JPH06294742A - 光ファイバセンサヘッド - Google Patents
光ファイバセンサヘッドInfo
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- JPH06294742A JPH06294742A JP5084436A JP8443693A JPH06294742A JP H06294742 A JPH06294742 A JP H06294742A JP 5084436 A JP5084436 A JP 5084436A JP 8443693 A JP8443693 A JP 8443693A JP H06294742 A JPH06294742 A JP H06294742A
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- Japan
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- optical fiber
- sensor head
- window
- light
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- Instruments For Viewing The Inside Of Hollow Bodies (AREA)
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
Abstract
貫通孔の一端部から光ファイバ1が挿入保持され、側壁
に窓2を有する保持スリーブ3と、光ファイバからの光
を窓へ、および/または窓からの光を光ファイバへ反射
する反射面4を有し、保持スリーブの貫通孔の他端部に
配設された反射体5と、保持スリーブを外周から被覆す
る耐液性保護チューブ6とを備える。 【効果】 水、硫酸、燐酸、有機溶媒、腐食性液などの
液体中で検出が可能であると共に、検出特性の信頼性が
高く、しかも耐薬品性を向上させることができるという
効果を奏する。
Description
の軸方向と傾斜して配置され、窓を通して外部空間を臨
むとともに光ファイバの端面に対向する反射面とを具備
したサイドビュー型光ファイバセンサヘッドに関する。
は、保持スリーブ内でその軸方向と傾斜して配置され、
窓孔を通して外部空間を臨むとともに光学ファイバの検
出端面に対向する反射面とを具備し、検出対象が狭い空
間内で光学ファイバの挿通方向と90°の角度をなす位
置にあつても、保持スリーブを挿入する微小なスペース
さえあれば検出ができる。この反射面は、保持スリーブ
の貫通孔の先端側から挿入される円筒状反射体の内側面
に配設される。このサイドビュー型光ファイバセンサヘ
ッドは、検出対象を挟んだ双方に配置され、片方が、光
照射用であり、他方が受光用である透過型のサイドビュ
ー型光ファイバセンサヘッドと、1個のサイドビューセ
ンサで照射すると共に、検出対象からの反射光を受光す
る反射型のサイドビューセンサヘッドとがある。
センサヘッドでは、必ずしも、保持スリーブのシール性
が良好ではなく、また、耐薬品性に優れていなかった。
そのために、液内で検出する場合に本体内部に液が浸入
して、光学設計が変動して検出特性が不安定になり、ま
た、腐食性液ではセンサヘッドが腐食する恐れがある。
ものであり、その目的とするところは、水、硫酸、燐
酸、有機溶媒、腐食性液などの液体中で検出が可能であ
ると共に、検出特性の信頼性が高く、しかも耐薬品性を
向上させたサイドビュー型光ファイバセンサヘッドを提
供することである。
より解決される。すなわち、サイドビュー型光ファイバ
センサヘッドは、貫通孔の一端部から光ファイバが挿入
保持され、側壁に窓を有する保持スリーブと、光ファイ
バからの光を窓へ、および/または窓からの光を光ファ
イバへ反射する反射面を有し、保持スリーブの貫通孔の
他端部に配設された反射体と、少なくとも保持スリーブ
を外周から被覆する耐液性保護チューブと、を備えたこ
とを特徴とするものである。
ファイバセンサヘッドは、以下のように動作・作用す
る。サイドビュー型光ファイバセンサヘッドでは、光フ
ァイバの端部から出た光は、レンズを通過して反射面で
約90゜曲げられ、検出対象物に到達する。反射型で
は、この対象物で反射してその反射した光の全部若しく
は一部が、再び、光ファイバセンサヘッドに戻り、窓を
介して反射面に到達する。反射面で進行方向を約90゜
曲げて受光用光ファイバ端から入射して検出される。他
方、透過型では、反対側の光ファイバセンサヘッドで受
光されて、窓を介して反射面に到達する。反射面で進行
方向を約90゜曲げて光ファイバ端から入射して検出さ
れる。
説明する。この発明による光ファイバセンサヘッドの一
実施例の側面断面図を図1に示す。この態様のサイドビ
ュー光ファイバセンサヘッドは、貫通孔の一端部から光
ファイバ1が挿入保持され、側壁に窓2を有する保持ス
リーブ3と、光ファイバ1端面からの光を窓2へ、また
は・および窓2からの光を光ファイバ1端面へ反射する
反射面4を有する反射体5と、光ファイバ端面に当接さ
れたピンポール8と、ピンホール8と反射面4との間に
配設された棒状レンズ7とを備え、保持スリーブ3全体
と、保持スリーブ3から露出した光ファイバケーブル1
とを覆う耐液性保護チューブ6を有する。
属、プラスチックから得られ、透明材料、例えば、アク
リル樹脂やポリカーボネート樹脂などの透明樹脂、透明
ガラスなどから得ることができもできる。保持スリーブ
に形成される窓2は、スリーブに開口を設けて形成する
ことができると共に、その開口に、透明材料を填め込ん
でも、またスリーブ自体を透明にして窓と一体的に形成
することもできる。
い、その材質は、どのような液体に接触するかによって
適宜選択される。その具体的なものとして、ポリエチレ
ン樹脂、ポリプロピレン樹脂、PET樹脂等がある。光
を透過させる必要があるので、少なくとも窓近傍では、
光透過性である。浸漬する場合などでは、液が浸入する
ことを防止するために、適当な手段(例えば、シール、
保護チューブと光ファイバケーブルとの接着、長い保護
チューブの使用など)を採る。この実施例では、保護チ
ューブ6と光ファイバケーブル1との間にシール9を設
けている。
の変形例が可能である。例えば、レンズ8やピンホール
8などを設けずに構成することができる。
ー型光ファイバセンサヘッドでは、光ファイバの端部か
ら出た光は、レンズを通過して反射面で約90゜曲げら
れ、検出対象物に到達する。反射型では、この対象物で
反射してその反射した光の全部若しくは一部が、再び、
光ファイバセンサヘッドに戻り、窓を介して反射面に到
達する。反射面で進行方向を約90゜曲げて受光用光フ
ァイバ端から入射して検出される。他方、透過型では、
反対側の光ファイバセンサヘッドで受光されて、窓を介
して反射面に到達する。反射面で進行方向を約90゜曲
げて光ファイバ端から入射して検出される。
明により、例えば、水、硫酸、燐酸、有機溶媒、腐食性
液などの液体中で検出が可能であると共に、検出特性の
信頼性が高く、しかも耐薬品性を向上させることができ
るという効果を奏する。
ドの一実施例の断面図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 貫通孔の一端部から光ファイバが挿入保
持され、側壁に窓を有する保持スリーブと、 光ファイバからの光を該窓へ、および/または該窓から
の光を光ファイバへ反射する反射面を有し、該保持スリ
ーブの貫通孔の他端部に配設された反射体と、 少なくとも保持スリーブを外周から被覆する耐液性保護
チューブと、を備えたサイドビュー型光ファイバセンサ
ヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP08443693A JP3272095B2 (ja) | 1993-04-12 | 1993-04-12 | 光ファイバセンサヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP08443693A JP3272095B2 (ja) | 1993-04-12 | 1993-04-12 | 光ファイバセンサヘッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06294742A true JPH06294742A (ja) | 1994-10-21 |
JP3272095B2 JP3272095B2 (ja) | 2002-04-08 |
Family
ID=13830546
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP08443693A Expired - Lifetime JP3272095B2 (ja) | 1993-04-12 | 1993-04-12 | 光ファイバセンサヘッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3272095B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007194332A (ja) * | 2006-01-18 | 2007-08-02 | Tokyo Electron Ltd | 基板検出センサ及び基板検出方法 |
JP2009174985A (ja) * | 2008-01-24 | 2009-08-06 | Namiki Precision Jewel Co Ltd | 光ファイバ内視生体検査装置及び光ファイバ内視生体検査システム |
JP2015217072A (ja) * | 2014-05-16 | 2015-12-07 | 住友電気工業株式会社 | 光プローブ |
WO2022092734A1 (ko) * | 2020-10-26 | 2022-05-05 | 주식회사 카이스 | 광파이버센서 및 그 제조방법 |
-
1993
- 1993-04-12 JP JP08443693A patent/JP3272095B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007194332A (ja) * | 2006-01-18 | 2007-08-02 | Tokyo Electron Ltd | 基板検出センサ及び基板検出方法 |
JP2009174985A (ja) * | 2008-01-24 | 2009-08-06 | Namiki Precision Jewel Co Ltd | 光ファイバ内視生体検査装置及び光ファイバ内視生体検査システム |
JP2015217072A (ja) * | 2014-05-16 | 2015-12-07 | 住友電気工業株式会社 | 光プローブ |
WO2022092734A1 (ko) * | 2020-10-26 | 2022-05-05 | 주식회사 카이스 | 광파이버센서 및 그 제조방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3272095B2 (ja) | 2002-04-08 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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