JPH0733997B2 - 回路基板検査装置 - Google Patents
回路基板検査装置Info
- Publication number
- JPH0733997B2 JPH0733997B2 JP2060189A JP6018990A JPH0733997B2 JP H0733997 B2 JPH0733997 B2 JP H0733997B2 JP 2060189 A JP2060189 A JP 2060189A JP 6018990 A JP6018990 A JP 6018990A JP H0733997 B2 JPH0733997 B2 JP H0733997B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- reflected
- circuit board
- lens
- receiving element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は光走査を利用して回路部品を搭載された回路基
板の合否を判定する回路基板検査装置に関するものであ
る。
板の合否を判定する回路基板検査装置に関するものであ
る。
従来の技術 周完のように、回路部品を搭載された回路基板の検査工
程においては、光走査を利用して完成された回路基板の
合否を自動判定する場合があるが、従来の回路基板検査
装置は、例えば第４図に示されるような構成である。即
ち、光源10から発射された光ビーム11は回転多面鏡12、
ｆθレンズ13及びミラー16を介して検査回路基板14上に
照射され、この検査回路基板14で反射された反射光15
は、ｆθレンズ13、回転多面鏡12、集光レンズ17を介し
て受光素子18で受け、この受光素子18への反射光の入射
状況から回路基板14に取り付けられた部品の装着状態を
検査する。
程においては、光走査を利用して完成された回路基板の
合否を自動判定する場合があるが、従来の回路基板検査
装置は、例えば第４図に示されるような構成である。即
ち、光源10から発射された光ビーム11は回転多面鏡12、
ｆθレンズ13及びミラー16を介して検査回路基板14上に
照射され、この検査回路基板14で反射された反射光15
は、ｆθレンズ13、回転多面鏡12、集光レンズ17を介し
て受光素子18で受け、この受光素子18への反射光の入射
状況から回路基板14に取り付けられた部品の装着状態を
検査する。
発明が解決しようとする課題 しかし、この回路基板検査装置では、回路基板からの反
射光15を受光素子20で受光する際に、ｆθレンズ13の入
射面で反射していた光ビームの反射散乱光20をも、合わ
せて受光することになる。このため、ｆθレンズ13を通
過しない反射散乱光20がノイズ、つまり測定誤差の原因
となり、検査精度が悪化する課題がある。
射光15を受光素子20で受光する際に、ｆθレンズ13の入
射面で反射していた光ビームの反射散乱光20をも、合わ
せて受光することになる。このため、ｆθレンズ13を通
過しない反射散乱光20がノイズ、つまり測定誤差の原因
となり、検査精度が悪化する課題がある。
本発明の目的は、前述した従来の回路基板検査装置の問
題を考慮して、ｆθレンズを通過しない反射散乱光の悪
影響を除去して検査精度を向上できる回路基板検査装置
を得るにある。
題を考慮して、ｆθレンズを通過しない反射散乱光の悪
影響を除去して検査精度を向上できる回路基板検査装置
を得るにある。
課題を解決するための手段 前記目的を達成するために、本発明では、光源部と、こ
の光源部から発する光ビームを反射偏向させる回転多面
鏡と、前記光ビームの歪曲収差を補正するｆθレンズ
と、光ビームの回路基板からの反射光を受光しかつ同反
射光の入射状況から回路基板に対する部品の装着状態を
知る１つ以上の受光素子とを有し、前記ｆθレンズの表
面からの反射散乱光成分を除去する反射散乱光成分除去
用部材を前記受光素子の前方に配設するものである。
の光源部から発する光ビームを反射偏向させる回転多面
鏡と、前記光ビームの歪曲収差を補正するｆθレンズ
と、光ビームの回路基板からの反射光を受光しかつ同反
射光の入射状況から回路基板に対する部品の装着状態を
知る１つ以上の受光素子とを有し、前記ｆθレンズの表
面からの反射散乱光成分を除去する反射散乱光成分除去
用部材を前記受光素子の前方に配設するものである。
作用 このような構造によると、ｆθレンズからの反射散乱光
を除去する反射散乱光除去用部材を受光素子の前方に配
設するので、同反射散乱光の悪影響を除去して、検査精
度を向上できる。
を除去する反射散乱光除去用部材を受光素子の前方に配
設するので、同反射散乱光の悪影響を除去して、検査精
度を向上できる。
実施例 以下、図面を用いて本発明の実施例について説明する。
第１図は本発明の回路基板検査装置の基本構成図であ
り、第２図はｆθレンズ反射散乱発生部分の拡大図であ
る。即ち、光源10からの光ビーム11は、回転多面鏡12に
より偏向されて光ビームの歪曲収差を補正するｆθレン
ズ13に向かい、このｆθレンズ13を透過した後、検査回
路基板14上に走査する。このとき、光ビーム11の一部
は、ｆθレンズ13を透過せずに、ｆθレンズ13の入射面
で反射して反射散乱光20となる。
り、第２図はｆθレンズ反射散乱発生部分の拡大図であ
る。即ち、光源10からの光ビーム11は、回転多面鏡12に
より偏向されて光ビームの歪曲収差を補正するｆθレン
ズ13に向かい、このｆθレンズ13を透過した後、検査回
路基板14上に走査する。このとき、光ビーム11の一部
は、ｆθレンズ13を透過せずに、ｆθレンズ13の入射面
で反射して反射散乱光20となる。
また、検査回路基板14からの反射光15は、ミラー16によ
りｆθレンズ13へ入射し、このｆθレンズ３を透過した
