JPH06289309A - 走査ユニット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】不要な干渉を生じない走査型光学顕微鏡用の走
査ユニットを提供する。 【構成】共振型ガルバノスキャナー１８は直方体形状の
ハウジング４８の内部に収容されている。ハウジング４
８は、隣接した二つの面に円形の開口４８Ａと４８Ｂを
それぞれ有し、開口４８Ａには平板状のガラスからなる
防塵ガラス５０が取り付けられている。また開口４８Ｂ
を設けた面には別のハウジング５４が取り付けられてい
る。このハウジング５４は、開口４８Ｂに対向した面に
円形の開口５４Ａが設けてあり、この開口５４Ａには瞳
伝送レンズ２０が取り付けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、走査型光学顕微鏡に用
いる走査ユニットに関する。

【０００２】

【従来の技術】光ビームを偏向する光偏向素子は色々と
あるが、高速走査が行なえる偏向素子としては、ポリゴ
ンスキャナー（回転多面鏡）・共振型ガルバノスキャナ
ーがある。これらの偏向素子は、埃によるシャフト部の
故障や反射面の汚染を防ぐため、一般に密閉構造になっ
ている。

【０００３】特開平１−１８８８２２は、このような偏
向素子の一例を開示している。その偏向素子は、内部に
塵埃が侵入しないように密閉状態になっている偏平なハ
ウジングを有している。ハウジングには光を透過する透
過窓が設けられていて、その内部に反射面が収容されて
いる。この透過窓は、矩形の開口に透明な防塵ガラスを
取り付けて形成されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このような光偏向素子
においては、光が防塵ガラスを通過するため、偏向方向
によっては、防塵ガラスを通過した光が内部で反射した
光と干渉するおそれがらる。本発明は、干渉や不要なゴ
ーストの発生しない走査ユニットを提供することを目的
とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、走査型光学顕
微鏡に用いる走査ユニットであり、光ビームを偏向する
光偏向素子と、光偏向素子を収容するハウジングとを有
している。ハウジングは、光偏向素子に光ビームを入射
させるための入射開口と、偏向された光ビームを射出す
るための射出開口とを有しており、入射開口には光学的
に透明な平板状の防塵部材が、射出開口には偏向された
光ビームを集光する集光光学素子が設けられている。

【０００６】

【作用】光偏向素子は、ハウジングと防塵部材と集光光
学素子によって密閉されている。光ビームは、防塵部材
を透過し光偏向素子に入射し、光偏向素子で偏向され、
集光光学素子を介して射出される。集光光学素子は一般
に凸レンズであり、平行な面を持っていないので、その
内部で反射された光が通過する光と干渉することはな
い。

【０００７】

【実施例】本発明の走査ユニットの一実施例について図
面を参照しながら説明しよう。以下では、まず本実施例
の走査ユニットを組み込んだ走査型光学顕微鏡の光学系
について説明し、その後で本実施例の走査ユニットの具
体的な構成について説明する。

【０００８】本実施例の走査ユニットを組み込んだ走査
型光学顕微鏡の光学系を図１に示す。光源１２から射出
されたレーザービームＬは、ビームエキスパンダー１４
で所定のビーム径に拡大された後、偏光ビームスプリッ
ター１６を透過し、本実施例の走査ユニット４６に入射
する。走査ユニット４６は、共振型ガルバノスキャナー
１８と瞳伝送レンズ２０を含んでおり、共振型ガルバノ
スキャナー１８は対物レンズ３２の瞳位置と共役な位置
に配置されている。走査ユニット４６に入射したレーザ
ービームＬは、共振型ガルバノスキャナー１８でＸ方向
に偏向され、瞳伝送レンズ２０を介して走査ユニット４
６から射出される。走査ユニット４６から射出されたレ
ーザービームＬは、瞳伝送レンズ２２を通過する。レー
ザービームＬは、対物レンズ３２の瞳位置と共役な位置
に設けられたガルバノスキャナー２４によりＹ方向に偏
向され、瞳投影レンズ２６から走査ユニット４７の外部
に射出される。走査ユニット４７から射出されたレーザ
ービームＬは、結像レンズ２８、λ／４板３０を通過し
て対物レンズ３２に入射し、試料３４上に集光されスポ
ットを形成する。このスポットは、レーザービームＬを
共振型ガルバノスキャナー１８によりＸ方向に偏向し、
続いてガルバノスキャナー２４によりＹ方向に偏向する
ことにより、試料３４上を二次元走査される。試料３４
が透過物体の場合、レーザービームＬは試料３４を透過
しコンデンサーレンズ３６を通って光検出器４０に入射
し、光学情報が検出される。一方、試料３４が反射物体
の場合、レーザービームＬは再び対物レンズ３２、λ／
４板３０、結像レンズ２８、瞳投影レンズ２６、ガルバ
ノスキャナー２４、瞳伝送レンズ２２と２０、共振型ガ
ルバノスキャナー１８を通過し、偏光ビームスプリッタ
ー１６で反射され、集光レンズ４２を通って光検出器４
４に入射し、光学情報が検出される。

【０００９】本実施例の走査ユニット４６を図２に示
す。共振型ガルバノスキャナー１８は直方体形状のハウ
ジング４８の内部に収容されている。ハウジング４８
は、隣接した二つの面に円形の開口４８Ａと４８Ｂをそ
れぞれ有し、開口４８Ａには平板状のガラスからなる防
塵ガラス５０が取り付けられている。また開口４８Ｂの
ある面には別のハウジング５４が取り付けられている。
このハウジング５４は、開口４８Ｂに対向した面に円形
の開口５４Ａが設けてあり、この開口５４Ａには瞳伝送
レンズ２０が取り付けられている。防塵ガラス５０、瞳
伝送レンズ２０、ハウジング４８と５４同士は高い気密
性で取り付けられており、これらの部材によって共振型
ガルバノスキャナー１８は完全密封されている。

【００１０】このように本実施例の走査ユニットは、共
振型ガルバノスキャナー１８が防塵ガラス５０、瞳伝送
レンズ２０、ハウジング４８と５４によって完全密封さ
れているので、防塵は勿論、防音効果も高い。さらに、
レーザービームＬが移動する部分に平行平面板がないの
で、不所望な干渉などは生じない。

【００１１】

【発明の効果】本発明によれば、不所望なゴーストや干
渉を生じない防塵・防音に優れた走査ユニットが提供さ
れるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の走査ユニットを組み込んだ
走査型光学顕微鏡の光学系を示す。

【図２】図１に示した本実施例の走査ユニットの具体的
な構成を示す斜視図である。

【符号の説明】

１８…共振型ガルバノスキャナー、２０…瞳伝送レン
ズ、４８、５４…ハウジング、５０…防塵ガラス。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 走査型光学顕微鏡に用いる走査ユニット
   であり、 光ビームを偏向する光偏向素子と、 光偏向素子を収容するハウジングであって、光偏向素子
   に光ビームを入射させるための入射開口と、偏向された
   光ビームを射出するための射出開口とを有しているハウ
   ジングと、 入射開口に設けられた光学的に透明な平板状の防塵部材
   と、 射出開口に設けられた偏向された光ビームを集光する集
   光光学素子とを備えている走査ユニット。