JPH06302029A - 光磁気記録媒体及びその記録方法 - Google Patents
光磁気記録媒体及びその記録方法Info
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- JPH06302029A JPH06302029A JP8902793A JP8902793A JPH06302029A JP H06302029 A JPH06302029 A JP H06302029A JP 8902793 A JP8902793 A JP 8902793A JP 8902793 A JP8902793 A JP 8902793A JP H06302029 A JPH06302029 A JP H06302029A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は光磁気記録媒体及びその記録方法に
関するものであり、記録磁区の形、大きさを均一安定化
して、大きな信号対雑音比を実現するものである。 【構成】 本発明の光磁気記録媒体は、記録トラック１
６上にレーザ光ビーム径以下の一定形状の凹凸１７を規
則的に配列してなる基板上１１に、記録膜１３を形成す
るという構成とし、本発明の記録方法は、前記光磁気記
録媒体を用いて、凸部または凹部にのみレーザ光ビーム
で記録する。これによって、記録磁区の輪郭部分である
磁壁の不規則な移動が防止でき、記録磁区の形、大きさ
を均一安定化できるものである。
関するものであり、記録磁区の形、大きさを均一安定化
して、大きな信号対雑音比を実現するものである。 【構成】 本発明の光磁気記録媒体は、記録トラック１
６上にレーザ光ビーム径以下の一定形状の凹凸１７を規
則的に配列してなる基板上１１に、記録膜１３を形成す
るという構成とし、本発明の記録方法は、前記光磁気記
録媒体を用いて、凸部または凹部にのみレーザ光ビーム
で記録する。これによって、記録磁区の輪郭部分である
磁壁の不規則な移動が防止でき、記録磁区の形、大きさ
を均一安定化できるものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレーザ光による温度上昇
を利用して記録消去を行い、磁気光学効果を利用して再
生を行う光磁気記録媒体及びその記録方法に関する。
を利用して記録消去を行い、磁気光学効果を利用して再
生を行う光磁気記録媒体及びその記録方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に光磁気記録媒体への記録は、レー
ザ光照射により記録膜を局部的に補償温度以上の保磁力
の小さい温度、もしくはキュリー温度以上に加熱し、照
射部の記録膜を外部磁界の向きに磁化させることによっ
て行う（熱磁気記録）。また、その記録信号の再生は、
記録消去時のレーザパワーより低いパワーのレーザ光を
照射し、記録膜の記録状態（磁化の向き）に応じて反射
光あるいは透過光の偏光面が回転する（磁気光学効果）
状況を検出することによって行う。また、高密度記録を
するために光磁気記録媒体の記録膜には垂直磁気異方性
を有する磁性材料が用いられる。
ザ光照射により記録膜を局部的に補償温度以上の保磁力
の小さい温度、もしくはキュリー温度以上に加熱し、照
射部の記録膜を外部磁界の向きに磁化させることによっ
て行う（熱磁気記録）。また、その記録信号の再生は、
記録消去時のレーザパワーより低いパワーのレーザ光を
照射し、記録膜の記録状態（磁化の向き）に応じて反射
光あるいは透過光の偏光面が回転する（磁気光学効果）
状況を検出することによって行う。また、高密度記録を
するために光磁気記録媒体の記録膜には垂直磁気異方性
を有する磁性材料が用いられる。
【０００３】従来の光磁気記録媒体の記録膜としては、
ＭｎＢｉ膜等のＭｎ合金系磁性膜，Ｂｉ置換ＤｙＦｅガ
ーネット膜等のガーネット系磁性膜，Ｃｏ／Ｐｔ多層膜
等の遷移金属／貴金属系多層膜，ＴｂＦｅＣｏ膜等の希
土類−遷移金属合金系磁性膜等がある。
ＭｎＢｉ膜等のＭｎ合金系磁性膜，Ｂｉ置換ＤｙＦｅガ
ーネット膜等のガーネット系磁性膜，Ｃｏ／Ｐｔ多層膜
等の遷移金属／貴金属系多層膜，ＴｂＦｅＣｏ膜等の希
土類−遷移金属合金系磁性膜等がある。
【０００４】これらの記録膜の内、実用化されているも
のは、希土類元素として少なくともＴｂまたはＤｙを含
んだ希土類−遷移金属合金系磁性膜である。この記録膜
は、熱磁気特性に優れている。つまり記録時にキュリー
温度以上にレーザ光加熱された後、冷却過程における温
度の低下に伴い、保磁力が急激に増大し、安定した磁区
がすばやく固着されるため、形、大きさの揃った微小磁
区が安定して記録できるためである。また、この記録膜
は、カー回転角が0.3〜0.5度と比較的大きいため、再生
特性が良好であることも、実用化されるに至っている理
由の１つである。
のは、希土類元素として少なくともＴｂまたはＤｙを含
んだ希土類−遷移金属合金系磁性膜である。この記録膜
は、熱磁気特性に優れている。つまり記録時にキュリー
温度以上にレーザ光加熱された後、冷却過程における温
度の低下に伴い、保磁力が急激に増大し、安定した磁区
がすばやく固着されるため、形、大きさの揃った微小磁
区が安定して記録できるためである。また、この記録膜
は、カー回転角が0.3〜0.5度と比較的大きいため、再生
特性が良好であることも、実用化されるに至っている理
由の１つである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、希土類
−遷移金属合金系磁性膜であっても、ＴｂやＤｙを含ま
ないものは保磁力が小さく、熱磁気特性が劣るために、
記録に伴う雑音が著しく増加する。つまり、記録時にキ
ュリー温度以上にレーザ光加熱された後、冷却過程にお
いて温度の低下に伴う保磁力増加が緩慢なため、その間
に磁壁が移動し、安定した磁区がすばやく固着されない
ため、形、大きさの揃わない磁区しか記録できないため
である。
−遷移金属合金系磁性膜であっても、ＴｂやＤｙを含ま
ないものは保磁力が小さく、熱磁気特性が劣るために、
記録に伴う雑音が著しく増加する。つまり、記録時にキ
ュリー温度以上にレーザ光加熱された後、冷却過程にお
いて温度の低下に伴う保磁力増加が緩慢なため、その間
に磁壁が移動し、安定した磁区がすばやく固着されない
ため、形、大きさの揃わない磁区しか記録できないため
である。
【０００６】また、更なる高密度化、更なる高転送速度
化への要求を実現させるためには、より小さな光スポッ
トを実現できる短波長光に対して、大きなカー回転角を
有する光磁気材料が求められる。しかし、ＴｂやＤｙを
含む希土類−遷移金属合金系磁性膜は、緑色から青色の
短波長光に対してはカー回転角が低下し、そのため信号
対雑音比が不足し、高密度化、高転送速度化に対し、著
しい障害となっている。
化への要求を実現させるためには、より小さな光スポッ
トを実現できる短波長光に対して、大きなカー回転角を
有する光磁気材料が求められる。しかし、ＴｂやＤｙを
含む希土類−遷移金属合金系磁性膜は、緑色から青色の
短波長光に対してはカー回転角が低下し、そのため信号
対雑音比が不足し、高密度化、高転送速度化に対し、著
しい障害となっている。
【０００７】一方、Ｍｎ合金系磁性膜，ガーネット系磁
性膜，遷移金属／貴金属系多層膜は、短波長光に対して
比較的大きなカー回転角を有するが、保磁力が小さく、
また熱磁気特性が劣るために、記録に伴う雑音が著しく
増加する。つまり、記録時にキュリー温度以上にレーザ
光加熱された後、冷却過程において温度の低下に伴う保
磁力増加が緩慢なため、その間に磁壁が移動し、安定し
た磁区がすばやく固着されないため、形、大きさの揃わ
ない磁区しか記録できないためである。
性膜，遷移金属／貴金属系多層膜は、短波長光に対して
比較的大きなカー回転角を有するが、保磁力が小さく、
また熱磁気特性が劣るために、記録に伴う雑音が著しく
増加する。つまり、記録時にキュリー温度以上にレーザ
光加熱された後、冷却過程において温度の低下に伴う保
磁力増加が緩慢なため、その間に磁壁が移動し、安定し
た磁区がすばやく固着されないため、形、大きさの揃わ
ない磁区しか記録できないためである。
【０００８】本発明は上記課題に鑑み、保磁力が小さい
希土類−遷移金属合金系磁性膜に対しては記録磁区を安
定化させ、また、Ｍｎ合金系磁性膜，ガーネット系磁性
膜，遷移金属／貴金属系多層膜に対しては短波長光に対
する大きなカー回転角と記録磁区の安定化を両立させ、
大きな信号対雑音比を有する光磁気記録媒体及びその記
録方法を提供するものである。
希土類−遷移金属合金系磁性膜に対しては記録磁区を安
定化させ、また、Ｍｎ合金系磁性膜，ガーネット系磁性
膜，遷移金属／貴金属系多層膜に対しては短波長光に対
する大きなカー回転角と記録磁区の安定化を両立させ、
大きな信号対雑音比を有する光磁気記録媒体及びその記
録方法を提供するものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明の光磁気記録媒体は、記録トラック上にレーザ
光ビーム径以下のサイズの一定形状の凹凸を規則的に配
列してなる基板上に、記録膜を形成した構成とし、本発
明の光磁気記録媒体の記録方法は、記録トラック上にレ
ーザ光ビーム径以下のサイズの一定形状の凹凸を規則的
に配列してなる基板上に、記録膜が形成されている光磁
気記録媒体を用いて、前記凸部または凹部にのみ記録す
る方法とする。
に本発明の光磁気記録媒体は、記録トラック上にレーザ
