JPH0630155U - 材料供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡単な構成で且つ振動を利用することなし
に、常に一定量の蒸発材料を迅速に供給する。 【構成】 蒸発材料２が貯留された貯留容器１内に第１
計量部材１０及び第２計量部材１１を備えさせ、貯留容
器１の回転に伴って各計量部材１０，１１も回転するよ
うにする。第１計量部材１０を、その回転に伴って蒸発
材料２を掬い取った後、計量空間１０ｂにおいて蒸発材
料２を計量するようにする。第２計量部材を、その回転
に伴って計量空間１０ｂ内の蒸発材料２を導入するよう
にし、該第２計量部材１１の内部空間において蒸発材料
２を計量するようにする。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、例えば、真空成膜装置の蒸発源に蒸発物質としての金属粉末などの 材料を計量して供給するための材料供給装置に係り、特に、供給する材料を迅速 且つ正確に計量する構成の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来、真空成膜装置における材料供給装置としては、るつぼの上方に逆円錐形 のホッパが配設され、このホッパとるつぼとの間にシュートが設けられ、前記ホ ッパの下部に形成された供給口付近にバイブレータが設けられていて、該バイブ レータが前記ホッパに振動を与えることにより、前記ホッパ内の蒸発材料が前記 シュート内に入り込むようにされた構成が知られている（例えば実開昭６２−５ ５５５６号公報参照）。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

ところが、上述したような材料供給装置にあっては、蒸発材料の供給量を正確 に認識することができず、また、必要な量だけ蒸発材料を供給するまでの時間が 長くなってしまって迅速な材料供給動作を行うことができず、また、ホッパだけ でなく該ホッパを支持している材料供給装置全体に振動が伝達されて該装置に悪 影響を与えることもある。更には、蒸発材料の粒径にばらつきがあるような場合 、同じ振動を与えても材料供給量が変化してしまって常に一定量の蒸発材料を安 定して与えることができないといった課題があった。

【０００４】 本考案は、これらの点に鑑みてなされたものであって、簡単な構成で且つ振動 を利用することなしに、常に一定量の蒸発材料を迅速に供給することができる構 成を得ることを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】 上記の目的を達成するために、本考案は、回転することによって材料を掬い取 る計量部材を備えさせると共に、所定の供給量のみをこの計量部材内に残すよう にして常に一定量の材料を得ることができるようにした。具体的に請求項１記載 の考案は、底部に材料を貯留すると共に回転自在とされた貯留容器と、該貯留容 器の内部に配設され、該貯留容器と一体的に回転し、この回転に伴って貯留容器 に貯留されている材料を掬い取る一方、計量空間が備えられており、前記掬い取 った材料をこの計量空間に導入して該計量空間から溢れた材料を前記貯留容器の 底部に戻すことによって材料を所定量に計量する第１計量部材と、前記貯留容器 の内部に配設され、該貯留容器と一体的に回転し、この回転に伴って前記第１計 量部材において計量された材料が導入される第２計量部材と、一端が前記第２計 量部材の内部に開放されていると共に、他端が前記貯留容器の外部に開放されて おり、貯留容器の回転に伴って前記第１計量部材から第２計量部材に導入された 材料を該第２計量部材の内部から貯留容器の外部に導出する供給管とを備えさせ るような構成とした。

【０００６】 請求項２記載の考案は、前記請求項１記載の材料供給装置において、第１計量 部材を、内部が中空の略直方体状を呈して成し、その側面を貯留容器の内側面に 固着させると共に、その一部を開放させて、この開放部分において掬い取った材 料の侵入を可能としていると共に、この開放部分に隣接した位置に計量空間を成 形するための壁部を形成するような構成とした。

【０００７】 請求項３記載の考案は、前記請求項１または２記載の材料供給装置において、 第２計量部材の内部空間を計量空間で形成し、第１計量部材から導入された材料 のうち、この内部空間から溢れた材料を貯留容器の底部に戻すことによって材料 を所定量に計量するような構成としている。

【０００８】

【作用】

上記の構成により、本考案では、以下に述べるような作用が得られる。請求項 １記載の考案では、貯留容器の回転に伴って第１及び第２計量部材も一体的に回 転し、先ず、第１計量部材が、貯留容器に貯留されている材料を掬い取った後、 この掬い取った材料を計量空間に導入して該計量空間から溢れた材料を前記貯留 容器の底部に戻すことによって材料を所定量に計量する。その後、前記回転に伴 って、第１計量部材において計量された材料が第２計量部材に導入される。更に 、前記回転が進行すると、供給管によって前記第２計量部材の内部の材料が貯留 容器の外部に導出される。このようにして、貯留容器の回転に伴う材料の計量及 び導出が行われることにより、常に一定量の材料が迅速に供給されることになる 。