後、回転多面鏡12で反射され、集光レンズ17で集光さ
れ、受光素子18に入射することになる。
りｆθレンズ13へ入射し、このｆθレンズ３を透過した
後、回転多面鏡12で反射され、集光レンズ17で集光さ
れ、受光素子18に入射することになる。
反射散乱光20の除去のため、本実施例においては、集光
レンズ17の前方にマスク19、即ち反射散乱光成分除去部
材が配設される。第３図に拡大して示す同マスク19は、
反射光15の反射野外に位置するマスクフレーム19aと、
このマスクフレーム19aの中心部に４本の支持リブ19bで
支持された正方形の遮光マスク本体19cとからなる。
レンズ17の前方にマスク19、即ち反射散乱光成分除去部
材が配設される。第３図に拡大して示す同マスク19は、
反射光15の反射野外に位置するマスクフレーム19aと、
このマスクフレーム19aの中心部に４本の支持リブ19bで
支持された正方形の遮光マスク本体19cとからなる。
図示実施例は、以上のような構成であるので、集光レン
ズ17へ入射する反射光15は、同反射光15の光軸ａの周辺
反射野を通過するので、遮光マスク本体19cの影響を受
けずに、遮光マスク本体19cの周囲から集光レンズ17へ
入射する。また、ｆθレンズ13の入射面で反射した反射
散乱光は、反射光20の光軸ａの中心部に集まるので、遮
光マスク本体19cにより集光レンズ17への入射が阻止さ
れる。このため、受光素子18に対しては、ｆθレンズ13
を通過した光ビーム11の反射光のみが入射されるので、
受光素子18に対するノイズ、即ち測定誤差が小さくな
り、検査精度が向上する。勿論、本発明で用いる反射散
乱光成分除去部材としては、前述したマスク19ばかりで
なく、反射光15から反射散乱光20を除去できる手段であ
れば、他の光学要素、例えば中心部に入射阻止マスク片
を貼着した集光レンズ17、中心部に入射した光だけを入
射面で全反射させる変形集光レンズ17で置換できる。
ズ17へ入射する反射光15は、同反射光15の光軸ａの周辺
反射野を通過するので、遮光マスク本体19cの影響を受
けずに、遮光マスク本体19cの周囲から集光レンズ17へ
入射する。また、ｆθレンズ13の入射面で反射した反射
散乱光は、反射光20の光軸ａの中心部に集まるので、遮
光マスク本体19cにより集光レンズ17への入射が阻止さ
れる。このため、受光素子18に対しては、ｆθレンズ13
を通過した光ビーム11の反射光のみが入射されるので、
受光素子18に対するノイズ、即ち測定誤差が小さくな
り、検査精度が向上する。勿論、本発明で用いる反射散
乱光成分除去部材としては、前述したマスク19ばかりで
なく、反射光15から反射散乱光20を除去できる手段であ
れば、他の光学要素、例えば中心部に入射阻止マスク片
を貼着した集光レンズ17、中心部に入射した光だけを入
射面で全反射させる変形集光レンズ17で置換できる。
なお、前述した従来例説明及び実施例においては、受光
素子18を一個用いた場合について例示したけれども、第
１図に示されるように他の受光素子18′を用いる場合も
ある。この場合、本発明においては、受光素子18′の前
方に集光レンズ17′及びマスク19′を配置することによ
り、前述した作用効果と同様の作用効果を得ることがで
きる。
素子18を一個用いた場合について例示したけれども、第
１図に示されるように他の受光素子18′を用いる場合も
ある。この場合、本発明においては、受光素子18′の前
方に集光レンズ17′及びマスク19′を配置することによ
り、前述した作用効果と同様の作用効果を得ることがで
きる。
発明の効果 以上のように、本発明によれば、検査回路基板からの反
射光にノイズが含まれず、受光素子に対しては検査回路
基板からの反射光のみが入射するため、検査精度の高い
回路基板検査装置を提供できる。
射光にノイズが含まれず、受光素子に対しては検査回路
基板からの反射光のみが入射するため、検査精度の高い
回路基板検査装置を提供できる。
第１図は本発明の一実施例による回路基板検査装置の基
本分解斜視図、第２図は第１図に示したｆθレンズの反
射散乱光発生部の拡大図、第３図は第１図に示されるマ
スクの一例を示す斜視図、第４図は従来の回路基板検査
装置の分解斜視図である。 10……光源、11……光ビーム、12……回転多面鏡、13…
…ｆθレンズ、14……検査回路基板、15……反射光、16
……ミラー、17……集光レンズ、18……受光素子、19…
…マスク。
本分解斜視図、第２図は第１図に示したｆθレンズの反
射散乱光発生部の拡大図、第３図は第１図に示されるマ
スクの一例を示す斜視図、第４図は従来の回路基板検査
装置の分解斜視図である。 10……光源、11……光ビーム、12……回転多面鏡、13…
…ｆθレンズ、14……検査回路基板、15……反射光、16
……ミラー、17……集光レンズ、18……受光素子、19…
…マスク。
フロントページの続き (72)発明者 鳥羽 広門 神奈川県横浜市港北区綱島東４丁目３番１ 号 松下通信工業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−298035（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−122358（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−114156（ＪＰ，Ａ) 特開 昭49−83470（ＪＰ，Ａ) 実開 平１−129648（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】光源部と、この光源部から発する光ビーム
を反射偏向させる回転多面鏡と、前記光ビームの歪曲収
差を補正するｆθレンズと、光ビームの回路基板からの
反射光を受光しかつ同反射光の入射状況から回路基板に
