用電極とシールド電極との間の浮遊
容量Ｃｂは増加する。したがって、正確にコンデンサの
静電容量を調整するためには、これらの浮遊容量Ｃａ，
Ｃｂの変化も予測して、調整用のコンデンサ用電極の面
積を決定する必要があった。

【０００６】それゆえに、この発明の主たる目的は、簡
単にかつ正確にコンデンサの静電容量を調整することが
できる多層基板を提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この発明は、内部におい
て対向する複数のコンデンサ用電極によって形成された
コンデンサを含む多層基板において、最外層のコンデン
サ用電極を除く前記コンデンサ用電極の面積を調整する
ことによってコンデンサの容量値を調整したことを特徴
とする、多層基板である。

【０００８】

【作用】最外層のコンデンサ用電極の面積が一定である
ため、内層のコンデンサ用電極の面積を調整しても、主
として最外層のコンデンサ用電極と他の電極との間に形
成される浮遊容量の変化がきわめて小さい。調整用とし
て用いられるコンデンサ用電極の両側には別のコンデン
サ用電極が配置されているため、調整用のコンデンサ用
電極の面積を変化させると、その両側のコンデンサ用電
極との間で静電容量が変化する。

【０００９】

【発明の効果】この発明によれば、多層基板に形成され
るコンデンサの静電容量を調整する際に、浮遊容量の変
化がきわめて小さいため、調整用のコンデンサ電極の面
積を簡単に決定することができる。この場合、浮遊容量
の変化を考えなくてもよいため、シミュレーションによ
り正確に静電容量の補正量を知ることができる。しか
も、調整用のコンデンサ用電極の面積を変えることによ
って、その両側のコンデンサ用電極との間の静電容量が
変化するため、全体の静電容量を広範囲で調整すること
ができる。

【００１０】この発明の上述の目的，その他の目的，特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。

【００１１】

【実施例】図１はこの発明の多層基板の一部分を示す断
面図であり、図２はその分解斜視図である。多層基板１
０は、ベース１２を含む。ベース１２は、たとえば誘電
体セラミックなどで形成される。ベース１２内には、複
数のコンデンサ用電極１４，１６が形成される。コンデ
ンサ用電極１４，１６は交互に積層され、それらの主面
が対向するように形成される。この実施例では、一方の
コンデンサ用電極１４の面積は、他方のコンデンサ用電
極１６の面積より大きくなるように形成される。そし
て、両方の最外層には、一方のコンデンサ用電極１４が
配置される。

【００１２】一方のコンデンサ用電極１４は、ビアホー
ル１８を介して、ベース１２の表面に形成されたパター
ン電極２０に接続される。同様に、他方のコンデンサ用
電極１６は、ビアホール２２を介して、ベース１２の表
面に形成されたパターン電極２４に接続される。このと
き、一方のコンデンサ用電極１４の一部が、たとえば円
形に除去され、その間にビアホール２２が形成される。
したがって、ビアホール２２は、一方のコンデンサ用電
極１４を貫通するように形成される。ビアホール１８，
２２には導電材が充填され、それによってコンデンサ用
電極１４とパターン電極２０とが接続され、コンデンサ
用電極１６とパターン電極２４とが接続される。このよ
うにして、パターン電極２０とパターン電極２４との間
にコンデンサが形成される。

【００１３】さらに、ベース１２内には、コンデンサ用
電極１４，１６と間隔を隔てて、シールド電極２６が形
成される。このシールド電極２６は接地され、多層基板
１０を電磁気的にシールドするためのものである。ま
た、ベース１２の表面には、他の素子に接続されるパタ
ーン電極２８などが形成される。ベース１２の他の部分
には、配線導体が形成されたり螺旋状の電極を形成する
ことによってインダクタが形成されたり、抵抗材料で抵
抗が形成されたりする。そして、これらのコンデンサ，
インダクタおよび抵抗などを接続することによって、回
路が形成される。さらに、多層基板１０の表面に形成さ
れたパターン電極や配線導体に、トランジスタやＩＣな
どの部品を取り付けてもよい。

【００１４】このような多層基板１０を形成するには、
ベース１２の材料となるセラミックグリーンシートが準
備される。このセラミックグリーンシート上に、コンデ
ンサ用電極，シールド電極およびインダクタ用電極など
の形状にたとえば電極ペーストが塗布され、また抵抗材
料ペーストが塗布される。さらに、セラミックグリーン
シートにビアホールを形成して電極ペーストを充填し、
セラミックグリーンシートが積層される。そして、積層
されたセラミックグリーンシートを焼成することによっ
て、コンデンサ用電極，シールド電極，インダクタ用電
極および抵抗などが形成された多層基板１０が得られ
る。

【００１５】このような多層基板１０では、たとえばセ
ラミック材料の誘電率がロット間でばらついたり、回路
の設計変更などによって、コンデンサの静電容量を調整
する場合がある。このような場合、最外層のコンデンサ
用電極１４を除くコンデンサ用電極の面積が調整され
る。この実施例では、ほぼ中央部のコンデンサ用電極１
６が調整用として用いられる。コンデンサ用電極の面積
を調整するには、製造工程において、セラミックグリー
ンシートに電極を形成するときに、その面積を調整すれ
ばよい。

【００１６】この多層基板１０では、浮遊容量は主とし
て最外層のコンデンサ用電極１４とシールド電極２６と
の間に形成される。そして、内層のコンデンサ用電極１
６からの電気力線は隣接するコンデンサ用電極に閉じ込
められるため、内層のコンデンサ用電極１６とシールド
電極２６との間の浮遊容量はほぼ０となる。そのため、
内層のコンデンサ用電極１６の面積を変えても、最外層
のコンデンサ用電極１４の面積は一定であるため、浮遊
容量はほとんど変化しない。したがって、調整用のコン
デンサ用電極１６の面積を変えれば、パターン電極２０
とパターン電極２４との間に形成されたコンデンサの静
電容量のみを変化させることができる。コンデンサ用電
極１６の面積を変える度に、いちいち従来例のように基
板全体の回路をシミュレートしたりする必要がない。

【００１７】また、調整用のコンデンサ用電極１６の両
側にコンデンサ用電極１４が配置されているため、調整
用のコンデンサ用電極１６の面積を変えれば、２つの対
向電極との間で静電容量を変えることができる。そのた
め、パターン電極２０とパターン電極２４との間に形成
されたコンデンサの静電容量を広範囲で変化させること
ができる。さらに、浮遊容量の変化がほとんどないた
め、シミュレーションによって簡単に調整用のコンデン
サ用電極１６の面積を決定することができる。しかも、
浮遊容量の変化をほとんど考慮する必要がないため、調
整用のコンデンサ用電極１６の面積を変化させた通りの
ほぼ正確な静電容量を算出することができる。

【００１８】なお、上述の実施例では、ほぼ中央部のコ
ンデンサ用電極１６を調整用として用いたが、別のコン
デンサ用電極１４を調整用として用いてもよい。また、
中央部のコンデンサ用電極に限らず、最外層のコンデン
サ用電極１４を除くコンデンサ用電極であれば、どの電
極を調整用としてもよい。さらに、調整用のコンデンサ
用電極は１つに限らず、複数のコンデンサ用電極を調整
用として用いてもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の多層基板の一部分を示す断面図であ
る。

【図２】図１に示す多層基板の分解斜視図である。

【図３】従来の多層基板の一部分を示す断面図である。

【図４】多層基板の等価回路図である。

【図５】図３に示す従来の多層基板の調整用電極と浮遊
容量との関係を示すグラフである。

【符号の説明】

１０ 多層基板 １２ ベース １４ コンデンサ用電極 １６ コンデンサ用電極 ２６ シールド電極

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内部において対向する複数のコンデンサ
   用電極によって形成されたコンデンサを含む多層基板に
   おいて、 最外層の前記コンデンサ用電極を除く前記コンデンサ用
   電極の面積を調整することによって前記コンデンサの容
   量値を調整したことを特徴とする、多層基板。