【０００９】 請求項２記載の考案では、第１計量部材に壁部を備えさせて計量空間を成形す るようにしているので、簡単な構成で、材料の計量を行わせることができる。

【００１０】 請求項３記載の考案では、第１計量部材から第２計量部材に導入された材料の うち、この第２計量部材の内部空間から溢れた材料は貯留容器の底部に戻される 。これにより、第１計量部材だけでなく、第２計量部材によっても材料の計量が なされ、より正確に材料を所定量に計量することができる。

【００１１】

【実施例】

次に、本考案の一実施例を図面に基づいて説明する。また、本例では、本考案 の構成を、真空蒸着装置の蒸発材料を蒸発源に供給する材料供給装置に採用した 場合について説明する。図１及び図２は本例に係る材料供給装置において蒸発材 料を貯留しておく貯留容器１を示している。そして、この貯留容器１に貯留され ている蒸発材料２が所定量づつ取出されて間欠的に図示しない蒸発源に供給され るようになっている。

【００１２】 以下、この貯留容器１及びその内部構造について説明する。この貯留容器１は 、略すり鉢状に形成された容器で成り、その内部に前記蒸発材料２が貯留されて いる。詳しくは、この貯留容器１は、円板状の側面板３を備え、該側面板３の外 周縁から水平方向（図２における左方向）に延びる円筒部４と、該円筒部４の側 端縁から先細り状に形成されたテーパ部５と、該テーパ部５の側端縁から小寸法 をもって水平方向（図２における左方向）に延びる小径円筒部６とを備えて成り 、この小径円筒部６の開口端側が蒸発材料補充用の開口１ａとなっている。また 、この蒸発材料補充用の開口１ａには蓋体７が着脱自在に配設されている。そし て、前記側面板３の中央部には、水平方向外側（図２における右方向）に向って 延びる回転軸８が突設されており、この回転軸８が図示しない供給装置本体にベ アリングを介して支持されていると共に、この回転軸８には図示しない駆動モー タの駆動力が伝達されるようになっていて、この駆動モータの駆動に伴って図１ に矢印Ａで示すように時計回り方向に一定速度で回転するようになっている。

【００１３】 そして、この貯留容器１の内部構造について説明すると、前記側面板３の内側 面に取付けられた第１計量部材１０と、該第１計量部材１０に隣接して配設され た第２計量部材１１と、該第２計量部材１１に接続された供給管１２とが備えら れている。前記第１計量部材１０は、内部が中空の略直方体状を呈しており、そ の側面が前記側面板３の内側面に固着されていると共に、その縦断面形状が図３ に示すように、略鍵型に形成されている。つまり、前記第２計量部材１１に面す る部分の一部が開放されており、この開放部分１０ａから該第１計量部材１０の 内部空間に蒸発材料２の侵入が可能となっていると共に、この開放部分１０ａの 上端部には計量空間Ｂを成形するための壁部１０ｂが形成されている。従って、 図４に示すような状態（図１に示す状態から時計回り方向に４５°回転された状 態）にあっては、この第１計量部材１０の内部空間が蒸発材料２によって満たさ れるようになっている。また、図５に示すような状態（図１に示す状態から時計 回り方向に約１６０°回転された状態）にあっては、この状態における第１計量 部材１０の下端部分に計量空間Ｂが形成されていることによって、この部分が計 量容器として機能し、この下端部分の容量以上の蒸発材料２は該第１計量部材１ ０から放出されて貯留容器１の底部に戻されるようになっている。

【００１４】 また、前記第２計量部材１１は、図１に示す状態において前記第１計量部材１ ０に向う斜め上方が開放された略直方体状の容器であって、図６に示す状態（図 １に示す状態から時計回り方向に２５０°回転された状態）にあっては、前記第 １計量部材１０によって計量された蒸発材料２が重力によって、この第２計量部 材１１に供給されるようになっている。また、この図６に示す状態においては、 この図６に仮想線で示す位置までしか蒸発材料２を貯留することができないよう になっており、それ以上の蒸発材料２は貯留容器１の底部に戻されるようになっ ている。これにより、蒸発材料２の供給量が更に正確に所定量に計量されるよう になっている。

【００１５】 供給管１２は、一端が前記第２計量部材１１の内部に開放されていると共に、 他端が前記貯留容器１の外部に開放されており、図１に示す状態においては第２ 計量部材１１の下端部と前記貯留容器１の下側に配置されたシュート１３とを連 通するようになっていて、上述した図６に示す状態において第２計量部材１１に よって計量された蒸発材料２が図７に示す状態になると、該蒸発材料２が、この 供給管１２を経てシュート１３に供給されるようになっている。