対する部品の装着状態を知る１つ以上の受光素子とを有
し、前記ｆθレンズの表面からの反射散乱光成分を除去
する反射散乱光成分除去用部材を前記受光素子の前方に
配設したことを特徴とする回路基板検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2060189A JPH0733997B2 (ja) | 1990-03-12 | 1990-03-12 | 回路基板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2060189A JPH0733997B2 (ja) | 1990-03-12 | 1990-03-12 | 回路基板検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03261850A JPH03261850A (ja) | 1991-11-21 |
| JPH0733997B2 true JPH0733997B2 (ja) | 1995-04-12 |
Family
ID=13134969
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2060189A Expired - Fee Related JPH0733997B2 (ja) | 1990-03-12 | 1990-03-12 | 回路基板検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0733997B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018116767A1 (ja) | 2016-12-19 | 2018-06-28 | 株式会社パイロットコーポレーション | 摩擦体並びに筆記具及び筆記セット |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006106159A (ja) * | 2004-10-01 | 2006-04-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光走査装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60122358A (ja) * | 1983-12-06 | 1985-06-29 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 明視野受光欠陥検出装置 |
| JPH0663981B2 (ja) * | 1987-05-29 | 1994-08-22 | 株式会社東芝 | 欠陥検査装置 |
| JPH01129648U (ja) * | 1988-02-19 | 1989-09-04 |
-
1990
- 1990-03-12 JP JP2060189A patent/JPH0733997B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018116767A1 (ja) | 2016-12-19 | 2018-06-28 | 株式会社パイロットコーポレーション | 摩擦体並びに筆記具及び筆記セット |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03261850A (ja) | 1991-11-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6275233A (ja) | 光学式板状素材モニタ装置 | |
| US4406546A (en) | Photoelectric detecting device | |
| JP2777353B2 (ja) | 光検出装置 | |
| JPH04215370A (ja) | 散乱感受性を縮小した写真スキヤナー | |
| JPH0733997B2 (ja) | 回路基板検査装置 | |
| JPH0577228B2 (ja) | ||
| JPH07318504A (ja) | ウエハの異物検出受光系 | |
| JP2971005B2 (ja) | 光走査装置 | |
| JPH05223533A (ja) | 高さ測定装置 | |
| JP2995108B2 (ja) | 走査光学装置 | |
| JP2000089149A (ja) | 走査光学装置 | |
| JPH04277643A (ja) | 透明基板の光学的検査装置 | |
| JP2886691B2 (ja) | 共焦点型レーザ走査顕微鏡 | |
| JPS60222756A (ja) | 異物検査装置 | |
| JP2696640B2 (ja) | 光電子増倍管の保護機構 | |
| JP3678810B2 (ja) | レーザ走査光学系 | |
| JP2675863B2 (ja) | 光ビーム走査装置 | |
| JPS63208746A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JP2936644B2 (ja) | 異物検査装置 | |
| JP3472449B2 (ja) | 走査光学装置 | |
| JP2756700B2 (ja) | 反射照明型投影装置 | |
| JPH05289010A (ja) | 偏向走査装置の走査開始信号検出器 | |
| JPS6145371A (ja) | 指紋画像撮像装置 | |
| JPH11190701A (ja) | 異物検査方法とその装置 | |
| JPH08221787A (ja) | 光情報処理装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |