JPH10300557A - 液面センサ - Google Patents
液面センサInfo
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- JPH10300557A JPH10300557A JP12310597A JP12310597A JPH10300557A JP H10300557 A JPH10300557 A JP H10300557A JP 12310597 A JP12310597 A JP 12310597A JP 12310597 A JP12310597 A JP 12310597A JP H10300557 A JPH10300557 A JP H10300557A
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- tubular case
- liquid level
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 プリズムを使用することなく、複数箇所の液
面の検出が可能な液面センサを提供する。 【解決手段】 管状ケース１内に、少なくとも１個以上
の発光素子２Ａ及び受光素子２Ｂを管状ケース１の軸方
向に沿って配置させるとともに、発光素子２Ａから受光
素子２Ｂへ至る光路Ｌに屈折率が管状ケースの屈折率と
ほぼ等しい透明な液体または固体の充填材３を充填させ
る。
面の検出が可能な液面センサを提供する。 【解決手段】 管状ケース１内に、少なくとも１個以上
の発光素子２Ａ及び受光素子２Ｂを管状ケース１の軸方
向に沿って配置させるとともに、発光素子２Ａから受光
素子２Ｂへ至る光路Ｌに屈折率が管状ケースの屈折率と
ほぼ等しい透明な液体または固体の充填材３を充填させ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリズムを用いる
ことなく、複数箇所の液面を検出することが可能な液面
センサに関するものである。
ことなく、複数箇所の液面を検出することが可能な液面
センサに関するものである。
【０００２】
【従来技術】従来、液面センサとして、プリズム反射面
を軸方向に沿って、軸側面に設けるとともに、プリズム
反射面にそれぞれ対面するように発光素子および受光素
子を配置した液面センサが知られている（実開昭６４−
８６３６号公報）。
を軸方向に沿って、軸側面に設けるとともに、プリズム
反射面にそれぞれ対面するように発光素子および受光素
子を配置した液面センサが知られている（実開昭６４−
８６３６号公報）。
【０００３】しかしながら、このような従来の液面セン
サにおいて、例えば、射出成形により、ケースと一体で
プリズム反射体を作成しようとする場合、プリズム部分
の厚さが不均一なため、成形時にひけ等の歪みが発生
し、高い精度でプリズムを成形するのが困難であった。
サにおいて、例えば、射出成形により、ケースと一体で
プリズム反射体を作成しようとする場合、プリズム部分
の厚さが不均一なため、成形時にひけ等の歪みが発生
し、高い精度でプリズムを成形するのが困難であった。
【０００４】また、検出する液体が薬品等の場合には、
使用するプリズム及びケースの材料には耐薬品性が要求
されるが、透明であり、しかも、耐薬品性に優れた材料
として知られているＰＦＡ樹脂（４フッ化エチレン・６
フッ化プロピレン共重合体）等のフッ素樹脂を使用する
と、ガラス等に比較して透明性が劣るため、プリズムの
様に、厚さの有る物を作成する場合には、光の透過率が
落ちるとともに、プリズム内で、光の乱反射が起き、検
出精度が悪くなってしまうという問題があった。
使用するプリズム及びケースの材料には耐薬品性が要求
されるが、透明であり、しかも、耐薬品性に優れた材料
として知られているＰＦＡ樹脂（４フッ化エチレン・６
フッ化プロピレン共重合体）等のフッ素樹脂を使用する
と、ガラス等に比較して透明性が劣るため、プリズムの
様に、厚さの有る物を作成する場合には、光の透過率が
落ちるとともに、プリズム内で、光の乱反射が起き、検
出精度が悪くなってしまうという問題があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明は、か
かる従来の問題点を解消し、プリズムを使用することな
く、複数箇所の液面の検出が可能な液面センサを提供す
ることを課題とするものである。
かる従来の問題点を解消し、プリズムを使用することな
く、複数箇所の液面の検出が可能な液面センサを提供す
ることを課題とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者は、上記課題を
解決するために、鋭意検討を重ねた結果、ケース内に、
屈折率がケースの材料の屈折率に近い充填材を充填する
事により、プリズムを使用することなく液面を検出する
ことが可能であることを見出し、本発明を完成するに至
った。
解決するために、鋭意検討を重ねた結果、ケース内に、
屈折率がケースの材料の屈折率に近い充填材を充填する
事により、プリズムを使用することなく液面を検出する
ことが可能であることを見出し、本発明を完成するに至
った。
【０００７】すなわち、本発明は、管状ケースの内部
に、少なくとも１個以上の発光素子及び受光素子を管状
ケースの軸方向に沿って配置させるとともに、発光素子
から受光素子へ至る光路に、屈折率が管状ケースの屈折
率とほぼ等しい透明な液体または固体の充填材を充填さ
せたことを特徴とする液面センサである。
に、少なくとも１個以上の発光素子及び受光素子を管状
ケースの軸方向に沿って配置させるとともに、発光素子
から受光素子へ至る光路に、屈折率が管状ケースの屈折
率とほぼ等しい透明な液体または固体の充填材を充填さ
せたことを特徴とする液面センサである。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明を説
明する。図１は、本発明の液面センサの一例を示す縦断
面図、図２は、図１において充填材を充填していない状
態でのＡ−Ａ線矢視断面図、図３は、図１のＡ−Ａ線矢
視断面図である。
明する。図１は、本発明の液面センサの一例を示す縦断
面図、図２は、図１において充填材を充填していない状
態でのＡ−Ａ線矢視断面図、図３は、図１のＡ−Ａ線矢
視断面図である。
【０００９】１は管状ケース、２は発光素子２Ａと受光
素子２Ｂから構成され、管状ケース１の内部に、軸方向
に沿って配置されたフォトインタラプタ、３は屈折率を
変えるための充填材である。４はフォトインタラプタ２
を設置してある基板、５はリード線である。
素子２Ｂから構成され、管状ケース１の内部に、軸方向
に沿って配置されたフォトインタラプタ、３は屈折率を
変えるための充填材である。４はフォトインタラプタ２
を設置してある基板、５はリード線である。
【００１０】同図においては、５ヶ所の液面レベルを検
出するため、管状ケース１の内部、軸方向に沿って、５
個のフォトインタラプタ２を設けてある。
出するため、管状ケース１の内部、軸方向に沿って、５
個のフォトインタラプタ２を設けてある。
【００１１】まず、本発明では管状ケース１の内部に充
填材３を充填する必要があるが、その理由について述べ
る。管状ケース１の内部、即ち、発光素子２Ａから受光
素子２Ｂへ至る光路に充填材３が充填されていない場合
には、図２に示す様に、発光素子２Ａから出た光は、管
状ケース１の屈折率が管状ケース１の内部の空気の屈折
率より大きいので、管状ケース１の内側の面（図２の１
Ｂで示す）の所では屈折してしまい、管状ケース１の外
側の面（図２の１Ａで示す）への光の入射角は、全反射
が生じる臨界角以下となってしまう。
填材３を充填する必要があるが、その理由について述べ
る。管状ケース１の内部、即ち、発光素子２Ａから受光
素子２Ｂへ至る光路に充填材３が充填されていない場合
には、図２に示す様に、発光素子２Ａから出た光は、管
状ケース１の屈折率が管状ケース１の内部の空気の屈折
率より大きいので、管状ケース１の内側の面（図２の１
Ｂで示す）の所では屈折してしまい、管状ケース１の外
側の面（図２の１Ａで示す）への光の入射角は、全反射
が生じる臨界角以下となってしまう。
【００１２】このため、管状ケース１の内側の面（１
Ｂ）で屈折した光は、管状ケース１の外側の面（１Ａ）
で屈折してセンサ外部へ出てしまい、受光素子２Ｂへ入
光しない。つまり、発光素子２Ａから受光素子２Ｂへ至
る光路Ｌが形成されない。
Ｂ）で屈折した光は、管状ケース１の外側の面（１Ａ）
で屈折してセンサ外部へ出てしまい、受光素子２Ｂへ入
光しない。つまり、発光素子２Ａから受光素子２Ｂへ至
る光路Ｌが形成されない。
【００１３】そこで、図３に示す様に、管状ケース１の
内部空間（特に発光素子２Ａから受光素子２Ｂへ至る光
路）を、空気の屈折率より大きい屈折率を有する管状ケ
ース１と屈折率が近い透明な材料で充填する事により、
管状ケース１の外側の面（１Ａ）への光の入射角を臨界
角以上にする事ができる。
内部空間（特に発光素子２Ａから受光素子２Ｂへ至る光
路）を、空気の屈折率より大きい屈折率を有する管状ケ
ース１と屈折率が近い透明な材料で充填する事により、
管状ケース１の外側の面（１Ａ）への光の入射角を臨界
角以上にする事ができる。
【００１４】従って、管状ケース１の外側の面（１Ａ）
で光の反射が可能となり、外側の面（１Ａ）で全反射し
た光は受光素子２Ｂへ到達する事ができる様になる。つ
まり、発光素子２Ａから受光素子２Ｂへ至る光路Ｌが形
成される。
で光の反射が可能となり、外側の面（１Ａ）で全反射し
た光は受光素子２Ｂへ到達する事ができる様になる。つ
まり、発光素子２Ａから受光素子２Ｂへ至る光路Ｌが形
成される。
【００１５】管状ケース１の内部に、充填材３が充填さ
れている状態で、管状ケース１の外側に液体が存在する
場合には、フォトインタラプタ２の発光素子２Ａから出
た光は、管状ケース１の外側の面（１Ａ）で屈折してし
まい、充填材３が無い場合と同じ状態となり、受光素子
２Ｂへ到達しなくなる。つまり、発光素子２Ａから受光
素子２Ｂへ至る光路Ｌが形成されない。
れている状態で、管状ケース１の外側に液体が存在する
場合には、フォトインタラプタ２の発光素子２Ａから出
た光は、管状ケース１の外側の面（１Ａ）で屈折してし
まい、充填材３が無い場合と同じ状態となり、受光素子
２Ｂへ到達しなくなる。つまり、発光素子２Ａから受光
素子２Ｂへ至る光路Ｌが形成されない。
【００１６】このように、管状ケース１の内部に、発光
素子２Ａと受光素子２Ｂからなるフォトインタラプタ２
を設け、発光素子２Ａから受光素子２Ｂへ至る光路Ｌに
充填材３を充填すれば、プリズムを使用しなくても、液
面の検出が可能となる。
素子２Ａと受光素子２Ｂからなるフォトインタラプタ２
を設け、発光素子２Ａから受光素子２Ｂへ至る光路Ｌに
充填材３を充填すれば、プリズムを使用しなくても、液
面の検出が可能となる。
【００１７】なお、充填材３は、管状ケース１の屈折率
とほぼ等しい屈折率を有する透明な液体又は固体である
ことが必要であるが、ここで「ほぼ等しい」とは管状ケ
ース１の屈折率±０．２であることを意味する。
とほぼ等しい屈折率を有する透明な液体又は固体である
ことが必要であるが、ここで「ほぼ等しい」とは管状ケ
ース１の屈折率±０．２であることを意味する。
【００１８】以上の説明では、センサ中央部に位置する
フォトインタラプタ２近辺の液面の検出方法について述
べたが、液面センサの他の位置に設置されたフォトイン
タラプタ２についても、全く同様に検出を行なうことが
できる。
フォトインタラプタ２近辺の液面の検出方法について述
べたが、液面センサの他の位置に設置されたフォトイン
タラプタ２についても、全く同様に検出を行なうことが
できる。
【００１９】従って、各フォトインタラプタ２の受光素
子２Ｂへの光の入射状態を個々にモニタすれば、プリズ
ムを使用しなくとも、複数箇所の液面の検出が可能であ
る。
子２Ｂへの光の入射状態を個々にモニタすれば、プリズ
ムを使用しなくとも、複数箇所の液面の検出が可能であ
る。
【００２０】ここで、管状ケース１の材質としては、耐
薬品性の有るフッ素樹脂、とり分け、ＦＥＰ樹脂（４フ
ッ化エチレン・６フッ化プロピレン共重合体）、ＰＴＦ
Ｅ樹脂（ポリ４フッ化エチレン）、ＥＴＦＥ樹脂（エチ
レン・４フッ化エチレン共重合体）等の共重合体樹脂が
加工性が良く好ましい。
薬品性の有るフッ素樹脂、とり分け、ＦＥＰ樹脂（４フ
ッ化エチレン・６フッ化プロピレン共重合体）、ＰＴＦ
Ｅ樹脂（ポリ４フッ化エチレン）、ＥＴＦＥ樹脂（エチ
レン・４フッ化エチレン共重合体）等の共重合体樹脂が
加工性が良く好ましい。
【００２１】管状ケース１の内径としては、フォトイン
タラプタ２が内蔵できる程度の大きさであれば特に制限
はない。
タラプタ２が内蔵できる程度の大きさであれば特に制限
はない。
【００２２】管状ケースの肉厚は、光の透過性、強度上
の関係から０．０５ｍｍ〜１ｍｍの範囲内にある事が望
ましい。
の関係から０．０５ｍｍ〜１ｍｍの範囲内にある事が望
ましい。
【００２３】さらに、フォトインタラプタ２と管状ケー
ス１との間の距離は、受光素子２Ｂの感度の点で、０．
２ｍｍ〜０．６ｍｍの範囲内である事が望ましい。
ス１との間の距離は、受光素子２Ｂの感度の点で、０．
２ｍｍ〜０．６ｍｍの範囲内である事が望ましい。
【００２４】管状ケース１の断面形状については、図
２、図３の円形状に限らず、図４の長円形あるいは、図
５の四角形状等任意の形状が選択可能である。
２、図３の円形状に限らず、図４の長円形あるいは、図
５の四角形状等任意の形状が選択可能である。
【００２５】さらに、図１〜図５に示した液面センサ
は、タンク内の液体に浸漬して液面の検出を行なうもの
であるが、図６に示す様に、管状ケース１の外側に液体
流路６を一体に設けても良い。
は、タンク内の液体に浸漬して液面の検出を行なうもの
であるが、図６に示す様に、管状ケース１の外側に液体
流路６を一体に設けても良い。
【００２６】これまでの説明では、発光素子２Ａ、受光
素子２Ｂを使用した実施例を示したが、この部分を図７
に示す様に、光ファイバ固定具８を介して、発光素子２
Ａの代わりに発光側光ファイバの出射端７Ａを取付け、
受光素子２Ｂの代わりに、受光側光ファイバの入射端７
Ｂを取付けても良い。ただし、この場合には、液面セン
サの外部に別途、発光部及び受光部を設けることにな
る。
素子２Ｂを使用した実施例を示したが、この部分を図７
に示す様に、光ファイバ固定具８を介して、発光素子２
Ａの代わりに発光側光ファイバの出射端７Ａを取付け、
受光素子２Ｂの代わりに、受光側光ファイバの入射端７
Ｂを取付けても良い。ただし、この場合には、液面セン
サの外部に別途、発光部及び受光部を設けることにな
る。
【００２７】使用する発光側及び受光側光ファイバは、
光ファイバが主材となっており、外径２．２ｍｍ（クラ
ッド径１ｍｍ）のコアがＰＭＭＡ樹脂、クラッドがフッ
化アクリレート樹脂、シースがポリエチレンのプラスチ
ック光ファイバ、あるいは外径２．２ｍｍ（クラッド径
２３０μｍ）のＨＰＣＦ（ハードプラスチッククラッド
ファイバ）、コアが石英ガラス外径２００ミクロン、ク
ラッドがフッ化アクリレート樹脂、外径２３０ミクロ
ン、シースがフッ素樹脂、外径５００ミクロン、補強材
がケブラー、外部被覆部材が塩化ビニル等が用いられ
る。
光ファイバが主材となっており、外径２．２ｍｍ（クラ
ッド径１ｍｍ）のコアがＰＭＭＡ樹脂、クラッドがフッ
化アクリレート樹脂、シースがポリエチレンのプラスチ
ック光ファイバ、あるいは外径２．２ｍｍ（クラッド径
２３０μｍ）のＨＰＣＦ（ハードプラスチッククラッド
ファイバ）、コアが石英ガラス外径２００ミクロン、ク
ラッドがフッ化アクリレート樹脂、外径２３０ミクロ
ン、シースがフッ素樹脂、外径５００ミクロン、補強材
がケブラー、外部被覆部材が塩化ビニル等が用いられ
る。
【００２８】特に、耐熱性が要求される用途では、耐熱
用光ファイバを使用すれば良い。なお、図４〜図７にお
いて、図１〜図３と同一部分には同一符号を付してその
説明を省略する。
用光ファイバを使用すれば良い。なお、図４〜図７にお
いて、図１〜図３と同一部分には同一符号を付してその
説明を省略する。
【００２９】本発明で使用する充填材３としては、透明
な液体または固体であって、屈折率が管状ケース１の屈
折率とほぼ等しいもの（即ち、管状ケース１の屈折率±
０．２）であれば、任意のものを用いることができる
が、例えば、管状ケース１がフッ素樹脂の場合は、シリ
コーンポリマーが好ましく用いられる。
な液体または固体であって、屈折率が管状ケース１の屈
折率とほぼ等しいもの（即ち、管状ケース１の屈折率±
０．２）であれば、任意のものを用いることができる
が、例えば、管状ケース１がフッ素樹脂の場合は、シリ
コーンポリマーが好ましく用いられる。
【００３０】シリコーンポリマーとしては、例えば、Ｏ
Ｆ−１０１（信越化学工業株式会社製）、ＯＦ−１０６
（信越化学工業株式会社製）、ＳＥ１８２１（東レ・ダ
ウコーニング株式会社製）、ＳＥ１７４０（東レ・ダウ
コーニング株式会社製）等が挙げられる。
Ｆ−１０１（信越化学工業株式会社製）、ＯＦ−１０６
（信越化学工業株式会社製）、ＳＥ１８２１（東レ・ダ
ウコーニング株式会社製）、ＳＥ１７４０（東レ・ダウ
コーニング株式会社製）等が挙げられる。
【００３１】最後に、本発明の液面センサの取付け・設
置方法について、図８〜図１０を用いて説明する。図８
は、図３〜図６のいずれかの液面センサを用いて、実際
に４ヶ所の液面検出を行なった場合の取付け・設置状態
を示す図である。
置方法について、図８〜図１０を用いて説明する。図８
は、図３〜図６のいずれかの液面センサを用いて、実際
に４ヶ所の液面検出を行なった場合の取付け・設置状態
を示す図である。
【００３２】同図において、リード線５は発光素子及び
受光素子に給電したり、あるいは受光素子で検出した液
面検出信号を表示部に伝え、液面のレベル表示を行なう
ための物である。
受光素子に給電したり、あるいは受光素子で検出した液
面検出信号を表示部に伝え、液面のレベル表示を行なう
ための物である。
【００３３】この場合には、液面センサは図示した様
に、タンク内の液に浸漬させるだけで、液面の検出が可
能であり、タンクの端に立て掛けたり、あるいはタンク
の上フタ等につり下げるだけで良いので、設置が非常に
楽である。
に、タンク内の液に浸漬させるだけで、液面の検出が可
能であり、タンクの端に立て掛けたり、あるいはタンク
の上フタ等につり下げるだけで良いので、設置が非常に
楽である。
【００３４】次に、図９は、管状ケースに隣接して液体
流路を有する図６の液面センサを用いて、タンク外部で
４ヶ所の液面検出を行なった場合の取付け・設置状態を
示す図である。
流路を有する図６の液面センサを用いて、タンク外部で
４ヶ所の液面検出を行なった場合の取付け・設置状態を
示す図である。
【００３５】前述した様に、図６の液面センサは、タン
ク内に立て掛けたり、タンクの上フタ等につり下げる方
法での設置が可能であるが、図９に示す様に、タンクの
外部での検出も可能である。
ク内に立て掛けたり、タンクの上フタ等につり下げる方
法での設置が可能であるが、図９に示す様に、タンクの
外部での検出も可能である。
【００３６】ここで、タンクの上下にある２本の導液パ
イプは、タンク内の液を図６の液面センサの液体流路６
へ導くためのものである。
イプは、タンク内の液を図６の液面センサの液体流路６
へ導くためのものである。
【００３７】同図から明らかな様に、２本の導液パイプ
の片側は、タンクの上下２ヶ所に設けられた、導液パイ
プ接続用穴に接続し、反対側は、液面センサの液体流路
６の上下２ヶ所と接続すれば良い。ただし、この場合タ
ンク２ヶ所に導液パイプのための穴あけ加工が必要とな
る。
の片側は、タンクの上下２ヶ所に設けられた、導液パイ
プ接続用穴に接続し、反対側は、液面センサの液体流路
６の上下２ヶ所と接続すれば良い。ただし、この場合タ
ンク２ヶ所に導液パイプのための穴あけ加工が必要とな
る。
【００３８】最後に、図１０は、光ファイバを使用した
図７の液面センサを用いて、４ヶ所の液面検出を行なっ
た場合の取付け・設置状態を示す図である。
図７の液面センサを用いて、４ヶ所の液面検出を行なっ
た場合の取付け・設置状態を示す図である。
【００３９】この場合には、液面センサは光源（発光
部）及び受光部を有していないので、図示した様に、外
部に別途、光源及び受光部が設けられている。なお、光
源、受光部と液面センサ間は発光用及び受光用光ファイ
バで接続されている。
部）及び受光部を有していないので、図示した様に、外
部に別途、光源及び受光部が設けられている。なお、光
源、受光部と液面センサ間は発光用及び受光用光ファイ
バで接続されている。
【００４０】従って、光源からの光は発光側光ファイバ
を経由し、液面センサの発光側光ファイバの出射端７Ａ
へ伝達される。
を経由し、液面センサの発光側光ファイバの出射端７Ａ
へ伝達される。
【００４１】一方、液面センサの受光側光ファイバの入
射端７Ｂで受光した光は、受光側光ファイバを経由し
て、受光部へ入光する。その後、外部に有る受光部に接
続された表示部にて検出した受光信号に応じた液面レベ
ルが表示される。
射端７Ｂで受光した光は、受光側光ファイバを経由し
て、受光部へ入光する。その後、外部に有る受光部に接
続された表示部にて検出した受光信号に応じた液面レベ
ルが表示される。
【００４２】以上、説明した様に、管状ケース内部に基
板あるいは光ファイバ固定具を介して、フォトインタラ
プタ（発光受光素子）あるいは光ファイバ端部を取付け
る構成としたので、検知したい液面位置、液面箇所の数
に応じて、各種の応用が可能である。
板あるいは光ファイバ固定具を介して、フォトインタラ
プタ（発光受光素子）あるいは光ファイバ端部を取付け
る構成としたので、検知したい液面位置、液面箇所の数
に応じて、各種の応用が可能である。
【００４３】
【発明の効果】本発明の液面センサによれば、設置が容
易で、プリズムを使用することなく、複数箇所の液面の
検出が可能である。しかも、フッ素樹脂を使用した場合
は、耐薬品性に優れている。
易で、プリズムを使用することなく、複数箇所の液面の
検出が可能である。しかも、フッ素樹脂を使用した場合
は、耐薬品性に優れている。
【図１】本発明の液面センサの一例を示す縦断面図であ
る。
る。
【図２】図１において、充填材を充填していない状態で
のＡ−Ａ線矢視断面図である。
のＡ−Ａ線矢視断面図である。
【図３】図１のＡ−Ａ線矢視断面図である。
【図４】長円形の管状ケースを使用した本発明の他の例
を示す横断面図である。
を示す横断面図である。
【図５】四角形の管状ケースを使用した本発明の更に他
の例を示す横断面図である。
の例を示す横断面図である。
【図６】液体流路を管状ケースに隣接して一体に設けた
例を示す横断面図である。
例を示す横断面図である。
【図７】発光素子、受光素子の代わりに、光ファイバを
使用した例を示す横断面図である。
使用した例を示す横断面図である。
【図８】本発明の液面センサの取付け・設置状態を示す
概略図である。
概略図である。
【図９】図６に示した本発明の液面センサの取付け・設
置状態を示す概略図である。
置状態を示す概略図である。
【図１０】図７に示した本発明の液面センサの取付け・
設置状態を示す概略図である。
設置状態を示す概略図である。
１ 管状ケース ２ フォトインタラプタ ２Ａ 発光素子 ２Ｂ 受光素子 ３ 充填材 ４ 基板 ５ リード線 ６ 液体流路 ７Ａ 発光側光ファイバの出射端 ７Ｂ 受光側光ファイバの入射端 ８ 光ファイバ固定具 Ｌ 光路
Claims (4)
- 【請求項１】 管状ケースの内部に、少なくとも１個以
上の発光素子及び受光素子を該管状ケースの、軸方向に
沿って配置させるとともに、該発光素子から該受光素子
へ至る光路に、屈折率が該管状ケースの屈折率とほぼ等
しい透明な液体または固体の充填材を充填させたことを
特徴とする液面センサ。 - 【請求項２】 管状ケースが、厚さ０．１ｍｍ〜１ｍｍ
のフッ素樹脂チューブであることを特徴とする請求項１
記載の液面センサ。 - 【請求項３】 充填材が透明なシリコーンポリマーであ
ることを特徴とする請求項１記載の液面センサ。 - 【請求項４】 発光素子が発光側光ファイバの出射端で
あり、受光素子が受光側の光ファイバの入射端であるこ
とを特徴とする請求項１記載の液面センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12310597A JPH10300557A (ja) | 1997-04-25 | 1997-04-25 | 液面センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12310597A JPH10300557A (ja) | 1997-04-25 | 1997-04-25 | 液面センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10300557A true JPH10300557A (ja) | 1998-11-13 |
Family
ID=14852317
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12310597A Pending JPH10300557A (ja) | 1997-04-25 | 1997-04-25 | 液面センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10300557A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002101337A1 (fr) * | 2001-06-12 | 2002-12-19 | Naoyuki Omatoi | Dispositif de detection de niveau de liquide |
| JP2016092030A (ja) * | 2014-10-29 | 2016-05-23 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置及び液処理方法 |
| KR20220049918A (ko) * | 2020-10-15 | 2022-04-22 | 주식회사 비앤티 | 액체 레벨 감지 센서 및 그 조립 방법 |
-
1997
- 1997-04-25 JP JP12310597A patent/JPH10300557A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002101337A1 (fr) * | 2001-06-12 | 2002-12-19 | Naoyuki Omatoi | Dispositif de detection de niveau de liquide |
| JP2016092030A (ja) * | 2014-10-29 | 2016-05-23 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置及び液処理方法 |
| KR20220049918A (ko) * | 2020-10-15 | 2022-04-22 | 주식회사 비앤티 | 액체 레벨 감지 센서 및 그 조립 방법 |
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