【００１６】 このようにして、貯留容器１及びその内部が構成されているために、蒸発材料 ２を真空蒸着装置の蒸発源に供給する際には、上述した如く、貯留容器１の全体 が図１に矢印Ａで示す方向に回転すると、図３〜図７に示すように、第１計量部 材１０が貯留容器１に貯留されている蒸発材料２を掬い取り、この第１計量部材 １０の計量空間Ｂにおいて蒸発材料２を計量した後（図３〜図５参照）、その蒸 発材料２を第２計量部材１１に移して、該第２計量部材１１によって更に正確に 計量し（図６参照）、その後、供給管１２及びシュート１３を経て（図７参照） 真空蒸着装置の蒸発源に供給されることになる。そして、このような動作が連続 して行われることによって常に一定量の蒸発材料２が安定して供給されることに なる。

【００１７】 このように、本例の構成によれば、従来のようなバイブレータによる振動によ って蒸発材料を供給するようなことを行わず、貯留容器１を回転させて供給する ようにしているので、振動による悪影響を生じさせるようなことなく、蒸発材料 を、迅速に且つ常に一定量を安定して供給させることができる。

【００１８】 尚、本例では、真空蒸着装置の蒸発材料を計量して供給するようにした材料供 給装置について説明したが、本考案は、これに限らず、その他種々の材料供給装 置として採用することができる。

【００１９】

【考案の効果】

上述してきたように、本考案によれば以下に述べるような効果が発揮される。 。請求項１記載の考案によれば、回転する貯留容器の内部に、材料を掬い取って 計量する計量空間を備えた第１計量部材を備えさせ、この第１計量部材によって 材料を計量して第２計量部材及び供給管により所定量の材料の導出が行われるよ うにしたために、常に一定量の材料を安定して供給することができる。また、従 来のように振動を利用していないので、振動による悪影響が生じるようなことが 回避され、また、材料の供給時間の短縮化を図ることもできる。

【００２０】 請求項２記載の考案によれば、第１計量部材を、内部が中空の略直方体状を呈 して成し、その側面を貯留容器の内側面に固着させると共に、その一部を開放さ せて、この開放部分において掬い取った材料の侵入を可能としていると共に、こ の開放部分に隣接した位置に計量空間を成形するための壁部を形成するような構 成としたために、第１計量部材に壁部を備えさせるといった簡単な構成で計量空 間を成形することができ、構造の簡略化を図りながら上述した請求項１記載の考 案に係る効果を発揮させることができる。

【００２１】 請求項３記載の考案によれば、第２計量部材の内部空間を計量空間で形成し、 第１計量部材から導入された材料のうち、この内部空間から溢れた材料を貯留容 器の底部に戻すことによって材料を所定量に計量するような構成としたために、 第１計量部材だけでなく、第２計量部材によっても材料の計量を行うことができ 、より正確に材料を所定量に計量することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】貯留容器の内部構造を示す縦断正面図である。

【図２】図１におけるII−II線に対応した位置における
断面図である。

【図３】材料供給動作の初期状態を示す図である。

【図４】材料の掬い取り動作を示す図である。

【図５】第１計量部材による材料の計量動作を示す図で
ある。

【図６】第２計量部材による材料の計量動作を示す図で
ある。

【図７】第２計量部材からの材料導出動作を示す図であ
る。

【符号の説明】

１ 貯留容器 ２ 蒸発材料 １０ 第１計量部材 １０ａ 開放部分 １０ｂ 壁部 １１ 第２計量部材 １２ 供給管 Ｂ 計量空間

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 底部に材料を貯留すると共に回転自在と
   された貯留容器と、 該貯留容器の内部に配設され、該貯留容器と一体的に回
   転し、この回転に伴って貯留容器に貯留されている材料
   を掬い取る一方、計量空間が備えられており、前記掬い
   取った材料をこの計量空間に導入して該計量空間から溢
   れた材料を前記貯留容器の底部に戻すことによって材料
   を所定量に計量する第１計量部材と、 前記貯留容器の内部に配設され、該貯留容器と一体的に
   回転し、この回転に伴って前記第１計量部材において計
   量された材料が導入される第２計量部材と、 一端が前記第２計量部材の内部に開放されていると共
   に、他端が前記貯留容器の外部に開放されており、貯留
   容器の回転に伴って前記第１計量部材から第２計量部材
   に導入された材料を該第２計量部材の内部から貯留容器
   の外部に導出する供給管とを備えていることを特徴とす
   る材料供給装置。
2. 【請求項２】 第１計量部材は、内部が中空の略直方体
   状を呈しており、その側面が貯留容器の内側面に固着さ
   れていると共に、その一部が開放されており、この開放
   部分において掬い取った材料の侵入が可能となっている
   と共に、この開放部分に隣接した位置に計量空間を成形
   するための壁部が形成されていることを特徴とする請求
   項１記載の材料供給装置。
3. 【請求項３】 第２計量部材は、その内部空間が計量空
   間で形成されており、第１計量部材から導入された材料
   のうち、この内部空間から溢れた材料を貯留容器の底部
   に戻すことによって材料を所定量に計量するように構成
   されていることを特徴とする請求項１または２記載の材
   料供給装置。