光ビーム径以下のサイズの一定形状の凹凸を規則的に配
列してなる基板上に、記録膜を形成した構成とし、本発
明の光磁気記録媒体の記録方法は、記録トラック上にレ
ーザ光ビーム径以下のサイズの一定形状の凹凸を規則的
に配列してなる基板上に、記録膜が形成されている光磁
気記録媒体を用いて、前記凸部または凹部にのみ記録す
る方法とする。
【００１０】
【作用】本発明の光磁気記録媒体は前記構成によって、
以下のように前記課題を解決する。
以下のように前記課題を解決する。
【００１１】記録膜である磁性膜中に記録された情報
は、磁化の向きが同一な領域である磁区として存在し、
この記録磁区の輪郭部分は磁化の向きが徐々に逆向きに
遷移していく領域である磁壁となる。保磁力が小さい記
録膜において、記録磁区の形状が不定形に成り易い理由
は、記録時にキュリー温度以上にレーザ光加熱された
後、冷却過程において温度の低下に伴う保磁力増加が緩
慢なため、その間磁壁が移動しやすい状態が保たれてい
るからである。
は、磁化の向きが同一な領域である磁区として存在し、
この記録磁区の輪郭部分は磁化の向きが徐々に逆向きに
遷移していく領域である磁壁となる。保磁力が小さい記
録膜において、記録磁区の形状が不定形に成り易い理由
は、記録時にキュリー温度以上にレーザ光加熱された
後、冷却過程において温度の低下に伴う保磁力増加が緩
慢なため、その間磁壁が移動しやすい状態が保たれてい
るからである。
【００１２】ここで、記録トラック上にレーザ光ビーム
径以下のサイズの一定形状の凹凸を配列してなる基板上
に、保磁力が小さい記録膜を形成した構成の光磁気記録
媒体を用い、その孤立的に配列された凸部に磁区として
記録した場合を考える。一定形状の凹凸を配列してなる
基板は、通常、スタンパと呼ばれる型を用いて樹脂成形
によって作製するが、そのスタンパ中の凹凸はレーザ光
によるパターン露光、パターンエッチング等によって形
成される。したがって、基板の凸部境界には段差が存在
し、その段差部分は微小な凹凸を有する斜面となる。こ
のような凸部境界の段差部分にスパッタ法等の成膜方法
により記録膜が形成されると、記録膜の密度や組成、さ
らには磁気的異方性は他の平面部分におけるものとは異
なったものとなり、当然、磁壁エネルギーも異なったも
のとなる。また、磁壁は磁壁エネルギーの異なる場所、
すなわち凸部境界の段差部分に移動を妨げられる性質を
有する。
径以下のサイズの一定形状の凹凸を配列してなる基板上
に、保磁力が小さい記録膜を形成した構成の光磁気記録
媒体を用い、その孤立的に配列された凸部に磁区として
記録した場合を考える。一定形状の凹凸を配列してなる
基板は、通常、スタンパと呼ばれる型を用いて樹脂成形
によって作製するが、そのスタンパ中の凹凸はレーザ光
によるパターン露光、パターンエッチング等によって形
成される。したがって、基板の凸部境界には段差が存在
し、その段差部分は微小な凹凸を有する斜面となる。こ
のような凸部境界の段差部分にスパッタ法等の成膜方法
により記録膜が形成されると、記録膜の密度や組成、さ
らには磁気的異方性は他の平面部分におけるものとは異
なったものとなり、当然、磁壁エネルギーも異なったも
のとなる。また、磁壁は磁壁エネルギーの異なる場所、
すなわち凸部境界の段差部分に移動を妨げられる性質を
有する。
【００１３】記録時には凸部へのレーザ光照射によっ
て、記録膜の概ね光ビーム径以下の領域がキュリー温度
以上に加熱される。その後、冷却過程において温度の低
下に伴う保磁力増加が緩慢なため、磁壁が移動しやすい
状態にしばらく保たれるが、このときレーザ光ビーム径
以下のサイズの凸部に記録しているため、記録磁区の輪
郭部分である磁壁は凸部境界の段差のために移動が妨げ
られる。その結果、記録膜の保磁力が小さくても、レー
ザ光ビーム径以下のサイズの一定形状の凸部分にのみ同
一形状の記録磁区が安定して記録されることになる。
て、記録膜の概ね光ビーム径以下の領域がキュリー温度
以上に加熱される。その後、冷却過程において温度の低
下に伴う保磁力増加が緩慢なため、磁壁が移動しやすい
状態にしばらく保たれるが、このときレーザ光ビーム径
以下のサイズの凸部に記録しているため、記録磁区の輪
郭部分である磁壁は凸部境界の段差のために移動が妨げ
られる。その結果、記録膜の保磁力が小さくても、レー
ザ光ビーム径以下のサイズの一定形状の凸部分にのみ同
一形状の記録磁区が安定して記録されることになる。
【００１４】ここで、逆に凹部が孤立的に配列された基
板を用いた場合は、凹部に磁区を記録すれば上記作用と
同様に、レーザ光ビーム径以下のサイズの一定形状の凹
部分にのみ同一形状の記録磁区が安定して記録されるこ
とになる。
板を用いた場合は、凹部に磁区を記録すれば上記作用と
同様に、レーザ光ビーム径以下のサイズの一定形状の凹
部分にのみ同一形状の記録磁区が安定して記録されるこ
とになる。
【００１５】次に、本発明の光磁気記録媒体の記録方法
は、以下のように前記課題を解決する。記録トラック上
にレーザ光ビーム径以下のサイズの一定形状の凹凸を配
列してある光磁気記録媒体を再生すると、凹凸部分によ
り再生レーザ光が回折されるため、その凹凸に対応した
信号が検出される。したがって、単に前記一定形状の凹
凸を配列してあるだけでは、本来の光磁気記録信号に凹
凸信号が重畳されて検出されることになる。そこで、凹
凸を予め決められた規則性をもって配列し、その凸部ま
たは凹部にのみ記録すれば、凹凸による信号成分と光磁
気記録信号を分離することが可能となる。
は、以下のように前記課題を解決する。記録トラック上
にレーザ光ビーム径以下のサイズの一定形状の凹凸を配
列してある光磁気記録媒体を再生すると、凹凸部分によ
り再生レーザ光が回折されるため、その凹凸に対応した
信号が検出される。したがって、単に前記一定形状の凹
凸を配列してあるだけでは、本来の光磁気記録信号に凹
凸信号が重畳されて検出されることになる。そこで、凹
凸を予め決められた規則性をもって配列し、その凸部ま
たは凹部にのみ記録すれば、凹凸による信号成分と光磁
気記録信号を分離することが可能となる。
【００１６】特に、レーザ光ビーム径の半分以下のサイ
ズの一定形状の凹凸を最密状態に等間隔に配列した場合
には、凹凸配列が再生レーザ光の分解能以下となって、
凹凸信号そのものが非常に小さくなり、複数の凸部また
は凹部に記録された磁区をまとめて一つの情報ビットと
して扱えば、光磁気記録信号のみ効率的に検出すること
ができる。
ズの一定形状の凹凸を最密状態に等間隔に配列した場合
には、凹凸配列が再生レーザ光の分解能以下となって、
凹凸信号そのものが非常に小さくなり、複数の凸部また
は凹部に記録された磁区をまとめて一つの情報ビットと
して扱えば、光磁気記録信号のみ効率的に検出すること
ができる。
【００１７】
【実施例】以下、本発明の一実施例の光磁気記録媒体及
びその記録方法について、図面を参照しながら説明す
る。
びその記録方法について、図面を参照しながら説明す
る。
【００１８】まず、本発明の第１の実施例について説明
する。図１は本発明の第１の実施例における光磁気記録
媒体の構成を示すものである。図１において、構成要素
として１１はガラス，プラスチック等の基板、１２およ
び１４はＳｉＯＮ膜からなる保護膜、１３はＧｄＦｅＣ
ｏ膜（室温での保磁力３００エルステッド前後）からな
る記録膜、１５はエポキシアクリレート系樹脂からなる
保護層、１６は記録トラック、１７は基板１１上に０.
７μｍ間隔で配列されている直径約０.６μｍ深さ約７
０ｎｍの円柱状凹部である。
する。図１は本発明の第１の実施例における光磁気記録
媒体の構成を示すものである。図１において、構成要素
として１１はガラス，プラスチック等の基板、１２およ
び１４はＳｉＯＮ膜からなる保護膜、１３はＧｄＦｅＣ
ｏ膜（室温での保磁力３００エルステッド前後）からな
る記録膜、１５はエポキシアクリレート系樹脂からなる
保護層、１６は記録トラック、１７は基板１１上に０.
７μｍ間隔で配列されている直径約０.６μｍ深さ約７
０ｎｍの円柱状凹部である。
【００１９】ここで、基板１１上の各膜はスパッタ法あ
るいは真空蒸着法により形成し、保護層１６は成膜完了
後にスピンコート法により形成した。各膜厚は保護膜１
２を６０〜１２０ｎｍ、記録膜１３を３０〜１００ｎ
ｍ、保護膜１４を８０〜１００ｎｍ、保護層１５は３〜
６μｍと設定した。
るいは真空蒸着法により形成し、保護層１６は成膜完了
後にスピンコート法により形成した。各膜厚は保護膜１
２を６０〜１２０ｎｍ、記録膜１３を３０〜１００ｎ
ｍ、保護膜１４を８０〜１００ｎｍ、保護層１５は３〜
６μｍと設定した。
【００２０】図２に従来の光磁気記録媒体の構成を示す
が、２１はガラス，プラスチック等の基板、２２および
２４はＳｉＯＮ膜からなる保護膜、２３はＧｄＦｅＣｏ
膜（室温での保磁力３００エルステッド前後）からなる
記録膜、２５はエポキシアクリレート系樹脂からなる保
護層、２６は記録トラックであって、図１に示す本実施
例の光磁気記録媒体とは基板の構成のみが異なるもので
ある。
が、２１はガラス，プラスチック等の基板、２２および
２４はＳｉＯＮ膜からなる保護膜、２３はＧｄＦｅＣｏ
膜（室温での保磁力３００エルステッド前後）からなる
記録膜、２５はエポキシアクリレート系樹脂からなる保
護層、２６は記録トラックであって、図１に示す本実施
例の光磁気記録媒体とは基板の構成のみが異なるもので
ある。
【００２１】ここで、図１に示す本実施例の光磁気記録
媒体および図２に示す従来の光磁気記録媒体を用いて、
線速７ｍ／ｓ、記録パワー５ｍＷ、再生パワー１.５ｍ
Ｗの条件で記録再生を行い、比較を行った。このとき、
本実施例の光磁気記録媒体には凹部のみに記録されるよ
うに制御しながら記録を行った。その結果をＣ／Ｎの記
録ビット長依存性として図３に示す。本実施例の光磁気
記録媒体は、従来の光磁気記録媒体に比較して、記録ビ
ット長０.７μｍにおいてＣ／Ｎが約６ｄＢ向上してい
る。
媒体および図２に示す従来の光磁気記録媒体を用いて、
線速７ｍ／ｓ、記録パワー５ｍＷ、再生パワー１.５ｍ
Ｗの条件で記録再生を行い、比較を行った。このとき、
本実施例の光磁気記録媒体には凹部のみに記録されるよ
うに制御しながら記録を行った。その結果をＣ／Ｎの記
録ビット長依存性として図３に示す。本実施例の光磁気
記録媒体は、従来の光磁気記録媒体に比較して、記録ビ
ット長０.７μｍにおいてＣ／Ｎが約６ｄＢ向上してい
る。
【００２２】また、上記記録再生を行った２つの光磁気
記録媒体について、偏光顕微鏡によって記録磁区の形状
観察した結果、本実施例の光磁気記録媒体の場合は、円
柱状の凹部１７の形状に沿ってきれいに整った磁区形状
であったが、従来の光磁気記録媒体の場合は、磁区の大
きさが不揃いで磁区の輪郭も乱れたものであった。
記録媒体について、偏光顕微鏡によって記録磁区の形状
観察した結果、本実施例の光磁気記録媒体の場合は、円
柱状の凹部１７の形状に沿ってきれいに整った磁区形状
であったが、従来の光磁気記録媒体の場合は、磁区の大
きさが不揃いで磁区の輪郭も乱れたものであった。
【００２３】なお、本実施例の光磁気記録媒体では保護
膜１２および１４としてＳｉＯＮ膜を、記録膜１３とし
てＧｄＦｅＣｏ膜を、保護層１５としてエポキシアクリ
レート系樹脂層を用いたが、保護膜１２および１４とし
てＳｉＯＮ膜の代わりにＺｎＳ膜等のカルコゲン化物の
膜，ＴａＯ2膜等の酸化物の膜，ＳｉＮ膜等の窒化物の
膜あるいはそれらの混合物の膜を、記録膜１３としてＧ
ｄＦｅＣｏ膜の代わりにＧｄＦｅ膜，ＧｄＣｏ膜等のあ
るいはこれらにＮｄ，Ｐｒ，Ｓｍの中から選択して少な
くとも一種類を添加した希土類ー遷移金属合金系磁性
膜、またはＣｏ／Ｐｔ多層膜，Ｃｏ／Ｐｄ多層膜等の遷
移金属／貴金属系多層膜のうちいずれかを用いてもよ
く、保護層１５としてエポキシアクリレート系樹脂層の
代わりにアクリル系等の他の樹脂層を用いるか、あるい
は基板上に保護膜１４まで形成したものを張り合わせた
構成とする場合は張り合わせ用接着剤で兼用してもよ
い。
膜１２および１４としてＳｉＯＮ膜を、記録膜１３とし
てＧｄＦｅＣｏ膜を、保護層１５としてエポキシアクリ
レート系樹脂層を用いたが、保護膜１２および１４とし
てＳｉＯＮ膜の代わりにＺｎＳ膜等のカルコゲン化物の
膜，ＴａＯ2膜等の酸化物の膜，ＳｉＮ膜等の窒化物の
膜あるいはそれらの混合物の膜を、記録膜１３としてＧ
ｄＦｅＣｏ膜の代わりにＧｄＦｅ膜，ＧｄＣｏ膜等のあ
るいはこれらにＮｄ，Ｐｒ，Ｓｍの中から選択して少な
くとも一種類を添加した希土類ー遷移金属合金系磁性
膜、またはＣｏ／Ｐｔ多層膜，Ｃｏ／Ｐｄ多層膜等の遷
移金属／貴金属系多層膜のうちいずれかを用いてもよ
く、保護層１５としてエポキシアクリレート系樹脂層の
代わりにアクリル系等の他の樹脂層を用いるか、あるい
は基板上に保護膜１４まで形成したものを張り合わせた
構成とする場合は張り合わせ用接着剤で兼用してもよ
い。
【００２４】次に、本発明の第２の実施例について説明
する。図４は本発明の第２の実施例における光磁気記録
媒体の構成を示すものである。図４において、４１はガ
ラス等の基板、４２および４４はＳｉＮ膜からなる保護
膜、４３はＭｎＢｉＡｌ膜（室温での保磁力８００エル
ステッド前後）からなる記録膜、４５はエポキシアクリ
レート系樹脂からなる保護層、４６は記録トラック、４
７は基板上４１に０.７μｍ間隔で配列されている直径
約０.６μｍ、深さ約７０ｎｍの円柱状凹部である。こ
こで、基板４１はガラス板をプラズマエッチング法によ
って直接パターン形成することによって作製し、基板４
１上の各膜をスパッタ法あるいは真空蒸着法により形成
後、真空槽中で３２０℃約２時間熱処理し、保護層４６
は熱処理完了後にスピンコート法により形成した。各膜
厚は保護膜４２を６０〜１２０ｎｍ、記録膜４３を３０
〜１００ｎｍ、保護膜４４を８０〜１００ｎｍ、保護層
４５は３〜６μｍと設定した。
する。図４は本発明の第２の実施例における光磁気記録
媒体の構成を示すものである。図４において、４１はガ
ラス等の基板、４２および４４はＳｉＮ膜からなる保護
膜、４３はＭｎＢｉＡｌ膜（室温での保磁力８００エル
ステッド前後）からなる記録膜、４５はエポキシアクリ
レート系樹脂からなる保護層、４６は記録トラック、４
７は基板上４１に０.７μｍ間隔で配列されている直径
約０.６μｍ、深さ約７０ｎｍの円柱状凹部である。こ
こで、基板４１はガラス板をプラズマエッチング法によ
って直接パターン形成することによって作製し、基板４
１上の各膜をスパッタ法あるいは真空蒸着法により形成
後、真空槽中で３２０℃約２時間熱処理し、保護層４６
は熱処理完了後にスピンコート法により形成した。各膜
厚は保護膜４２を６０〜１２０ｎｍ、記録膜４３を３０
〜１００ｎｍ、保護膜４４を８０〜１００ｎｍ、保護層
４５は３〜６μｍと設定した。
【００２５】ここで、図４に示す本実施例の光磁気記録
媒体および基板上に上記円柱状凹部を有せず基板の構成
のみが異なる従来の光磁気記録媒体を用いて、線速７ｍ
／ｓ、記録パワー９ｍＷ、再生パワー１.５ｍＷの条件
で記録再生を行い、比較を行った。このとき、本実施例
の光磁気記録媒体には凹部のみに記録されるように制御
しながら記録を行った。その結果をＣ／Ｎの記録ビット
長依存性として図５に示す。本実施例の光磁気記録媒体
は、従来の光磁気記録媒体に比較して、記録ビット長
０.７μｍにおいてＣ／Ｎが約１５ｄＢ向上している。
媒体および基板上に上記円柱状凹部を有せず基板の構成
のみが異なる従来の光磁気記録媒体を用いて、線速７ｍ
／ｓ、記録パワー９ｍＷ、再生パワー１.５ｍＷの条件
で記録再生を行い、比較を行った。このとき、本実施例
の光磁気記録媒体には凹部のみに記録されるように制御
しながら記録を行った。その結果をＣ／Ｎの記録ビット
長依存性として図５に示す。本実施例の光磁気記録媒体
は、従来の光磁気記録媒体に比較して、記録ビット長
０.７μｍにおいてＣ／Ｎが約１５ｄＢ向上している。
【００２６】さらに、上記記録再生を行った２つの光磁
気記録媒体について、偏光顕微鏡によって記録磁区の形
状観察した結果、本実施例の光磁気記録媒体の場合は、
円柱状の凹部の形状に沿ってきれいに整った磁区形状で
あったが、従来の光磁気記録媒体の場合は、磁区の大き
さが不揃いで磁区の輪郭も乱れたものであった。
気記録媒体について、偏光顕微鏡によって記録磁区の形
状観察した結果、本実施例の光磁気記録媒体の場合は、
円柱状の凹部の形状に沿ってきれいに整った磁区形状で
あったが、従来の光磁気記録媒体の場合は、磁区の大き
さが不揃いで磁区の輪郭も乱れたものであった。
【００２７】また、本実施例の光磁気記録媒体は記録膜
としてＭｎＢｉＡｌ膜を用いた結果、従来一般に使用さ
れている記録膜であるＴｂＦｅＣｏ膜を用いた場合に比
較してもＣ／Ｎが約３ｄＢ向上した。
としてＭｎＢｉＡｌ膜を用いた結果、従来一般に使用さ
れている記録膜であるＴｂＦｅＣｏ膜を用いた場合に比
較してもＣ／Ｎが約３ｄＢ向上した。
【００２８】なお、本実施例の光磁気記録媒体では保護
膜４２および４４としてＳｉＮ膜を、記録膜４３として
ＧｄＦｅＣｏ膜を、保護層４５としてエポキシアクリレ
ート系樹脂層を用いたが、保護膜４２および４４として
ＳｉＮ膜の代わりにＺｎＳ膜等のカルコゲン化物の膜，
ＴａＯ2膜等の酸化物の膜，ＡｌＮ膜等の他の窒化物の
膜あるいはそれらの混合物の膜を、記録膜４３としてＭ
ｎＢｉＡｌ膜の代わりにＭｎＢｉ膜，ＭｎＳｂＢｉ膜，
ＭｎＡｌ膜，ＭｎＡｌＧｅ膜，ＭｎＧａＧｅ膜，ＰｔＭ
ｎＳｂ膜等のＭｎ合金系磁性膜あるいはこれらにＡｌ，
Ｃｕ，Ｇｅ，Ｐｔ，Ｓｉ，Ｓｎ，Ｔｉ，希土類金属元素
の中から選択して少なくとも一種類を添加した膜、また
はＢｉ置換ＤｙＦｅガーネット膜，ＢｉＡｌ置換ＤｙＦ
ｅガーネット膜，ＢｉＧａ置換ＤｙＦｅガーネット膜，
Ｂｉ置換ＧｄＦｅガーネット膜，ＢｉＡｌ置換ＧｄＦｅ
ガーネット膜，ＢｉＧａ置換ＧｄＦｅガーネット膜，Ｂ
ｉ置換ＴｂＦｅガーネット膜，ＢｉＡｌ置換ＴｂＦｅガ
ーネット膜，ＢｉＧａ置換ＴｂＦｅガーネット膜，Ｂｉ
置換ＹＦｅガーネット膜，ＢｉＡｌ置換ＹＦｅガーネッ
ト膜，ＢｉＧａ置換ＹＦｅガーネット膜等のガーネット
系磁性膜のうちいずれかを用いてもよく、保護層４５と
してエポキシアクリレート系樹脂層の代わりにアクリル
系等の他の樹脂層を用いるかあるいは基板上に保護膜４
４まで形成したものを張り合わせた構成とする場合は張
り合わせ用接着剤で兼用してもよい。
膜４２および４４としてＳｉＮ膜を、記録膜４３として
ＧｄＦｅＣｏ膜を、保護層４５としてエポキシアクリレ
ート系樹脂層を用いたが、保護膜４２および４４として
ＳｉＮ膜の代わりにＺｎＳ膜等のカルコゲン化物の膜，
ＴａＯ2膜等の酸化物の膜，ＡｌＮ膜等の他の窒化物の
膜あるいはそれらの混合物の膜を、記録膜４３としてＭ
ｎＢｉＡｌ膜の代わりにＭｎＢｉ膜，ＭｎＳｂＢｉ膜，
ＭｎＡｌ膜，ＭｎＡｌＧｅ膜，ＭｎＧａＧｅ膜，ＰｔＭ
ｎＳｂ膜等のＭｎ合金系磁性膜あるいはこれらにＡｌ，
Ｃｕ，Ｇｅ，Ｐｔ，Ｓｉ，Ｓｎ，Ｔｉ，希土類金属元素
の中から選択して少なくとも一種類を添加した膜、また
はＢｉ置換ＤｙＦｅガーネット膜，ＢｉＡｌ置換ＤｙＦ
ｅガーネット膜，ＢｉＧａ置換ＤｙＦｅガーネット膜，
Ｂｉ置換ＧｄＦｅガーネット膜，ＢｉＡｌ置換ＧｄＦｅ
ガーネット膜，ＢｉＧａ置換ＧｄＦｅガーネット膜，Ｂ
ｉ置換ＴｂＦｅガーネット膜，ＢｉＡｌ置換ＴｂＦｅガ
ーネット膜，ＢｉＧａ置換ＴｂＦｅガーネット膜，Ｂｉ
置換ＹＦｅガーネット膜，ＢｉＡｌ置換ＹＦｅガーネッ
ト膜，ＢｉＧａ置換ＹＦｅガーネット膜等のガーネット
系磁性膜のうちいずれかを用いてもよく、保護層４５と
してエポキシアクリレート系樹脂層の代わりにアクリル
系等の他の樹脂層を用いるかあるいは基板上に保護膜４
４まで形成したものを張り合わせた構成とする場合は張
り合わせ用接着剤で兼用してもよい。
【００２９】また、図１および図４の実施例に用いた基
板はトラッキングガイドとして連続溝を設けた構成のも
のであるが、規則的に配列した一定形状の凹凸部そのも
のをトラッキングガイドとして用いる連続溝のない構成
の基板を用いても同様の効果を発揮する。
板はトラッキングガイドとして連続溝を設けた構成のも
のであるが、規則的に配列した一定形状の凹凸部そのも
のをトラッキングガイドとして用いる連続溝のない構成
の基板を用いても同様の効果を発揮する。
【００３０】
【発明の効果】以上のように本発明の光磁気記録媒体
は、記録トラック上にレーザ光ビーム径以下の一定形状
の凹凸を規則的に配列してなる基板上に、記録膜を形成
するという構成としたことによって、保磁力が小さい希
土類−遷移金属合金系磁性膜に対しては記録磁区を安定
化させ、また、Ｍｎ合金系磁性膜，ガーネット系磁性
膜，遷移金属／貴金属系多層膜に対しては短波長光に対
する大きなカー回転角と記録磁区の安定化を両立させ、
大きな信号対雑音比を実現できるものである。
は、記録トラック上にレーザ光ビーム径以下の一定形状
の凹凸を規則的に配列してなる基板上に、記録膜を形成
するという構成としたことによって、保磁力が小さい希
土類−遷移金属合金系磁性膜に対しては記録磁区を安定
化させ、また、Ｍｎ合金系磁性膜，ガーネット系磁性
膜，遷移金属／貴金属系多層膜に対しては短波長光に対
する大きなカー回転角と記録磁区の安定化を両立させ、
大きな信号対雑音比を実現できるものである。
【００３１】また、本発明の光磁気記録媒体の記録方法
は、記録トラック上にレーザ光ビーム径以下の一定形状
の凹凸を規則的に配列してなる基板上に、記録膜が形成
されている光磁気記録媒体を用いて、前記凸部または凹
部にのみ記録する方法によって、上記光磁気記録媒体に
適した記録を行って大きな信号対雑音比を実現するもの
である。
は、記録トラック上にレーザ光ビーム径以下の一定形状
の凹凸を規則的に配列してなる基板上に、記録膜が形成
されている光磁気記録媒体を用いて、前記凸部または凹
部にのみ記録する方法によって、上記光磁気記録媒体に
適した記録を行って大きな信号対雑音比を実現するもの
である。
【図１】本発明の第１の実施例における光磁気記録媒体
の構成図
の構成図
【図２】従来の光磁気記録媒体の構成図
【図３】本発明の第１の実施例の光磁気記録媒体及び従
来の光磁気記録媒体のＣ／Ｎを比較した図
来の光磁気記録媒体のＣ／Ｎを比較した図
【図４】本発明の第２の実施例における光磁気記録媒体
の構成図
の構成図
【図５】本発明の第１の実施例の光磁気記録媒体及び従
来の光磁気記録媒体のＣ／Ｎを比較した図
来の光磁気記録媒体のＣ／Ｎを比較した図
１１ 基板 １２ 保護膜（ＳｉＯＮ膜） １３ 記録膜（ＧｄＦｅＣｏ膜） １４ 保護膜（ＳｉＯＮ膜） １５ 保護層（エポキシアクリレート樹脂層） １６ 記録トラック １７ 円柱状凹部
Claims (7)
- 【請求項１】 レーザ光による記録、消去を行う光磁気
記録媒体であって、記録トラック上にレーザ光ビーム径
以下のサイズの一定形状の凹凸を規則的に配列してなる
基板上に、記録膜が形成されていることを特徴とする光
磁気記録媒体。 - 【請求項２】 記録膜がＭｎ合金系磁性膜，ガーネット
系磁性膜，遷移金属／貴金属系多層膜または希土類ー遷
移金属合金系磁性膜のうちいずれかであることを特徴と
する請求項１記載の光磁気記録媒体。 - 【請求項３】 Ｍｎ合金系磁性膜がＭｎＢｉ膜，ＭｎＳ
ｂＢｉ膜，ＭｎＡｌ膜，ＭｎＡｌＧｅ膜，ＭｎＧａＧｅ
膜，ＰｔＭｎＳｂ膜あるいはこれらにＡｌ，Ｃｕ，Ｇ
ｅ，Ｐｔ，Ｓｉ，Ｓｎ，Ｔｉ，希土類金属元素の中から
選択して少なくとも一種類を添加した膜のうちいずれか
であることを特徴とする請求項２記載の光磁気記録媒
体。 - 【請求項４】 ガーネット系磁性膜がＢｉ置換ＤｙＦｅ
ガーネット膜，ＢｉＡｌ置換ＤｙＦｅガーネット膜，Ｂ
ｉＧａ置換ＤｙＦｅガーネット膜，Ｂｉ置換ＧｄＦｅガ
ーネット膜，ＢｉＡｌ置換ＧｄＦｅガーネット膜，Ｂｉ
Ｇａ置換ＧｄＦｅガーネット膜，Ｂｉ置換ＴｂＦｅガー
ネット膜，ＢｉＡｌ置換ＴｂＦｅガーネット膜，ＢｉＧ
ａ置換ＴｂＦｅガーネット膜，Ｂｉ置換ＹＦｅガーネッ
ト膜，ＢｉＡｌ置換ＹＦｅガーネット膜またはＢｉＧａ
置換ＹＦｅガーネット膜のうちいずれかであることを特
徴とする請求項２記載の光磁気記録媒体。 - 【請求項５】 遷移金属／貴金属系多層膜がＣｏ／Ｐｔ
多層膜またはＣｏ／Ｐｄ多層膜のうちいずれかであるこ
とを特徴とする請求項２記載の光磁気記録媒体。 - 【請求項６】 希土類ー遷移金属合金系磁性膜がＧｄＣ
ｏ膜，ＧｄＦｅ膜，ＧｄＦｅＣｏ膜あるいはこれらにＮ
ｄ，Ｐｒ，Ｓｍの中から選択して少なくとも一種類を添
加した膜のうちいずれかであることを特徴とする請求項
２記載の光磁気記録媒体。 - 【請求項７】 記録トラック上にレーザ光ビーム径以下
のサイズの一定形状の凹凸を規則的に配列してなる基板
上に、記録膜が形成されている光磁気記録媒体を用い
て、前記凸部または凹部にのみ記録することを特徴とす
る光磁気記録媒体の記録方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8902793A JPH06302029A (ja) | 1993-04-16 | 1993-04-16 | 光磁気記録媒体及びその記録方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8902793A JPH06302029A (ja) | 1993-04-16 | 1993-04-16 | 光磁気記録媒体及びその記録方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06302029A true JPH06302029A (ja) | 1994-10-28 |
Family
ID=13959433
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8902793A Pending JPH06302029A (ja) | 1993-04-16 | 1993-04-16 | 光磁気記録媒体及びその記録方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06302029A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08180479A (ja) * | 1994-12-22 | 1996-07-12 | Nec Corp | 光磁気記録媒体およびその製造方法 |
| US7604878B2 (en) | 2004-09-06 | 2009-10-20 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Magneto-optical recording medium and layer structure |
| JP2015198203A (ja) * | 2014-04-02 | 2015-11-09 | 株式会社豊田中央研究所 | 高保磁力化永久磁石 |
| CN111148574A (zh) * | 2017-07-25 | 2020-05-12 | 麦格诺莫有限责任公司 | 用于可磁化塑料的方法和组合物 |
-
1993
- 1993-04-16 JP JP8902793A patent/JPH06302029A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08180479A (ja) * | 1994-12-22 | 1996-07-12 | Nec Corp | 光磁気記録媒体およびその製造方法 |
| US7604878B2 (en) | 2004-09-06 | 2009-10-20 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Magneto-optical recording medium and layer structure |
| JP2015198203A (ja) * | 2014-04-02 | 2015-11-09 | 株式会社豊田中央研究所 | 高保磁力化永久磁石 |
| CN111148574A (zh) * | 2017-07-25 | 2020-05-12 | 麦格诺莫有限责任公司 | 用于可磁化塑料的方法和组合物 |
| CN111148574B (zh) * | 2017-07-25 | 2023-04-21 | 麦格诺莫有限责任公司 | 用于可磁化塑料的方法和组合物 |
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